DE1764236A1 - Kanalverstaerkungsvorrichtung fuer Elektronen und Elektronenroehre zur Anwendung einer solchen Vorrichtung - Google Patents

Kanalverstaerkungsvorrichtung fuer Elektronen und Elektronenroehre zur Anwendung einer solchen Vorrichtung

Info

Publication number
DE1764236A1
DE1764236A1 DE19681764236 DE1764236A DE1764236A1 DE 1764236 A1 DE1764236 A1 DE 1764236A1 DE 19681764236 DE19681764236 DE 19681764236 DE 1764236 A DE1764236 A DE 1764236A DE 1764236 A1 DE1764236 A1 DE 1764236A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
channel
photocathode
electrons
electrode
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19681764236
Other languages
English (en)
Inventor
Manley Brian William
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of DE1764236A1 publication Critical patent/DE1764236A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04Electron multipliers
    • H01J43/06Electrode arrangements
    • H01J43/18Electrode arrangements using essentially more than one dynode
    • H01J43/24Dynodes having potential gradient along their surfaces
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/50Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
    • H01J31/506Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output tubes using secondary emission effect
    • H01J31/507Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output tubes using secondary emission effect using a large number of channels, e.g. microchannel plates

Description

Dr -Ing. H.ns-Diflricb Zeil« Patentanwalt
M.Y. Philips' Gloüilu.r.j[>eiifabrieken Akte N* PHB-31 754
An.ntUurvfl vomt 26. ApTil( 1968
für Elektronen und Slektrcnenröhr· zvr Anwendung ein»r aolchen Vorrichtung".
Dia 2rf ir.Jut.£ betrifft LLektranenvurviäll scher- und L ι l-.ivi»i»la :K»rvorri oh tunken. Tnabvsondittr« tve/.ieLt eich Ίι« Erfindung •;>uf »ino "Κ"*η»Ιν·ΓΗ Uirkorvorriv.htung'1 und auf mit dieser Vorrichtung irM;»rÖ8tit;i E'l#Ktrun»nröbr»n. ™
P.irio K*nalvir»tarit>jrvorri.;l-. ti.nj.; ist air.· lUcktronen-
vervitl ΓιΗ;ί erv-;frichlung mit ?:eki-nd?Irt»r;ii:.Hicn , die ein« Vidorr; tanua-.-tiirii in i''.ir.r, einer Plnttti enthält, dernn H;.".i;)tfLiehen die Flin^t nr: 1 λιη .Ij'1!, ^/'le'int.en 1·τ ü.ifrlx ti Ι.Ίβη, ^nbt'i eine 1 ο i tvncle f>ohi.:ht ti»; Ein,· α . «Π K.:r« um· 'nlrii ί L υ Κίη>;,Ί';, ι-ο lektrol« un-.l
CJ tr; 2 7 / ü Λ ü b
BAD ORIGINAL
gesonderte leitende Schicht hui' der Au£t;:tn>sfläche der i^trix "ils Aiisgcin^eelektrode dienen unu langgestreckte Kan'i.e je einen Durch«- nr ν:>r; *intr FlKchfe aer durch Ie Vstrix und die Sinrimp- und Ausi*>tnt . *·- elektrode gebildeten Einheit ^u der anceren PlSc.e dieser Einheit bilden.
Bein. Betrieb cie.-.er Verstärk rvorrichtunt· viro. ein Foter.ti'il· -.nt^rn chied zwischen len zv.-ei Elektrodenschiohten ier .".'atr.x er7^.;.t, \n. - ;r. elek triscr.e;-. Feld /.un 3escl.leunigen der -.lektronun aufzubauen, ■ t'l cr.eö Feld ein^n Fotent i:; i gr-'dienten ini'clge ι&ί. otrocis einstellt, i.»;r lurch iit Inrierr. aer Kanl'Le gebildete '.".'ider_ tanuafl Selen oder (in A:.··-ebenheit solcher Kanalfl"cr.en) durch das Körnermnieri-il der "..'<.'rix fliiPFt. Γη den Kßnälen tritt f>ekundHre.~iisKion.svervielfachunt- :iuf.
3ei iie.sen Vorr i .nitun( en .sind die '/ertnilur. ; um die.
..υΐ'π-ο:.η i t te der Kanäle urn. -let* f?p«Hi fische V/ider.« tTnl der Matrix lfrnrt i;if;.~. das Aufiösun .·:■·'. ':T<.u'ten :er j lak t n.r.; nverv iei ■'■ chunt,i chf«rjkt = r 101 i k e;r.r!· .'el ie ti-.eii.:it i t iyr V irr . jiitung- i.inreichend gleich dem jeder :r.d*r>.-r' 1Zt-I ie t^e ir nt· i t für je..en heal, l ch t i j t^n Ver;; firkun.· ::zw*rc< iit.
'etit. eint.' .-· lci.fc! Vorrici.tun, in ein---r Pi 1 dverst'Srkerröhre i'T nirit'iri -sy;.te;, vtr^er.let »viril, vir:· letztere(s) rr.it "ni 1 i verat i'rkerr Jiife" Jiur "-{-,yi! tem" bezeichnet und niont n.it "3il'ii;r;.for-nHrrchre" ι ier "--.lys; te:n" , auch -'«'nn r: er& tt-r l'te.le ^* I nt* Änderung aer '.Ve 1 lenl?in. ■« der > 1 ldr! t !··<: ί un.; bfeuLo L jht igt wird,
Ji1; hriLifchen ϊ'ί t.entechr i 1 ten 1 .C t'4.'·11 3, l.C64.^74 nd
L .>-'(']. L)'/ti bei:c:Ja ■>■■ i ''en ..eLtipiel«· der i-^ana 1 vera tj'rkt-r vorrichtung k< >.: : iniejr*. η i t o;rit;r ν: η der V.it, τ.ζ sei «!■;: f .te ei. f. ? »rnten Th 1 :jki. ti.ode ur ·. nit «.r.::- ;-.,ee L.nti ti.n ■■ 1 f t :·*·: : j-1 . ·· t n ·.·..!(. ein».·.-. l,tMik;ht.: cu i rm, ;?-· dar.:; ■· : rit· tür >■ :.t r) i i:i VKi1S t i r1'» r-r 'ihr»· »■■»; L., ric tu Vvirr 11-:, t ;ιη,; /.H. :ui;. V/i·. 1,- rf;1:'t - r
I f) 9 s ,>'.' MH 0 5
BAD ORIGINAL _ „_'
.von Szenen geringer Leuchtstärke erhalten wird.
In ».-eiteren Vorrichtungen nach der französischen Patentschrift 1.4C4.98O liegt aie Pbotokathode nicht metir in einen. Abstand von der KanalVerstärkervorrichtung. Dabei wird die Fanal vertta'rkervorrichtung in Kombination a.it photo-endi tierenden Oberflächengebieten in Berührung mit der Eingangselektrode der Vorrichtung verwendet.
Die photo-exittierenden üoerflüchengeniete können nohtzu alle auf der Eingsngf.elek.trod· der L'atrix gebildet werden ura «ie könne-; eine elektrisch ununterbrochene, perforierte ociioht darrteilen, die z.B. die Form der Gchich'. P nsch Pig. J der beiliegenden, pcheraatischen Zeichnung hiben kann. ICin Gegenstand C rird durch ein eptisüi.es System «uf dae Photokot), oue F projiziert, vs verden " hot >öiektronen gleichzeitig von t-llen Teiler; der Photr-?;?( thode . ; t von dem projizierten Bild abhän<igen, örtlich variierenden Tnteri'.:itj'ten iu!;t'elöi,t. Die von der Fanfclveriitärkervorrichtung :· tan.r.enden Se1-und;irelektronen verden den. Lt-uchtecLirru S zugeführt.
Die KanalverBtSrkervorrichtung I v.ird ν η eim-m f;ieichmaesigen Kanalnetz durghlaufen. Die Jlatrix der Vorrichtung kann ijUL· Qlas bestehen und die Eingangs- und Auegangaf ISchen i?ind ti it erster. und zweiten leitenden ElektrcdenBchichien El bzw. El versehen.
In jedem der in irgendeinem Augenblick Prirnärelektronen empfangenden KenSle erfolft Vervielfachung und das erforderliche elektrische Besohleunigungafeld wird durch Verbindung der Elektroden El und Ec mit einer mit B angedeuteten Quelle aufgebaut, iin weiterer Beschleunigungsfeld wird durch eine Quelle B3 zwischen E? und der leitenden Schicht (e.B. aus Aluminium) auf den Leuchtschirm S erzeurt.
109827/OAOB
BAD ORIGINAL
-H 76 A 236 FHB.31754
Die Photoelektronen weraen in einer Richtung von der L'atrii und der Einfanfselektrode El hinweg emittiert una erfordern ein Feld für die Zurückführung an die Kena'le. Die zum Erzeugen eines solchen Feldes erforderlichen Mittel sind schematisch durch die Quelle Bl dargestellt, die eine Spannung zwischen aer Eingangfielektrode El und der durchsichtigen Elektrode Eo anlegt, die z.B. auf der Umhöllung, angebracht ist. In der Praxie ergibt eich, dass die an den Kanaleingängen vorliegende Feldkonfi^rurati on infolge rier Elemente El, E2, B2 allein ausreichend Bein kann, um die Photc-elektronen zurückzuführen chne Anwendung der Elektrode Eo und der Quelle Bl.
Auch können auf der Eingangselektrode die photo-emit tierenden OberflSchengebiete nahezu vollständig in den 1/atrixkanälen gebildet werden. In diesem Falle ist das durch die Quelle B2 zwischen den Elektroden El und Ξ2 aufgebaute Beechleunigungefeld unbedingt ausreichend, um die Elektronen in den Kanälen zu beschleunigen ohne Anwendung einer Elektrode wie Eo mit der Quelle Bl.
In einer weiteren Abart sind die photo-emittierenden Oberfl §ch engebiete teilweise auf der Eingangselektrode der Matrix und teilweise im Innern der Kanfile angebracht.
Bei Bildverst"rkerr5hren mit einem Slektronenbeechleugenden Feld liegt eine Schwierigkeit vor beim Lenken der Elektronen von Stellen der Photokathode zu entsprechenden Stellen der üingangselektrode. Diese Schwierigkeit besteht darin, daes das Beschleunigung»- feld sucht, die Elektronen reit hoher Geschwindigkeit in einer zur KanalBChee mehr oder weniger parallelen Richtung in die KanSle ein- eufuhren. Infolgedessen eind die Elektronen am Kanaleingang nicht geneigt, die Kanalwinde zu treffen, se dass weniger Vervielfachunge-
109827/0405 BAD
-H 7 64236 phb.31.754
stufen erreicht »erden und die 3esamtvervielfachung verringert wird. Sine zweite Aufgabe besteht darin, dass von irgendeinen Bildelement emittierte Elektronen der Photekathode geneigt sind, 3ich zu streuen und in itehr als einen Kanal einzudringen.
Bei einer Kanalverütsrlcervorrichtung für 31ektronen, die eine dünne Platte aus Glas mit hohem elektrischen Widerstand oder aus einem anderen, ähnlichen Material, deron beide HauptflMohen eine elektrisch leitende Schicht haben und die nahe aneinander liegende Kanäle zwischen den beiden Hauptflachen besitzt, und eine photo-elektrische Kathode in Berührung mit einer der beiden Eauptfl&chen enthält, schliefst die photo-elektriscbe Kathode nach der Erfindung an den Kar.?ileinfänden die Durchgänge ab und iet für :itrnhlung derjenigen VeI lan lan, en, für welche das Kat: cdenraa terial empfindlich ist, hinreici.ena durchlässig.
Alle Kanaltinb*-'n£;e werden durch choto-eaittierende Gebiete ar-ft-e.-iCi-losaen unu die Vorrichtung <ann auch zufriedenstellend wirken, ν er, r einii-e .Hellen aer .iin^anfselektrode nicht η direkter physisci.er 3tirührun^; .Tat dar \ noto-exittirrenden Schicht z.B. infolge Unregel— rfi'iöfji.· keiten dieser Schicht oder der Elektrode oder inf>l^e der Anviufenheit vc.n ^t-iubteilohen stehen. Dies gilt nur wenn uieve nhotoenittierende Scnicht in elektrischer Verbindung mit der Singungs» elektroie :. teh t, auch wenn aie nicht in physikalischer fierührung damit ist; die.; 'r-unn einfach dadurch erzielt werden, das3 uie fi.ototii.iMierende Schicht in ?>v;.. einer elektrisch ununterbrrchenen Schicht xit aujrtii'j; ender Leitfäü igkei t nufigebildet wire, um alle Gebiete
effektiv auf dem gleicnen totenLial wi« die EingsngseUktrode zu halten. Jn der Praxiii >ann die::« Kern, truktion tr.it solcher Oenaui^keit hergeetell
1 0 9 ß 2 7 / 0 U 0 5 BAD ORIGINAL
werden, dass Gebiete mit unvollständiger phyaiscner 3ertthrung zwischen
Singangeelektrode una Photoemitter nur vernachlääsigbare örtliche Verluste an .Auflösungsvermögen infolge einiger wenigen, die verkehrten KanSle eintretenden Elektronen herbeiführen.
Die Erfindung beseitigt auch die genannte zweite Aufgabe, die bei bekannten Vorrichtungen mit einem f\erinten Abstand zwischen ' den Elektroden auftritt, da die vcn jedem Bildelement der Photokataode 8tamir.enden Elektronen zwangsweise in den geeigneten Kanal eindringen, wodurch eine maximale Bildschärfe bei einer bestimmten Kanaldichte oder bei einer bestimmten Gesamtzahl an Kanälen erzielt wird«
Die Erfindung wird beispielsweise an Hand der Fig. 2 bis der beiliegenden, sclematisehen Zeichnung näher erlSutert, in der
Fig. 2 schematisch ein· Bildverstärkerröhre nach der Erfindung,
die Fig. 3 bis 5 drei AusfUhrungsformen der Erfindung,
Fig. 6 eine Abart der Erfindung, Fig. 7 ein Herstellungeverfahren, .
die Fig. 8 und 9 vereinfacht die Wirkung von symmetrischen und asymmetrischen (d.h. gekippten) Linsen,
Fig. 10 eine weitere AusfOhrungsform zeigen. )
In der .allgemeinen Darstellung einer Bildverstärkerröhre mit einer KsnslverstSrker-Pbotokathodekombination nach der Erfindung (siehe Fig. 2} ist die Eingangespannun^sversorgung 31 und die gesonderte Elektrode So nach Fig. 1 weggeltssen. Obgleich das photoemittierende Material an siejh eine bestimmte Leitflhie-keiit hat, wird die ursprüngliche Binganfselektrode Sl als ein Teil der* Kanalveretarkervorrichtung betrsöhtet, Dii Elektrode El trfgt ihr Potential auf die nhoto- λ | emittierenden Gebiete Über, da diese wie gesagt ait ihr in Berührung
109827/0408 ;/;
stehen. Der Photo-esitter und die Eingangseiektro<ie können somit al» gemeinsam mit einem Snde der Quelle B£ in Verbindung stehend bet ruhtet werden.
Fig. 3 zeigt schematisch in vergrößertem liaaatab eine ununterbrochene photo-amittierende Schicht P, die mit der Einrangeelektrode El in Berührung gebracht wird. Die der Elektrode El entsprechenden Teile der photo-emittierenden Schicht haben keine Photoemiseionefunktion in der Vorrichtung. In bestimmten Fä'llen besteht das einfachste und billigste Herstellungsverfahren darin, da·· die
Schicht P auf einer Glasplatte Vf z.B. 'dem Fenster der Umhüllung angebrecht wird, da di· photo-emittierenden Oberflächengebiet· in Fcrrn einer ununterbrochenen Schicht vor der Honta^e angebrecht werden können. Die den Kanllen C entsprechenden Gebiete des PhotoemitterR sind di· wirksamen Geriete, di· Photoelektronen direkt in die KanSle lenken. Dadurch kSnnen. di· Elektronen mit geringerer Energie ihren Lauf durch di· KanSle anfangen, wodurch aie aicL leichter anfangs zu den Kanalwinden lenken la«a*n. Si·· kann auf verschiedene Weise erfolgen wie in den Fig. 4 und 5 veranschaulicht iat.
Mach Fig. 4 erstreckt eioh di· Singanpselektrode Xl / ttb«T «inig·« ihatand in J«d«B Kanal«i«ganf, ·ο da·· «in« elkt > •tatlach« LiiM«3wirkung «re«ugt wird, woduroh dl« Elektronen auawfrt· au d«n Kanalwinden abgelenkt werden. Diese Linsenwirkung· wird naobatehend noch einzeln beschrieben.
In der Abart nach Fig. 3 *ind die KanSle derart gekippt, das« da· Auftreffen frühzeitig stattfindet, was schematisch angedeutet iat* Die Konfiguration nach den 'ig* 4 und 5 lassen sich auoh kombinieren (obgleich dies nicht notwendig iat), oder auch die Liaaea
109827/0A05
BAD ORlGiNAL-
-8- PHB.31.754
kSnnen gekippt werden, «as waiter unten erläutert wird·
■ In Jeder der Anordnungen nach den Fig. 3 bis 5 können la Priatip diejenige« Teile der photo-ealttierenden Sohioht P weggelaaeen werden, die der Einfangselcktrode El entsprechen; eie werden daher nicht für die Photoemiaaion benutzt. Mit den sur Verfügung stehenden Techniken liest eioh dlea jedoch nur eehr echwer durobfuhren, da eine grosee Keratelluntegenauigkeit notwendig let, um. nahezu alle photo» ealttierenden Sebiete je fOr eloh Bit der Singangeelektrode in phyeiether teriarung tu brlageni Ladungsablagerungcn und Ihnliohe IreeheiMMceo kannten eonet die Wirkung der Vorrichtung etörea·
Bin« Aeert der vorliegenden Erfindung beateht 1» ^gleeeen * der Äinfangeelektrode Bl, ao daee lediglich die Leitflhigkeit der pBOto-eeittiereaden Oebiete ele die der Eingangeelektrode wirkeea let, Dabei aOaeen die photo-tn.ittierenden Gebiete wie bei den Anordnungen nech den Fig. 3 bie 5 gemeinsam eine elektrisch ununterbrochene Schicht bilden, die mit einer tier Speiaekleounen verbunden ist. Ein Beispiel einer eolehen Anordnung iat in Fig. 6 dargestellt.
Entsprechend der vorhergehenden Definition einer Kanal·
veretfrkenrorrichtung wird In der Anordnung nach Fig. 6 die Sinfangeelektrode durch dit phot c-«eittieren de Sohlest gebildet, wobei die Eingangeelektrode keine Kanaldurchginge mehr aufwelet.
In einer besonderen Ausführungaform nach Flg. I besteht daa kombinierte pboto-emittierende und Elektroden-Material PS aus eine« Metall, das bei bestimmten Wellenlinien der Ein*angestrahlung ile Photoeir.itter wirken kann, s.B. Gold für einen ültraviolett-BiläverstSrker. Eine solche XetslUohicht muss jedoch hinreichend dünn «ein, damit aie teilweise durchsichtig ist, ao dass der mögliche
109827/0406
BAD
Stromdurchgang im Vergleich zu den Anordnungen nach den Fit-, 3 bis 5 besahrSnkt s=ein kann, in denen die Elektrode Sl Orfr.uneen zurr. Durchlasset, der Strahlung :iufv.ei;;t, &c dass sie jede erwünschte Dicke .-.üben kann. 3ine ähnlictie Be.cränkung kann auch auftreten, v/enn
die Soaicht PE der Anordnung n.':ch Fig. 6 aus eine:;, anderen Yaterinl als GoI-; besteht.
Bei der Herstellung der beschriebene Vorrichtungen kann die Slektroue El ;iuf bekannte ".'ei e aui" der Matrix angebracht v.erden. '.Venn .-;ie sich bis in ^it Kanäle nao:. Pi^. 4 er^trectcen soll, kann aie iurcr. Aufdampfen eintjs !.'etallea (z.B. Chrom) unter eine:, geeigneten ""χ η-et- φ no oh Pig. 1 angebräunt »erden, wobei die Drair.pf ijuelle (i) UH. lie Achse der ...airix t.eirei. - ;.χ:α, um eine gieichmässige i'lniringun zu trsielen. (Auch kann :.ie Kunalpl-»t te in bezuj aui1 eins .-. t illrthend· ^u«l 1« vearel.t weraen). Der t;ew"i.Ite .'.'«rt aes Winkel. / ^u::: Aufdaxpfen besit.iTi.xt die äinurin.: t .c!'e ·ι aas rilekt r^ien;iateri t la m der: K:inf;leri Aul' ;:eüe ',Veii.ö v.sruer. l. .v.jf.i ,.in λ i.n,. antsoberf 15chenso:.i jht 1 der Elektrode ϋ.ϋ auch die An.sätze 4 Jer Elulctrcue in uen Kanälen jebiliet.
Anoranun^Kii vie He n^sr. den Fu;. 3 bis 5 können dadurch hergestellt »uraen, da^o me ocnicht P «uf einar Un te rl i. jenplatte '.T «n^ebrrici.t und die Pl:»t te au? ier Ult/.trofle EL der Ken·')!anordnung befe.;ti t -/.ivi. Dies tjoll ri' su; re ichör/.:ti" len.'iui keit err Lp-en, um ■■■■ icaerzUi \t 1 ien, j s.; >i;e c'a;.ii;iit Γ χ it, illen oder nahezu allen :^iktr--..;tnt Bi iun in -erünrdnfe· i^t; ί.βοβ z*ej. Vcrgän.« Bollen im Vakuum -lure;!.* β führt werden. Dic.-e 7οΓ«·:νη."· lasRen eich auch bei der Anordnung rr;ch Fi^. 6 durchführen, ;ibar ·;·»ηη itrjnn in Luft vort;e»;anien werden, wenn di· 3ui isht PS auts 'j L·. bb..teht.
109827/0405
BAD ORIGINAL
1716-4236 hib.ji.754
■ /: ■■■■;*■■■ . ' ■...'. ;;
PI· Linsenwirkung der Elektrodenansltze nach Pig. 4 wird an Hand dar fig, 8 beschrieben nach einer kurzen Übereicht der Schwierigkeiten, die in bekannten Vorrichtungen an den Kanäleing3nten auftreten«
Die von der Photclcathode infolge auffallenden Lichtes oder Strahlung emittierten Elektronen sollen acviel Snergie aufnehmen, dass beim Treffen einer Kanalwend der SekundMrenissionekoeffizient grosser als 1 ist. In der Praxis erfordert d}*a Aufprallenergien von mehr als 30 eV. Es ist jedoch wichtig, dass Elektronen von der Photokati.ode nicht weit in den Kanal eindringen bevor sie die Tand treffen, da dann die für d_ie weitere Verstärkung zur Verfugung fteilende Kanallänge nicht auereichend ist. Gewöhnlich liegt die Kanalplatte in einem geringen Abstand von der Photokathod· (zwischen 1 und 10 Kanalquerschnitte) un es wird ein Potentialunterschied von mehr als 50 V zwischen der Photokathode und der Kanalplatte-Singangselektrode angelegt, um sicherzustellen, dass Photoelektronen r.it hinreichender Energie in einen Kanal eintreten, um beim Auftreffen au:- die Kanalwand Elektronen auszulösen. Un ein Auftreffen auf die Kanalwand am Anfang zu erreichen, ist die FeldstSrke in der Kanalplatte von der dee Raumes zwischen Photokathode und Kanalplatte verschieden. Am Kanaleingang entsteht auf diese Weise eir.e iinsenwirkiuuj;, die positiv ist bei höherer FeldstSrke in der Kanalplatte .oder negativ bei niedrigerer , Feldstärke darin. Tenn jedoch die Stfirk« dieser Linse hinreichend Bein «oll, um Sicherzustellen, dass die Elektronen im Anfangeteil d·· Kanals dt·.1 Wand treffen werden, muaa «ήtweder der Unterschied xwiaoh«n d«n Ktldstärken ««Itr gro·· oder die Elektronenenergie beim
1 -
in die Line· gering a*in, bo dasa dos Blektron leicht
109827/OAOI
-η-
abgelenkt »erden kann. Daa elektrische FaId in der Kanalplatte vird ÜDlicherweise durch dia ve η der Platte verlangte Verstärkung und durch die Geometrie der Platte bestimmt und es liegt keine oder nahezu keine Freiheit vor, die Feldstärke entsprechend den elektronen-optiachen Anforderungen zu wihlen. Ub einen FelästSrkenunterschied zu erzielen, muse βοmit die FelutSrke in da« Raun zwiachan der Photokathode und der Kanalplatte sehr hoch gemacht »erden (in welchem Falle FeId-•aiseion von der Phqtokathode βtorend wirken kann) oder aia muaa aaar niedrig gemacht «erdan, in welchem Fall· die Elektronen von der Photokathode sich vor dee Irreichen der Kanalplatt· atreuen werden, ao daaa Verlust an Auflösungsvermögen entsteht.
Bei d«n Anordnungen nach dar vorliegenden Erfindung, ine denen die Kanalplatt· mit dan pfcoto-emittierenden Gebieten in Berührung ist, welch· dl· Kapaleinging· abeohliaaeen, lat aichergeateilt, da·· daa AuflQaungeveraSgan praktiaob nur duroh den Abatand zwiaohan den KanBlen vielmehr al· durch Klektronenatreuung von der Photokathod· beechrSnkt wird.
Wenn man dl« Eingangeelektrode der Kanalplatte Über einen kleinen Abstand in den Kanal «ntaprechend Fig. & durohdrin/en lHeat, wird «in praktisch feldfreiea Gebiet in der Zone cer Photokathode erhalten. Di« Photoelektronen treten aomit eine konvergierende Elektronenlinse an der Orentfliehe dar durchdringenden Elektrode ein. Dlaaa Elektronen haben ein· geringe Energie, ao daaa die Linse hinreichend stark εβίη kann, um die «eisten Photoelektronen vorne auf dl· Kanalwinde auftreffen cu lasaen.
Die Durchdringtiefe der Elektrode beeinflusst die Lina*natirke. Io Grenxfalle *ird daa Fehlen der Durchdringung ohne Linaen-
109827/0406
BAD ORIGI^Ät
wirkung bleiben, so dees di· Photoelektronen in geraden Bahnen vcn der P hot ok· ti. ode entweichen. Sine Durchdrin, tiefe von einigen Kanaldurchmeseem wird eine starke Krümmung; der XquipotentialflSchen und eine starke Linsenwirkung ergeben. Viele Photoelektronen werden jedoch zur Wand in dem .Slektrodengebiet wandern, ohne dees sie Energie aufnehmen, so dees die verloren ^ehen. Das beste Koxprinise ergibt sich bei einer Durchdrinttiefe zwiodhen l/4 und 2 Kanaldurchmesser, vorzugsweise zwischen l/? und 1 Durchmesser. In uiesei Hereich wird ein groeeer Teil der Photoelektrcnen hinreichende Energie (vor dem Aufprall) aufnehmen, um Sekundfirelektronen auszulösen und wenige werden ohne Aufprall weit in die Kanile durchdringen.
Die Linsenwirkung ist echeaatioch in Fig. 8 veranschaulicht. Ub die Anzahl axial verlaufender Elektronen, die noch über einen verhSltnismlaeig'groaaen Abstand in den Kanal eindringen bevor, sie auf die Sand aufprallen cu verringern, kSnnen die Elektrodenvoreprünge, welche die Linee bilden, entsprechend Fig. 9 abgeschrägt werden. Die Elektronen werden dabei ir. einer Vorzugsrichtung euf einer ^eite beschleunigt, so dsse auch ein län£e der Kanalachse wanderndes Fhntceiektron auf die ^Tand aufprallt.
Abgeschrägte 21ektrcdenvoreprUnge (d.h. gekippte Linsen) kinnen einfaoh daduroh erhalten werden, daps das Metall der Eir.^engeelektrode (z.B. Chrom)'unter einem geeigneten Winkel aufgedampft wird. An Rand der Fig. 7 ist bereits beschrieben, dass durch Drehung der Plftte während der Aufdamffung eine nahezu gleichm^Rsi^e Durcbdrinrung erzielt werden kann. In diesem Falle kenn die Abucbrigung der Vorsprung« nach Fig. 9 erhalten werden, indem die Drehung unterlassen wird.
109827/0406
BAD ORIGINAL
-13- 176 A 2 36 PHB.31,754
Bei einer bestimmten Ci«sar&tmatrixfl3che und bei einer beistimmten Kanal dichte kann das effektive Photokathoden£i-ebiet jeaer der beschriebenen Vorrichtungen durch Erweiterung der Kanaleingängt» auf der AuBsenseite vergrössert »erden, wobei der EinranfcSduroianeeser .^röiäser ist. Dies ist schematisch in Pi^*. IC dargestellt.
In einer praktischen Ausftthrungefora kann die Matrix
etwa die nachfolgenden Abmessungen aufweisenι
Durchmesser 3 bie 10 cn Kanaldurchaeseer 15/u KanallXnge 1 am
Zur Anwendung in eine« Bildrerstlrker kann die Quelle B2 etwa 1000 V erzeugen.
109827/CUOS
BAD ORIGINAL.

Claims (1)

  1. -14- ptm *! 7M
    PATSKTAHSPBPCHSi
    1. Kanalveretlrkervorrlcntung für Elektronen, die eine dünne Platte aus 01a· mit hohem, elektrische· Wideretand oder aus einem anderen, ihnli'chen Material enthSlt, ««Ich· Platt« auf beiden Hauptflächen eine elektrisch leitende Sohicht besitzt und mit nahe aneinander liegenden, entren Kanilen zwischen den beiden HauptflSehen versehen iet, und eine at.it einer der* beiden HauptflSehen in 3erÜhrung stehende Photokathode enthSlt, dadurch gekennzeichnet, dass die Photoksthode an den Kanal eingingen die Durchginfo-e abecjal leset und für Ftrehlung solcher Wellenlinie, für die des Ksthodenaaterial empfindlich iet, hinreichend durchlässig tst.
    2. Torrichtuns nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, da·· die Photokathode aus einer ununterbrochenen Schicht besteht, die auf eine· durcheicht igen Trümer angebracht let.
    3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Photokathode und dmrPlattenoberfliehe ein· leitende Schicht arjebraci.t ist, die siel bis in die Kanile erstreckt.
    4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die LSnge der Vorsprung der leitenden Schicht in den Van ilen \/zbis 2-mal den Durchmesser eines Kanals betrigt.
    S Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, deae die in den KsnXlen vorhandene SohleLt in For· eines abgeecLrieten Zylinders endet.
    6· Vorrichtung nach einem 4er Anspruch· 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die *anlle in bezug auf die äauptfllohen ein« •ohrige La^e einnehmen. .
    109827/0405
    BAD ORIGINAL
    -15- PHB.31.754
    7. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daββ die Photokathode die elektrische Leitfähigkeit der OherflSche in eich vereint.
    Θ. SlektronenbildrShre mit einer Kanalyeretärkervorrichtunf nach einem <ier vorhergehenden Ansprüche.
    109827/0405
    BAD ORIGINAL
    Leer seife
DE19681764236 1967-05-15 1968-04-29 Kanalverstaerkungsvorrichtung fuer Elektronen und Elektronenroehre zur Anwendung einer solchen Vorrichtung Pending DE1764236A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB22339/67A GB1154515A (en) 1967-05-15 1967-05-15 Improvements in or relating to Image Intensifiers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1764236A1 true DE1764236A1 (de) 1971-07-01

Family

ID=10177803

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19681764236 Pending DE1764236A1 (de) 1967-05-15 1968-04-29 Kanalverstaerkungsvorrichtung fuer Elektronen und Elektronenroehre zur Anwendung einer solchen Vorrichtung

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3497759A (de)
AT (1) AT281142B (de)
DE (1) DE1764236A1 (de)
FR (1) FR1565868A (de)
GB (1) GB1154515A (de)
NL (1) NL6806736A (de)
SE (1) SE339058B (de)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7002072A (de) * 1969-02-24 1970-08-26
US3863094A (en) * 1969-04-08 1975-01-28 Itt Image intensifier and method of making an electron multiplier therefor
US3974411A (en) * 1970-09-20 1976-08-10 Rca Corporation Channel plate electron multiplier tube having reduced astigmatism
US3870917A (en) * 1971-05-10 1975-03-11 Itt Discharge device including channel type electron multiplier having ion adsorptive layer
GB1402549A (en) * 1971-12-23 1975-08-13 Mullard Ltd Electron multipliers
US3902240A (en) * 1972-11-22 1975-09-02 Us Army Integrated cathode and channel plate multiplier
GB1417643A (en) * 1973-01-19 1975-12-10 Mullard Ltd Electron multipliers
GB1434053A (en) * 1973-04-06 1976-04-28 Mullard Ltd Electron multipliers
GB1464863A (en) * 1973-05-21 1977-02-16 Agfa Gevaert Production of electrostatic images
FR2260863B1 (de) * 1974-02-13 1977-09-16 Labo Electronique Physique
GB2118358B (en) * 1982-04-05 1986-01-02 Philips Electronic Associated Channel plate electron multipliers
GB2144902A (en) * 1983-07-08 1985-03-13 Philips Electronic Associated Cathode ray tube with electron multiplier
US4737013A (en) * 1986-11-03 1988-04-12 Litton Systems, Inc. Microchannel plate having an etch limiting barrier
WO1992016960A1 (en) * 1991-03-15 1992-10-01 Sovetsko-Amerikanskoe Sovmestnoe Predpriyatie Dialog Method and device for detection of radiation
FR2688343A1 (fr) * 1992-03-06 1993-09-10 Thomson Tubes Electroniques Tube intensificateur d'image notamment radiologique, du type a galette de microcanaux.
CN108054075A (zh) * 2017-12-14 2018-05-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种分幅变像管及分幅相机

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB790416A (en) * 1953-06-05 1958-02-12 Emi Ltd Improvements in or relating to electron discharge devices incorporating electron multipliers
CA638396A (en) * 1954-03-17 1962-03-20 Westinghouse Electric Corporation X-ray image intensifying device
US3374380A (en) * 1965-11-10 1968-03-19 Bendix Corp Apparatus for suppression of ion feedback in electron multipliers
US3407324A (en) * 1967-06-21 1968-10-22 Electro Mechanical Res Inc Electron multiplier comprising wafer having secondary-emissive channels

Also Published As

Publication number Publication date
FR1565868A (de) 1969-05-02
GB1154515A (en) 1969-06-11
NL6806736A (de) 1968-11-18
AT281142B (de) 1970-05-11
SE339058B (de) 1971-09-27
US3497759A (en) 1970-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1764236A1 (de) Kanalverstaerkungsvorrichtung fuer Elektronen und Elektronenroehre zur Anwendung einer solchen Vorrichtung
DE2418199C2 (de) Farbbildwiedergabeanordnung
DE1957247C3 (de) Bildröhre
DE1126444B (de) Kathodenstrahlroehre
DE19820243A1 (de) Drehkolbenstrahler mit Fokusumschaltung
DE1187740B (de) Elektronenvervielfacherroehre
DE1261966B (de) Photokathode fuer Bildverstaerker, Bildwandler oder Fernsehkameraroehren
DE1941667A1 (de) Anordnung zum Empfang von Bildsignalen und Synchronisiersignalen
DE838472C (de) Elektronen-Entladungseinrichtung
DE2825902A1 (de) Flachanzeigevorrichtung
DE2813218A1 (de) Bildverstaerkerroehre
DE2048158A1 (de) Nachbeschleunigungs Farbbildrohre
DE2456596A1 (de) Elektronen-entladeanordnung
DE2910128C2 (de)
AT149210B (de) Elektrische Entladungsvorrichtung.
DE1489172C3 (de) Bildwandler oder Bildverstärker mit einer der Elektronenvervielfachung dienenden Platte
DE2306575B2 (de) Röntgenbildverstärker
DE1902627A1 (de) Dunkelspur-Kathodenstrahlroehre
DE2139902A1 (de) Kathodenstrahlroehren mit bildschirm sowie vorrichtung und verfahren zur herstellung derselben
AT262392B (de) Farbenbildröhre und Verfahren zum Herstellen derselben
DE2008358A1 (de) Röhre für Fernsehkameras
AT211881B (de) Vorrichtung mit einer Elektronenstrahlröhre und Elektronenstrahlröhre für eine solche Vorrichtung
DE884509C (de) Einrichtung zur Verstaerkung von Elektronenbildern durch Sekundaerelektronen
DE901791C (de) Fernsehkameraroehre
DE2518448A1 (de) Abtastvorrichtung fuer einen strahl aus geladenen teilchen