Claims (4)
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Die Erfindung bezieht sich auf einen Feststoff- zuletzt wegen dieses einfacheren Aufbaues besondersThe invention relates to a solid, especially because of this simpler structure
bildverstärker, bestehend aus zwei zueinander im einfach und vorteilhaft durchzuführen,image intensifier, consisting of two to each other in a simple and advantageous manner,
wesentlichen parallelen, durch dielektrische Säulen An Hand der Zeichnungen soll das bevorzugteessentially parallel, through dielectric columns based on the drawings, the preferred
im Abstand gehaltenen Elektroden, einer parallel Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen
zu den Elektroden und zwischen ihnen angeordneten 5 Feststoffbildverstärkers näher erläutert werden. Diespaced electrodes, a parallel method of making one according to the invention
to the electrodes and 5 solid image intensifiers arranged between them are explained in more detail. the
Elektroleuchtschicht und einem zwischen der Elek- Zeichnungen zeigen inElectroluminescent layer and one between the electrical drawings show in
troleuchtschicht und einer der Elektroden angebrach- F i g. 1 bis 6 eine Reihe von Seitenansichten verten
strahlungsempfindlichen Material. schiedener Stufen des Verfahrens zur Herstellung
Die Erfindung richtet sich ferner auf ein Ver- eines Feststoffbildverstärkers gemäß der Erfindung,
fahren zur Herstellung eines solchen Feststoffbild- io Die in F i g. 1 dargestellte Platte 30 aus einem
Verstärkers. lichtempfindlichen Glas wird über ein Negativgitter Die als Abstandshalter dienenden dielektrischen belichtet und anschließend thermisch behandelt, so
Säulen weisen bei einer bekannten Konstruktion die daß ein Gittermuster 32 von belichtetem und selek-Form
von Kegelstümpfen auf und können in einigen tiv ätzbarem Glas in der Platte 30 entsteht, wie sich
Fällen auch einstückig mit dem Träger ausgebildet 15 aus F i g. 2 erkennen läßt. Dann wird die Glasplatte
sein. Der diese lichtdurchlässigen Säulen umgebende 30 an einer Seite etwas angeätzt, so daß vorstehende
Raum, der kein Licht durchlassen soll, ist mit einem Säulenenden 34 entstehen, wie F i g. 3 zeigt. Sind
lichtundurchlässigen, fotoleitenden, elektrisch leiten- Überzugskappen erwünscht, dann wird die geätzte
den Material od. dgl., abhängig von der besonderen Seite der Platte 30 mit einem leitenden Überzug 36
Konstruktion und Anordnung der verschiedenen so aus einem Metalloxyd, beispielsweise Zinnoxyd oder
Schichten des Feststoffbildverstärkers, gefüllt. einer Legierung von Zinnoxyd und Antimonoxyd
Beim Zusammenbau solcher Feststoffbildverstär- überzogen, wie man aus F i g. 4 erkennen kann,
ker ist es oft zweckmäßig, eine durchsichtige Elek- Überschüssiger Überzug unter dem Gitter 32 läßt
trode in Form eines dünnen Metallfilms auf die frei- sich mit dem Gitter nach dem nachfolgenden Verliegenden,
horizontalen Flächen der Säulen aufzu- as fahrensschritt erforderlichenfalls entfernen,
bringen. Es kann auch auf die vertikalen Seiten der Die Glasplatte 30 wird dann über dem aus der
Säulen aufgebracht sein. Glasträgerplatte 10, der durchsichtigen Elektrode 12, Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den der elektrolumirieszierenden Schicht 14 und der Be-Feststoffbildverstärker
so auszugestalten, daß es in- festigungsglasschicht 26 bestehenden Körper angefolge
einer besonderen Befestigung der als Abstands- 30 bracht, wie F i g. 5 erkennen läßt. Unter Lagerung
halter dienenden Säulen nicht mehr erforderlich ist, der Glassäulen 34 auf dem Befestigungsglasüberzug
zwischen den Säulen eigene lichtundurchlässige Ein- 26 wird die Vorrichtung erhitzt, so daß das Befestirichtungen
vorzusehen. Vielmehr soll die Isolierung gungsglas schmilzt und die einzelnen Teile der Vorder
Zwischenräume zwischen den Abstandshaltern in richtung fest verbunden werden. Dabei wird ein
besonders einfacher Weise vorgenommen werden 35 Druck ausgeübt, wodurch sich das Befestigungsglas
können. unter den Glassäulen 34 verdünnt.trol luminous layer and one of the electrodes attached- F i g. 1 through 6 represent a series of side views
radiation-sensitive material. different stages of the manufacturing process
The invention is also directed to a combination of a solid image intensifier according to the invention,
drive to the production of such a solid image io The in F i g. 1 shown plate 30 from a
Amplifier. light-sensitive glass is exposed via a negative grating The dielectric serving as spacers and then thermally treated, see above
In one known construction, pillars have a grid pattern 32 of exposed and selek shape
of truncated cones and can arise in some tiv etchable glass in the plate 30, as is
Cases also formed in one piece with the carrier 15 from FIG. 2 reveals. Then the glass plate
be. The surrounding these translucent columns 30 etched on one side somewhat so that protruding
Space that should not let light through is created with a column end 34, as shown in FIG. 3 shows. Are
opaque, photoconductive, electrically conductive cover caps are desired, then the etched
the material or the like, depending on the particular side of the plate 30 with a conductive coating 36
Construction and arrangement of the various so made of a metal oxide, for example tin oxide or
Layers of the solid image intensifier, filled. an alloy of tin oxide and antimony oxide
When assembling such a solid image intensified, as can be seen from FIG. 4 can see
It is often useful to leave a clear sheet under the grille 32
trode in the form of a thin metal film on the exposed with the grid after the subsequent laying,
Remove the horizontal surfaces of the pillars if necessary.
bring. It can also be placed on the vertical sides of the. The glass plate 30 is then placed over the from the
Columns be applied. Glass carrier plate 10, the transparent electrode 12, The invention is based on the object of the electroluminescent layer 14 and the Be solid image intensifier
designed in such a way that it follows the solidifying glass layer 26 existing body
a special attachment that brings as a spacer 30, such as F i g. 5 reveals. Under storage
Holder serving columns is no longer required, the glass columns 34 on the mounting glass cover
between the pillars own opaque inputs 26, the device is heated, so that the fastening directions
to be provided. Rather, the insulation should melt supply glass and the individual parts of the front
Gaps between the spacers are firmly connected in the direction. This is a
35 pressure is exerted in a particularly simple manner, whereby the fastening glass
can. diluted under the glass columns 34.
Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß die dielek- Die andere und bisher ungeätzte Seite 38 der
irischen Säulen auf der Elektroleuchtschicht mittels Glasplatte 30 wird dann der Ätzlösung ausgesetzt, so
einer Schicht aus dunkelgefärbtem Lötglas befestigt daß die Hinterteile 32 und schließlich auch die entsind,
das unter dem jeweiligen Säulenfuß dünner als 4° sprechenden Teile des Überzuges 36 verschwinden,
in der Nachbarschaft davon ist. Dadurch wird die Es entstehen somit in ihrer Lage fixierte, einzelne
Lötglasschicht unter den dielektrischen Säulen so Glassäulen 40 mit den Kappen 42, wie F i g. 6 erdünn,
daß ihre Lichtundurchlässigkeit weitgehendst kennen läßt Über die frei liegende Oberfläche der
verringert ist und damit nicht mehr ins Gewicht fällt. Glassäulen 40 wird dann Fotowiderstandsmaterial
Das Verfahren zur Herstellung eines solchen Fest- 45 versprüht oder in anderer Weise aufgebracht. Dann
Stoffbildverstärkers zeichnet sich dadurch aus, daß wird eine perforierte Metallelektrode über die Kapwährend
der Befestigung der Säulen auf der Elektro- pen der Säulen gelegt und damit der Feststoffbildleuchtschicht
mit Hilfe der auf die Elektroleucht- verstärker fertiggestellt.This object is achieved in that the dielectric The other and previously unetched side 38 of the
Irish pillars on the electroluminescent layer by means of glass plate 30 is then exposed to the etching solution, so
attached to a layer of dark-colored solder glass so that the rear parts 32 and finally also the
the parts of the cover 36 that are thinner than 4 ° disappear under the respective column base,
is in the neighborhood of it. This creates the individual, fixed in their position
Solder glass layer under the dielectric pillars such as glass pillars 40 with caps 42, as shown in FIG. 6 thin,
that their opacity can be largely known about the exposed surface of the
is reduced and is therefore no longer relevant. Glass pillars 40 then become photoresist material
The process of making such a solid- 45 sprayed or otherwise applied. then
Fabric image intensifier is characterized by the fact that a perforated metal electrode is placed over the cape
the fastening of the pillars is placed on the electrodes of the pillars and thus the solid image luminous layer
finished with the help of the electric light amplifier.
schicht aufgetragenen Lötglasschicht auf die Säulen Selbstverständlich kann man bei richtiger Belichein
solcher Druck ausgeübt wird, daß ein Teil des 5° tung der lichtempfindlichen Platte 30 auch konische
Lötglases unter dem Säulenfuß verdrängt wird. Säulen in der gleichen Weise herstellen. Dies erfolgt
Vorzugsweise werden die Säulen aus einer be- beispielsweise dadurch, daß die Platte 30 unter einem
strahlten und in der Wärme behandelten Glasplatte geeigneten Winkel zur Strahlungsquelle gehalten und
selektiv teilweise ausgeätzt, worauf dann der die vor- während der Belichtung durch ein gitterförmiges oder
stehenden Säulenfüße aufweisende Glasplattenrest 55 durchlöchertes Negativ gedreht wird. Man kann auch
mit den vorstehenden Säulenfüßen auf die mit Lot- Säulen anderer Querschnittsformen herstellen, indem
glas überzogene Elektroleuchtschicht aufgesetzt und man ein entsprechendes Belichtungsgitter anwendet
unter Erwärmung der Anordnung auf den Glasplat- und entsprechend belichtet, so daß genau wie bei den
tenrest Druck ausgeübt wird, worauf der Glasplatten- bisher üblichen Verfahren, wie Sägen oder Schneirest
durch weiteres Ätzen beseitigt wird. 60 den, geradseitige Flächen hergestellt werden können.layer applied solder glass layer on the columns. Of course you can with correct exposure
such pressure is applied that part of the 5 ° direction of the photosensitive plate 30 is also conical
Soldering glass is displaced under the column base. Make columns in the same way. this happens
Preferably, the columns are made of one, for example, in that the plate 30 under a
radiated and heat-treated glass plate held at a suitable angle to the radiation source and
selectively partially etched out, whereupon the before during the exposure through a grid-shaped or
standing column feet having glass plate remnant 55 perforated negative is rotated. One can also
with the protruding column feet on those with solder columns of other cross-sectional shapes by
Glass-coated electroluminescent layer is placed on top and a corresponding exposure grid is used
while heating the arrangement on the glass plate and exposed accordingly, so that exactly as with the
tenrest pressure is exerted, whereupon the glass plate - previously common methods, such as sawing or snow remnants
is removed by further etching. 60 den, straight-sided surfaces can be produced.
In weiterer Ausbildung der Erfindung werden die
vorstehenden Säulenfüße vor dem Aufsetzen auf dieIn a further embodiment of the invention, the
protruding column feet before placing on the
Elektroleuchtschicht mit einem Überzug aus elek- Patentansprüche·
trisch leitendem Material überzogen. Der erfindungsgemäße Feststoffbildverstärker erfüllt also die Q5 Electrically luminous layer covered with a coating of electrically conductive material. The solid image intensifier according to the invention thus fulfills Q 5
an ihn gestellten Forderungen mit einem wesentlich 1. Feststoffbildverstärker, bestehend aus zweiRequirements placed on him with an essentially 1st solid image intensifier, consisting of two
einfacheren Aufbau als die bekannten Bildverstärker, zueinander im wesentlichen parallelen, durchsimpler structure than the known image intensifiers, essentially parallel to one another
und das Verfahren zu seiner Herstellung ist nicht dielektrische Säulen im Abstand gehaltene Elek-and the method of making it is non-dielectric pillars spaced elec-
troden, einer parallel zu den Elektroden und zwischen ihnen angeordneten Elektroleuchtschicht
und einem zwischen der Elektroleuchtschicht und einer der Elektroden angebrachten
strahlungsempfindlichen Material, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrischen
Säulen (40) auf der Elektroleuchtschicht (14) mittels einer Schicht (26) aus dunkelgefärbtem Lötglas
befestigt sind, das unter dem jeweiligen Säulenfuß dünner als in der Nachbarschaft davon
ist.troden, an electroluminescent layer arranged parallel to the electrodes and between them
and one attached between the electrofusion layer and one of the electrodes
radiation-sensitive material, characterized in that the dielectric
Pillars (40) on the electro-luminous layer (14) by means of a layer (26) made of dark-colored solder glass
are attached, which is thinner under the respective column base than in the vicinity of it
is.
2. Verfahren zur Herstellung eines Feststoffbildverstärkers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß während der Befestigung der Säulen (40) auf der Elektroleuchtschicht (14) mit
Hilfe der auf die Elektroleuchtschicht (14) aufgetragenen Lötglasschicht (26) auf die Säulen
(40) ein solcher Druck ausgeübt wird, daß ein Teil des Lötglases (26) unter den Säulenfuß verdrängt
wird.2. A method for producing a solid image intensifier according to claim 1, characterized in that
that during the fastening of the pillars (40) on the electric luminous layer (14) with
With the help of the soldering glass layer (26) applied to the electroluminescent layer (14) on the pillars
(40) such a pressure is exerted that part of the soldering glass (26) is displaced under the base of the column
will.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Säulen (40) aus einer bestrahlten
und in der Wärme behandelten Glasplatte (30) selektiv teilweise ausgeätzt werden,
dann der die vorstehenden Säulenfüße aufweisende Glasplattenrest mit den vorstehenden Säulenfüßen
auf die mit Lötglas (26) überzogene Elektroleuchtschicht (14) aufgesetzt und unter
Erwärmung der Anordnung auf den Glasplattenrest Druck ausgeübt wird, worauf der Glasplattenrest
durch weiteres Ätzen beseitigt wird.3. The method according to claim 2, characterized in that the columns (40) are selectively partially etched out of an irradiated and heat-treated glass plate (30), then the remainder of the glass plate having the protruding pillar feet with the protruding pillar feet onto the soldering glass (26 ) The coated electro-luminous layer (14) is placed and pressure is exerted on the remainder of the glass plate while heating the arrangement, whereupon the remainder of the glass plate is removed by further etching.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die vorstehenden Säulenfüße
vor dem Aufsetzen auf die Elektroleuchtschicht (14) mit einem Überzug (36) aus elektrisch leitendem
Material überzogen werden.4. The method according to claim 3, characterized in that the preceding column feet
with a coating (36) made of electrically conductive material before it is placed on the electro-luminous layer (14)
Material to be coated.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
1 sheet of drawings