DE762874C - Piezoelectric vibration generator - Google Patents

Piezoelectric vibration generator

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DE762874C
DE762874C DEK157572D DEK0157572D DE762874C DE 762874 C DE762874 C DE 762874C DE K157572 D DEK157572 D DE K157572D DE K0157572 D DEK0157572 D DE K0157572D DE 762874 C DE762874 C DE 762874C
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DE
Germany
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liquid
vibration generator
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quartz
piezoelectric vibration
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DEK157572D
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German (de)
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Rudolf Kuerth
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/02Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
    • H03H3/04Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient

Description

Piezoelektrischer Schwingungserzeuger Es isst bekannt, daß den zur Erzeugung des piezoelektrischen Effektes geeigneten. Kristallen die elektrische Energie durch dünne metallische Häute zugeführt wird, die auf die Kristalloberflächen aufgebracht werden durch Verdampfung der Metalle im Vakuum, durch Kathodenzerstäubung oder auf chemischem Wege. Die hauchdünnen Häute werden meist aus Silber, oder aus Gold hergestellt. Ihre Haltbarkeit auf den Kristalloberflächen ist beschränkt und wird immer begrenzt bleiben, weil die heftigen Druckwechselkräfte zwischen Quarzoberflächen und metallischem Überzug bei den Schwingungen in kolloidalen Größenordnungen auch bei bester Anhaftung des Metalls am: Quarz zu Lockerungen führen müssen. Für wissenschaftliche Untersuchungen genügen. die bisher bekannten Metallüberzüge; für den Dauerbetrieb in industriellen Verarbeitungsverfahren müssen andere Elektroden verwendet werden, die den ununterbrochenen Betrieb zuverlässig gewährleisten. Erwähnt sei ferner, daß für Sonderzwecke bereits ein piezoelektrischer Schwin- guIhs#:rz-@u--r U--kamit ist, dessen SchwIllg- körper aus inFlüssigkeit stispc-tidi2rten piezo:lektrisch wirksamen Teilchen besteht. Die Erfindung 1ietritt eilte besonders vor- teilhafte Ausbildung eine. piezo:lel;trisclieii Schwing ttngsel"zetlgers mit festem Schwing- körper und 1FestAt darin. dall der Schwin- gungserzeuger flüssig- oder während des Bt- triciles flüssig werdende Elektroden hat. Ani einfachsten wird der Scliwiiigtings°rzea#,rer nach der Erhnchm;- _o ausgebildet. daß die piezoelektrischen Kristalle, also meist Quarz- scheiben in den praktisch x.erU-endeten Durch- InesserIl his etwa 100 num in illlstge 2lli- trische Leiterrstcr Krass; (flüssige II°mlle) oder in flüssig: Leiter zweiter Krass: (Elek- trtyl@t=e1 :ingetaueht sind, wohei die beiden gitrelnt =einander z?i -°rregenden QLlarz- olerllächen durch :#iiien um d@ii Quarz geleg- ten Rahmei aus einem elektrischen \icht- Iester gctr::iiit ..-irden. -als Liter erster Klasse _._:112n nach der Erfindung flüssig-- _Lj@talle @-eri@-en(let wer@ieil. alsa z. E. (@itechill;e. ttiva auch die Metalle. die bei einen? I:Ie@@rI@_I `cliill:lzlltilll;t flüssig ,verden, wie z. DAj l@mt@t-D1eI-Zllln-LegiertlI)- gen Qlei 60= C r. E@`ismut-Kadmium-Bt@i- Legierungen (bei .1C1 C). Gallium (bei 30= Cl usf. Soweit die -Metalle nicht von -Natur au? flüssig sind. «-erden sie flüssig durch dis zu- geführte I@Iek@rische Wärme und flüssig er- halten zach dtii"cli die vonl schwingetlden Kristall (Quarz) @rzeag , @@är21?e. -Gis Leiter ze.-eitei" Krass: sollen nach der Erliiidttiig @le?;t?"_ i@: t2 aller Art )renatzt v-erdeIl, O3o oschmelzene oder auteells-e n falz-:, #-crClt?I221T; `i_nI"en und Bann. 11.n flüssigen Ir.@Talliscllell Elektroden wird die erforderliche Au:delunttug:mdglichkeit ge- währleistet durch Ausddnmngs- und Umlauf- gefäße Die Elektrolyt-o- tvet'CLIi I11 gleiclil)le111eiider L°itiä ItigIY.it erhalten durch L-mlaui durch Anreichz°talg:gefia'e. Durch die Ausdehnungs-. Ihnlauf- tuid _hin reicher ungsgefia.ie wird im Rahmen der Er- t!ndtlllg gletdmdt_g die beKgedgnete -i eal- peratur für die EIe';trod°n auEre;üterhalter. Hierzu können die 1` mlautgefaß° gekühlt oder Im gegebenen Falle erwärmt «-irden. In der Z#,IcliiitiIl" ist in Fig. 1 21I1 Aus- im (ju°2rschnitt und in zig. 2 ein zweIies in der SeitenatiskIn dargestellt. Der Quarz i ist in :in Gefäßingaa.ucht und durch :Inell Ra 11112e11 3 30 t1tIlSCllhl:@#eI3. daß der durch die ha)=A.l und Asen Lle';- tI'Oden ` und ;r zu°eItthrt2 Strom keine leitende Verlindung findet. Die Elektroden Ei und ki-znll°_a siel: nmli cien der den obereil Rand des Quarzes nach 8 und _) ausdehnen. _in Stellt des nach ,?l eIl Unten GefaGej WIlnetl auch besondere Gefäße üt.er Rohrleitungen zur Ausdehnung. Kühlung usw. @-ornesehetl werden. In Fig. -2 ist eine Rohrleitung io mit einem Gefäß i t und einer Rückleitung 1 2 an den Raum angeschlossen. der z. ß. den flüssigen Elektrolyt 6 aufnimmt. Im Raum i i reichert sich der Elektrolvt wieder mit dem Salz an. das ihm z. B. durch die ElektroiVse entzogen worden ist. Auf diese Weise l@leil@t die: e@ek- trische Leitfähigl;cit des Elel;troI@-ts gleich- artig und beständig. Der Raum i i Ire stellt aus einem Glasgefälb. in das rlt?rclli:iss;@@e Wan- dungen 13 eingesetzt sind. du'"' eine Salzfüllung angebracht ist. t).ei- Elek- tr013't muß von io durch 13 hach 1 2 fließen. Wie oben liesclirieireil, erfolgte bisher die Zuführung des elektrischen Stromes auf die )seiden Seitenflächen der Quarzschelle durch eine sehr dünne. mit dem Quarz @-@rl>widene Metallhaut. Die Erfindungsgestattet die An- wendung von leitenden Flächen weit @"i-iißereii Querschnittes und bedeutet daher insbesondere lies den hochfrequenten e1: ;trischen Energien, die den Quarzflachen zugefttlirt «-erden müssen, eitle weitere Verbess,#rull-Die vorgeschlagenen Leiter" erster Klasse «-erden durch die Beeinflussung im L'ltra- schallfelde noch besser geeignet für die Auf- galte, die sie als Elektroden erfüllen sollest. Die weiter vorgeschlag:nen Leiter zieeiter Klasse (Elektrolyte, gellen zu Anlagerungen auf den Seitenflächen des Quarzes Anlal.l. Diese Anlagerungen «-erden aber im Moment ihrer Entstellung «-feder ahgeschleud:rt und i!i dein Elel;trol@-t zerstäubt. Soweit gras- iF>rinig''i Ausscheidungren aus dein laektrolyt Vrfolgen. u:ird durch Offenhaltung des (;r- fäßes 2 der _llyzuo der Gase ermiglicht. Die Stromzuführungen-1 und 3 sind nicht unmit- telhar neben oder auf den Scittnflächen des Quarzes i angeordnet, damit flicht feine Gas- l,läschen ztl Rückwirkungen atii die Quarz- scheibe Anlaß gehen h#iiiii,_il. Die Zuführung du elektrischen Ener«ic 1:2i der Anordnung nach der Erlindun- j, wirkt eiii sehr dichtes und i112Iig _ hUriilii-cii I- der breiderseitigeil iI,-#tp,den illiT`d.nI Quarz. I)ie Derührtmg ist dabei @-olll;@ Ammen gleich- mäßig. Das Hait%-erinßgen zwislhtli Quarz- 'Eichen und flüssigen Elektroden IAeilrt trotz der Eigenschccingun<@endes ()Harzes aufr@cht- erhalten. Die Chertragung der @-on !Lti (7uarz@ach:il ahgestralllten Energien _rf,-)Igt @,illle Verhistc#. Das Gefäß 2 aus Glas is,Aiert das Aggregat. Die Anwendung des üblichen haratlitl- (1(12r' "I`ransformatorendles ist nicht rl@iti-g. Bekanntlich betragen die @-on l@i@z@:elek- trischen Quarzen abgestr aliItn Leistungen 1i2 i lsl@ll@i"ieI3_@Ilr}relnllIie@lnichrüher re)`@@cr11=. Geggenüber der zugeführten elektrischen Energie ist mithin die Ausbeute aus dem gesamten Röhrenultraschallgenerator gering. Für das Schwingen und die Energieausbeute aus den Onarzen sind maßgebend die Eigenschaften der Eeilektroden und ihre Anbringung, dann weiter die! Halterung der Quarze.Piezoelectric vibration generator It is known that those suitable for generating the piezoelectric effect. Crystals are supplied with electrical energy through thin metallic skins, which are applied to the crystal surfaces by evaporation of the metals in a vacuum, by cathode sputtering or by chemical means. The wafer-thin skins are mostly made of silver or gold. Their durability on the crystal surfaces is limited and will always remain limited, because the violent pressure alternation forces between the quartz surfaces and the metallic coating with the vibrations in colloidal magnitudes must lead to loosening even with the best possible adhesion of the metal to the quartz. Sufficient for scientific research. the previously known metal coatings; For continuous operation in industrial processing methods, other electrodes must be used that reliably guarantee uninterrupted operation. It should also be mentioned that a piezoelectric vibration guIhs #: rz- @ u - r U - kamit, whose swell- body made from inLiquid stispc-tidi2rten piezo: electrically active particles. The invention advanced particularly quickly. partial training a. piezo: lel; trisclieii Oscillating ttngsel "zetlgers with fixed oscillating BODY AND FESTIVAL IN IT. dall the swin generation of liquid or during the Bt triciles has liquid electrodes. Ani The simplest is the Scliwiiigtings ° rzea #, rer after the Erhnchm; - _o trained. that the piezoelectric crystals, i.e. mostly quartz discs in the practically x.erU-ended InesserIl to about 100 num in illlstge 2lli- tric ladder rack crass; (liquid II ° mlle) or in liquid: Conductor second Krass: (elec- trtyl @ t = e1: where the two are thawed gitrelnt = one another z? i - ° exciting QLlarz- oil surfaces through: #iiien um d @ ii quartz th frame from an electric \ icht- Iester gctr :: iiit ..- earthen. -as liter first class _._: 112n after the Invention liquid-- _Lj @ talle @ -eri @ -en (let wer @ ieil. alsa z. E. (@itechill; e. Ttiva also the metals. those at one? I: Ie @@ rI @ _I `cliill: lzlltilll; t liquid , verden, such as DAj l @ mt @ t-D1eI-Zllln-Alloy) - gen Qlei 60 = C r. E @ `ismut-cadmium-Bt @ i- Alloys (at .1C1 C). Gallium (at 30 = Cl etc. As far as the metals are not of nature? are liquid. «-Ground liquid by dis- guided I @ Iek @ ric heat and liquid hold zach dtii "cli die vonl schwingetlden Crystal (quartz) @rzeag, @@ är21? E. -Gis head ze.-eitei "Krass: should after the Erliiidttiig @le?; T? "_ I @: t2 of all kinds) renatzt v-erdeIl, O3o oschmelzene or auteells-e n fold- :, # -crClt? I221T; `i_nI" en and spell. 11.n liquid Ir. @ Talliscllell electrodes will the necessary excitement: possibility ensures through expansion and circulation vessels The electrolyte o- tvet'CLIi I11 gleiclil) le111eiider L ° itiä ItigIY.it received by L-mlaui by Enrichment sebum: gefia'e. By the expansion. Ihnlauf- tuid _hin reicher ungsgefia.ie is part of the t! ndtlllg gletdmdt_g die kgedgnete -i eal- temperature for the EI '; trod ° n AuEre; keeper. For this purpose, the 1` mlaut container ° can be cooled or If necessary, be warmed up. In the Z #, IcliiitiIl "is in Fig. 1 21I1 Aus in (ju ° 2rschnitt and in umpteen 2 a second is shown in the page table. The quartz i is in: in Gefäßingaa.ucht and by: Inell Ra 11112e11 3 30 t1tIlSCllhl: @ # eI3. that the through the ha) = Al and Asen Lle '; - tI'Oden `and ; r zu ° eItthrt2 Strom not conductive Finds connection. The electrodes Ei and ki-znll ° _a siel: nmli cien of the upper edge of the quartz according to 8 and _). _in Adjusts that,? L eIl Below GefaGej WIlnetl also special vessels above pipelines for expansion. Cooling etc. @ -ornesehetl will. In Fig. -2 is a pipeline io with a Vessel it and a return line 1 2 to the Room connected. the z. ß. the liquid Electrolyte 6 absorbs. Enriches in room ii the Elektrolvt again with the salt. that z. B. withdrawn by ElektroiVse has been. In this way l @ leil @ t die: e @ ek- tric conductivity; cit des Elel; troI @ -ts equal- good and steady. The room ii Ire exhibits a glass vial. in the rlt? rclli: iss; @@ e Wan- applications 13 are used. you'"' a salt filling is attached. t) .ei- elec- tr013't must flow from io through 13 hach 1 2. As readclirieireil above, the Feeding the electric current to the ) silk the side surfaces of the quartz bell a very thin one. with the quartz @ - @ rl> widene Metal skin. The invention permits the use of conductive surfaces far @ "i-iißereii Cross-section and therefore means in particular read the high frequency e1:; tric energies, which are filled "- earthed to the quartz surfaces must, vain further improvement, # rull-The proposed ladder "first class «-Earth by influencing the L'ltra- sound fields even better suited for that they should fulfill as electrodes. The further proposed: a leader timed out Class (electrolytes, like deposits on the side surfaces of the quartz Anlal.l. But these deposits «-ground at the moment their distortion "-spring ahgeschleud: rt and i! i your Elel; trol @ -t atomized. As far as grass iF>rinig''i excretion from your laektrolyte Follow. u: ird by keeping the (; r- vessel 2 of the _llyzuo of the gases. the Power leads 1 and 3 are not immediately telhar next to or on the interface of the Quartz i arranged so that fine gas- l, ztl repercussions atii cancel the quartz disk occasion go h # iiiii, _il. The supply of electrical energy 1: 2i of the arrangement according to the invention, looks eiii very dense and i112Iig _ hUriilii-cii I- the broader side part iI, - # tp, the illiT`d.nI quartz. I) the derivation is @ -olll; @ wet nurses equal- moderate. The oil contains two quartz 'Oaks and liquid electrodes IAeilrt despite E igenschccingun <@endes () resin AUFR @ CHT obtain. The transmission of the @ -on! Lti (7uarz @ ach: il ahgestalllten energies _rf, -) Igt @, illle Verhistc #. The vessel 2 made of glass is the unit. The application of the usual haratlitl- (1 (12r ' "I`ransformatorendles is not rl @ iti-g. It is well known that the @ -on l @ i @ z @: elec- tric crystals stripped aliItn powers 1i2 i lsl @ ll @ i "ieI3_ @ Ilr} relnllIie @ lnichrüher re)` @@ cr11 =. Compared to the electrical energy supplied, the yield from the entire tube ultrasonic generator is low. The properties of the electrodes and their attachment are decisive for the oscillation and the energy yield from the Onarzes, then the! Holder of the crystals.

Die in der Zeichnung dargestellte Halterung bringt den weiteren Vorteil, daß Inselbiadungen auf den Quarzflächen als Folge ungleichmäßiger elektrischer Erregung vermieden werden, ebenso Verzerrungen des Quarzes in seinen Randge@hieten. Die anzustrebende kolbenförmige Schwingung der Quarzplatte wird nahezu erreicht. Bcnachbarte Oberflächenelemente des Quarzes werden gleichmäßig von den flüssigen Elektroden bedeckt und umschlossen, ein Zustand, der bei metallischen Niederschlägen als Elektroden bisher nicht erreicht werden konnte. Denn es ist zu berücksichtigen, däß eine ultrarnikroskopische Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Ouarzol),-,rfläche praktisch nicht erreicht werden kann und auch nicht einmal #,rwünscli.t ist, weil erfahrungsgemäß ein nur geIschliffener Quarz eine bessere Verhaftung mit einem metallischen Xiederschlag bietet, als ein feinstpolierter Quarz. Bekanntlich ist auch die Differenz zwischen der wirklichen Oberfläche des Quarzes und der siclitba:mn Oherfläche eine erhebliche, schon infolge der naturgegebenen Zerklüftungen zwischen den ,An en die Ouarz@scheil>e aufbauenden Kristallen. Die Folge dieser Oberflächenverhältnisse ist bisher eine nur rohe Gleichi na äßigk cit in der Berührung der Ou.arzflächen durch die den. Strom zuführenden, Elektroden. die Unisymmetrien der Kristallplatten oder des elektrischen Feldes, die zum Teil die Ursachen darstellen für eine geringe Schallleistung der Quarze, «erden durch die Erfindung ausgeschaltet.The bracket shown in the drawing has the further advantage of that island charges on the quartz surfaces as a result of uneven electrical excitation can be avoided, as well as distortions of the quartz in its peripheral areas. The one to strive for piston-shaped oscillation of the quartz plate is almost achieved. Adjacent surface elements of the quartz are evenly covered and enclosed by the liquid electrodes, a state that has not yet been achieved with metallic precipitates as electrodes could be. Because it must be taken into account that an ultra-microscopic uniformity and flatness of the ouarzol), -, r surface can and also practically not be achieved not even #, rwünscli.t, because experience has shown that quartz is only ground offers better adhesion to a metallic deposit than a finely polished one Quartz. It is well known that the difference between the real surface of the Quartz and the siclitba: mn outer surface a considerable, if only as a result of the nature given Fissures between the, An en die Ouarz @ scheil> e building crystals. the A consequence of these surface conditions is so far only a raw Gleichi na äßigk cit in the contact of the Ou.arzflächen by the. Current supplying electrodes. the unisymmetries of the crystal plates or the electric field, which in part represent the causes for a low sound power of the quartz, «ground through the invention turned off.

Claims (1)

PATENTANSPRÜCHE: z. Piezaelektrischer Schwingungserzeuger mit festem Schwingkörper, gekennzeichnet durch flüssige oder während des Betriebes flüssig werdende Elektroden. a. Schwingungserzeuger nach Anspruch i, gekennzeichnet durch einen den 'Schwingkörper umfassenden und die: flüssigen Elektroden voneinander trennenden Rahmen (3) aus einem elektrisch nichtleitenden Stoff. 3. Schwingungserzeuger nach den Ansprüchen r und 2, gekennzeichnet durch einen Hilfsraum (8, 9) oder ein Hilfsgefäß@ (i i) für die Ausdehnung, Regenerierung, Temperaturbecinflus:sting usf. der flüssigen Elektroden (des Elektrolyts, flüssigen oder flüssig werdenden Metalls usf.). d.. Schw ingungserzeuger nach den Ansprüchen i Iris 3, gekennzeichnet durch. :@usdelinuaigsgefäße u. dgl. mit eingehängter Trennwand (13) zum Durchströmen des flüssigen Elel;trolvts. ZurAbgrenzun.g des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen «-orden: Deutsche Patentschriften N r. .13; 998, 457 89o, 610 300.PATENT CLAIMS: e.g. Pieza-electric vibration generator with fixed Vibrating body, characterized by liquid or liquid during operation nascent electrodes. a. Vibration generator according to claim i, characterized by one encompassing the oscillating body and separating the liquid electrodes from one another Frame (3) made from an electrically non-conductive material. 3. Vibration generator after claims r and 2, characterized by an auxiliary space (8, 9) or an auxiliary vessel @ (i i) for the expansion, regeneration, temperature influence: sting etc. of the liquid Electrodes (of the electrolyte, liquid or molten metal, etc.). d .. Vibration generator according to claims i Iris 3, characterized by. : @ usdelinuaigsgefäß and the like with a suspended partition (13) for the liquid Elel to flow through. To delimit the subject matter of the invention from the state of the art, the granting procedure the following publications considered "order: German Patent Specifications N r. .13; 998, 457 89o, 610 300.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6249076B1 (en) * 1998-04-14 2001-06-19 Massachusetts Institute Of Technology Conducting polymer actuator

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US457890A (en) * 1891-08-18 Car-coupling
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DE435998C (en) * 1925-07-14 1926-10-22 Gen Electric Piezo-electric vibration generator

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