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TECHNISCHES GEBIET
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Infratorsensor und
auf ein kontaktloses Thermometer, die eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
verwenden.
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STAND DER TECHNIK
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Ein
optischer Modulator moduliert die Intensität des auftreffenden Lichts
und gibt es aus. Als herkömmliches
Beispiel gibt es einen optischen Modulator, der im
US-Patent
Nr. 5.311.360 und in einem Artikel "Deformable Grating Optical Modulator" (Optics Letters,
Bd. 17, Nr. 9, 1. Mai 1992) von O. Solgaard u. a. beschrieben ist.
Dieser optische Modulator moduliert die Intensität des Lichtes unter Nutzung
der Beugungswirkung des Lichtes, wobei er den Vorteil besitzt, dass
er miniaturisiert ist und in Massenfertigung in einem IC-Prozess
hergestellt wird.
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24(a) ist eine Draufsicht eines optischen Modulators,
der in dem oben erwähnten
US-Patent und in dem obigen Artikel beschrieben ist, während 24(b) eine Querschnittsansicht längs einer
Linie K-K' in 24(a) ist.
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Der
optische Modulator enthält
ein Siliciumsubstrat 1001, eine Abstandshalterschicht 1002,
die aus einer Siliciumoxidschicht hergestellt ist, die in einem
Randbereich des Siliciumsubstrats 1001 ausgebildet ist,
und eine dielektrische Schicht 1003. Die dielektrische
Schicht 1003 ist mit einem Muster mit mehreren sehr kleinen
dielektrischen Balken 1004 versehen, wobei die dielektrischen
Balken 1004 in einem Hohlraum schweben, wobei beide Enden
durch die Abstandshalterschicht 1002 unterstützt sind.
Die dielektrische Schicht 1003 ist aus einer im Silicium angereicherten
Siliciumnitridschicht hergestellt, wobei ihre Restspannung auf etwa
200 MPa verringert ist. Die Dicken der Abstandshalterschicht 1002 und der
dielektrischen Schicht 1003 sind so eingestellt, dass sie
gleich 1/4 einer Wellenlänge
des Lichtes sind, dessen Leistung zu steuern ist, d. h. des Lichtes,
das auf den optischen Modulator auftrifft.
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Die Öffnungen 1005,
die jede eine Breite besitzen, die gleich der jedes dielektrischen
Balkens 1004 ist, sind zwischen den dielektrischen Balken 1004 ausgebildet.
Darüber
hinaus ist über
dem Substrat 1001 eine reflektierende Al-Schicht 1006 vorgesehen,
die darüber
hinaus als eine Elektrode dient. Die reflektierende Schicht 1006 besteht
aus den oberen reflektierenden Schichten 1007, die auf
den Oberflächen
der dielektrische Balken 1004 ausgebildet sind, und den
unteren reflektierenden Schichten 1008, die durch die Öffnungen 1005 auf
der Oberfläche
des Substrats 1001 ausgebildet sind. Die oberen reflektierenden
Schichten 1007 und die unteren reflektierenden Schichten 1008 bilden
ein Gitter des Reflexionstyps.
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Das
Prinzip der optischen Modulation eines herkömmlichen optischen Modulators
mit der oben erwähnten
Struktur wird anhand von 25(a) und (b)
beschrieben. In diesen Figuren sind die Komponenten, die zu denjenigen
in 24 völlig
gleich sind, mit Bezugszeichen bezeichnet, die zu denjenigen in 24 völlig gleich
sind, wobei ihre Beschreibung weggelassen ist.
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25(a) zeigt einen Zustand, in dem zwischen
der reflektierenden Schicht 1006 und dem Substrat 1001 keine
Spannung angelegt ist. Zu diesem Zeitpunkt beträgt der Stufenunterschied zwischen
den oberen reflektierenden Schichten 1007 und den unteren
reflektierenden Schichten 1008 1/2 einer Wellenlänge des
auftreffenden Lichts, wobei der Gangunterschied zwischen dem von
den oberen reflektierenden Schichten 1007 reflektierten
Licht und dem von den unteren reflektierenden Schichten 1008 reflektierten
Licht eine Wellenlänge
beträgt.
Daher stimmen die Phasen dieser Lichtstrahlen überein. Folglich arbeitet das
Gitter des Reflexionstyps in Bezug auf das auftreffende Licht 1010,
das auf das Gitter auftrifft, als ein normaler Spiegel, wobei das
auftreffende Licht 1010 das gebeugte Licht 1011 nullter Ordnung
wird, das auf eine Auftreffseite zu reflektieren ist.
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Andererseits
bilden unter der Bedingung, dass zwischen der reflektierenden Schicht 1006 und dem
Substrat 1001 eine Spannung angelegt ist, die reflektierende
Schicht 1006 und das Substrat 1001 einen Kondensator,
wobei zwischen ihnen die dielektrische Schicht 1003 und
eine Luftschicht 1012 liegen, wobei die reflektierende
Schicht 1006 positiv geladen ist, während das Substrat 1001 negativ
geladen ist. Da zwischen den Ladungen eine elektrostatische Anziehungskraft
wirkt, werden die dielektrischen Balken 1004 gebogen und
zum Substrat 1001 angezogen, bis sie mit dem Substrat 1001,
wie in 25(b) gezeigt ist, in Kontakt
gelangen. Zu diesem Zeitpunkt wird der Stufenunterschied zwischen den
Oberflächen
der oberen reflektierenden Schichten 1007 und denjenigen
der unteren reflektierenden Schichten 1008 1/4 einer Wellenlänge des
auftreffenden Lichts, wobei der Gangunterschied zwischen dem von
den Oberflächen
der oberen reflektierenden Schichten 1007 reflektierten
Licht und dem von den Oberflächen
der unteren reflektierenden Schichten 1008 reflektierten
Licht 1/2 Wellenlänge
im Hin- und Rücklauf
wird, wodurch die Phasen zwischen diesen Lichtstrahlen um eine halbe
Wellenlänge
verschoben werden. Folglich heben das von der oberen reflektierenden
Schicht 1007 reflektierte Licht und das von der unteren
reflektierenden Schicht 1008 reflektierte Licht einander
auf, um das gebeugte Licht nullter Ordnung zu beseitigen, wobei
das gebeugte Licht, das vom gebeugten Licht nullter Ordnung verschieden
ist, ausgegeben wird. Zu diesem Zeitpunkt werden z. B. die gebeugten
Lichtstrahlen 1013a bzw. 1013b ±1. Ordnung
mit einer Beugungsleistung von 41 % erzeugt. Wie oben beschrieben
worden ist, kann der optische Modulator das auftreffende Licht modulieren,
indem eine an die reflektierende Schicht 1006 und das Substrat 1001 angelegte
Spannung ein-/ausgeschaltet wird.
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Der
oben erwähnte
herkömmliche
optische Modulator moduliert jedoch das auftreffende Licht mit einem
Strahldurchmesser höchstens
mit einer Größe des Gitters.
Folglich ist es erforderlich, die Größe des Gitters zu vergrößern, um
auftreffendes Licht mit einem großen Durchmesser zu modulieren.
Wenn jedoch die Größe des Gitters
vergrößert wird,
ist es wahrscheinlich, dass das Gitter während des Schritts des Schwebens
des Gitters um eine halbe Wellenlänge am Siliciumsubstrat 1001 anhaftet.
Daher ist es schwierig gewesen, einen derartigen herkömmlichen optischen
Modulator mit einer guten Ausbeute herzustellen.
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Die
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung eines Infratorsensors
und eines kontaktlosen Thermometers, die eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
verwenden, wobei die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung eine gleichförmige Beugungswirkung
erhalten kann.
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OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
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Ein
Infratorsensor und ein kontaktloses Thermometer der vorliegenden
Erfindung sind in den unabhängigen
Ansprüchen
definiert.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
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1 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines optischen Modulators in Ausführungsform
1 zeigt, (a) ist eine von einer unteren Oberfläche gesehene perspektivische
Ansicht und (b) ist eine Seitenansicht.
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2 ist
eine Querschnittsansicht längs
einer Linie A-A' 1.
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3 zeigt
ein Beispiel elliptischer Mikrolinsen des Beugungstyps: (a) ist
eine Draufsicht und (b) ist eine Querschnittsansicht einer der Mikrolinsen
in (a).
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4 veranschaulicht
die Schritte der Fertigung einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in der Ausführungsform
1.
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5 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines optischen Modulators zeigt,
der einen beweglichen Spiegel als eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
verwendet.
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6 ist
eine von einer unteren Oberfläche gesehene
perspektivische Ansicht, die eine Struktur des optischen Modulators
in der Ausführungsform
2 zeigt.
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7 ist
eine perspektivische Ansicht, die eine Struktur eines Infrarotsensors
zeigt, der die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung in Ausführungsform
3 der vorliegenden Erfindung verwendet.
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8 ist
eine Seitenansicht des Infrarotsensors in 7.
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9 ist
eine Draufsicht einer Linse des Infrarotsensors in 7.
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10 ist
eine Ansicht, die ein Beispiel einer Lichtfleckform auf einem pyroelektrischen
Element zeigt: (a) zeigt den Fall, dass das auftreffende Licht unter
Verwendung einer herkömmlichen
kreisförmigen
Linse auf das pyroelektrische Element fokussiert wird und (b) zeigt
den Fall, dass eine Linse die Form eines Rechtecks hat.
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11 zeigt
eine Struktur einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung in Ausführungsform
3: (a) ist eine Draufsicht und (b) eine Querschnittsansicht längs einer
Linie B-B' in (a).
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12 veranschaulicht
die Schritte der Fertigung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in 11.
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13 veranschaulicht
eine Operation der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung in 11.
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14 ist
eine Ansicht, die eine Struktur einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in Ausführungsform
4 zeigt: (a) ist eine Draufsicht und (b) eine Querschnittsansicht
längs einer
Linie E-E' in (a).
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15 zeigt
eine Struktur einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung in Ausführungsform
5: (a) ist eine Draufsicht und (b) ist eine Querschnittsansicht
längs einer
Linie F-F' in (a).
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16 veranschaulicht
die Schritte der Fertigung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in 15.
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17 veranschaulicht
eine Operation der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung in 15.
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18 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines Infrarotsensors in Ausführungsform
6 der vorliegenden Erfindung zeigt: (a) ist eine Seitenansicht und (b)
ist eine Ansicht in einer -x-Richtung von einer Ebene, die parallel
zu einer y-z-Ebene ist und eine Linie G-G' enthält.
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19 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines Infrarotsensors in Ausführungsform
7 der vorliegenden Erfindung zeigt.
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20 ist
eine Ansicht, die eine Struktur einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung
in dem Infrarotsensor in 19 zeigt:
(a) ist eine Draufsicht, (b) ist eine Querschnittsansicht längs einer
Linie H-H' in (a)
und (c) ist eine Querschnittsansicht längs einer Linie I-I' in (a).
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21 ist
eine Ansicht, die eine Struktur von Mitteln zum Messen einer zweidimensionalen
Intensitätsverteilung
einer Lichtquelle (Wärmequelle)
unter Verwendung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung
in Ausführungsform
7 zeigt.
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22 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines Infrarotsensors in Ausführungsform
8 der vorliegenden Erfindung zeigt: (a) ist eine Seitenansicht und (b)
ist eine Ansicht in einer -x-Richtung gesehen von einer Ebene, die
parallel zu einer y-z-Ebene ist und eine Linie J-J' enthält.
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23 ist
eine Querschnittsansicht, die eine Struktur eines kontaktlosen Thermometers
in Ausführungsform
9 der vorliegenden Erfindung zeigt.
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24 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines herkömmlichen optischen Modulators
zeigt: (a) ist eine Draufsicht und (b) ist eine Querschnittsansicht
längs einer
Linie K-K' in (a).
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25 veranschaulicht
das Prinzip der optischen Modulation eines herkömmlichen optischen Modulators.
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26 ist
eine Draufsicht einer Matrix aus elliptischen Mikrolinsen des Beugungstyps.
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27 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines optischen Modulators zeigt,
der eine Matrix aus beweglichen Spiegeln verwendet.
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DIE BESTE AUSFÜHRUNGSART
DER ERFINDUNG
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(Ausführungsform
1)
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1(a) und 1(b) sind
eine von einer unteren Oberfläche
gesehene perspektivische Ansicht, die eine Struktur eines optischen
Modulators in der Ausführungsform
1 zeigt, und eine Seitenansicht davon, wobei 2 eine Querschnittsansicht
längs einer
Linie A-A' in 1 ist.
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Im
optischen Modulator der vorliegenden Ausführungsform sind, wie in 1 gezeigt
ist, eine Mikrolinse 3a als erstes Fokussierungsmittel
und eine Mikrolinse 3b als zweites Fokussierungsmittel auf
einer ersten Oberfläche
ausgebildet, die eine Oberfläche
eines lichtdurchlässigen
Substrats 1 ist, das aus Glas oder dergleichen hergestellt
ist und eine Dicke von z. B. 2 mm aufweist. Die Mikrolinsen 3a und 3b sind
einander benachbart vorgesehen, wobei sie eine völlig gleiche Form besitzen.
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Eine
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 des Reflexionstyps
ist auf einer zweiten Oberfläche ausgebildet,
die der ersten Oberfläche
des lichtdurchlässigen
Substrats 1 gegenüberliegt.
Die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 ist mit ihrer
Mitte an einem Kreuzungspunkt einer vertikalen Linie zu der Ebene
(der ersten Oberfläche),
in der die Linsen ausgebildet sind, die sich von der Mitte einer
Geraden, die die Mitte der Linse 3a mit der Mitte der Linse 3b verbindet,
erstreckt, und der Ebene (der zweiten Oberfläche), in der die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 ausgebildet
ist, angeordnet vorgesehen. Mit anderen Worten, in der vorliegenden
Ausführungsform
ist die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 genau unter
dem Mittelpunkt zwischen den Mikrolinsen 3a und 3b angeordnet.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
wurden kreisförmige
Linsen mit einer Öffnung
von 1 mm als die Mikrolinsen 3a und 3b verwendet.
Derartige kreisförmige
Linsen können
durch irgendein Verfahren hergestellt werden. In der vorliegenden
Ausführungsform
wird ein Substrat 1 mit einem Resist beschichtet, wird
das Substrat 1 bei einer Erweichungstemperatur des Resists
oder höher
erwärmt,
um das Fließen
des Resists zu verursachen, und wird der Resist durch die Oberflächenspannung
in eine Bergstruktur geformt.
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Obwohl
in der vorliegenden Ausführungsform
kreisförmige
Mikrolinsen verwendet werden, ist die Form der Mikrolinsen nicht
darauf eingeschränkt. Es
können
z. B. rechtwinklige oder elliptische Linsen verwendet werden. Darüber hinaus
kann eine Mikrolinse des Beugungstyps oder eine asphärische Linse durch
einen Halbleiterprozess wie etwa Photolithographie, Ätzen und
Abscheidung hergestellt werden. 3(a) ist
eine Draufsicht, die ein Beispiel elliptischer Mikrolinsen des Beugungstyps
zeigt. 3(b) ist eine Querschnittsansicht
längs einer
x-z-Ebene einer Mikrolinse in 3(a).
Eine Mikrolinse des Beugungstyps mit einer Binär-/Mehrfachebenen-Struktur in
der Form von Stufen im Querschnitt, wie in 3(b) gezeigt
ist, kann durch wiederholte Photolithographie, wiederholtes Ätzen/wiederholte
Abscheidung dünner
Schichten, was in einem normalen Halbleiterprozess verwendet wird,
in Massenfertigung hergestellt werden. Daher können Mikrolinsen erhalten werden,
die eine hervorragende Produktivität in der Massenfertigung und
eine hervorragende Fertigungsgenauigkeit besitzen.
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Das
auftreffende Licht 4 mit einem Strahldurchmesser von 0,9
mm trifft z. B. auf die Mikrolinse 3a auf, sodass eine
optische Achse des auftreffenden Lichts 4 einen Winkel θ1 (z. B.
20,2°) in
Bezug auf die in 1(b) gezeigte Richtung
der z-Achse aufweist,
bewegt sich durch das Substrat 1, während seine optische Achse
einen Auftreffwinkel θ (z.
B. 13,3°)
aufweist, und wird auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 fokussiert.
Hier wird das auftreffende Licht 4 reflektiert (Reflexionswinkel θ: z. B.
13,3°),
durch die Mikrolinse 3b kollimiert und als das ausgehende
Licht 5 ausgegeben, wobei die optische Achse einen Ausgangswinkel θ1 (z. B.
20,2°) aufweist.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
ist ein lichtabsorbierendes Element 6 in einem Bereich
der Oberfläche
des lichtdurchlässigen
Substrats 1 vorgesehen, der von den Bereichen, in denen
die Mikrolinsen 3a und 3b und die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 ausgebildet
sind, verschieden ist. Das lichtabsorbierende Element 6 wurde
erzeugt, indem eine Schicht, die eine lichtabsorbierende Funktion
in Bezug auf eine Wellenlänge
des auftreffenden Lichts besitzt, Z. B. eine mit einem Polymer wie
etwa Polyimid und PMMA gemischte Kohlenstoff- oder Phthalocyanin-Verbindung,
beschichtet wurde. Die Struktur und das Verfahren für die Fertigung
des lichtabsorbierenden Elements 6 sind jedoch nicht darauf
eingeschränkt.
Das lichtabsorbierende Element 6 kann durch Aufdampfen
einer organischen Schicht eines Pigments oder dergleichen ausgebildet
werden, die eine lichtabsorbierende Wirkung in Bezug auf eine Wellenlänge des
auftreffenden Lichts besitzt. Ein derartiges lichtabsorbierendes
Element 6 besitzt die Wirkung, das Streulicht im Substrat 1 und
vom Äußeren des
Substrats 1 zu beseitigen und den Rauschabstand des ausgehenden
Lichts 5 zu verbessern.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
ist das lichtabsorbierende Element 6 darüber hinaus
an dem Umfang der Mikrolinsen 3a und 3b vorgesehen.
Eine derartige Struktur besitzt den Vorteil, dass nur zugelassen
wird, dass die Bereiche mit zufriedenstellenden Linseneigenschaften
als das erste und zweite Fokussierungsmittel verwendet werden, ohne
den Umfang der Mikrolinsen zu verwenden, wo sich die Linseneigenschaften
wegen der Oberflächenspannung
in Bezug auf das Substrat 1 im Allgemeinen wahrscheinlich
verschlechtern.
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Die
ebene Struktur der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 ist
in 1(a) als eine perspektivische Ansicht
gezeigt, wobei die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 z.
B. eine Größe von 100 μm × 100 μm aufweist.
Im Folgenden werden anhand der 2 und 4 die
Struktur und die Fertigungsschritte der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 beschrieben.
In der folgenden Beschreibung der Struktur der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 wird
die Struktur beschrieben, wie sie von der Rückseite (der zweiten Oberfläche) das
Substrat 1 gesehen wird, wobei daher die vertikale Beziehung zu
der in 2 entgegengesetzt ist.
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Zuerst
werden, wie in 4(a) gezeigt ist, eine
lichtdurchlässige
leitende Schicht 7, die als eine erste Elektrode dient,
und eine reflektierende Schicht 8 in dieser Reihenfolge
auf der Oberfläche
des lichtdurchlässigen
Substrats 1 ausgebildet. In der vorliegenden Ausführungsform
wird ein Glassubstrat mit einer Dicke von 2 mm als das Substrat 1 verwendet, wird
eine ITO-Schicht mit einer Dicke von 500 Å auf dem Substrat 1 als
die lichtdurchlässige
leitende Schicht 7 ausgebildet und wird eine Al-Schicht
mit einer Dicke von z. B. 4000 Å als
die reflektierende Schicht 8 ausgebildet.
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Danach
wird eine (nicht gezeigte) Resistmaske auf der reflektierenden Schicht 8 ausgebildet, wobei
die reflektierende Schicht 8 durch Ätzen mit einem Muster mit einer
geeigneten Form versehen wird, wodurch ein erstes Gitter 8a ausgebildet
wird, wie in 4(b) gezeigt ist. Danach
wird, wie in 4(c) gezeigt ist, eine
isolierende Schicht 9 mit einer Dicke von L2 ausgebildet,
um das Gitter 8a abzudecken. In der vorliegenden Ausführungsform
wurde eine SiO2-Schicht mit einer Dicke
von 0,086 μm
als die isolierende Schicht 9 ausgebildet. Die isolierende Schicht 9 wird
verwendet, um einen Kurzschluss zwischen dem ersten Gitter 8a und
dem zweiten Gitter 8b, das später beschrieben wird, zu verhindern.
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Darüber hinaus
werden eine Opferschicht 10 und eine reflektierende Schicht 8' ausgebildet,
wie in den 4(d) und 4(e) gezeigt
ist. In der vorliegenden Ausführungsform
wurden eine Polyimid-Schicht mit einer Dicke von 0,3 μm als die
Opferschicht 10 und eine Al-Schicht mit einer Dicke von
z. B. 4000 Å als die
reflektierende Schicht 8' ausgebildet.
Die Opferschicht 10 dient als eine Abstandshalterschicht.
Danach wird eine (nicht gezeigte) Resistmaske auf der reflektierenden
Schicht 8' ausgebildet,
wobei die reflektierende Schicht 8' durch Ätzen mit einem Muster mit einer
geeigneten Form versehen wird, wodurch ein zweites Gitter 8b,
das als eine zweite Elektrode dient, und eine Elektrode 8c ausgebildet
werden, wie in 4(f) gezeigt ist. Das
zweite Gitter 8b ist als mehrere Balken ausgebildet, deren
beide Enden auf der Opferschicht (der Abstandshalterschicht) 10 unterstützt und
mit der Elektrode 8c elektrisch verbunden sind. Schließlich wird
die Opferschicht 10 entfernt. Dies erlaubt, dass ein Raum
mit einem Abstand L3 zwischen dem zweiten
Gitter 8b und der isolierenden Schicht 9 ausgebildet
wird.
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Wenn
zwischen der ersten Elektrode 7 und der zweiten Elektrode 8b eine
Spannung angelegt wird, kommt das zweite Gitter 8b durch
die elektrostatische Kraft mit der SiO2-Schicht 9 in
Kontakt. Im Ergebnis ändert
sich der Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Gitter 8a und 8b.
Dies ermöglicht
sogar, dass die Ausgangsleistung des auftreffenden Lichts von der
Seite des Substrats 1 gesteuert wird.
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Eine
Dicke L2 der SiO2-Schicht 9 und
ein Abstand L3 im Raum zwischen dem zweiten
Gitter 8b und der SiO2-Schicht 9 werden
so eingestellt, dass sie L2 = λ/(4ncosθ), L3 = λ/(4cosθ1) erfüllen, wobei der
Brechungsindex der SiO2-Schicht 9 n (z. B. 1,5) ist,
während
die Wellenlänge
des auftreffenden Lichts 4 λ (z. B. 0,5 μm) beträgt. Folglich ist in einem Zustand,
in dem keine Spannung angelegt ist, wie in 2(a) gezeigt
ist, der Abstand zwischen dem ersten Gitter 8a und dem
zweiten Gitter 8b, gesehen von der Seite des auftreffenden
Lichts 4, 1/2 Wellenlänge,
wobei die Phasen des Lichts bei einem Hin- und Rücklauf übereinstimmen. Das heißt, wenn
keine Spannung angelegt ist, arbeitet die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 in
der gleichen Weise wie ein Spiegel, wobei nur das reflektierte Licht 5,
das das gebeugte Licht nullter Ordnung ist, erzeugt wird. Andererseits
ist der Abstand zwischen dem ersten Gitter 8a und dem zweiten
Gitter 8b 1/4 Wellenlänge, wenn
eine Spannung angelegt ist, wie in 2(b) gezeigt
ist. Daher werden die Phasen bei einem Hin- und Rücklauf entgegengesetzt,
wobei der reflektierte Lichtstrahl verschwindet, wodurch das gebeugte Licht 11a und 11b ±1. Ordnung
erzeugt wird. Das heißt,
die Intensität
des reflektierten Lichts 5 oder die Intensität des gebeugten
Lichts 11a und 11b ±1. Ordnung kann moduliert
werden; in der vorliegenden Ausführungsform
wird jedoch dem reflektierten Licht (dem gebeugten Licht nullter
Ordnung) Beachtung geschenkt, wobei das reflektierte Licht moduliert wird.
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Der
optische Modulator fokussiert das auf die Mikrolinse 3a auftreffende
Licht 4, lenkt das auftreffende Licht 4 auf die
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2, kollimiert das reflektierte
Licht, das das gebeugte Licht nullter Ordnung ist, durch die Mikrolinse 3b und
gibt das kollimierte Licht als das ausgehende Licht 5 aus.
Dies ermöglicht,
dass die Leistung des ausgehenden Lichts unter Verwendung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 mit
einem Bereich moduliert wird, der viel kleiner ist als die Strahldurchmesser
des auftreffenden Lichts 4 und des ausgehenden Lichts 5.
In der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 mit einer
Größe von 100 μm × 100 μm, die wie
oben beschrieben hergestellt worden ist, ist es nicht wahrscheinlich,
dass das zweite Gitter 8b während des Schritts des Schwebens
des zweiten Gitters 8b an der SiO2-Schicht 9 anhaftet.
Folglich kann eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 mit
einer guten Ausbeute hergestellt werden.
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Da
die Größe des Gitterabschnitts
abnimmt, kann darüber
hinaus die Ansprechgeschwindigkeit verbessert werden.
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Darüber hinaus
sind in dem optischen Modulator der vorliegenden Ausführungsform,
wie oben beschrieben worden ist, die Mikrolinsen 3a und 3b und
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 monolithisch
auf den Vorder- und Rückseiten
des lichtdurchlässigen
Substrats 1 integriert. Somit kann ein optischer Modulator
erhalten werden, der hinsichtlich der Struktur stabil ist.
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In
dem Fall, in dem das auftreffende Licht auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 unter Verwendung
einer Mikrolinse fokussiert wird, ist es erforderlich, die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 genau
im Brennpunkt der Mikrolinse anzuordnen. Im optischen Modulator
der vorliegenden Ausführungsform
kann jedoch der Abstand zwischen der Mikrolinse und der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 mit
Leichtigkeit genau eingestellt werden, indem nur die Dicke des lichtdurchlässigen Substrats 1 so
vorgeschrieben wird, dass sie der Brennweite der Mikrolinse entspricht.
Folglich kann der Zusammenbau mit guter Genauigkeit ausgeführt werden.
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Eine
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung und die Fokussierungsmittel,
die das auftreffende Licht auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung fokussieren,
können
auf getrennten Substraten geschaffen und danach kombiniert werden.
Darüber
hinaus können
ein herkömmlicher
optischer Modulator und eine Mikrolinse kombiniert werden, obwohl
sie nicht integriert werden können.
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Darüber hinaus
kann anstelle der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung des Reflexionstyps,
die in der vorliegenden Ausführungsform
verwendet wird, eine Kombination aus einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung,
die in der Form eines Durchlässigkeitstyps
arbeitet, und einem Reflexionsmittel wie etwa einem Spiegel mit
den ersten und zweiten Fokussierungsmitteln wie etwa Mikrolinsen verwendet
werden.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
wird als die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung eine Vorrichtung
mit einer Gitterstruktur verwendet, die die Beugung nutzt. Die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
ist nicht darauf eingeschränkt.
Irgendeine Vorrichtung, die eine Ausgangsleistung des Lichts steuern
kann, kann verwendet werden. Es kann z. B. ein beweglicher Spiegel
mit einer Mikrospiegelstruktur, der durch eine elektrostatische
Kraft gesteuert werden kann, verwendet werden.
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5 zeigt
eine Struktur im Querschnitt eines optischen Modulators, der einen
beweglichen Spiegel als eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
verwendet. In diesem optischen Modulator sind ein Substrat 20 mit
einem beweglichen Spiegel 24, der auf einer Oberfläche vorgesehen
ist, und ein lichtdurchlässiges
Substrat 22 mit den Mikrolinsen 3a und 3b als
die ersten und zweiten Fokussierungsmittel, die auf einer Oberfläche vorgesehen
sind, in einer derartigen Weise angeordnet, dass der bewegliche Spiegel 24 den
Mikrolinsen 3a und 3b gegenüberliegt. Jeder bewegliche
Spiegel 24 ist genau unter einem Mittelpunkt zwischen den
benachbarten Mikrolinsen 3a und 3b in derselben
Weise wie in der oben erwähnten
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 mit einer Gitterstruktur
angeordnet, reflektiert das Licht 4, das durch die Mikrolinse 3a auftrifft,
und gibt das Licht 4 als das reflektierte Licht 5 durch
die Mikrolinse 3b aus. In dem optischen Modulator mit einer derartigen
Struktur wird die Lichtmodulation nur unter Nutzung der Reflexion
des Lichtes ausgeführt.
Daher gibt es insofern einen Vorteil, als die Ausgangsleistung nicht
von einer Wellenlange des einfallenden Lichts 4 abhängt und
die Vorrichtung leicht zu verwenden ist.
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(Ausführungsform
2)
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6 ist
eine von einer unteren Oberfläche gesehene
perspektivische Ansicht, die eine Grundstruktur eines optischen
Modulators der Ausführungsform
2 zeigt. In 6 sind die gleichen Komponenten
wie diejenigen in 1 durch dieselben Bezugszeichen
wie jene darin bezeichnet, wobei ihre Beschreibung weggelassen ist.
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Der
optische Modulator der vorliegenden Ausführungsform ist von dem der
oben erwähnten Ausführungsform
1 nur in den Strukturen der ersten Fokussierungsmittel, die das
Licht auf eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 fokussieren,
und der zweiten Fokussierungsmittel, die das Licht von der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 2 ausgeben,
verschieden. In der Ausführungsform
1 werden die kreisförmigen
Mikrolinsen 3a und 3b als die ersten und zweiten
Fokussierungsmittel verwendet. In der vorliegenden Ausführungsform
sind jedoch die elliptischen Mikrolinsen 3'a und 3'b in einer derartigen Weise vorgesehen,
dass ihre Hauptachsen zueinander benachbart sind.
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Jede
der elliptischen Mikrolinsen 3'a und 3'b besitzt eine ähnliche elliptische Form, in
der ein Querschnitt in einer Richtung der Dicke allmählich kleiner
wird. Sie sind in einer derartigen Weise konstruiert, dass ein Größenverhältnis einer
Hauptachse zu einer Nebenachse eines Ellipsoids 1/cosθ1 wird, wobei θ1 ein Auftreffwinkel
des auftreffenden Lichts ist.
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Wie
oben beschrieben worden ist, sind die Mikrolinsen 3'a und 3'b so konstruiert,
dass sie elliptische Formen in Übereinstimmung
mit dem Auftreffwinkel besitzen, wodurch die in Bezug auf das Licht, das
schräg
auf die Mikrolinse auftrifft, verursachte Aberration verringert
wird, wobei die optische Modulation zufriedenstellend ausgeführt werden
kann.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
war vorgeschrieben, dass das Größenverhältnis einer Hauptachse
zu einer Nebenachse eines Ellipsoids z. B. bei θ1 = 35° z. B. 1,22 beträgt. Die
Vorrichtung konnte selbst bei einem so großen Auftreffwinkel zufriedenstellend
arbeiten. Insbesondere sind als die elliptischen Mikrolinsen elliptische
Mikrolinsen des Beugungstyps mit einer Binär-/Mehrfachebenen-Struktur,
wie in den 3(a) und (b) gezeigt ist, hinsichtlich
der Fertigung geeignet.
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(Ausführungsform
3)
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Eine
nochmals weitere Ausführungsform
der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der vorliegenden Erfindung
wird beschrieben, indem ein Infrarotsensor beschrieben wird, auf
den die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung angewendet wird.
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In
den Ausführungsformen
1 und 2 hat das Gitter der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung die Form
eines Rechtecks. In Ausführungsform
3 ist eine trapezförmige
Gitterkonfiguration angenommen. Im Folgenden wird die Ausführungsform
3 anhand der Zeichnung beschrieben.
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Die 7 und 8 sind
eine perspektivische Ansicht, die eine Grundstruktur eines Infrarotsensors
zeigt, der eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung aus Ausführungsform
3 gemäß der vorliegenden
Erfindung verwendet, und eine Querschnittsansicht davon. Ein Infrarotsensor 100 der vorliegenden
Erfindung besitzt eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101,
ein pyroelektrisches Element 103 und eine Linse 105.
Die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 und das pyroelektrische Element 103 sind
wie in 8 gezeigt in einem Gehäuse 111 untergebracht.
Die Linse 105 ist an einer oberen Oberfläche des
Gehäuses 111 befestigt.
Die Linse 105 ist z. B. eine Linse des Beugungstyps mit einer
quadratischen Öffnung,
die aus Silicium hergestellt ist, die einen wie in 8 gezeigten
Querschnitt besitzt und die Licht 107 fokussiert, das auf
den Infrarotsensor 100 auftrifft. Die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 ist
so in dem optischen Weg des durch die Linse 105 fokussierten
Lichts 107 angeordnet, dass sie um einen Winkel von θ2 in Bezug
auf eine Oberfläche
parallel zu der Oberfläche,
an der die Linse 105 befestigt ist, geneigt ist. Das pyroelektrische
Element 103 ist in der Weise angeordnet, dass wenigstens
ein Teil der Lichtausgabe von der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 auf
das pyroelektrische Element 103 auftrifft.
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9 ist
eine Draufsicht der in den 7 und 8 gezeigten
Linse 105. Wie in 9 gezeigt ist,
ist die Linse 105 in dem Infrarotsensor 100 der vorliegenden
Ausführungsform
eine Linse des Beugungstyps, die eine Öffnung z. B. in Form eines
Quadrats hat und z. B. einen vierstufigen Querschnitt aufweist.
Wie in 9 gezeigt ist, sind in den vier Ecken des Quadrats
in der vorliegenden Ausführungsform Beugungsgitter
gebildet, wodurch eine Fläche
der Öffnung
der Linse erhöht
wird und die Lichtausnutzungseffizienz verbessert wird.
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Wie
in 7 gezeigt ist, hat das pyroelektrische Element 103 wegen
seiner Leichtigkeit der Fertigung und Kostengünstigkeit allgemein eine rechtwinklige
Form. Allerdings besitzt eine Lichtfleckform auf dem pyroelektrischen
Element, wenn auftreffendes Licht z. B. durch eine normale kreisförmige Linse fokussiert
wird, ebenfalls eine kreisförmige
Form. 10 zeigt ein Beispiel einer
Lichtfleckform auf dem pyroelektrischen Element 103. 10(a) zeigt den Fall, dass das auftreffende
Licht unter Verwendung einer herkömmlichen kreisförmigen Linse
auf das pyroelektrische Element fokussiert wird. Wie aus 10(a) hervorgeht, werden die vier Eckabschnitte des
pyroelektrischen Elements zu einem toten Raum, wo das Licht nicht
auftrifft, sodass nicht das gesamte pyroelektrische Element effektiv
genutzt werden kann.
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10(b) zeigt eine Lichtfleckform in dem Fall,
dass die Linse 105 wie in Ausführungsform 3 die Form eines
Rechtecks hat. Wie in 10(b) gezeigt ist,
wird ein auf dem pyroelektrischen Element 103 gebildeter
Lichtfleck zu einem Rechteck, dessen Größe kleiner als im Fall der
Verwendung einer kreisförmigen
Linse ist, wobei ein pyroelektrisches Element mit einer kleineren
Fläche
verwendet werden kann, was zu einer Senkung der Kosten führt. Genauer
kann die Fläche
des pyroelektrischen Elements unter Verwendung einer rechtwinkligen
Linse als einer Linse zum Fokussieren von Licht auf das pyroelektrische
Element um 25 % verringert werden. Gleichzeitig wird es möglich zuzulassen,
dass Licht auf das gesamte pyroelektrische Element auftrifft, wodurch
der Pegel eines Ausgangssignals von dem Infrarotsensor gegenüber einem
herkömmlichen Wert
um 25 % oder mehr erhöht
werden kann.
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Wenn
wie in Ausführungsform
3 eine Linse mit einer rechtwinkligen Öffnung verwendet wird, wird eine
Lichtfleckform des Lichts, das auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 auftrifft,
wie in 7 gezeigt ist, zu einem Trapez. In der vorliegenden Ausführungsform
ist die Größe der Linse 105 z.
B. 3 mm, ist ihre Brennweite 6 mm und ist der Neigungswinkel θ2 gleich
45°, wobei
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 z. B. an einer
Position in der Mitte zwischen der Linse 105 und dem pyroelektrischen
Element 103 angeordnet ist. Somit ist die Lichtfleckform
ein Trapez mit einer Seite (der unteren Seite) näher zu der Linse 105 von
2,0 mm, einer Seite (der oberen Seite) weiter von der Linse 105 von
1,2 mm und einer Höhe
(z-Richtung) von 2,3 mm.
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11(a) ist eine Draufsicht der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 aus
Ausführungsform
3 und 11(b) ist eine Querschnittsansicht längs einer
Linie B-B' in 11(a).
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Ein
Substrat 121 der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 wird
z. B. durch thermisches Oxidieren eines Si-Wafers zum Ausbilden
einer thermischen Oxid schicht mit einer Dicke von 0,1 μm und durch
Abscheiden einer Siliciumnitridschicht bis auf eine Dicke von 0,2 μm durch Niederdruck-Gasphasenabscheidung
nach chemischem Verfahren (im Folgenden LPCVD genannt) zum Ausbilden
einer isolierenden Schicht erhalten. Auf dem Substrat 121 wird
eine Abstandshalterschicht 123 ausgebildet, die z. B. aus
einer mit einer großen
Menge Phosphor dotierten Siliciumoxidschicht hergestellt ist. Auf
der Abstandshalterschicht 123 wird eine elastische Schicht 125 ausgebildet.
In der Ausführungsform
3 wurde die elastische Schicht 125 aus einer Siliciumnitridschicht
ausgebildet, wobei ihre Restspannung verringert war. Wie in 11(b) gezeigt ist, werden die Balken 126 dadurch
ausgebildet, dass die elastische Schicht 125 mit einem
Muster versehen wird, wobei auf den Balken 126 obere reflektierende Schichten 127 ausgebildet
werden. Auf dem Substrat 121 werden untere reflektierende
Balken 128 ausgebildet. Diese reflektierenden Schichten 127 und 128 bestehen
z. B. aus Au mit einer Dicke von 0,1 μm. Wenn das fokussierte Infrarotlicht 115 auf
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 mit einer solchen
Struktur auftrifft, wird auf der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101,
wie in 11(a) gezeigt ist, ein Lichtfleck 129 des
auftreffenden Lichts in Form eines Trapezes gebildet.
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Wie
in 11(a) gezeigt ist, hat die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 in
Ausführungsform
3 eine Trapezform. Dies entspricht der Verwendung einer rechtwinkligen
Linse, die den Lichtfleck 129 auf der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 wie
oben beschrieben in Form eines wie in 11(a) gezeigten
Trapezes bildet. Wie oben beschrieben wurde, hat die Form des Lichtflecks 129 in Ausführungsform
3 eine obere Seite von 1,2 mm und eine untere Seite von 2,0 mm.
Somit ändert
sich die Breite in y-Richtung. Somit ändert sich bei einem Gitter,
das aus Balken besteht, die wie in einer herkömmlichen Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung parallel
zueinander sind, die Anzahl der Balken in dem Lichtfleck in der
Nähe der
oberen Seite und der unteren Seite des Lichtflecks. Dies führt zur
Ungleichförmigkeit
der Beugung an den oberen und an den unteren Positionen. Im Ergebnis
nimmt eine Modulationsefflzienz ab. Im Gegensatz dazu ist die Anzahl
der Balken in dem Lichtfleck 129 bei der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 der
vorliegenden Ausführungsform
dadurch, dass die Periode der Balken 126, die ein Gitter
bilden, in Übereinstimmung mit
der Form des Lichtflecks 129 geändert ist, konstant gemacht,
wodurch eine gleichförmige
Beugungserscheinung auftreten kann, was verhindert, dass die Beugungseffizienz
abnimmt.
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Nachfolgernd
wird anhand von 12 ein Beispiel der Schritte
der Fertigung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 beschrieben.
In 12 sind die gleichen Komponenten wie jene in 11 mit
den gleichen Bezugszeichen wie darin bezeichnet. Ihre Beschreibung
wird weggelassen.
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Zunächst wird
ein Substrat 121 mit einer isolierenden Schicht darauf
hergestellt. Als ein Substrat wird z. B. ein Siliciumsubstrat oder
dergleichen verwendet. In der vorliegenden Ausführungsform wurde ein Siliciumsubstrat
verwendet und thermisch oxidiert, um eine Oxidschicht mit einer
Dicke von 0,1 μm auszubilden,
woraufhin durch LPCVD eine Siliciumnitridschicht mit einer Dicke
von 0,5 μm
abgeschieden wurde.
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Wie
in 12(a) gezeigt ist, wird daraufhin auf
dem Substrat 121 z. B. durch LPCVD eine Abstandshalterschicht 123 ausgebildet,
die z. B. aus einer mit einer großen Menge Phosphor dotierten
Siliciumoxidschicht hergestellt wird. Die Dicke der Abstandshalterschicht 123 ist
als λ/(4cosθ2) gegeben, wobei λ eine Wellenlänge des
auf eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftreffenden Lichts
ist. In der vorliegenden Ausführungsform
ist die Wellenlänge λ des auftreffenden
Lichts als 10 μm
vorgeschrieben. θ2
bezeichnet einen Neigungswinkel der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 in
Bezug auf eine Oberfläche
parallel zu einer Oberfläche,
an der eine Linse befestigt ist, d. h. einen Winkel, unter dem Licht
auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftrifft. In der vorliegenden
Ausführungsform
ist wie oben beschrieben θ2
= 45°. Somit
wurde in der vorliegenden Ausführungsform
durch LPCVD eine mit einer großen
Menge Phosphor dotierte Siliciumoxidschicht bis auf eine Dicke von
3,5 μm abgeschieden.
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Nachfolgend
wird auf der Abstandshalterschicht 123, wie in 12(b) gezeigt ist, eine elastische Schicht 125 mit
einer Dicke von λ/(4cosθ2) ausgebildet.
In der vorliegenden Ausführungsform
wurde durch LPCVD eine Siliciumnitridschicht, deren in der Schicht
verbleibende Zugfestigkeit durch Erhöhen des Verhältnisses
des Gehalts an Silicium z. B. auf 200 MPa oder weniger verringert
wurde, bis auf eine Dicke von 3,5 μm ausgebildet.
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Daraufhin
wird auf der elastischen Schicht 125 ein Resist rotationsbeschichtet,
wobei der Resist Licht ausgesetzt und entwickelt wird, wodurch,
wie in 12(c) gezeigt ist, eine Resistmaske 131 ausgebildet
wird. Daraufhin wird die elastische Schicht 125 durch Trockenätzen mit
einem Muster versehen, um Balken 126 und Öffnungen 132 auszubilden.
Daraufhin wird der Resist 131 entfernt und wird die in
den Öffnungen 132 und
unter den Balken 126 positionierte Abstandshalterschicht 123 durch
isotropes Nassätzen
unter Verwendung gepufferter Flusssäure entfernt. Somit schweben
die Balken 126, wie in 12(e) gezeigt
ist. Im Ergebnis werden beide Enden der Balken 126 an der
Abstandshalterschicht 123 unterstützt.
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Schließlich wird
auf dem resultierenden Substrat eine reflektierende Schicht, die
z. B. aus Au hergestellt wird, mit einer Dicke von 0,1 μm aufgedampft, wodurch,
wie in 12(f) gezeigt ist, obere reflektierende
Schichten 127 und untere reflektierende Schichten 128 ausgebildet
werden. In den oben erwähnten
Schritten wird eine Gitterstruktur der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
fertiggestellt.
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Anhand
von 13 wird der Betrieb der wie oben beschrieben konstruierten
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung beschrieben. Die gleichen Komponenten
wie jene in 12 sind in 13 mit denselben
Bezugszeichen wie dort bezeichnet. Ihre Beschreibung wird weggelassen.
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Die
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 der Ausführungsform
3 arbeitet dadurch, dass eine zwischen den oberen reflektierenden
Schichten 127 und dem Substrat 121 angelegte Spannung ein-/ausgeschaltet
wird. 13(a) zeigt einen Zustand, in
dem zwischen den oberen reflektierenden Schichten 127 und
dem Substrat 121 keine Spannung angelegt ist, wobei die
Balken 126 schweben und zwischen den Balken 126 und
dem Substrat 121 eine Luftschicht 137 gebildet
ist. Zu diesem Zeitpunkt ist der Stufenunterschied zwischen den
Oberflächen der
oberen reflektierenden Schichten 127 und den Oberflächen der
unteren reflektierenden Schichten 128 auf einen Wert eingestellt,
der durch λ/(2cosθ2) repräsentiert
ist, wobei z. B. angenommen ist, dass ein Auftreffwinkel, unter
dem das zu modulierende Licht 135 auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 auftrifft, θ2 ist (siehe 13)
und eine Wellenlänge
des Lichts 135 λ ist.
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Zum
Beispiel ist in Ausführungsform
3 θ2 = 45° und λ = 10 μm, sodass
der Wert 7,0 μm
ist. Zu diesem Zeitpunkt ist die Phasendifferenz zwischen dem von
den oberen reflektierenden Schichten 127 reflektierten
Licht und dem von den unteren reflektierenden Schichten 128 reflektierten
Licht im Hin- und Rücklauf
2π, was
einer Wellenlänge
entspricht, wodurch die Phasen übereinstimmen.
Somit dient die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 als
ein normaler Spiegel, wobei das auftreffende Licht 135 zu
gebeugtem Licht 136 nullter Ordnung wird und auf eine Auftreffseite
reflektiert wird.
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Wenn
nachfolgend, wie in 13(b) gezeigt ist,
zwischen den oberen reflektierenden Schichten 127 und dem
Substrat 121 eine Spannung angelegt wird, bilden die oberen
reflektierenden Schichten 127, die obere Elektroden sind,
und das Substrat 121, das eine untere Elektrode ist, einen
Kondensator, zwischen dem die Luftschicht 137 und eine
auf der Oberfläche
des Substrats 121 liegende isolierende Schicht (nicht gezeigt)
liegt. Die oberen reflektierenden Schichten 127 werden
z. B. positiv geladen und das Substrat 121 wird z. B. negativ
geladen. Zwischen den Ladungen wird eine elektrostatische Anziehungskraft
bewirkt, sodass die Balken 126 zur Seite des Substrats 121 angezogen
werden, bis sie, wie in 13(b) gezeigt
ist, mit der Oberfläche
des Substrats 121 in Kontakt gelangen. Zu diesem Zeitpunkt ist
der Stufenunterschied zwischen den Oberflächen der oberen reflektierenden
Schichten 127 und den Oberflächen der unteren reflektierenden
Schichten 128 auf einen Wert eingestellt, der durch λ/(4cosθ2), z. B.
3,5 μm in
Ausführungsform
3, gegeben ist. Somit wird die Phasendifferenz zwischen dem von
den Oberflächen
der oberen reflektierenden Schichten 127 reflektierten
Licht und dem von den Oberflächen der
unteren reflektierenden Schichten 128 reflektierten Licht
im Hin- und Rücklauf π, was einer
halben Wellenlänge
entspricht. Somit verschwinden diese Lichtbalken. Im Ergebnis wird
gebeugtes Licht nullter Ordnung beseitigt und gebeugtes Licht, das
von gebeugtem Licht nullter Ordnung verschieden ist, ausgegeben.
Wenn Z. B., wie in 13(b) gezeigt ist, zwischen
den oberen reflektierenden Schichten 127 und dem Substrat 121 eine
Spannung angelegt wird, wird gebeugtes Licht 138a bzw. 138b ±1. Ordnung mit
einer Beugungseffizienz von 41 % erzeugt.
-
Tatsächlich werden
die Balken 126 in der Nähe
der Abschnitte (Abschnitt C und Abschnitt D in 11(a))
an beiden Enden jedes Balkens 126, die an der Abstandshalterschicht 123 unterstützt sind, nicht
vollständig
zu dem Substrat 121 angezogen. Somit werden die Balken 126,
wie in 11(a) gezeigt ist, in einer
Längsrichtung
länger
als der Lichtfleck 129 auftreffenden Lichts gemacht, wodurch
verhindert wird, dass Licht in diese unvollständigen Operationsabschnitte
eintritt, um zu verhindern, dass das Modulationsverhältnis abnimmt.
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Gemäß dem oben
erwähnten
Betrieb ist es in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 der Ausführungsform
3 möglich,
die Intensität
des gebeugten Lichts nullter Ordnung durch Ein-/Ausschalten einer
angelegten Spannung zu modulieren.
-
Nachfolgend
wird die Konfiguration eines Gitterabschnitts der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 in
Ausführungsform
3 und insbesondere die Einstellung einer Periode des Gitters beschrieben.
In dem Infrarotsensor 100 aus Ausführungsform 3 trifft auf die
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 anstelle von kollimiertem
Licht fokussiertes Licht auf. Somit haben die Erfinder der vorliegenden
Erfindung Folgendes festgestellt: In der Mitte in der y-Richtung
in dem Gitterabschnitt der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 wird
(wenn keine Spannung angelegt wird) eine Beugungseffizienz nullter Ordnung
von nahezu 100 % erhalten; allerdings ist ein Auftreffwinkel, wie
durch einen Winkel β in 11(b) gezeigt ist, an dem Umfang in der
y-Richtung geneigt, sodass die Beugungseffizienz allmählich abnimmt.
Aus dem gleichen Grund nimmt die Beugungseffizienz nullter Ordnung
von 0 % am Umfang des Gitters zu, wenn eine Spannung angelegt wird,
wobei die Modulationseffizienz der Lichtmenge als Ganzes abnimmt.
Allerdings haben die Erfinder der vorliegenden Erfindung das Folgende
festgestellt: Wenn eine Periode Λ des
Gitters das Siebenfache oder mehr der Wellenlänge λ des auftreffenden Lichts ist
(Λ/λ°≥ 7) , ist
die Verringerung der Beugungseffizienz selbst in dem Fall klein,
dass das Licht schräg
auftrifft, wobei das auftreffende Licht als fokussiertes Licht in
dem Infrarotsensor 100 kein Problem verursacht. Somit wird
die minimale Periode Λ in
dem Abschnitt C aus 11(a) in Ausführungsform
3 so eingestellt, dass sie z. B. 70 μm ist.
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Darüber hinaus
wird die Periode Λ des
Gitters wie oben beschrieben in Ausführungsform 3 in Übereinstimmung
mit der Form des Lichtflecks des auftreffenden Lichts geändert. Genauer
wird unter der Annahme, dass die Brennweite der Linse 105 f
ist und dass die Länge
einer Seite der quadratischen Linse 105 L ist, vorgeschrieben,
dass die Periode Λ des
Gitters in dem Abschnitt D in 16(a) wenigstens
das (2f + L tanθ2)/(2f – L tanθ2)-fache
der Periode Λ in
dem Abschnitt C ist. Da in der Ausführungsform 3 f = 6 mm, L =
3 mm und θ2
= 45° ist,
wird z. B. in Ausführungsform
3 vorgeschrieben, dass die Periode Λ des Gitters in dem Abschnitt
D 117 μm
oder mehr ist, was das 1,67-fache der Periode Λ in dem Abschnitt C ist.
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Wie
oben beschrieben wurde, wurde die Beugung gemäß der Struktur der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 101 in
irgendeinem Abschnitt des Gitters in Be zug auf einen Lichtfleck
in Form eines Trapezes gleichförmig
ausgeführt,
wobei eine hohe Modulationseffizienz erhalten werden konnte.
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In
der in den 32 und 33 gezeigten
herkömmlichen
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung wird der Stufenunterschied zwischen
den Oberflächen
der oberen reflektierenden Schichten und der Oberflächen der
unteren reflektierenden Schichten von 1/2 einer verwendeten Wellenlänge auf
1/4 davon geändert,
wobei vorgeschrieben ist, dass der Auftreffwinkel 0° ist, d.
h., es wird veranlasst, dass Licht vertikal auftrifft, wodurch auftreffendes
Licht moduliert wird. Da veranlasst wurde, dass Licht vertikal auf
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftrifft, war es in einer
solchen Struktur aber schwierig, gebeugtes Licht nullter Ordnung
von dem auftreffenden Licht zu trennen, sodass somit als ausgehendes Licht
gebeugtes Licht genutzt wurde, das von gebeugtem Licht nullter Ordnung
verschieden war. Somit war die Lichtausnutzungseffizienz äußerst niedrig.
In der oben erwähnten
herkömmlichen
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung haben die Erfinder der vorliegenden
Erfindung das Folgende festgestellt: Wenn veranlasst wird, dass
Licht schräg
auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftrifft, indem die
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung geneigt wird, um gebeugtes Licht
nullter Ordnung zu nutzen, wird die Phasendifferenz zu einem Zeitpunkt
der Ansteuerung nicht zu einem geeigneten Wert, sodass die Modulationseffizienz
abnimmt.
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Im
Gegensatz dazu wird der Stufenunterschied zwischen den oberen reflektierenden
Schichten 127 und den unteren reflektierenden Schichten 128 in
der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der Ausführungsform 3 in Übereinstimmung
mit dem Wert des Auftreffwinkels θ2 als λ/(2cosθ2) bzw. λ/(4cosθ2) eingestellt. Infolgedessen
kann gebeugtes Licht nullter Ordnung leicht getrennt werden, ohne
die Modulationseffizienz zu verringern.
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Wie
oben beschrieben wurde, kann in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der vorliegenden Ausführungsform
in dem Gitterabschnitt eine gleichförmige Beugungswirkung erhalten
werden, wobei sich die Modulationscharakteristiken nicht teilweise
verschlechtern. Die Konfiguration des Gitters (der Stufenunterschied
zwischen den oberen reflektierenden Schichten und den unteren reflektierenden Schichten,
die Periode der Balken usw.) wird in Übereinstimmung mit den Bedingungen,
unter denen Licht auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftrifft,
d. h. mit einem Auftreffwinkel, mit der Form eines Lichtflecks,
den das auftreffende Licht auf dem Gitter bildet, und dergleichen
ausgelegt, wodurch ermög licht
wird, dass Licht schräg
und nicht vertikal auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftrifft.
Im Ergebnis kann als ausgehendes Licht leicht gebeugtes Licht nullter
Ordnung erhalten werden, ohne die Modulationseffizienz zu verringern.
Somit kann unter Verwendung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
ein miniaturisierter Infrarotsensor mit hoher Lichtausnutzungseffizienz
und hoher Empfindlichkeit geschaffen werden.
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In
Ausführungsform
3 ist insbesondere der Fall beschrieben worden, dass eine Linse
zum Fokussieren von auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
auftreffendem Licht eine rechtwinklige Öffnung hat und dass die Konfiguration
des Gitters so konstruiert ist, dass sie in Übereinstimmung mit der Form
eines Lichtflecks von zu fokussierendem Licht ein Trapez ist. Allerdings
sind die Form der Linse und die Konfiguration des Gitters darauf
nicht beschränkt. Selbst
dann, wenn eine Linse eine Öffnung
mit einer anderen Form hat, in der die Anzahl der Balken in einem
Lichtfleck von auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftreffendem
Licht verschieden ist, wird durch das Einstellen der Konfiguration
des Gitters in Übereinstimmung
mit der Form des Lichtflecks kein Problem verursacht. Darüber hinaus
ist es nicht besonders erforderlich, dass sich die Periode des Gitters
in seiner Längsrichtung
gemäß einer
linearen Funktion ändert.
Eine Funktion, die eine geeignete Konfiguration in Übereinstimmung
mit der Form eines auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftreffendem
Lichtflecks repräsentiert,
sollte geeignet ausgewählt
werden.
-
(Ausführungsform
4)
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Anhand
von 14 wird ein Infrarotsensor der Ausführungsform
4 gemäß der vorliegenden
Erfindung beschrieben.
-
Der
Infrarotsensor der Ausführungsform
4 unterscheidet sich von dem der Ausführungsform 3 nur in der Struktur
einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung. Somit wird die Beschreibung
einer schematischen Struktur des Infrarotsensors in der folgenden
Beschreibung weggelassen und nur die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
beschrieben.
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14 ist
eine Ansicht, die eine Struktur einer Ausgangsieistungs-Steuervorrichtung
der Ausführungsform
4 zeigt: (a) ist eine Draufsicht und (b) ist eine Querschnittsansicht
längs einer
Linie E-E' in (a).
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Wie
in 14(b) gezeigt ist, besitzt eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 190 der
Ausführungsform
4 ein Substrat 192, auf dem ein Gitter des Reflexionstyps
ausgebildet ist. Das Substrat 192 wird z. B. durch thermisches
Oxidieren eines Si-Substrats
zum Ausbilden einer thermischen Oxidschicht mit einer Dicke von
0,1 μm,
Abscheiden einer Siliciumnitridschicht bis auf eine Dicke von 0,2 μm durch LPCVD
und Ausbilden einer isolierenden Schicht hergestellt. Auf dem Substrat 192 wird
eine Abstandshalterschicht 193 ausgebildet, die z. B. aus
einer mit einer großen
Menge Phosphor dotierten Siliciumoxidschicht hergestellt wird. Auf
der Abstandshalterschicht 193 werden eine elastische Schicht 194 und
Balken 195 bereitgestellt, die durch Versehen der elastischen
Schicht 194 mit einem Muster in einer vorgegebene Form
gebildet werden. Die elastische Schicht 194 wird z. B.
aus einer Siliciumnitridschicht hergestellt, wobei ihre Restkraft
verringert ist. Auf den Balken 195 werden obere reflektierende
Schichten 196 ausgebildet. Darüber hinaus werden auf dem Substrat 192 durch Öffnungen 199,
die gleichzeitig mit dem Balken 195 ausgebildet werden,
untere reflektierende Schichten 197 ausgebildet. Die reflektierenden
Schichten 196 und 197 werden Z. B. aus Au mit
einer Dicke von 0,1 μm
hergestellt.
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In
der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 190 mit einer solchen
Struktur bildet auftreffendes fokussiertes Infrarotlicht 191 einen
Lichtfleck 198 mit einer wie in 14(a) gezeigten
Form.
-
Wie
aus 14(a) selbstverständlich ist,
unterscheidet sich die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 190 der
Ausführungsform
4 von der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der Ausführungsform
3, die in 11 gezeigt ist, in der ebenen
Konfiguration eines durch die Balken 195 und durch die Öffnungen 199 ausgebildeten
Gitters. Die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 190 der
Ausführungsform
6 ist dadurch charakterisiert, dass die Periode des Gitters in der
Längsrichtung
der Balken größer hergestellt
ist und dass die Längen
aller Balken 195 gleich hergestellt sind. 22 zeigt
als ein Beispiel der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 190 den Fall,
dass die beiden Enden der Balken 195 an Umfängen positioniert
sind, die in dem gleichen Punkt zentriert sind.
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Wie
aus 11(a) selbstverständlich ist, sind
die Längen
der Balken in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der Ausführungsform
3 nicht gleich. Somit werden die Balken gemäß dem Anlegen einer Spannung
in abnehmender Reihen folge der Länge
angezogen, während
die Balken in zunehmender Reihenfolge der Länge in eine ursprüngliche Position
zurückkehren,
wenn eine Spannung ausgeschaltet wird. Im Ergebnis werden die Übergangszeiten,
d. h die Anstiegs- und Abfallzeiten des Ein/Aus des Lichts, länger, sodass
die Ansteuerfrequenz nicht hoch gemacht werden kann. Zum Beispiel
ist es erforderlich, die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung mit hoher Geschwindigkeit
anzusteuern, wenn unter Verwendung eines Infrarotsensors mit einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
innerhalb einer kurzen Zeitdauer eine hochgenaue Messung durchgeführt wird.
Allerdings begrenzt in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der
Ausführungsform
3 der Grenzwert eines Hochgeschwindigkeitsbetriebs die Genauigkeit
des Infrarotsensors.
-
Im
Gegensatz dazu sind die Längen
aller Balken 195 in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 190 aus
Ausführungsform
4 gleich, sodass die Balken vollständig gleichzeitig arbeiten,
wenn eine Spannung ein-/ausgeschaltet wird. Dies ermöglicht, dass
eine Operation des Ein/Aus der Lichts innerhalb sehr kurzer Zeitdauer
ausgeführt
wird. Im Ergebnis kann die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung mit einer
hohen Frequenz angesteuert werden und ermöglicht der Infrarotsensor,
der die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 190 der Ausführungsform
4 verwendet, eine Detektion mit einer hohen Genauigkeit durchzuführen.
-
Zum
Beispiel ist es in der Ausführungsform
4 der Fall, dass die beiden Enden der Balken 195 der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 190 an
Umfängen
positioniert sind, die in dem gleichen Punkt zentriert sind. Allerdings
können
die beiden Enden auf irgendeiner Kurve sein, solange die Längen der Balken 195 gleich
sind. Zum Beispiel kann dadurch, dass die Mitte in der Breitenrichtung
der jeweiligen Balken 195 an einem Ende auf einer Geraden
angeordnet wird, die Größe der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung,
die einen Lichtfleck mit derselben Größe modulieren kann, verringert
werden.
-
In
der Ausführungsform
4 ist als ein Beispiel des Infrarotsensors die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
beschrieben worden, in der die Längen aller
Balken, die das Gitter bilden, gleich sind. Allerdings ist die vorliegende
Erfindung darauf nicht beschränkt.
Es sollte gewürdigt
werden, dass z. B. selbst dann die gleiche Wirkung erhalten werden kann,
wenn die Längen
aller Balken, die das Gitter bilden, in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung des
optischen Modulators der Anzeigevorrichtung dieselben sind.
-
(Ausführungsform
5)
-
Anhand
der 15 bis 17 wird
ein Infrarotsensor der Ausführungsform
5 der vorliegenden Erfindung beschrieben. Der Infrarotsensor der
Ausführungsform
5 unterscheidet sich von dem der Ausführungsform 3 nur in der Struktur
einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung. Somit wird die Beschreibung
einer schematischen Struktur des Infrarotsensors weggelassen und
nur die Struktur der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung beschrieben.
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15(a) ist eine Ansicht, die eine Struktur einer
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 der Ausführungsform
5 zeigt: (a) ist eine Draufsicht und (b) ist eine Querschnittsansicht
längs einer
Linie F-F' in (a).
Wie in 15(b) gezeigt ist, besitzt
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 der Ausführungsform
5 ein Substrat 221, auf dem ein Gitter des Reflexionstyps
ausgebildet ist. Das Substrat 221 wird z. B. durch thermisches
Oxidieren eines Si-Substrats zum Ausbilden einer thermischen Oxidschicht
mit einer Dicke von 0,1 μm
und durch Abscheiden einer Siliciumnitridschicht bis auf eine Dicke
von 0,2 μm durch
LPCVD und dadurch Ausbilden einer isolierenden Schicht hergestellt.
Auf dem Substrat 221 sind erste Säulen 222 vorgesehen.
Die ersten Säulen 222 werden
z. B. dadurch ausgebildet, dass durch LPCVD polykristallines Silicium
abgeschieden und strukturiert wird. An dem Umfang des Substrats 221 ist
eine Abstandshalterschicht 223 vorgesehen, die z. B. aus
einer mit einer großen
Menge Phosphor dotierten Siliciumoxidschicht hergestellt ist.
-
Darüber hinaus
hat die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 eine elastische
Schicht 224 und zweite Säulen 225 sowie Balken 226,
die dadurch ausgebildet sind, dass die elastischen Schicht 224 mit
einem Muster in einer vorgegebenen Form versehen ist. Die zweiten
Säulen 225 sind
auf den ersten Säulen 222 vorgesehen.
In der Ausführungsform
5 besteht die elastische Schicht 224 aus einer Siliciumnitridschicht,
deren Restkraft verringert ist. Auf den zweiten Säulen 225 sind
reflektierende Schichten 227 ausgebildet und auf den Balken 226 sind
reflektierende Schichten 228 ausgebildet. Diese reflektierenden
Schichten 227 und 228 sind z. B. aus Au mit einer
Dicke von 0,1 μm
hergestellt.
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Nachfolgend
wird anhand von 16 ein Beispiel der Schritte
der Fertigung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 der
Ausführungsform
5 beschrieben.
-
Die
gleichen Komponenten wie jene in 15 sind
in 16 durch die gleichen Bezugszeichen wie dort bezeichnet.
Ihre Beschreibung wird weggelassen. Im Folgenden werden anhand von 16 die
Fertigungsschritte in geordneter Weise beschrieben.
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Zunächst wird
z. B. ein Siliciumsubstrat thermisch oxidiert, um eine Oxidschicht
mit einer Dicke von 0,1 μm
auszubilden, und z. B. durch LPCVD eine Siliciumnitridschicht bis
auf eine Dicke von z. B. 0,5 μm
abgeschieden, um eine isolierende Schicht zu bilden, wodurch ein
Substrat 221 hergestellt wird. Daraufhin wird z. B. durch
LPCVD auf dem Substrat 221 polykristallines Silicium abgeschieden
und z. B. durch Trockenätzen
mit einem Muster versehen, wodurch, wie in 16(a) gezeigt
ist, erste Säulen 222 ausgebildet
werden.
-
Wie
in 16(b) gezeigt ist, wird z. B. auf dem
resultierenden Substrat 221 z. B. durch LPCVD eine mit
einer großen
Menge Phosphor dotierte Siliciumoxidschicht abgeschieden und eine
Abstandshalterschicht 223 ausgebildet. Anschließend wird
die Abstandshalterschicht 223 über die gesamte Oberfläche des
Substrats 221 durch Trockenätzen geätzt, wodurch die Oberfläche, wie
in 16(c) gezeigt ist, flach gemacht
wird. Die Dicken der ersten Säulen 222 und
die der Abstandshalterschicht 223 werden als λ/(4cosθ2), Z. B.
3,5 μm in
der Ausführungsform 5,
vorgeschrieben.
-
Daraufhin
wird z. B. durch LPCVD eine Siliciumnitridschicht ausgebildet, in
der die in der Schicht verbleibende Zugfestigkeit durch Erhöhen des
Inhaltsgehalts von Silicium z. B. auf 200 MPa oder weniger verringert
wird, wodurch eine elastische Schicht 224 ausgebildet wird.
Obgleich die Dicke der elastischen Schicht 224 beliebig
ist, ist in der Ausführungsform
5 vorgeschrieben, dass sie 2 μm
beträgt.
Darüber
hinaus wird die elastische Schicht 224, wie in 24(d) gezeigt ist, mit einem Muster versehen,
um zweite Säulen 225 und
Balken 226 auszubilden.
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Nachfolgend
wird die Abstandshalterschicht 223 von den Zwischenräumen zwischen
den zweiten Säulen 225 und
den Balken 226 z. B. mit gepufferter Flusssäure nassgeätzt und
die Abstandshalterschicht 223 unter den Balken 226 entfernt,
wodurch die an beiden Enden unterstützten Balken ausgebildet werden.
Anschließend
wird durch Aufdampfen eine aus Au hergestellte reflektierende Schicht
mit einer Dicke von 0,1 μm
ausgebildet, wodurch die reflektierenden Schichten 227 und 228 ausgebildet werden.
In den oben erwähnten
Schritten wird eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 mit
einer wie in 15 gezeigten Struktur fertiggestellt.
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Anhand
von 17 wird der Betrieb der wie oben konstruierten
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 beschrieben. Die
gleichen Komponenten wie jene in den 15 und 16 sind
in 17 mit den gleichen Bezugszeichen wie dort bezeichnet. Ihre
Beschreibung wird weggelassen.
-
Die
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 der Ausführungsform
5 wird in Übereinstimmung mit
dem gleichen Prinzip wie die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der Ausführungsform
3 betrieben, indem eine zwischen den reflektierenden Schichten 228 als
obere Elektroden und dem Substrat 221 als eine untere Elektrode
angelegte Spannung ein-/ausgeschaltet wird. 17(a) zeigt
einen Zustand, in dem keine Spannung angelegt ist. Zu dieser Zeit
schweben die Balken 226, wobei die reflektierenden Schichten 227 und 228 in
der gleichen Ebene sind. Somit dient die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 als
ein normaler Spiegel, wobei auftreffendes Licht 231 zu
reflektiertem Licht 232 wird und auf eine Auftreffseite
reflektiert wird.
-
Wenn
zwischen den oberen Elektroden 228 und der unteren Elektrode 221 nachfolgend
eine Spannung angelegt wird, werden die Balken 226 in Übereinstimmung
mit dem in Ausführungsform
3 beschriebenen Prinzip, wie in 17(b) gezeigt
ist, durch die elektrostatische Anziehungskraft zu der Oberfläche des
Substrats 221 angezogen, bis sie mit der Oberfläche des
Substrats 221 in Kontakt gelangen. Zu diesem Zeitpunkt
ist der Stufenunterschied zwischen den Oberflächen der reflektierenden Schichten 227 und
den Oberflächen
der reflektierenden Schichten 228 auf einen Wert eingestellt,
der durch λ/(4cosθ2) gegeben
ist. In Ausführungsform
5 ist vorgeschrieben, dass er 3,5 μm beträgt. λ ist eine Wellenlänge des
auftreffenden Lichts 231 und θ2 ist ein Auftreffwinkel des
auftreffenden Lichts 231, das auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 auftrifft.
Zu dieser Zeit wird die Phasendifferenz zwischen dem von den Oberflächen der
reflektierenden Schichten 227 reflektierten Licht und dem
von den Oberflächen
der reflektierenden Schichten 228 reflektierten Licht im
Hin- und Rücklauf π, was einer halben
Wellenlänge
entspricht. Im Ergebnis wird das reflektierte Licht beseitigt und
gebeugtes Licht, das von gebeugtem Licht nullter Ordnung verschieden ist,
ausgegeben. Wie in 17(b) gezeigt ist,
wird zu diesem Zeitpunkt z. B. gebeugtes Licht 233a und 233b ±1. Ordnung
mit einer Beugungseffizienz von 41 % erzeugt.
-
Gemäß der obigen
Operation kann die Intensität
des reflektierten Lichts in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 der
Ausführungsform
5 durch Ein-/Ausschalten einer angelegten Spannung moduliert werden.
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In
der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der oben erwähnten Ausführungsform
3 wird Licht sowohl unter Anlegen einer Spannung als auch unter keinem
Anlegen einer Spannung durch eine Beugungserscheinung moduliert.
Somit nimmt eine Beugungseffizienz z. B. ab, falls ein Wellenlängenband des
zu modulierenden Lichts groß ist.
Allerdings wird die Modulation in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 200 der
Ausführungsform
5 unter dem Anlegen einer Spannung in der gleichen Weise wie in Ausführungsform
4 durch eine Beugungserscheinung durchgeführt; allerdings wird ohne Anlegen
einer Spannung fast 100 % des von einer Spiegeloberfläche reflektierten
Lichts ausgegeben. Somit kann das Modulationsverhältnis als
Ganzes erhöht
werden. Darüber
hinaus kann gemäß der Struktur
der Ausführungsform
5 die Dicke der elastischen Schicht 224 beliebig ausgewählt werden,
sodass vorgeschrieben werden kann, dass diese Dicke niedrig ist. Im
Ergebnis kann der Abstand zwischen den reflektierenden Schichten 228,
die als obere Elektroden dienen, und dem Substrat 221,
das als eine untere Elektrode dient, verringert werden, wobei die
zum Verformen der Balken 226 erforderliche Energie kleiner
wird, sodass eine Ansteuerspannung verringert werden kann.
-
Wie
oben beschrieben wurde, wird Licht in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der Ausführungsform
5 ohne Anlegen einer Spannung als reflektiertes Licht von einer
Spiegeloberfläche,
nicht als gebeugtes Licht nullter Ordnung, ausgegeben, wodurch selbst
für auftreffendes
Licht mit einem großen Wellenlängenband
ein hohes Modulationsverhältnis erhalten
werden kann. Darüber
hinaus kann die Dicke der elastischen Schicht klein gemacht werden, sodass
die Vorrichtung mit einer niedrigen Spannung angesteuert werden
kann.
-
Die
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der vorliegenden Ausführungsform
ist hier durch beispielhafte Erläuterung
eines Infrarotsensors beschrieben worden. Allerdings ist die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der vorliegenden Ausführungsform
nicht auf einen Infrarotsensor beschränkt. Zum Beispiel ist die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der vorliegenden Erfindung auf einen optischen Modulator einer Anzeigevorrichtung
anwendbar.
-
(Ausführungsform
6)
-
Anhand
von 18 wird ein Infrarotsensor der Ausführungsform
6 beschrieben. Gemäß der Ausführungsform
8 wird ein Infrarotsensor geschaffen, in dem die Größe einer
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung verringert werden kann, in dem
ein pyroelektrisches Element selbst dann nicht beeinflusst wird,
wenn ein von der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung erzeugtes elektromagnetisches
Rauschen beträchtlich
stark wird, und der sich kaum ändert,
selbst wenn der Abstand zwischen dem Sensor und einer Lichtquelle
(Wärmequelle)
verhältnismäßig kurz
ist, und der einen hohen Signalpegel erhalten kann, falls eine Lichtquelle
verhältnismäßig klein
ist.
-
18 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines Infrarotsensors 300 der
Ausführungsform
6 zeigt: (a) ist eine Seitenansicht des Infrarotsensors 300 und (b)
ist eine Ansicht in einer -x-Richtung von einer Ebene aus gesehen,
die parallel zu einer y-z-Ebene ist und eine Linie G-G' enthält.
-
Wie
in den 18(a) und (b) gezeigt ist,
besitzt der Infrarotsensor 300 eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342,
ein pyroelektrisches Element 343, eine Linse 344 und
einen Abstandshalter 345, die in einem Gehäuse 346 untergebracht sind.
Wie in 18(a) gezeigt ist, bestimmt
der Abstandshalter 345 einen Auftreffwinkel θ2, wenn
Licht von einer Punktwärmequelle
(Punktlichtquelle) 341 auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342 auftrifft.
Das Gehäuse 346 besitzt
an seiner oberen Oberfläche
ein Eintrittsfenster 347. Das Eintrittsfenster 347 wird
z. B. durch Ausbilden eines Bandpass-Wellenlängenfilters in einem Siliciumsubstrat erhalten.
-
Der
Unterschied zwischen dem Infrarotsensor 300 der Ausführungsform
6 und dem der Ausführungsform
3 liegt darin, dass die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342 zwischen
der Lichtquelle 341 und der Linse 344 angeordnet
ist. In dieser Anordnung kann die Linse 344 z. B. dadurch,
dass die Linse 344 aus einem leitenden Werkstoff ausgebildet wird,
mit einer Wirkung als eine elektromagnetische Abschirmung versehen
sein. Somit kann insbesondere in dem Fall, dass die Balken mit der
Miniaturisierung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342 kürzer werden
und eine Ansteuerspannung zum Verformen der Balken hoch wird, was
zur Erzeugung von elektromagnetischem Rauschen oder dergleichen führt, verhindert
werden, dass das pyroelektrische Element 343 durch das
elektromag netische Rauschen beeinflusst wird. In diesem Fall kann
die Linse 344 aus Si, Ge, GaAs, InP, GaP, ZnSe, ZnS oder
dergleichen bestehen. Darüber
hinaus kann die Linse 344 eine Oberflächenreliefstruktur in Übereinstimmung
mit dem Phasenmodulationsbetrag der Linse haben.
-
Wie
in 18(a) gezeigt ist, ist die Linse 344 so
ausgelegt, dass die Lichtquelle 341 in einem Abstand d
von dem Eintrittsfenster 347 und nicht in einem unendlichen
Abstand davon positioniert ist. Gemäß dieser Auslegung der Linse 344 werden
das Verhältnis
des Lichts, das auf das pyroelektrische Element 343 fokussiert
wird, unter dem von der Lichtquelle 341 ausgestrahlten
Licht, die Lichtausnutzungseffizienz und der Pegel eines von dem
pyroelektrischen Element 343 ausgegebenen Signals erhöht. Wie
in 18(a) gezeigt ist, ist das pyroelektrische
Element 343 an einer Position angeordnet, die von der Position,
an der das auftreffende Licht durch die Linse 344 fokussiert
wird, in einer x-Achsen-Richtung um Δf verschoben ist. Somit wird
veranlasst, dass das Licht gleichförmig auf das pyroelektrische Element 343 auftrifft,
wodurch verhindert wird, dass das Licht übermäßig fokussiert wird, um nicht
nur ein Teilgebiet des pyroelektrischen Elements 343 mit
einer starken Lichtenergiedichte zu bestrahlen. Außerdem kann
verhindert werden, dass sich die Ausgabe eines Signals von dem pyroelektrischen
Element 343 verringert.
-
Darüber hinaus
hat die Linse 344 in Ausführungsform 6 aus dem gleichen
Grund wie in Ausführungsform
3 eine rechtwinklige Form, sodass Licht auf die gesamte Oberfläche des
pyroelektrischen Elements 343 auftrifft. Somit hat die
Form eines Lichtflecks auf der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342 eine
Richtung, die zu der der auf der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der Ausführungsform
3 gebildeten Lichtfleckform entgegensetzt ist, d. h., die Form eines
Lichtflecks wird zu einem Trapez, das an einer +z-Seite schmal ist.
Somit hat die Gitterkonfiguration der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342 aus
dem gleichen Grund wie die der Ausführungsform 4 eine Trapezform,
die auf einer +z-Seite, wie in 18(b) gezeigt
ist, schmal ist. Somit kann Licht, das auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342 eingestrahlt
wird, gleichförmig
gebeugt werden.
-
Der
Infrarotsensor 300, in dem jede Komponente wie oben beschrieben
angeordnet ist, wird fast in der gleichen Weise wie der Infrarotsensor
der Ausführungsform
3 betrieben. Genauer wird die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342 durch Ein-/Ausschalten
einer an die obere und untere Elektrode der Ausgangsleistungs- Steuervorrichtung 342 angelegten
Spannung angesteuert, wodurch das Auftreffen oder Nichtauftreffen
des Lichts auf das pyroelektrische Element 343 umgeschaltet
wird. Dies ermöglicht,
dass ein Zerhacken des Lichts erzielt wird und dass von dem pyroelektrischen
Element 343 ein Signal ausgegeben wird, wodurch möglich wird,
die Anwesenheit der Lichtquelle 341, die Intensität des Lichts
davon und dergleichen zu erfahren.
-
Falls
das von der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 342 erzeugte
elektromagnetische Rauschen in Ausführungsform 6 beträchtlich
groß ist
und falls die Position der Lichtquelle in Bezug auf den Infrarotsensor 300 verhältnismäßig konstant
ist und insbesondere, falls die Größe der Lichtquelle klein ist, ist
die Lichtausnutzungseffizienz hoch. Somit kann ein Infrarotsensor
mit einer sehr hohen Empfindlichkeit geschaffen werden.
-
(Ausführungsform
7)
-
Anhand
der 19 bis 21 wird
beispielhaft der Fall erläutert,
dass die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der Ausführungsform
7 der vorliegenden Erfindung als ein Infrarotsensor verwendet wird.
Es wird möglich,
dass die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der Ausführungsform
7, falls sie z. B. als ein Infrarotsensor verwendet wird, die Intensität von Infrarotlicht
zweidimensional messen kann. Um die Intensität von Infrarotlicht zweidimensional
zu messen, wurden in der Vergangenheit Z. B. pyroelektrische Körper in
einer zweidimensionalen Anordnung angeordnet, wobei aus den Ausgangsinformationen
der jeweiligen pyroelektrischen Körper eine zweidimensionale
Intensitätsverteilung
erhalten wurde. Allerdings sind gemäß diesem Verfahren eine Anzahl
pyroelektrischer Körper
erforderlich, was den Preis stark erhöht.
-
19 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines Infrarotsensors 400 der
Ausführungsform
7 zeigt. Wie in 19 gezeigt ist, enthält der Infrarotsensor 400 eine
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453, eine
Linse 452 zum Fokussieren von auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 auftreffendem
Licht 451 und ein pyroelektrisches Element 454,
das Licht von der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 empfängt, sowie
einen Abstandshalter 455, der einen Winkel θ2 bestimmt,
unter dem das auftreffende Licht 451 auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 auftrifft.
Der Infrarotsensor 400 der Ausführungsform 7 unterscheidet
sich von dem der Ausfüh rungsform
3 nur dadurch, dass anstelle einer Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 verwendet
ist. Somit wird nur dieser Punkt beschrieben.
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20 ist
eine Ansicht, die eine Struktur der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 zeigt:
(a) ist eine Draufsicht, (b) ist eine Querschnittsansicht längs einer
Linie H-H' in (a)
und (c) ist eine Querschnittsansicht längs einer Linie I-I' in (a). Wie aus den 20(a) bis
(c) selbstverständlich
ist, hat die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 der
Ausführungsform
7 grundsätzlich
eine Struktur, in der die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen
der Ausführungsform
3 in einer Anordnung angeordnet sind.
-
Wie
in den 20(b) und (c) gezeigt ist,
besitzt die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 ein
Substrat 461, auf dem eine Anordnung von Gittern vorgesehen
ist. In der Ausführungsform
7 ist als das Substrat 461 ein Siliciumsubstrat verwendet,
auf dem eine Verdrahtung (nicht gezeigt) oder dergleichen zum Anlegen
einer Spannung ausgebildet ist. An dem Umfang des Substrats 461 ist eine
Abstandshalterschicht 463 ausgebildet, die z. B. aus einer
mit einer großen
Menge Phosphor dotierten Siliciumoxidschicht hergestellt ist. Darüber hinaus
ist auf der Abstandshalterschicht 463 eine elastische Schicht 464 vorgesehen,
die z. B. aus einer Siliciumnitridschicht hergestellt ist, deren
Restspannung z. B. auf 200 MPa oder weniger an Zugfestigkeit verringert ist.
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Die
oberen reflektierenden Schichten 466 und die unteren reflektierenden
Schichten 467 werden z. B. durch Aufdampfen von Au bis
auf eine Dicke von 0,1 μm
ausgebildet. Wie in den 20(b) und
(c) gezeigt ist, werden auf dem Substrat 461 untere Elektroden 468 ausgebildet.
Die unteren Elektroden 468 werden z. B. durch Abscheiden
einer Polysiliciumschicht, deren Flächenwiderstand z. B. durch Dotieren
mit einer großen
Menge Phosphor auf 20 Ω·cm verringert
wird, bis auf eine Dicke von 0,5 μm auf
dem Substrat 461 durch LPCVD, gefolgt vom Versehen mit
Mustern, erhalten. Die unteren Elektroden 468 werden zum
Anlegen einer Spannung an das Substrat 461 mit der oben
erwähnten
Verdrahtung (nicht gezeigt) verbunden, sodass an die unteren Elektroden
einzeln eine Spannung angelegt wird. Die oberen reflektierenden
Schichten 466, die ebenfalls als obere Elektroden dienen,
sind auf einem Vorspannungspotential mit einer konstanten Potentialdifferenz
in Bezug auf eine an diese unteren Elektroden 468 angelegte
Spannung; z. B. sind die oberen reflektierenden Schichten 466 geerdet.
An die einzelnen unteren Elektroden 468 in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 mit
einer wie oben beschriebenen Struktur wird eine veränderliche
Spannung, z. B. 0 [V], +30 [V] angelegt, wodurch die einzelnen Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen
angesteuert werden können.
-
Nachfolgend
wird anhand von 29 ein Beispiel von
Mitteln zum Messen der zweidimensionalen Intensitätsverteilung
einer Lichtquelle (Wärmequelle)
unter Verwendung der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 453 beschrieben.
Als ein Beispiel der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung wird hier
eine Anordnung 473 betrachtet, in der 4 × 4 Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen angeordnet
sind. Wie in 21 gezeigt ist, werden zur klaren
Beschreibung von der linken Seite her die Spalten a, b, c und d
und von oben her die Zeilen 1, 2, 3 und 4 verwendet. Im Folgenden
wird sukzessive die zweidimensionale Intensitätsverteilung der Wärmequelle 471 mit
einer zweidimensionalen Intensitätsverteilung
wie z. B. in einem menschlichen Körper beschrieben.
- (1) Es wird lediglich die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in einem Abschnitt a1 der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 473 angesteuert,
um die optische Modulation durchzuführen, wobei durch das pyroelektrische Element 474 z.
B. die Intensität
von Infrarotlicht detektiert wird, das auf den Abschnitt a1 auftrifft.
- (2) Nachfolgend wird ähnlich
nur die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung in einem Abschnitt a2 angesteuert,
um die optische Modulation durchzuführen, wobei die Intensität des Infrarotlichts
in dem Abschnitt a2 detektiert wird.
- (3) Anschließend
werden sukzessive in der gleichen Weise die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen
in den Abschnitten a3 bis d4 angesteuert.
-
Gemäß der obigen
Prozedur kann die Verteilung der zweidimensionalen Infrarotlichtintensität als Signalinformationen
in der Zeitfolge, nicht als Momentinformationen, detektiert werden.
Zum Beispiel wurde in der Ausführungsform
9 das pyroelektrische Element 474 verwendet, bei dem das
Detektieren eines Signals 5 ms dauert. Um in einer Anordnung
die aus einer 16 × 16-Vorrichtungsgruppe
besteht, einen Bildschirm voll Informationen zu erhalten, war es
somit z. B. erforderlich, etwa 1,3 Sekunden aufzunehmen.
-
In
der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung der Ausführungsform
7 wird eine rechtwinklige Linse verwendet, um in einem rechtwinkligen
Gebiet eine zweidimensionale Intensitätsverteilung zu erhalten. Zu
dieser Zeit wird die Form eines Lichtflecks, der auf die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung
auftrifft, aus dem gleichen Grund wie in der Ausführungsform
4 zu einem Trapez. Wie in den 19 bis 21 gezeigt ist,
ist somit ebenfalls vorgeschrieben, dass die ebene Konfiguration
der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung ein Trapez ist.
Auf diese Weise kann die Energiemenge des auf die einzelne Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
auftreffenden Lichts konstant gemacht werden, indem die Anordnungsform
mit der Fleckform angepasst wird. Somit kann eine Intensitätsverteilung
genau gemessen werden.
-
Wie
oben beschrieben wurde, ist der Infrarotsensor der Ausführungsform
7 ein zweidimensionaler Infrarotsensor, der weniger teuer und sehr
nützlich ist.
Falls es erwünscht
ist, die Anzahl der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen so zu
erhöhen,
dass ein großes
Gebiet detektiert wird, oder die Detektion mit Genauigkeit durchzuführen, oder
falls eine lange Messzeit verkürzt
wird, wird betrachtet, dass eine weitere Mehrzahl der in Ausführungsform
9 beschriebenen Infrarotsensoren angeordnet und gleichzeitig angesteuert
werden.
-
(Ausführungsform
8)
-
Im
Folgenden wird anhand von 22 ein Infrarotsensor
der Ausführungsform
8 beschrieben.
-
22 ist
eine Ansicht, die eine Struktur eines Infrarotsensors 500 der
Ausführungsform
8 zeigt: (a) ist eine Querschnittsansicht und (b) ist eine Ansicht
in einer -x-Richtung von einer Ebene gesehen, die parallel zu der
y-z-Ebene ist und eine Linie J-J' enthält.
-
Wie
in 22 gezeigt ist, besitzt der Infrarotsensor 500 eine
Anordnung 582 mehrerer angeordneter Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen,
ein pyroelektrisches Element 583, eine Linse 584 und
einen Abstandshalter 585, die in einem Gehäuse 586 untergebracht
sind, das an seiner oberen Oberfläche mit einem Eintrittsfenster 587 versehen
ist. Der Abstandshalter 585 bestimmt einen Auftreffwinkel θ2, unter
dem Licht von einer Lichtquelle 581 auf eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 582 auftrifft.
Die Lichtquelle 581 besitzt eine zwei dimensionale Intensitätsverteilung
mit einer verhältnismäßig kleinen
Fläche.
In der Ausführungsform
10 wird als die Linse 584 eine Linse des Beugungstyps verwendet,
die auf einem quadratischen Siliciumsubstrat ausgebildet ist. Als
das Eintrittsfenster 587 kann z. B. ein Siliciumsubstrat
mit einem darauf ausgebildeten Bandpass-Wellenlängenfilter verwendet werden.
Wie aus 22 selbstverständlich ist,
verwendet der Infrarotsensor 500 der Ausführungsform
8 anstelle einer Ausgangsieistungs-Steuervorrichtung in dem Infrarotsensor
der Ausführungsform
6 mehrere Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen, die in der gleichen
Weise wie in der Ausführungsform
7 in einer Anordnung angeordnet sind.
-
Die
Linse 584 ist in dem Infrarotsensor 500 der Ausführungsform
8 in der gleichen Weise wie in dem Infrarotsensor der Ausführungsform
3 zwischen der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 582 und
dem pyroelektrischen Element 583 angeordnet, wobei die
Linse 584 z. B. aus leitendem Silicium hergestellt ist,
wodurch ein von der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung 582 erzeugtes
elektromagnetisches Rauschen gesperrt werden kann. Darüber hinaus
ist die Lichtausnutzungseffizienz hoch, wenn eine Lichtintensitätsverteilung
in einem verhältnismäßig kleinen
Gebiet gemessen wird, sodass eine zweidimensionale Intensitätsverteilung mit
hoher Empfindlichkeit gemessen werden kann.
-
(Ausführungsform
9)
-
Im
Folgenden wird anhand von 23 ein kontaktloses
Thermometer der Ausführungsform
9 beschrieben. 23 ist eine Ansicht, die eine
Struktur im Querschnitt eines kontaktlosen Thermometers 600 der
Ausführungsform
9 zeigt. Wie in 23 gezeigt ist, hat das kontaktlose
Thermometer 600 eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 641,
ein pyroelektrisches Element 643, eine Linse 645 und
ein Temperaturmessmittel 649 des Kontakttyps wie etwa ein
Thermoelement. Diese sind in einem Gehäuse 646 untergebracht.
Als die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 641 kann irgendeine
der in den oben erwähnten
Ausführungsform
3, 4 und 5 beschriebenen Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen verwendet
werden oder kann eine wie in der oben erwähnten Ausführungsform 7 beschriebene Anordnung
mehrerer angeordneter Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen verwendet
werden. Hier wird das kontaktlose Thermometer 600 beschrieben, das
beispielhaft den Fall erläutert,
dass die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der oben erwähnten Ausführungsform
3 verwendet wird. Als die Linse 645 ist in der Ausführungsform
9 eine Linse des Beugungstyps mit einer quadratischen Öffnung ver wendet,
die aus Silicium hergestellt ist. Ferner besitzt das kontaktlose
Thermometer 600 eine Abschirmung 647. Die Abschirmung 647 ist
auf einer Oberfläche des
Gehäuses 646,
an dem die Linse 645 befestigt ist, auf mechanisch bewegliche
Weise befestigt und sperrt Infrarotlicht 650, das von einem
(nicht gezeigten) Objekt, dessen Temperatur gemessen werden soll,
auf die Linse 645 auftrifft.
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Im
Folgenden wird anhand von 23 ein Messprinzip
des kontaktlosen Thermometers 600 beschrieben. 23 zeigt
einen Zustand, in dem die Linse 645 mit der Abschirmung 647 abgeschirmt
ist und das auftreffende Infrarotlicht 650 nicht in das kontaktlose
Thermometer 600 eintritt. Zu dieser Zeit entspricht ein
durch Betreiben der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 641 in
dem pyroelektrischen Element 643 erzeugtes Signal der Temperatur
der Abschirmung 647. In der Ausführungsform 9 ist das Temperaturmessmittel 649 des
Kontakttyps (Thermoelement) z. B. an einer Innenwand des Gehäuses 646 angeordnet
und misst auf Kontaktart die Temperatur des Gehäuses 646.
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Hinsichtlich
des Prinzips ist erwünscht,
dass das Temperaturmessmittel 649 des Kontakttyps an der
Abschirmung 647 angeordnet ist. Wie später beschrieben wird, wird
die Abschirmung 647 in der Ausführungsform 9 allerdings mechanisch
bewegt; somit werden sie hinsichtlich des Mechanismus kompliziert und
ihre Haltbarkeit verschlechtert, wenn das Temperaturmessmittel 649 des
Kontakttyps an der Abschirmung 647 angeordnet ist. Somit
wird die Temperatur des Gehäuses 646 in
der Ausführungsform
9 als die Temperatur der Abschirmung 647 gemessen. Gemäß der Ausführungsform
der Erfinder der vorliegenden Erfindung ist die Temperaturdifferenz
zwischen der Abschirmung 647 und dem Gehäuse 646 ausreichend
kleiner als 0,1 °C,
was eine Genauigkeit des kontaktlosen Thermometers 600 der
Ausführungsform
9 ist. Somit hat die Temperaturdifferenz kein praktisches Problem.
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23(b) zeigt einen Zustand, in dem die Linse 645 nicht
mit der Abschirmung 647 abgeschirmt ist. Ein solcher Zustand
kann Z. B. durch manuelles Schieben der Abschirmung 647 realisiert werden.
Zu dieser Zeit tritt das auftreffende Infrarotlicht 650 durch
die Linse 645 in das kontaktlose Thermometer 600 ein,
wobei die Intensität
des auftreffenden Infrarotlichts 650 von dem pyroelektrischen
Element 643 durch Ansteuern der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 641 in Übereinstimmung
mit dem in Ausführungsform
3 beschriebenen Prinzip als ein Signal detektiert werden kann. Falls
das Strahlungsverhältnis
eines Objekts konstant ist, ist die Intensität der Infrarotlichtausgabe
von dem Objekt allgemein proportional der vierten Potenz der Objekttemperatur.
Somit kann die Temperatur eines (nicht gezeigten) Objekts, dessen
Temperatur gemessen werden soll, anhand der gemessenen Signalintensität, der Intensität eines
von dem pyroelektrischen Element 643 in dem in 23(a) gezeigten Zustand ausgegebenen Signals
und des durch das Temperaturmessmittel 649 des Kontakttyps
detektierten Signals berechnet werden.
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Wie
oben beschrieben wurde, wird das auftreffende Infrarotlicht 650 in
dem kontaktlosen Thermometer 600 der Ausführungsform
9 durch die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 641 moduliert,
wodurch das kontaktlose Thermometer 600 miniaturisiert
werden kann und der Leistungsverbrauch verringert werden kann. Darüber hinaus
wird die Ausgangsleistung in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung 641 durch
eine sehr kleine Operation der Balken, wie sie in Ausführungsform
3 beschrieben ist, moduliert, sodass zur Zeit der Ansteuerung kein
Rauschen veranlasst wird. In den letzten Jahren ist ein Trommelfellthermometer
entwickelt worden, das eine Körpertemperatur
durch Messen der Temperatur eines Trommelfells eines menschlichen
Körpers
auf kontaktlose Weise misst. Das kontaktlose Thermometer 600 der
Ausführungsform
9 erzeugt selbst dann, wenn es für
diesen Zweck verwendet wird, zur Zeit der Ansteuerung kein Rauschen.
Somit besitzt das kontaktlose Thermometer 600 einen großen Vorteil,
dass es bei der Verwendung keine Unannehmlichkeit umfasst.
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In
der Ausführungsform
9 ist der Fall beschrieben worden, dass die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
der oben erwähnten
Ausführungsform
3 als die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung verwendet wird. Allerdings
sollte gewürdigt
werden, dass in Übereinstimmung
mit der Anwendung die in Ausführungsform
4 oder 5 beschriebene Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung oder die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung aus 7 verwendet
werden kann. Zum Beispiel ermöglicht
die Verwendung der in Ausführungsform
7 beschriebenen Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung, die
zweidimensionale Temperaturverteilung auf kontaktlose Weise zu messen.
Außerdem
sollte gewürdigt
werden, dass die Anordnung der Linse und der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in Übereinstimmung
mit einem zu messenden Objekt wie in Ausführungsform 6 oder 8 beschrieben anwendbar
ist.
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INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
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Wie
oben beschrieben wurde, werden die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
und die Fokussierungsmittel in dem optischen Modulator gemeinsam
verwendet, wodurch eine Lichteinstrahlungsfläche an der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
verringert wird und die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung miniaturisiert
wird. Aus diesem Grund kann ein optischer Modulator realisiert werden,
der eine hohe Reaktionsgeschwindigkeit hat, leicht herzustellen
ist und auftreffendes Licht mit einem großen Strahldurchmesser modulieren
kann. Wenn ein solcher optischer Modulator auf eine Anzeigevorrichtung
vom Projektionstyp angewendet wird, kann eine Anzeigevorrichtung
vom Projektionstyp mit einer großen Lichtausnutzungseffizienz
realisiert werden.
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Darüber hinaus
ist die ebene Konfiguration eines Gitterabschnitts in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in Übereinstimmung
mit der Form eines auf der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung gebildeten
Lichtflecks des auftreffenden Lichts ausgelegt. Zum Beispiel kann
selbst dann, wenn die Lichtfleckform des auf der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
auftreffenden Infrarotlichts ein Trapez wird, die Anzahl der in
dem trapezförmigen
Lichtfleck enthaltenen Balken in den oberen und unteren Abschnitten
des trapezförmigen
Lichtflecks konstant gemacht werden und dadurch, dass die Periode
der Balken, die das Gitter bilden, in der Weise vorgeschrieben wird,
dass sie gemäß einer
linearen Funktion in ihrer Längsrichtung
eingestellt wird, eine gleichförmige
Beugungswirkung erhalten werden. Somit kann die durch die ungleichförmige Beugung des
Lichts veranlasste Verschlechterung der Modulationscharakteristiken
verhindert werden.
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Darüber hinaus
ist vorgeschrieben, dass die Längen
aller Balken in der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung gleich sind.
Daher können
alle Balken vollständig
gleichzeitig betrieben werden, wenn eine Spannung angelegt oder
entfernt wird. Somit kann ein Ansteuern des Ein/Aus von Licht mit
hoher Geschwindigkeit ausgeführt
werden und wird ein Ansteuern mit einer hohen Frequenz möglich. Falls
eine solche Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung z. B. auf einen
Infrarotsensor angewendet wird, kann die Detektion somit innerhalb
einer kurzen Zeitdauer mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden.
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Außerdem kann
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung mit einem Gitter, dessen ebene
Konfiguration wie oben beschrieben ausgelegt ist, auf eine Anzeige vorrichtung
angewendet werden. Wenn z. B. als das Fokussierungsmittel eine Linse mit
einer rechtwinkligen Öffnung
verwendet wird, wird die ebene Konfiguration des Gitters der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in dem optischen Modulator so ausgelegt, dass sie ein Trapez ist,
in dem sich das Intervall zwischen den Balken gemäß einer linearen
Funktion in ihrer Längsrichtung ändert.
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Falls
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der vorliegenden Erfindung
auf einen Infrarotsensor angewendet wird, kann darüber hinaus
z. B. selbst dann, wenn die Lichtfleckform auf der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
ein Trapez wird, unter Verwendung einer Linse mit einer rechtwinkligen Öffnung verhindert
werden, dass sich die Modulationscharakteristiken verschlechtern,
indem die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung zwischen der Linse
und dem pyroelektrischen Element angeordnet wird. In diesem Fall
besitzt ein auf dem pyroelektrischen Element gebildeter Lichtfleck
eine rechtwinklige Form mit einer kleineren Größe als in dem Fall der Verwendung
einer Linse mit einer kreisförmigen Öffnung.
Somit wird ermöglicht,
dass Licht auf das gesamte pyroelektrische Element auftrifft, wobei
ein pyroelektrisches Element mit einer kleinen Fläche ausreicht,
damit die Kosten gesenkt werden können. Gleichzeitig kann ein
höherer
Signalpegel als der herkömmlich
erhaltene Pegel erhalten werden. Somit kann ein Infrarotsensor mit
einer äußerst kleinen
Größe und hohen
Empfindlichkeit als Ganzes realisiert werden.
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Alternativ
wird die Lichtausgabe von der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in einem Infrarotsensor, der die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung der
vorliegenden Erfindung verwendet, unter Verwendung einer Linse auf
das pyroelektrische Element fokussiert, wodurch ausgehendes Licht
von einer Punktlichtquelle in einem fast konstanten Abstand von
dem Sensor mit hoher Effizienz genutzt werden kann. Darüber hinaus
wird dadurch, dass die Linse in der Weise ausgelegt wird, das sie
eine rechtwinklige Öffnung
hat, und dadurch, dass eine Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
mit einem Gitter mit einer ebenen Konfiguration in Übereinstimmung mit
einer durch die Linse in einer solchen Struktur gebildeten Lichtfleckform
verwendet wird, die Flächenausnutzungseffizienz
der Linse verbessert. Somit kann ein miniaturisierter Infrarotsensor
mit hoher Empfindlichkeit für
kurze Abstände
realisiert werden.
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Falls
die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen in einer zweidimensionalen
Anordnung angeordnet sind, wird darüber hinaus, wenn die Lichtintensitätsverteilung in
einem Lichtfleck, z. B. wegen der Trapezform des Lichtflecks, verschieden
ist, die Gesamtmenge der Energie des Lichts, das auf die einzelne
Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auftritt, dadurch gleich gemacht,
dass vorgeschrieben wird, dass die gesamte Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungsanordnung
trapezförmig
ist. Falls mehrere Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen in einer
zweidimensionalen Anordnung angeordnet sind und wie oben beschrieben
in einen Infrarotsensor integriert sind, kann durch sukzessives
Betreiben der Ausgangsleistungs-Steuervorrichtungen und sukzessives
Detektieren der von einem pyroelektrischen Element ausgegebenen
Signale zu dieser Zeit eine zweidimensionale Infrarotlicht-Intensitätsverteilung als
Informationen in einer Zeitfolge detektiert werden, wobei ein viel
preiswerterer zweidimensionaler Infrarotsensor geschaffen werden
kann.
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Darüber hinaus
kann die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung auch auf ein kontaktloses Thermometer
angewendet werden. In diesem Fall wird zunächst die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung
in einem Zustand angesteuert, in dem unter Verwendung einer Abschirmung
verhindert wird, dass Infrarotlicht in ein Gehäuse des kontaktlosen Thermometers
eintritt, wobei ein von einem pyroelektrischen Element erzeugtes
Signal detektiert wird, während die
Temperatur durch ein in dem Gehäuse
vorgesehenes Temperaturmessmittel des Kontakttyps gemessen wird.
Anschließend
wird die Ausgangsleistungs-Steuervorrichtung in einem Zustand angesteuert,
in dem die Abschirmung geöffnet
ist, um zu ermöglichen,
dass Infrarotlicht in das Gehäuse
des kontaktlosen Thermometers eintritt, und ein von dem pyroelektrischen
Element erzeugtes Signal detektiert. Anhand der von dem pyroelektrischen
Element in den oben erwähnten
zwei Zuständen
erzeugten Signale und der durch das Temperaturmessmittel des Kontakttyps
gemessenen Temperatur kann die Temperatur eines zu messenden Objekts
auf kontaktlose Weise mit beachtlicher Genauigkeit gemessen werden.