DE4422683C2 - Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen für eine Fertigungsstraße - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Fertigungsstraße, die ei­ ne Reihe von auch als Prozesse bezeichneten Behand­ lungs- oder Bearbeitungsstufen umfaßt und in der min­ destens ein Partienprozeß vorgesehen ist, bei dem ei­ ne Behandlung gleichzeitig an einer Vielzahl von zu einer Partie zusammengefaßten Losen, nämlich partien­ weise ausgeführt wird. Im einzelnen bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen für das automatische Einordnen und/oder Umordnen von Losen zu Partien für den Partienprozeß oder die partienweise Behand­ lung. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ei­ ne Halbleitervorrichtung-Fertigungsstraße, die eine Vorrichtung zum automatischen Ordnen (oder Umordnen) von Losen enthält, sowie auf ein Verfahren zum auto­ matischen Ordnen oder Umordnen von Losen, die in ei­ nem nachfolgenden Prozeß oder in nachfolgenden Pro­ zessen einer gleichen partienweisen Behandlung unter­ zogen werden.

Zum besseren Verständnis der Erfindung wird deren technischer Hintergrund in gewissen Einzelheiten un­ ter Bezugnahme auf Fig. 11 beschrieben, die eine schematische Darstellung einer bekannten Halbleiter­ plättchen-Fertigungsstraße ist, in der zwischen einem losweisen Prozeß, bei dem Halbleiterplättchen Los für Los behandelt werden, und einem Partienprozeß, bei dem eine Vielzahl von Losen gleichzeitig Partie für Partie behandelt wird, ein Ordnen oder Umordnen von Losen vorgenommen wird. In der Figur sind mit A, B, C und D einzelne Lose bezeichnet, wobei die mit dem gleichen Bezugszeichen bezeichneten Lose diejenigen sind, die in dem Partienprozeß der Behandlung unter gleichen Bedingungen unterzogen werden sollen, wäh­ rend die Zahlen die Reihenfolge bzw. Aufeinanderfolge angeben, in welcher die Lose A, B, C und D einem Pro­ zeß zugeführt worden sind, bei dem eine vorbestimmte Anzahl der Halbleiterplättchen gleichzeitig einer gleichen Behandlung unterzogen wird.

Es wird nun ein Verfahren zum Ordnen von Losen be­ schrieben, das bisher bei einer Halbleiterplättchen- Fertigungsstraße angewandt wurde. Gemäß Fig. 11 wer­ den die Lose A bis D, die bei dem laufenden Prozeß in der durch die Zahlen 1 bis 10 bezeichneten Aufeinan­ derfolge eintreffen, zunächst einmal an vorbestimmten Stellen zum Abwarten eines partienweisen Ordnens der Lose und zum Beschicken eines Behandlungsprozesses (wie beispielsweise für eine Vorbehandlung zum Be­ feuchten des Halbleiterplättchens in Vorbereitung ei­ nes Diffusionsprozesses, eines Thermo- Diffusionsprozesses, eines Ätzprozesses, eines foto­ lithografischen Prozesses oder dergleichen) abgela­ gert, wobei die den Halbleiterplättchen zugeordneten Prioritäten des Zuführens gemäß den Gegebenheiten ge­ ändert werden. Bisher wurde dieser Prozeß des Lagerns und Umgruppierens der Lose von Hand durch Arbeits­ kräfte ausgeführt und die Lose wurden in Gruppen oder Sätze entsprechend den Bedingungen für die Behandlun­ gen eingeteilt, denen die Lose zu unterziehen sind (wie beispielsweise entsprechend den Behandlungsarten wie Diffusion usw., den Behandlungstemperaturen, den für die Behandlungen erforderlichen Zeitabschnitten, den bei den Behandlungen verwendeten Arten von Gasen usw.). Somit umfaßt der Prozeß einen sogenannten Lo­ se-Organisations-prozeß.

Es ist angenommen, daß gemäß Fig. 11 das zehnte Los A10 und das elfte Los B11 von Hand von einem vorange­ henden Prozeß weg, bei dem an den Losen die Behand­ lung einzeln, nämlich losweise ausgeführt wird, zu dem gegenwärtigen Prozeß transportiert werden, bei dem die Behandlung gleichzeitig für eine vorbestimmte Anzahl von Losen, nämlich partienweise ausgeführt wird. Diese Lose A10 und B11 werden an betreffenden Stellen in einer Lagervorrichtung gelagert, in wel­ cher schon die Lose gespeichert sind, die für eine gleiche Behandlung unter gleichen Bedingungen be­ stimmt sind. Auf diese Weise werden die Lose zu Grup­ pen oder Sätzen geordnet, die jeweils eine vorbe­ stimmte Anzahl von Losen der gleichen Art enthalten. Im Falle des dargestellten Beispiels ist angenommen, daß ein Satz vier Lose enthält. Danach werden die vier Lose- A, die zu einem Satz geordnet oder grup­ piert sind und denen eine höhere Priorität zugeteilt ist, bei dem gegenwärtigen Prozeß zuerst behandelt, um danach zu einem darauffolgenden Prozeß transpor­ tiert zu werden, bei dem eine Behandlung gleichzeitig für die vier Lose oder einzeln für jedes der Lose ausgeführt wird. Als nächstes wird die vier Lose B enthaltende Partie der Behandlung anderer Art zuge­ führt und dann zu dem darauffolgenden Prozeß trans­ portiert, wonach dann die Behandlung der Lose C usw. folgt, wobei die Behandlungen entsprechend den den Losen zugeteilten Prioritäten ausgeführt werden.

Im Zusammenhang mit der Automatisierung einer solchen vorstehend genannten Los-Organisation ist in der un­ geprüften japanischen Patentanmeldung JP-A-62-112339 (1987) eine Los-Organisationsvorrichtung für das Ein­ ordnen bei Herstellungsprozessen für Halbleitervor­ richtungen verwendeten Halbleitersubstraten in Grup­ pen oder Sätzen offenbart, die jeweils in einer Plättchenkassette untergebracht sind. Diese Vorrich­ tung ist jedoch eigentlich für die Verwendung bei ei­ nem plättchenweisen Prozeß zur Versuchsfertigung oder Kleinserienfertigung einer großen Vielfalt von Halb­ leitersubstraten ausgelegt.

Aus der DE 39 09 669 A1 ist eine Ablage von Wafern in verschie­ denen Bearbeitungsstationen mittels einer rechnergesteuerten Übertragungsrobotervorrichtung, bestehend aus mehr als einem Übertragungsroboter bekannt, wobei die Arbeitsstationen in ge­ raden Reihen angeordnet sind.

Aus der DE 41 28 374 A1 ist eine rechnergesteuerte Anlage mit verschiedenen Bearbeitungsstationen bekannt, wobei Paletten mit entsprechenden Datenträgern versehen sind, aus denen an den einzelnen Stationen Daten ausgelesen werden.

Aus der US 4,947,784 sind Ablagevorrichtungen für Lose von Wa­ fern mit einer rechnergesteuerten Übertragungsrobotervorrich­ tung bekannt, wobei die Ablage- bzw. Lagervorrichtungen in ei­ ner geraden Reihe angeordnet sind.

Aus der DE 37 16 549 A1 ist eine Ablage von plattenförmigen Objekten in Fächern mit einer Codierung mittels durch eine Steuervorrichtung gesteuerten Manipulatoren bekannt.

Die DE 41 27 341 A1 zeigt eine getrennte Ablage von fertig be­ arbeiteten und mit Fehlern behafteten Werkstücken.

Die DE 41 21 429 A1 zeigt ein Sortieren von Gegenständen inner­ halb einer Fertigungsstraße mit verschiedenen Stationen und Aufteilung auf mindestens 2 Transportwege.

Die DE 42 03 074 A1 offenbart ein rechengesteuertes Transport­ system mit in einer Reihe angeordneten Stellplätzen und Ar­ beitsstationen, wobei Codierungen für das Transportgut verwen­ det werden und ein in einem Transportgestell verfahrbares Transportmittel verwendet wird.

Das in Fig. 11 dargestellte bekannte Schema zur Herstellung von Halbleiterplättchen, bei dem die Lose­ einordnung gestützt auf die Beurteilung von Arbeits­ kräften von Hand ausgeführt wird, ist jedoch durch ein schwerwiegendes Problem insofern beeinträchtigt, daß Fremdfehler nicht vermieden werden können, wo­ durch infolge dessen eine falsche oder fehlerhafte Loseinordnung sowie ein fehlerhaftes Einfügen der Lo­ se in die Beschickungsfolge hervorgerufen wird, was zu dem unerwünschten Zustand führt, daß einige Lose über eine längere Zeitdauer gelagert bleiben, ohne in den Prozeß eingeführt zu werden. Ferner kann das be­ kannte Loseinordnungsschema nicht leicht und schnell Abwandlungen oder Änderungen hinsichtlich der Anzahl der Bedingungen für die Behandlungen sowie hinsicht­ lich Änderungen der Umgebungsbedingungen der betref­ fenden Fertigungsstraßen genügen. Im einzelnen wurden im Falle des bekannten Herstellungsprozesses die op­ timalen Bedingungen für die Behandlung durch wieder­ holte empirische Erprobung in der Weise ermittelt, daß bei dem Auftreten eines nicht zufriedenstellenden Produktes als Ergebnis der Behandlung unter bestimm­ ten Bedingungen diese Bedingungen durch andere Bedin­ gungen ersetzt wurden. Daher erfordert das Erstellen der optimalen Bedingungen für die Behandlungen und damit für die Loseinordnung einen beträchtlichen Zeitaufwand. Darüber hinaus muß dann, wenn eine der optimalen Bedingungen geändert werden soll, die Pro­ zedur für das Ermitteln der optimalen Bedingungen als ganze von Anfang an wiederholt werden, wobei die zu­ vor einmal aufgestellten optimalen Bedingungen ent­ fallen. Es ist offensichtlich, daß die Arbeitskräfte hinsichtlich der Bestimmung der optimalen Bedingungen unter Berücksichtigung der Prioritäten der Behandlun­ gen, denen die Plättchen zu unterziehen sind, sowie der Behandlungsbedingungen auf große Schwierigkeiten stoßen.

Die in der vorstehend genannten Veröffentlichung JP-A-62-112339 offenbarte Loseinordnungsvorrichtung ist sicherlich wirkungsvoll, solange die Anzahl der durch eine Folge von Prozessen behandelten Lose konstant bleibt. Die bekannte Vorrichtung ist jedoch nicht für die Herstellung einer Vielfalt von Vorrichtungen un­ ter Ändern des Durchsatzes in dem Fall geeignet, bei dem zwischen einem vorangehenden und einem nachfol­ genden Prozeß die Anzahl von Losen geändert werden muß (wie dies beispielsweise bei dem Diffusionsprozeß bei der Herstellung der Halbleitervorrichtungen der Fall ist). Das heißt, für den Diffusionsprozeß, z. B. den Oxidationsprozeß, den chemischen Niederdruck- Bedampfungsprozeß (LPCVD) und dergleichen, bei dem ein hohes relatives Prozeßverhältnis, nämlich ein ho­ hes Verhältnis der für einen bestimmten Prozeß benö­ tigten Zeit zu der Gesamt zeit für die Herstellung er­ forderlich ist, entsteht ein beträchtlicher Zeitauf­ wand einschließlich der Zeit für das Anheben der Tem­ peratur von Plättchen und deren Kühlung (z. B. 10 Stunden oder mehr). Daher ist es zum Erhöhen der Fer­ tigungsleistung wünschenswert, die Halbleiterplätt­ chen durch Zusammenfassen oder Einordnen der der gleichen Behandlung zu unterziehenden Lose in gleiche Sätze oder Gruppen partienweise zu behandeln. In man­ chen Fällen ändert sich jedoch die Anzahl der in ei­ nen Satz zusammengefaßten oder eingeordneten Lose in Abhängigkeit von den Arten der Behandlungsbedingun­ gen, so daß ein Zustand entsteht, der mit der in der vorstehend genannten Veröffentlichung beschriebenen Vorrichtung nicht zufriedenstellend bewältigt werden kann.

Im Hinblick auf den vorstehend beschriebenen Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, für das Ordnen von Losen ein Verfahren und eine Vor­ richtung zu schaffen, mit denen die vorangehend ge­ nannten Probleme richtig gelöst werden können und auf wirkungsvolle Weise irgendwelchen Änderungen der An­ zahl von durch eine Reihe von Prozessen behandelten Losen genügt werden kann, während verhindert ist, daß die Lose über eine längere Zeitdauer gelagert blei­ ben.

Ferner sollen mit der Erfindung ein Verfahren und ei­ ne Vorrichtung geschaffen werden, mit denen Fehler nicht nur hinsichtlich der Loseinordnung, sondern auch hinsichtlich der Reihenfolge oder Aufeinander­ folge der Beschickung mit den Losen zuverlässig aus­ geschlossen werden können.

Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsge­ mäße Vorrichtung sollen vorteilhaft bei einer Ferti­ gungsstraße für Halbleitervorrichtungen Anwendung finden.

Im Hinblick auf diese Aufgabe und andere, aus der nachfolgenden Beschreibung ersichtlichen Ziele ist die Erfindung im breitesten Sinne auf ein System für das Herstellen von Produkten durch eine Reihe von aufeinanderfolgenden Prozessen gerichtet, von denen sich mindestens zwei aufeinander folgende Prozesse voneinander hinsichtlich der Anzahl von Losen unter­ scheiden, welche in den beiden Prozessen partienweise behandelt werden können. Gemäß einem allgemeinen Aspekt der Erfindung ist in diesem System zwischen die beiden Prozesse eine Vorrichtung zum automati­ schen Ordnen der Lose bei der Übertragung derselben von dem vorangehenden Prozeß zu dem nachfolgenden Prozeß eingefügt, wobei die Vorrichtung eine Ablage­ station zur Aufnahme der von dem vorangehenden Prozeß weg zugeführten Lose und zum vorübergehenden Lagern der aufgenommenen Lose, eine in Verbindung mit der Ablagestation angebrachte Loserkennungsvorrichtung zum Identifizieren der von dem vorangehenden Prozeß weg zugeführten Lose, eine Lageranordnung für die An­ ordnung der Lose mit einer Vielzahl von Fächern für das Lagern der aus der Ablagestation aufgenommenen Lose, einen bewegbar zwischen der Ablagestation und der Lageranordnung angeordneten Übertragungsroboter bzw. Übertragungsautomaten zum wechselweisen Trans­ portieren der Lose zwischen der Ablagestation und der Lageranordnung sowie eine Steuereinheit aufweist, die aus der Loserkennungsvorrichtung Loskenninformationen aufnimmt, um die Lageranordnung und/oder den Übertra­ gungsroboter gemäß den Loskenninformationen derart zu steuern, daß zu einem Satz diejenigen der in den Fä­ chern gelagerten Lose zusammengefaßt werden, die in dem nachfolgenden Prozeß partienweise der gleichen Behandlung zu unterziehen sind.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der vorstehend beschriebenen Vorrichtung kann die Vielzahl der Fä­ cher der Lageranordnung in einer geraden Reihe ange­ ordnet sein und jeweils an beiden Seiten der geraden Reihe offene Zugrifföffnungen haben, wobei in der Steuereinheit im voraus Positionsinformationen für die Fächer gespeichert sind und wobei jeweils an den beiden Seiten der geraden Reihe zumindest ein erster und ein zweiter Übertragungsroboter angebracht sind, die zwischen der Ablagestation und der Lageranordnung unter Steuerung durch die Steuereinheit gemäß den Loskenninformationen, den Fachpositionsinformationen und Bedingungsinformationen für die Behandlung, der die Lose zu unterziehen sind, entlang der geraden Reihe derart bewegbar sind, daß diejenigen der an der Ablagestation abgelegten Lose, die bei dem nachfol­ genden Prozeß einer partienweisen gleichen Behandlung unterzogen werden sollen, zunächst einmal in ein gleiches Fach der Lageranordnung abgelegt und aus diesem Fach für das Zuführen zu dem nachfolgenden Prozeß als Satz von Losen entnommen werden, die bei dem nachfolgenden Prozeß partienweise zu behandeln sind.

Bei einer anderen vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung kann ein dritter Übertragungsroboter für das Aufnehmen der von dem vorangehenden Prozeß weg zugeführten Lose vorgesehen werden, um die Lose an der Ablagestation an einer Stelle anzubringen, an der durch die Loserkennungsvorrichtung die Loskenninfor­ mationen der Lose gelesen werden können, wobei der dritte Übertragungsroboter außerdem für das Übertra­ gen der Lose zwischen der Ablagestation und dem er­ sten Übertragungsroboter sowie zwischen dem zweiten Übertragungsroboter und der Ablagestation unter Steuerung durch die Steuereinheit eingesetzt werden kann.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann der erste Übertragungsroboter durch die Steuereinheit gemäß den Fachpositionsinformatio­ nen derart gesteuert werden, daß beliebig gewählte der aus der Ablagestation übertragenen Lose in belie­ big gewählte Fächer abgelegt werden, während der zweite Roboter durch die Steuereinheit gemäß den Los­ kenninformationen, den Fachpositionsinformationen und den Behandlungsbedingungsinformationen derart gesteu­ ert wird, daß von den in den Fächern abgelegten Losen diejenigen, die bei dem nachfolgenden Prozeß der gleichen partienweisen Behandlung zu unterziehen sind, aus den Fächern der Lageranordnung zum Zusam­ mensetzen zu einem Satz von Losen entnommen werden, welche bei dem nachfolgenden Prozeß als eine Partie behandelt werden können.

Jedes der vorstehend genannten Fächer kann eine Viel­ zahl von Regalen enthalten, die längs einer geschlos­ senen Schleife bewegbar sind, um die Zugrifföffnungen für den Zugriff des ersten und des zweiten Roboters zu den auf den Regalen abgelegten Losen freizulegen.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ferner eine in eine Fertigungsstraße für Halbleitervorrich­ tungen eingegliederte Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen geschaffen, die eine Lageranordnung mit einer Vielzahl von Lagervorrichtungen, die in ei­ ner geraden Reihe angeordnet sind und die jeweils zur Aufnahme einer Vielzahl von Losen geeignet sind, ei­ nen an einer Seite der Lagervorrichtungsreihe ange­ ordneten ersten Übertragungsroboter für das Einlegen bzw. Entnehmen der Lose in bzw. aus den Lagervorrich­ tungen, einen an der anderen Seite der Lagervorrich­ tungsreihe angeordneten zweiten Übertragungsroboter für das Einlegen bzw. Entnehmen der Lose in bzw. aus dem Lagervorrichtungen an deren Rückseite, eine Abla­ gestation für das Auflegen einer Vielzahl von durch den ersten und den zweiten Roboter gehandhabten Lo­ sen, eine Loserkennungsvorrichtung für das Lesen von Kenninformationen der an der Ablagestation aufgeleg­ ten Lose, einen dritten Übertragungsroboter für das jeweilige Versetzen der mit dem ersten und dem zwei­ ten Übertragungsroboter an der Ablagestation aufge­ legten Lose und eine Steuereinheit aufweist, die au­ tomatisch die Lageranordnung, die Ablagestation und den ersten, den zweiten und den dritten Übertragungs­ roboter auf koordinierte Weise derart steuert, daß die an der Ablagestation abgelegten Lose entsprechend der Loskenninformation an vorbestimmten Stellen in der Lageranordnung untergebracht werden, um dadurch die Lose entsprechend Loseinordnungsbedingungen wie den Bedingungen, unter denen die Lose zu behandeln sind, der Auslastungsverteilung in der Fertigungs­ straße und den den Prozessen zugeordneten Prioritäten in eine Gruppe einzuordnen.

Mit den vorstehend beschriebenen Gestaltungen der Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen können die Lose auf automatische Weise entsprechend den Los­ kenninformationen unter Berücksichtigung der Bedin­ gungen für die Behandlungen in den nachfolgenden Pro­ zessen, der Auslastungsverteilung in der Fertigungs­ straße, der Prioritäten der Behandlungen und anderer, in der Steuereinheit gespeicherter Informationen je­ weils in Sätze zusammengefaßt werden, die in nachfol­ genden Prozessen der gleichen Behandlung zu unterzie­ hen sind, wobei dadurch die Leistungsfähigkeit der Fertigungsstraße beträchtlich gesteigert werden kann, während zugleich das Auftreten einer Stockung in der Fertigungsstraße verhindert ist.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausfüh­ rungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die auf allgemeine Weise eine Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen gemäß einem ersten Ausführungsbei­ spiel der Erfindung darstellt.

Fig. 2 ist eine schematische Draufsicht auf die Vorrichtung.

Fig. 3 ist eine der Fig. 2 gleichartige Ansicht, die die allgemeine Funktion der Vorrichtung veran­ schaulicht.

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch als Beispiel eine von Lagervorrichtungen zeigt, die eine Lageranordnung bilden.

Fig. 5 ist eine Seitenansicht der Lagervorrich­ tung.

Fig. 6 ist eine schematische Darstellung, die eine Gestaltung der Vorrichtung gemäß dem ersten Aus­ führungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht.

Fig. 7 ist ein Flußdiagramm, das eine Ferti­ gungsstraße für Halbleiterplättchen veranschaulicht, in der eine erfindungsgemäße Vorrichtung für das au­ tomatische Ordnen von Losen eingebaut ist.

Fig. 8 und 9 sind Ablaufdiagramme, die ein Ver­ fahren zum automatischen Ordnen von Losen gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschau­ lichen.

Fig. 10 ist ein Ablaufdiagramm, das in Verbin­ dung mit Fig. 8 ein Verfahren zum automatischen Ord­ nen von Losen gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht.

Fig. 11 ist eine schematische Darstellung eines bekannten Prozesses zur Fertigung von Halbleiter­ plättchen.

Erstes Ausführungsbeispiel

Die Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die die allgemeine Gestaltung einer automatischen Loseinord­ nungsvorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbei­ spiel der Erfindung zeigt, die Fig. 2 ist eine Drauf­ sicht, die die Vorrichtung schematisch darstellt, und die Fig. 3 ist eine der Fig. 2 gleichartige Ansicht, die die Funktion der Vorrichtung veranschaulicht.

Gemäß Fig. 1 weist die Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung eine nachfolgend als Lageranordnung 20 bezeichnete Vielzahl von Lagervorrichtungen 2 auf, die in einer geraden Reihe nebeneinander gesetzt sind, wobei jede Lagervorrichtung ein Fach bildet, das zum Lagern einer Vielzahl von Losen 1 dient. An der Vorderseite der Lageranordnung 20 ist ein erster Übertragungsroboter bzw. Übertragungsautomat 3 für das Einlegen und das Entnehmen der Lose 1 in bzw. aus den einzelnen Speichervorrichtungen 2 angebracht. An der Rückseite der Lageranordnung 20 ist ein zweiter Übertragungsroboter 4 für das Handhaben der Lose 1 auf gleiche Weise wie der erste Übertragungsroboter 3 angebracht. Zum Auflegen einer Vielzahl von durch den ersten und den zweiten Übertragungsroboter 3 und 4 gehandhabten Losen 1 dient eine Ablagestation 5. In Verbindung mit der Ablagestation 5 ist eine Loserken­ nungsvorrichtung 6 für das Lesen von Loskenninforma­ tionen der an der Ablagestation 5 abgelegten Lose 1 angebracht. Ferner dient ein dritter Übertragungsro­ boter 7 zum Transportieren der Lose 1 zwischen der Ablagestation 5 und dem ersten und zweiten Übertra­ gungsroboter 3 und 4. Die Lagervorrichtungen 2, die Ablagestation 5 und der erste bis dritte Übertra­ gungsroboter 3, 4 und 7 werden durch eine Steuerein­ heit 8 auf koordinierte Weise gesteuert, was nachfol­ gend in größeren Einzelheiten beschrieben wird.

Die Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch als Beispiel eine Gestaltung einer der Lagervorrichtungen bzw. eines der Fächer zeigt, und die Fig. 5 ist eine schematische Seitenansicht der Lagervorrichtung. Gemäß Fig. 4 und 5 enthält die La­ gervorrichtung (das Fach) 2 ein Paar endloser Förder­ ketten 11a und 11b, die synchron miteinander entlang jeweiliger geschlossener Schleifen aufwärts und ab­ wärts bewegbar sind, sowie eine Vielzahl von Regalen 12a bis 12g, die mit einem vorbestimmten Abstand zwi­ schen den Regalen horizontal zwischen den beiden För­ derketten 11a und 11b angebracht sind. Die Förderket­ ten 11a und 11b werden durch einen von der Steuerein­ heit 8 abgegebenen Befehl mittels einer geeigneten (nicht gezeigten) Motorvorrichtung derart angetrie­ ben, daß sich die einzelnen Regale 12a bis 12g ent­ lang einer durch die Förderketten 11a und 11b be­ stimmten, im wesentlichen elliptischen Bahn bewegen, während die horizontale Lage beibehalten wird. Auf diese Weise kann ein gewünschtes der Regale 12a bis 12g durch den Befehl aus der Steuereinheit 8 in eine Lage gebracht werden, die für das Übertragen des Lo­ ses bzw. der Lose 1 mittels des ersten oder zweiten Übertragungsroboters 3 oder 4 geeignet ist. In diesem Zusammenhang ist anzumerken, daß jedes der Regale 12a bis 12g für das Aufnehmen und Ablegen einer vorbe­ stimmten Anzahl von Losen 1 ausgelegt ist, beispiels­ weise von vier Losen im Falle des dargestellten Aus­ führungsbeispiels. Ferner sei allein als Beispiel an­ genommen, daß jedes der Lose 1 eine Plättchenkassette aufweist, die ihrerseits eine vorbestimmte Anzahl von Halbleiterplättchen enthält.

Der erste Übertragungsroboter 3 ist längs einer Schiene 9 bewegbar, die an der Vorderseite der La­ geranordnung 20 angebracht ist, während der zweite Übertragungsroboter 4 längs einer Schiene 10 bewegbar ist, die an der Rückseite der Lageranordnung 20 ange­ bracht ist, wobei die beiden Roboter 3 und 4 unter Steuerung durch die Steuereinheit 8 zwischen den La­ gervorrichtungen 2 und der Ablagestation 5 hin- und herbewegbar sind.

Die Loserkennungsvorrichtung 6 kann beispielsweise die Form eines Balkencodelesers für das Lesen einer an dem jeweiligen Los 1 in Form eines Balkencodes an­ gebrachten Kennzahl haben, welche durch den Balken­ codeleser 6 gelesen und der Steuereinheit 8 zugeführt wird.

Die Fig. 6 stellt allgemein die Systemgestaltung die­ ser Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen dar. Aus dieser Figur ist ersichtlich, daß die Steu­ ereinheit 8, die durch einen Computer oder derglei­ chen gebildet sein kann, mit einer Vielzahl von Be­ handlungs- bzw. Prozeßeinheiten 21a, 21b, 21c usw., welche in einer Fertigungsstraße eingegliedert sind, der Ablagestation 5, der Loserkennungsvorrichtung bzw. dem Balkencodeleser 6, dem ersten bis dritten Übertragungsroboter 3, 4 und 7, den Lagervorrichtun­ gen 2 und einem Endgerät 22 verbunden ist, wobei die Steuereinheit 8 die Funktionen der vorstehend genann­ ten verschiedenen Bauteile entsprechend Anweisungen leitet und steuert, welche die Bedingungen für das Einordnen der Lose gemäß der Eingabe über das Endge­ rät 22 enthalten.

Allgemein kann in einer Fertigungsstraße für Halblei­ tervorrichtungen, in welcher eine Vielzahl von Losen 1 in einen Satz eingeordnet oder eingruppiert ist, der eine Folge von Verarbeitungen oder Behandlungen auf Partienbasis, nämlich partienweisen Verarbeitun­ gen oder Behandlungen zu unterziehen ist, eine derar­ tige Situation entstehen, daß sich die Anzahl der zu einem Satz gehörigen Lose von einem zum anderen Pro­ zeß unterscheidet. Als Beispiel sei eine Fertigungs­ straße angenommen, in welcher ein Los in einem Prozeß behandelt wird, auf den ein anderer Prozeß folgt, bei dem vier Lose gleichzeitig behandelt werden. In die­ sem Fall ist es erforderlich, zwischen diesen Prozes­ sen den Satz von Losen umzuordnen oder umzugestalten. In dieser Beziehung gibt die Erfindung die Lehre, daß zwischen den Prozessen, die sich voneinander hin­ sichtlich der Anzahl der auf Partienbasis den Behand­ lungen zu unterziehenden Lose unterscheiden, ein Pro­ zeß bzw. ein Schritt für das Ordnen, nämlich das Umordnen oder Umgruppieren der Lose ohne eine Behand­ lung im eigentlichen Sinne vorgesehen wird, wobei da­ durch die Lose in dem Satz (der Partie) in Abhängig­ keit von den Bedingungen für die Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß sowie von der Auslastung der Fertigungsstraße, den Prioritätswerten der Behandlun­ gen und/oder anderen Bedingungen gemäß den Erforder­ nissen geordnet, nämlich umgeordnet oder umgruppiert werden.

Die Fig. 7 veranschaulicht als Beispiel die Funktion in einer Fertigungsstraße für Halbleitervorrichtun­ gen, die eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum auto­ matischen Ordnen von Losen enthält. In dieser Figur sind mit A bis D Lose bezeichnet, welche jeweils Be­ handlungen unter gleichen Bedingungen zu unterziehen sind, während mit Zahlen die Reihenfolge angegeben ist, in welcher die Lose von dem vorangehenden Prozeß weg bei der Stufe zum Ordnen der Lose eintreffen.

In der Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen mit dem vorstehend beschriebenen Aufbau nimmt die Steuereinheit 8 aus der Loserkennungsvorrichtung 6 die Loskenninformation auf, um die Lageranordnung und die Übertragungsroboter gemäß der Loskenninformation auf koordinierte Weise derart zu steuern, daß dieje­ nigen in den Lagervorrichtungen gelagerten Lose, wel­ che für die gleiche Behandlung auf Partienbasis bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, zu einem Satz zusammengefaßt werden. In diesem Fall können durch die Steuereinheit 8 aufgrund der Loskenninformation, der Lagervorrichtung-Positionsinformation und den Be­ dingungen für die Behandlung, der die Lose zu unter­ ziehen sind, der erste und der zweite Übertragungsro­ boter 3 und 4 in der Weise gesteuert werden, daß die­ jenigen an der Ablagestation 5 abgelegten Lose, die für die gleiche Behandlung in dem nachfolgenden Pro­ zeß auf Partienbasis bestimmt sind, zunächst einmal in ein gleiches Fach oder eine gleiche Lagervorrich­ tung der Lageranordnung eingelegt werden und aus die­ sem Fach bzw. dieser Lagervorrichtung für das Zufüh­ ren zu dem nachfolgenden Prozeß als ein Satz von Lo­ sen entnommen werden, die partienweise bei dem nach­ folgenden Prozeß zu behandeln sind. Der dritte Über­ tragungsroboter 7 nimmt andererseits die von dem vor­ angehenden Prozeß her gelieferten Lose auf, um diese an der Ablagestation 5 auf eine Stelle abzulegen, an der durch die Loserkennungsvorrichtung 6 die Losken­ ninformation der Lose gelesen werden kann, wobei der dritte Übertragungsroboter 7 außerdem dazu eingesetzt werden kann, die Lose zwischen der Ablagestation 5 und dem ersten Übertragungsroboter 3 sowie zwischen dem zweiten Übertragungsroboter 4 und der Ablagesta­ tion 5 unter Steuerung durch die Steuereinheit zu transportieren.

Verfahren zum automatischen Ordnen von Losen werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 8 bis 10 in größeren Einzelheiten erläutert.

Zweites Ausführungsbeispiel

Unter Bezugnahme auf die Fig. 7 bis 9 wird in Verbin­ dung mit einer Fertigungsstraße für Halbleitervor­ richtungen ein Verfahren zum automatischen Ordnen von Losen als zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben.

Gemäß Fig. 8 werden die Lose 1, die mittels eines (nicht gezeigten) bemannten oder unbemannten Karrens oder Wagens von einer vorangehenden Prozeßstufe weg, bei der die Lose einzeln für sich behandelt werden, gemäß der Darstellung durch gestrichelte Linien zu der Station 5 der automatischen Loseinordnungsvor­ richtung transportiert sind, zuerst bei einem Schritt S1 (nach Fig. 8) an der Station 5 abgelegt, woraufhin die Lose durch den dritten Übertragungsroboter 7 an der Station 5 zu einer Stelle versetzt werden, an der durch die Loserkennungsvorrichtung 6 die Lose identi­ fiziert werden (Schritt S2).

In einem Schritt S3 werden von der Loserkennungsvor­ richtung 6 die Kennzahlen der einzelnen Lose 1 gele­ sen und die Kenninformationen der Steuereinheit 8 zu­ geführt. Die Steuereinheit 8 bestimmt dann unter Be­ zugnahme auf die über das Endgerät 22 eingegebenen Loseinordnungsbedingungen sowie auf die im voraus in einem in der Steuereinheit 8 enthaltenen Speicher ge­ speicherten Losinformationen die Einlagerung der Lose in die Lagervorrichtungen 2, woraufhin in einem Schritt Anweisungen für die Betriebsvorgänge des er­ sten, des zweiten und/oder des dritten Übertragungs­ roboters 3, 4 und 7 abgegeben werden.

In einem Schritt S5 wird das Los 1, dem gemäß der Er­ kennung die Loskennummer zugeteilt ist, durch den dritten Übertragungsroboter 7 zu der Stelle für die Übertragung mit dem ersten oder zweiten Roboter 3 oder 4 versetzt.

Darauffolgend wird in einem Schritt S6 das Los durch den ersten Übertragungsroboter 3 unter Steuerung durch die Steuereinheit 8 in einem der Regale 12 ei­ ner bestimmten Lagervorrichtung 2 gelagert. In diesem Zusammenhang wäre anzumerken, daß die Anordnung der Lose während der Zeit ausgeführt werden kann, während der das Los in der Lagervorrichtung 2 abgelegt wird, oder während der Zeit, während der das Los aus der Lagervorrichtung 2 entnommen wird. Das zweite Ausfüh­ rungsbeispiel ist auf das Einordnen der Lose bei de­ ren Ablagerung in der Lagervorrichtung bzw. in dem Fach 2 gerichtet.

Im einzelnen wird gemäß Fig. 9 dann, wenn von der Steuereinheit 8 entschieden wird, daß an einem Regal oder an Regalen 12 einer der Lagervorrichtungen 2 schon einige Lose 1 gelagert wurden, die der gleichen Behandlung, z. B. der gleichen Art von Diffusions- oder Wärmebehandlung bei gleicher Temperatur über gleiche Zeitdauer in gleicher Gasatmosphäre oder der­ gleichen zu unterziehen sind, von dem ersten Übertra­ gungsroboter 3, der aus der Station 5 über den drit­ ten Roboter 7 ein nächstes Los 1 empfängt, dieses zu der bestimmten Lagervorrichtung (dem bestimmten Fach) 2 mit dem Fach 12 befördert, in welchem die Lose 1 untergebracht sind, die der gleichen Behandlung zu unterziehen sind (Schritt S7). Wenn andererseits kei­ ne Lagervorrichtung 2 zu finden ist, in welcher Lose gelagert sind, die der Behandlung unter gleichen Be­ dingungen zu unterziehen sind, wird in einem Schritt S8 das von der Station 5 her aufgenommene Los in ei­ ner beliebig gewählten Lagervorrichtung 2 gelagert. Dabei wird das Regal 12 der Lagervorrichtung 2, wel­ che die unter gleichen Bedingungen zu behandelnden Lose 1 enthält, oder ein leeres Regal einer bestimm­ ten Lagervorrichtung 2 bei einem Schritt 9 in die Stellung für die Aufnahme des Loses von dem ersten Übertragungsroboter 3 gedreht, wodurch das Los 1 durch den ersten Übertragungsroboter 3 an einer be­ stimmten Stelle des Regals 12 abgelegt wird (Schritt S10). Zum Ausführen der Loseinordnung wird der vor­ stehend beschriebene Vorgang für jedes Los wiederholt (viermalig im Falle des dargestellten Beispiels).

Wenn die Übertragungs- bzw. Handhabungsfähigkeit al­ lein des ersten Übertragungsroboters 3 unzureichend ist, kann die Einlagerung der Lose in die Speicher­ vorrichtung 2 dadurch ausgeführt werden, daß auch der zweite Übertragungsroboter 4 eingesetzt wird. In die­ sem Fall sollten vorzugsweise die Lose in einem Schritt S11 durch den ersten Übertragungsroboter zu einer der Station 5 nächstgelegenen Lagervorrichtung 2a gemäß Fig. 3 transportiert werden und in einem Schritt S12 sollte ein leeres der Regale 12 dieser Lagervorrichtung 2a in die Stellung für die Aufnahme des Loses von dem ersten Übertragungsroboter 3 ge­ bracht werden. Auf diese Weise wird bei einem Schritt S13 durch den ersten Übertragungsroboter 3 auf das leere Regal 12 eine vorbestimmte Anzahl von Losen 1 als Gruppe oder Satz abgelegt, wonach unter Steuerung durch die Steuereinheit 8 das Regal 12 bei einem Schritt S14 durch Antrieb der Förderkette 11 in die Stellung für das Umladen der Lose zu dem zweiten Übertragungsroboter 4 bewegt wird. Darauffolgend wer­ den in einem Schritt S15 die Lose 1 durch den zweiten Übertragungsroboter 4 zu der Lagervorrichtung 2 transportiert, in der die der gleichen Behandlung zu unterziehenden Lose untergebracht sind. Falls kein Lagerraum zur Aufnahme der unter gleichen Bedingungen zu behandelnden Lose vorhanden ist, werden die von dem zweiten Übertragungsroboter 4 transportierten Lo­ se 1 in eine leere Lagervorrichtung 2 eingelagert (Schritt S16). Danach werden durch Vorgänge, die den­ jenigen bei den Schritten S9 und S10 gleichartig sind, die Lose 1 an vorbestimmten Stellen auf dem Re­ gal 12, das die unter gleichen Bedingungen zu behan­ delnden Lose trägt, oder an vorbestimmten Stellen auf dem leeren Regal 12 abgelegt (Schritte S17 und S18).

Wenn unter den zuvor über das Endgerät 22 in die Steuereinheit 8 eingegebenen Bedingungen das Einord­ nen oder Eingruppieren der Lose abgeschlossen ist, wird mittels des ersten Übertragungsroboters 3 eine vorbestimmte Anzahl von Losen 1 von einem vorbestimm­ ten Regal 12 abgenommen und zu der Station 5 trans­ portiert (Schritt S19).

Drittes Ausführungsbeispiel

Als nächstes wird als drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung ein Verfahren zum Ordnen von Losen be­ schrieben, das ausgeführt wird, wenn die Lose 1 aus der Lagervorrichtung oder den Lagervorrichtungen 2 entnommen werden. Zuerst werden bei dem Lagern der Lose 1 aus der Station 5 die Lose an einer unbelegten Stelle eines bestimmten Regals 12 in einer bestimmten Lagervorrichtung 2 abgelegt (Schritt S20). In diesem Fall wird die Lagervorrichtung 2 derart gewählt, daß die für das Lagern der Lose erforderliche Belastung des ersten und des zweiten Übertragungsroboters 3 und 4 auf ein Mindestmaß verringert werden kann. Im ein­ zelnen werden dann, wenn eine Vielzahl von Losen 1 als ein Satz gehandhabt wird, die Lose möglichst auf einem einzigen leeren Regal 12 einer einzigen Lager­ vorrichtung 2 abgelegt und nicht auf mehrere Regale 12 verteilt.

Nach beendetem Einlagern der Lose aus der Station 5 in die Lagervorrichtung 2 werden aus dem Regal oder den Regalen 12 der Lagervorrichtung 2, welche die Lo­ se 1 enthält, die den über das Endgerät 22 eingegebe­ nen Bedingungen zum Ordnen der Lose genügen, die Lose 1 in einer vorbestimmten Anzahl, nämlich vier Lose im Falle des dargestellten Ausführungsbeispiels entnom­ men und zu der Station 5 befördert (Schritt S21). Falls die betreffenden Lose 1 auf eine Vielzahl von Regalen 12 verteilt gelagert sind, werden die Lose 1, die der gleichen Behandlung zu unterziehen sind, in einer entsprechenden Anzahl von Arbeitsvorgängen aus den entsprechenden Regalen 12 entnommen und zu der Station 5 transportiert, um dadurch eine Gruppe oder einen Satz zu bilden, die bzw. der eine vorbestimmte Anzahl von Losen enthält (Schritt S22). Die zu der Station 5 transportierte vorbestimmte Anzahl von Lo­ sen 1 wird zu einer Stelle versetzt, von der weg die Lose 1 mittels eines unbemannten oder bemannten Wa­ gens oder Karrens zu einem nachfolgenden Prozeß transportiert werden können.

Die Bedingungen für das Einordnen der Lose können im voraus in der Steuereinheit 8 gespeichert werden, so daß die Bedingungen mittels des Endgerätes 22 nach Belieben abgeändert werden können.

Die Erfindung ist nicht auf die genaue Gestaltung und Funktion gemäß der Darstellung und Beschreibung be­ schränkt, so daß vielmehr mancherlei Abwandlungen und Kombinationen in den Rahmen der Erfindung fallen.

Beispielsweise wurden die dargestellten Ausführungs­ beispiele der Erfindung im Zusammenhang mit der Ein­ ordnung der Lose unter der Annahme beschrieben, daß in dem Prozeß vor dem Einordnen die Lose auf Los- Basis behandelt werden, während die Lose bei dem nachfolgenden Prozeß als eine Partie aus vier Losen behandelt werden. Es ist jedoch offensichtlich, daß die Erfindung nicht auf eine derartige Anordnung be­ schränkt ist. Allgemein kann die Erfindung bei dem Umordnen einer bestimmten Anzahl N von Losen auf eine andere bestimmte Anzahl M von Losen Anwendung finden, wobei N kleiner oder größer als M sein kann. Ferner werden in einer Fertigungsstraße für Halbleitervor­ richtungen verschiedenerlei Prozesse wie das Befeuch­ ten von Halbleiterplättchen, die Fotolithografie, die Ionenimplantation, das Ätzen usw. wiederholt ausge­ führt. Infolgedessen kann ein Fall entstehen, daß ei­ nem einzigen Prozeß mehrere Behandlungen zugewiesen sind. In diesem Fall ist die durch eine Anzahl von Losen ausgedrückte Auslastung dieses Prozesses gegen­ über den anderen Prozessen beträchtlich erhöht, was eine entsprechende Verlängerung der Verweilzeit des Loses in der Fertigungsstraße ergibt. Zur Lösung die­ ses Problems sollte das erfindungsgemäße Ordnen der Lose vorzugsweise vor demjenigen Prozeß vorgesehen werden, in welchem eine große Anzahl von Behandlungen konzentriert ist, und zwar derart, daß durch entspre­ chendes Einstellen der an dem Endgerät 22 eingegebe­ nen Daten den diesem Prozeß zu unterziehenden Losen eine höhere Priorität erteilt wird, um dadurch die Zeiten zu vergleichmäßigen, die für das Behandeln der Lose in allen Prozessen benötigt werden.

Außerdem ist darauf hinzuweisen, daß die Erfindung zwar im Zusammenhang mit der Herstellung mit Halblei­ tervorrichtungen beschrieben wurde, die Erfindung aber keineswegs hierauf beschränkt ist, sondern bei mancherlei anderen Fällen Anwendung finden kann, bei denen Produkte im breitesten Sinne in einer Folge von Prozessen unter Bedingungen hergestellt werden, die den vorstehend beschriebenen gleichartig sind.

Ferner kann die Lageranordnung zylindrischen Aufbau mit einer Vielzahl von entlang eines Kreises aufge­ reihten Lagervorrichtungen oder Fächern haben, so daß die Lageranordnung für das Übertragen von Losen mit dem ersten und dem zweiten Roboter in vorbestimmte Stellungen geschwenkt werden kann, um dadurch die Ar­ beitsbelastung der Roboter zu verringern.

Claims (12)

1. Vorrichtung, die in einem System für das Her­ stellen eines Produktes durch eine Reihe von aufein­ anderfolgenden Prozessen, von denen mindestens zwei aufeinanderfolgende Prozesse sich hinsichtlich einer Anzahl von Losen unterscheiden, welche in den beiden Prozessen partienweise behandelt werden können, zwi­ schen diese beiden Prozesse eingefügt ist, um automa­ tisch die Lose bei deren Übertragung von dem vorange­ henden Prozeß zu dem nachfolgenden Prozeß zu ordnen, gekennzeichnet durch
eine Ablagestationsvorrichtung (5) zum Aufnehmen der von dem vorangehenden Prozeß weg zugeführten Lose (1) und zum vorübergehenden Lagern der aufgenommenen Lose,
eine in Verbindung mit der Ablagestationsvor­ richtung angebrachte Loserkennungsvorrichtung (6) zum Erkennen der von dem vorangehenden Prozeß weg zuge­ führten Lose,
eine Lagervorrichtung (2) mit einer Vielzahl von Fächern für das Lagern der von der Ablagestationsvor­ richtung her empfangenen Lose,
eine zwischen der Ablagestationsvorrichtung und der Lagervorrichtung bewegbar angeordnete Übertra­ gungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) zum Hin- und Her­ übertragen der Lose zwischen der Ablagestationsvor­ richtung und der Lagervorrichtung und
eine Steuereinrichtung (8), die aus der Loser­ kennungsvorrichtung Loskenninformationen empfängt, um die Lagervorrichtung und die Übertragungsrobotervor­ richtung gemäß den Loskenninformationen derart zu steuern, daß diejenigen der in den Fächern gelagerten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, in einen Satz eingeordnet werden.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Produkt ein Halbleiterplättchen ist, jedes der Lose (1) eine vorbestimmte Anzahl der Halbleiterplättchen enthält und jeder der Sätze eine vorbestimmte Anzahl der Lose enthält.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Fächer der Lagervorrichtung (2) in einer ge­ raden Reihe angeordnet sind und an beiden Seiten der geraden Reihe offene jeweilige Zugrifföffnungen ha­ ben, wobei in der Steuereinrichtung (8) Positionsin­ formationen für die Fächer gespeichert sind und
die Übertragungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) ei­ nen ersten und einen zweiten Übertragungsroboter (3, 4) enthält, welche jeweils an den beiden Seiten der geraden Reihe entlang der geraden Reihe zwischen der Ablagestationsvorrichtung (5) und der Lagervorrich­ tung bewegbar sind, wobei der erste und der zweiten Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf­ grund der Loskenninformationen und der Fachpositi­ onsinformationen derart gesteuert werden, daß dieje­ nigen der an der Ablagestationsvorrichtung abgelegten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, zunächst in einem gleichen Fach der Lagervorrichtung gesammelt werden und danach für das Zuführen zu dem nachfolgen­ den Prozeß als ein Satz von partienweise zu behan­ delnden Losen aus diesem Fach entnommen und der Abla­ gestationsvorrichtung zugeführt werden.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch einen dritten Übertragungsroboter (7), der die von dem vorangehenden Prozeß her zugeführten Lose (1) aufnimmt und diese an der Ablagestationsvorrichtung (5) an einer Stelle ablegt, an der durch die Loser­ kennungsvorrichtung (6) die Loskenninformationen der Lose gelesen werden können, und der unter Steuerung durch die Steuereinrichtung (8) dazu dient, die Lose zwischen der Ablagestationsvorrichtung und dem ersten Übertragungsroboter (3) sowie zwischen dem zweiten Übertragungsroboter (4) und der Ablagestationsvor­ richtung zu übertragen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Fächer der Lagervorrichtung (2) in einer ge­ raden Reihe angeordnet sind und an beiden Seiten der geraden Reihe offene jeweilige Zugrifföffnungen ha­ ben, wobei in der Steuereinrichtung (8) Positionsin­ formationen für die Fächer gespeichert sind und
die Übertragungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) ei­ nen ersten und einen zweiten Übertragungsroboter (3, 4) enthält, die jeweils an den beiden Seiten der ge­ raden Reihe entlang der geraden Reihe zwischen der Ablagestationsvorrichtung (5) und der Lagervorrich­ tung bewegbar sind, wobei der erste und der zweite Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf­ grund der Fachpositionsinformationen derart gesteuert werden, daß beliebig gewählte der Lose aus der Abla­ gestationsvorrichtung in beliebig gewählte der Fächer abgelegt werden, und dann der erste und der zweite Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf­ grund der Loskenninformationen und der Fachpositi­ onsinformationen derart gesteuert werden, daß dieje­ nigen der in die Fächer abgelegten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, aus diesen Fächern der Spei­ chervorrichtung unter Einordnung in einen Satz von Losen entnommen werden, die bei dem nachfolgenden Prozeß partienweise behandelt werden können.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch einen dritten Übertragungsroboter (7), der die von dem vorangehenden Prozeß her zugeführten Lose (1) aufnimmt und diese an der Ablagestationsvorrichtung (5) an einer Stelle ablegt, an der durch die Loser­ kennungsvorrichtung (6) die Loskenninformationen der Lose gelesen werden können, und der unter Steuerung durch die Steuereinrichtung (8) dazu dient, die Lose zwischen der Ablagestationsvorrichtung und dem ersten Übertragungsroboter (3) sowie zwischen dem zweiten Übertragungsroboter (4) und der Ablagestationsvor­ richtung zu übertragen.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (8) Informationen bezüglich Bedingungen speichert, unter denen die Folge von Prozessen ausgeführt wird, und entsprechend diesen Informationen eine zu einem Satz zusammenzufassende Anzahl von Losen bestimmt, wobei die Übertragungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) außer gemäß den Loskenninformationen entsprechend der Lo­ sanzahlinformationen gesteuert wird.

8. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß jedes der Fächer eine Vielzahl von Re­ galen (12) aufweist, die entlang einer geschlossenen Schleife bewegbar sind, um die Zugrifföffnungen für den Zugriff des ersten und des zweiten Übertragungs­ roboters (3, 4) zu den Regalen bzw. den auf die Rega­ le aufgelegten Lose (1) freizulegen.

9. Verfahren zum automatischen Ordnen von Losen bei deren Übertragung von einem vorangehenden Prozeß zu einem nachfolgenden Prozeß in einem System für das Herstellen eines Produktes durch eine Reihe von auf­ einander folgenden Prozessen, von denen sich minde­ stens zwei aufeinanderfolgende Prozesse voneinander hinsichtlich der Anzahl von Losen unterscheiden, die in den beiden Prozessen auf Partienbasis behandelt werden können, dadurch gekennzeichnet,
daß die von dem vorangehenden Prozeß her zugeführten Lose aufgenommen und die aufgenommenen Lose vorüber­ gehend gelagert werden,
daß die Lose in eine Lagervorrichtung eingela­ gert werden und
daß diejenigen der gelagerten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, in einen Satz eingeordnet und aus der Lagervorrichtung als Satz entnommen werden, der dem nachfolgenden Prozeß zuzuführen ist.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Einordnen der Lose bei dem Ablagern der Lose in die Lagervorrichtung erfolgt.

11. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Einordnen der Lose bei der Entnahme der Lose aus der Lagervorrichtung erfolgt.

12. Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Lo­ sen in einer Fertigungsstraße, gekennzeichnet durch
eine Lageranordnung mit einer Vielzahl von La­ gervorrichtungen (2), die in einer geraden Reihe an­ geordnet sind und die jeweils zur Aufnahme einer Vielzahl von Losen (1) ausgelegt sind,
eine an einer Seite der Lageranordnung ange­ brachte erste Übertragungsrobotervorrichtung (3) für das Einbringen und Entnehmen der Lose in bzw. aus den Speichervorrichtungen,
eine an der anderen Seite der Lageranordnung an­ gebrachte zweite Übertragungsrobotervorrichtung (4) für das Einbringen und Entnehmen der Lose in bzw. aus den Speichervorrichtungen an deren Rückseiten,
eine Stationsvorrichtung (5) für das Ablegen ei­ ner Vielzahl mittels der ersten und der zweiten Robo­ tervorrichtung gehandhabten Losen,
eine Loserkennungsvorrichtung (6) für das Lesen von Kenninformationen der auf der Stationsvorrichtung abgelegten Lose,
eine dritte Übertragungsrobotervorrichtung (7) für die Übertragung der auf der Stationsvorrichtung abgelegten Lose mit der ersten bzw. zweiten Übertra­ gungsrobotervorrichtung und
eine Steuereinrichtung (8), die automatisch die Lagervorrichtungen, die Stationsvorrichtung und die erste, die zweite und die dritte Übertragungsroboter­ vorrichtung auf koordinierte Weise derart steuert, daß die an der Stationsvorrichtung abgelegten Lose entsprechend den Loskenninformationen an vorbestimm­ ten Stellen in der Lageranordnung untergebracht wer­ den können, um dadurch die Lose in eine Gruppe ent­ sprechend Loseinordnungsbedingungen wie Bedingungen, unter denen die Lose zu behandeln sind, der Ausla­ stungsverteilung in der Fertigungsstraße und den Pro­ zessen erteilten Prioritäten einzuordnen.