DE4323171A1

DE4323171A1 - Optische Vorrichtung

Info

Publication number: DE4323171A1
Application number: DE4323171A
Authority: DE
Inventors: Dieter Dipl Ing Michel; Walter Dipl Ing Huber
Original assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Current assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date: 1992-07-18
Filing date: 1993-07-10
Publication date: 1994-01-20
Also published as: EP0579846A1; JP2550279B2; JPH06174422A; US5760959A; DE59203396D1; EP0579846B1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Vor richtung nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Insbesondere bezieht sich die Vorrichtung auf eine interferentiell arbeitende Positionsmeßeinrichtung mit hochauflösendem Dreigitter-System, bei dem re lativ große Beugungswinkel auftreten.

Ein Dreigitter-Meßsystem ist aus der EO 0 163 362 B1 bekannt. Dort ist angeführt, daß die Fotodetek toren in der Brennebene einer Linse angeordnet sind. Die Anordnung der Fotodetektoren in einer Ebene hat aber den Nachteil, daß relativ groß flächige Fotodetektoren erforderlich sind, um die gesamte Intensität der einzelnen Strahlenbündel auf die Fotodetektoren zu konzentrieren.

Bei Meßsystemen mit Teilungsperioden der Größenord nung (2µm) sind die Beugungswinkel der ±1. Ordnung größer als 26°, wodurch die Abbildung der gebeugten Strahlenbündel mit nur einer einzigen Linse in nur einer Ebene, nicht mehr möglich oder zumindest un günstig wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, demgegen über eine optische Vorrichtung zu schaffen, bei der die von einer Abbildungsoptik erfaßten Strahlenbün del definiert und vollständig mit kleinflächigen und somit schnellen Fotodetektoren erfaßt werden können, und daß Streulichtauswirkungen minimiert werden.

Diese Aufgabe wird durch eine optische Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.

Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfin dung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Die besonderen Vorteile der Erfindung bestehen da rin, daß kleinflächige und somit sehr schnelle Fo todetektoren eingesetzt werden können, da die Zu ordnung der Fotodetektoren zu den Strahlenbündeln und die Auswahl der optischen Elemente individuell erfolgt und deshalb optimiert werden kann.

Weiterhin werden von den Fotodetektoren die ge samten Strahlenbündel erfaßt, wodurch eine hohe In tensität der von den Fotodetektoren abgeleiteten Signale garantiert ist. Durch die Erfindung ist ge währleistet, daß auch die Randstrahlen der Strah lenbündel vollständig auf die Fotodetektoren tref fen und somit auch der Abtastbereich des Maßstab gitters vollständig und gleichmäßig auf die Foto detektoren abgebildet wird.

Mit Hilfe von Ausführungsbeispielen wird die Er findung nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 stark schematisiert den Aufbau und Strah lengang einer Längenmeßeinrichtung gemäß der Erfindung;

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel einer Längenmeß einrichtung mit anderer Abbildungsoptik und

Fig. 3 eine weitere Variante mit nochmals anderer Abbildungsoptik.

Die in Fig. 1 gezeigte lichtelektrische Längenmeß einrichtung 0 enthält eine Lichtquelle 1, eine Lin se 2, eine Abtastplatte 3, 3′ mit einem nicht dar gestellten Gitter, ein Maßstabgitter 4 und drei Fo todetektoren 5, 6 und 7.

Der Strahlenverlauf wird nur kurz beschrieben, da er ausführlich in der EP 0 163 362 B1 erläutert ist. Danach wird das von der Lichtquelle l erzeugte und der Linse 2 kollimierte Licht beim Durchgang durch das Gitter der Abtastplatte 3 hauptsächlich in drei verschiedene Richtungen gebeugt. Diese ge beugten Teilstrahlenbündel 0. und +1. sowie -1. Beugungsordnung sind hier nicht gezeigt, da sie zum Verständnis der Erfindung an dieser Stelle nichts beitragen.

Am Maßstabgitter 4 werden die Teilstrahlenbündel ein weiteres Mal gebeugt.

Es entstehen nochmals gebeugte Teilstrahlenbündel, die durch das zur Abtastplatte 3,3′ gehörige Gitter treten, dabei erneut gebeugt werden und zur Inter ferenz kommen. Die dadurch erzeugten weiteren ge beugten Teilstrahlenbündel 8, 9 und 10 weisen un terschiedliche Neigung auf.

Im Strahlengang jedes einzelnen Strahlenbündels 8, 9, 10 befindet sich ein optisches Element, welches auf den zugehörigen Strahlengang optimiert ist. In diesem Fall sind es drei Linsen 11, 12 und 13, die jeweils das zugeordnete Strahlenbündel 8, 9 und 10 auf den zugeordneten Fotodetektor 5, 6 und 7 fo kussieren.

Die Eigenschaften der optischen Elemente und die Lage der zugeordneten Fotodetektoren lassen sich optimal aufeinander abstimmen, da ein optisches Element jeweils nur für ein Strahlenbündel ausge legt sein muß.

In Fig. 2 ist noch weiter schematisiert eine Drei gitter-Meßanordnung 02 gezeigt, bei der die räum lich getrennten Strahlenbündel 82, 92 und 102 von diffraktiven optischen Elementen DOEs 112, 122, 132 auf die zugehörigen Fotodetektoren 52, 62, 72 fo kussiert werden. Bei entsprechender Auswahl dieser Elemente 112, 122, 132 können die Strahlenbündel unter beliebigen Winkeln einfallen, die zugehörigen Fotodetektoren jedoch in einer Ebene E2 liegen, was herstellungstechnische Vorteile bietet.

Wie Fig. 3 zeigt, kann bei einer optischen Vor richtung 03 der eingangs genannten Art durch die Auswahlmöglichkeit der optischen Elemente 113, 123, 133 deren Anordnung auch so gewählt werden, daß sowohl die optischen Elemente 113, 123, 133 als auch die zugehörigen Fotodetektoren 53, 63, 73 in Ebenen E3, E3′ angeordnet sind, die zueinander pa rallel verlaufen.

Claims

1. Optische Vorrichtung, insbesondere interferen tiell arbeitende Positionsmeßeinrichtung mit einer Beleuchtungseinrichtung, bei der Inten sitätsänderungen wenigstens zweier, aufgrund von Beugung an Gittern in unterschiedliche Richtun gen geneigter, Strahlenbündel von Fotodetektoren erfaßt werden, dadurch gekennzeichnet, daß zur definierten Abbildung der Strahlenbündel (8, 9, 10; 82, 92, 102; 83, 93, 103) auf die zugehöri gen Fotodetektoren (5, 6, 7; 52, 62, 72; 53, 63, 73) jeweils im Strahlengang der interferieren den, bereits räumlich getrennten Strahlenbündel (8, 9, 10; 82, 92, 102; 83, 93, 103) wenigstens ein optisch abbildendes Element (11, 12, 13; 112, 122, 132; 113, 123, 133) vorgesehen ist.

2. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (5, 6, 7) vom refraktiven und/oder reflektiven Typ, wie Linsen, Prismen, Hohlspiegel oder derglei chen, sind.

3. Optische Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenbündel (8, 9, 10; 82, 92, 102) parallel zu den optischen Ach sen der optischen Elemente (11, 12, 13; 112, 122, 132) einfallen.

4. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente diff raktive optische Elemente und/oder Kombinationen von diffraktiven und refraktiven optischen Ele menten sind.

5. Optische Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenbündel (83, 93, 103) unter verschiedenen Winkeln in die opti schen Elemente (113, 123, 133) einfallen.

6. Optische Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente (113, 123, 133) und die zugeordneten Detektoren (53, 63, 73) in zwei parallelen Ebenen (E3, E3′) an geordnet sind.

7. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Vorrichtung ein sogenanntes Dreigitter-Meßsystem (0) ist.

8. Optische Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitter (3, 3′, 4) mit kollimiertem Licht beleuchtet werden.

9. Optische Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitter mit unkollimier tem Licht beleuchtet werden, und daß die Beu gungsbilder der Lichtquelle auf den Detektoren erzeugt werden.