DE3723545A1 - Filter fuer elastische oberflaechenwellen - Google Patents
Filter fuer elastische oberflaechenwellenInfo
- Publication number
- DE3723545A1 DE3723545A1 DE19873723545 DE3723545A DE3723545A1 DE 3723545 A1 DE3723545 A1 DE 3723545A1 DE 19873723545 DE19873723545 DE 19873723545 DE 3723545 A DE3723545 A DE 3723545A DE 3723545 A1 DE3723545 A1 DE 3723545A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrodes
- filter
- electrode
- electrode fingers
- elastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
- H03H9/02771—Reflector banks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02645—Waffle-iron or dot arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14558—Slanted, tapered or fan shaped transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/14526—Finger withdrawal
Description
Die Erfindung betrifft ein Filter für elastische Ober
flächenwellen. Insbesondere geht es um ein Filter, das
ein Bauelement für elastische Oberflächen verwendet,
das Elektroden in Form eines Paars dünner Metall
schichten auf einer Oberfläche eines piezoelektrischen
Körpers aufweist, damit eine elastische Oberflächen
welle zwischen den Elektroden gesendet und empfangen
wird, um ein Signal mit einem gewünschten Frequenzgang
aufzunehmen.
Bauelemente für elastische Oberflächenwellen nutzen die
Eigenschaften einer elastischen Oberflächenwelle, wo
nach sich die meiste Energie der Welle entlang einer
Oberfläche eines Festkörpers fortpflanzt. Solche Bau
elemente für elastische Oberflächenwellen werden in
Oszillatoren, Filterschaltungen, Verzögerungsschaltungen
und dergleichen Bauelemente in der Nachrichtentechnik
und der Elektronik eingesetzt. Die Bauelemente besitzen
z.B. einen aus einem piezoelektrischen Kristall be
stehenden Körper mit einer Bodenfläche und Elektroden
in Form eines Paars dünner Metallschichten auf der Fläche
des piezoelektrischen Kristallkörpers, um zwischen den
Elektroden eine elastische Oberflächenwelle auszusenden
und zu empfangen. Wenn eine der Elektroden auf dem
piezoelektrischen Körper ein elektrisches Eingangssignal
empfängt, schwingt der piezoelektrische Körper aufgrund
des piezoelektrischen Effekts, und die Schwingung wird
von der Elektrode abgesendet und pflanzt sich als
elastische Welle entlang der Oberfläche des piezo
elektrischen Körpers in Richtung auf die andere Elektro
de fort. Die andere Elektrode empfängt die elastische
Welle und gibt - aufgrund des umgekehrten piezoelektrischen
Effekts des piezoelektrischen Körpers - ein elektrisches
Ausgangssignal ab.
Fig. 1 der beiliegenden Zeichnungen zeigt ein her
kömmliches Filter 2 mit einem Bauelement für elastische
Oberflächenwellen. Das Filter 2 besitzt einen piezo
elektrischen Körper 4, der als Signalausbreitungsmedium
dient, und ein Paar Eingangs- und Ausgangselektroden 6, 8
die als Signalwandlereinrichtungen auf einer Oberfläche
des piezoelektrischen Körpers 4 angeordnet sind. Die
Eingangselektrode 4 umfaßt ein Paar gemeinsame Elektroden
12 a und 12 b mit jeweils mehreren parallel angeordneten
Elektrodenfingern 10 a bzw. 10 b, die in Form von Kamm
zähnen ausgebildet sind. Die Elektrodenfinger 10 a und 10 b
sind wie Finger ineinandergreifend angeordnet. An die
gemeinsamen Elektroden 12 a, 12 b wird ein Eingangssignal
IN gelegt. Die Ausgangselektrode 8 besitzt ein Paar
gemeinsame Elektroden 16 a und 16 b mit mehreren ineinan
dergreifenden, parallel angeordneten Elektrodenfingern
14 a bzw. 14 b. Zwischen den gemeinsamen Elektroden 16 a und
16 b wird ein Ausgangssignal OUT erzeugt. Die Elektroden
finger 10 a, 10 b sowie 14 a, 14 b erstrecken sich senkrecht
zu der durch den Pfeil T angedeuteten Richtung, entlang
der sich eine elastische Oberflächenwelle auf der Ober
fläche des piezoelektrischen Körpers 4 fortpflanzt.
Wenn zwischen die gemeinsamen Elektroden 12 a, 12 b der
Eingangselektrode 12 ein Eingangssignal IN gelegt wird,
wird zwischen den Elektrodenfingern 10 a, 10 b aufgrund des
piezoelektrischen Effekts eine elastische Oberflächen
welle erzeugt. Diese Welle pflanzt sich in Richtung T
und erreicht die Ausgangselektrode 8, die die elastische
Oberflächenwelle aufgrund des umgekehrten piezoelektri
schen Effekts in ein elektrisches Signal umsetzt. Das
elektrische Signal wird zwischen den Elektroden 16 a,
16 b der Ausgangselektrode 8 als Ausgangssignal OUT aus
gegeben.
Es ist bekannt, daß das Ausgangssignal OUT des Filters 2
einen von der Struktur der Eingangs- und der Ausgangs
elektrode 6 bzw. 8 abhängigen Frequenzgang hat. Deshalb
könnte man ein Ausgangssignal OUT mit einem gewünschten
Frequenzgang durch das Filter 2 dadurch erhalten, daß
man die Abstände zwischen den Elektrodenfingern 10 a, 10 b,
14 a, 14 b oder die Anzahl oder die Konfiguration dieser
Elektrodenfinger justiert oder variiert. Es wäre aller
dings ziemlich schwierig, einen komplizierten Frequenz
gang zu erhalten, der mehrere Durchlaßbänder oder Kenn
linien-Kerben mit einem Frequenzsperrband innerhalb eines
Durchlaßbandes des Filters aufweist. Das heißt: es ist
sehr schwer, ein Filter zu erhalten, das eine Kombination
einer speziell strukturierten Elektrode und einer normalen
Elektrode enthält.
Fig. 2 zeigt ein weiteres herkömmliches Filter für
elastische Oberflächenwellen. Das Filter 18 besitzt eine
Eingangselektrode 20 und eine Ausgangselektrode 22 auf
einer Oberfläche eines piezoelektrischen Körpers 4. Die
Eingangselektrode 20 besitzt zwei gemeinsame Elektroden
24 a und 24 b. Die gemeinsame Elektrode 24 a weist mehrere
kammzinken-förmige Elektrodenfinger 26 a auf, die zur
anderen gemeinsamen Elektrode 24 b hin zunehmend enger beab
standet sind. Die gemeinsame Elektrode 24 b besitzt
mehrere kammzinken-förmige Elektrodenfinger 26 b, die
in Richtung auf die gemeinsame Elektrode 24 a hin zu
nehmend weiter aufgespreizt sind. Diese Elektroden
finger 26 a und 26 b sind so angeordnet, daß sie ineinan
dergreifen. Die Ausgangselektrode 22 besitzt ein Paar
gemeinsame Elektroden 28 a und 28 b mit Elektrodenfingern
30 a bzw. 30 b, die in der gleichen Weise geformt und
angeordnet sind wie die Elektrodenfinger 26 a und 26 b
der Eingangselektrode 20.
Es ist bekannt, daß der Frequenzgang eines durch das
Filter 18 erzeugten Ausgangssignals OUT im wesentlichen
einem rechtwinkligen Muster entspricht, wie es in
Fig. 3 skizziert ist. Mit a ist in Fig. 3 die Breite
eines Durchlaßbandes bezeichnet, in dem das Ausgangs
signal OUT durch das Filter 18 erzeugt wird. Die Breite
a des Durchlaßbandes bestimmt sich durch die größten
und kleinsten Abstände zwischen den Elektrodenfingern
26 a, 26 b oder 30 a, 30 b.
Da der Frequenzgang des durch das Filter 18 erzeugten
Ausgangssignals OUT einer einfachen Rechteckform ent
spricht, müssen die Elektroden weiter speziell ausge
bildet werden, um ein Ausgangssignal OUT zu erhalten,
das einem komplizierten Frequenzgang entspricht. Die
Erzielung eines Ausgangssignals mit einem derart kompli
zierten Frequenzgang könnte dadurch erreicht werden, daß
man das Filter 2 oder das Filter 8 mit einem Filter
kombiniert, das als elektrische Schaltung mit Widerstän
den, Kapazitäten und dergleichen ausgebildet ist. Aller
dings würde die Verwendung eines solchen externen
elektrischen Filters die gesamte Anordnung äußerst
komplex machen.
Von dem Filter wird verlangt, daß es eine bessere Mög
lichkeit bietet, ein gewünschtes Signal von einem uner
wünschten Signal zu separieren. Dies wird als "Selekti
vität" bezeichnet und soll erreicht werden durch Er
höhung des Verhältnisses S (siehe Fig. 3) zwischen der
Einfügungsdämpfung bei durchgelassenen Frequenzen und
der Dämpfung bei den Eckfrequenzen. Mit der herkömmlich
verwendeten Kombination einer strukturierten Elektrode
mit einer normalen Elektrode wäre es jedoch schwierig,
die Selektivität in Bezug auf Breitband-Filter mit
einem normierten Band von 30% oder mehr zu verbessern.
Man könnte das normierte Band vergrößern, es fehlt je
doch ein Vorschlag, wie die Selektivität des Filters
nach Fig. 2 verbessert werden könnte.
Bislang wurde kein Vorschlag gemacht, wie die Selektivi
tät in Bezug auf die Einstellung des Frequenzgangs im
Fortpflanzungsweg zwischen Eingangs- und Ausgangs
elektroden erhöht werden könnte. In speziellen Anwen
dungsfällen, z.B. bei einem Kerbfilter, das innerhalb
eines Durchlaßbandes ein Sperrband aufweist, ist es
schwierig, das Filter so zu gestalten, daß das Sperr
band verkleinert wird, während das Dämpfungsmaß für
die zu sperrenden Frequenzen erhöht wird. Die Intensitäts
verteilung einer elastischen Oberflächenwelle, die an
geregt wird, wenn eine gewisse Frequenz angelegt wird,
betrachtet in einer zur Fortpflanzungsrichtung senk
rechten Richtung, drückt sich als eine Funktion sin(x)/x
mit der Frequenz f in der Mitte aus, wobei
x=N π (f-fi)/fi
(N ist die Anzahl der Elektrodenfinger-Paare).
Wenn daher eine elastische Oberflächenwelle in einem
Kanal im Fortpflanzungsweg gedämpft wird, der einer
gewissen Frequenz entspricht, so wird die elastische
Oberflächenwelle vom anderen Kanal als eine Seiten
keule erregt. Folglich beträgt, wenn die Anzahl der
Fingerpaare der Eingangselektrode gleich ist der An
zahl der Fingerpaare der Ausgangselektrode, das Maß
der Dämpfung, die in einem gewissen Kanal erzielt wird,
lediglich 26 dB, selbst bei lediglich theoretischer Be
trachtung.
Es ist ein allgemeines Ziel der vorliegenden Erfindung,
ein Filter für elastische Oberflächenwellen zu schaffen,
das in der Lage ist, ein Signal mit gewünschtem Frequenz
gang zu erzeugen. Dies wird erfindungsgemäß erreicht
durch Anordnen einer Punktstruktur zum Zerstreuen und
Reflektieren eines Teils der elastischen Oberflächen
welle an einer Stelle zwischen einem Paar von Elektroden
auf einer Oberfläche eines piezoelektrischen Körpers.
Alternativ wird das Ziel erreicht durch Reduzieren der
Anzahl der Elektrodenfinger auf der Oberfläche eines
Filters für elastische Wellen, oder aber durch Wichten,
z.B. durch eine Spannungsteilung.
Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der
Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. Zusätz
lich zu den einzelnen erfindungsgemäßen Möglichkeiten,
ein Filter mit einem gewünschten Frequenzgang zu er
halten, ist eine Kombination der Möglichkeiten vorge
sehen. So z.B. ist es möglich, ein Filter zu schaffen,
bei dem in einer oder in beiden Elektroden nicht sämt
liche einen Satz von Elektrodenfingern bildende Finger
vorgesehen sind, sondern eine Gruppe fehlt, wobei außer
dem ein Streu-Reflektor in Form einer Punktstruktur
auf der Oberfläche vorgesehen ist, auf der sich die
elastische Oberflächenwelle fortpflanzt.
In einer anderen Kombination ist insbesondere vorgesehen,
daß in Reihe zu den Elektrodenfingern einer oder beider
Elektroden Widerstände geschaltet sind, und daß zusätz
lich zu dieser Maßnahme ein Streu-Reflektor in Form
einer Punktstruktur auf der Oberfläche vorgesehen ist,
entlang der sich die elastische Oberflächenwelle fort
pflanzt.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung
anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 und 2 Skizzen herkömmlicher Filter,
Fig. 3 den Frequenzgang des Filters nach
Fig. 2,
Fig. 4 eine Draufsicht auf ein erfindungs
gemäßes Filter für elastische Ober
flächenwellen,
Fig. 5 den Frequenzgang des Filter nach
Fig. 4,
Fig. 6 eine Draufsicht auf ein weiteres
Ausführungsbeispiel eines erfindungs
gemäßen Filters,
Fig. 7 den Frequenzgang des Filters nach
Fig. 6,
Fig. 8 eine Draufsicht auf einen Streu-
Reflektor, wie er bei den Filtern
nach Fig. 4 und 6 verwendet wird,
Fig. 9 eine Draufsicht auf eine weitere
Ausführungsform eines erfindungsge
mäßen Filters,
Fig. 10 den Frequenzgang des Filters nach
Fig. 9,
Fig. 11 den Frequenzgang eines Kerbfilters,
welches aus dem Filter nach Fig. 9
mit einem darin vorgesehenen Streu-
Reflektor besteht, und
Fig. 12 eine Draufsicht auf eine weitere Aus
führungsform eines erfindungsgemäßen
Filters für elastische Oberflächen
wellen.
Fig. 4 zeigt ein Filter 40 in Form eines Bauelements für
elastische Oberflächenwellen gemäß der Erfindung. Das
Filter 40 besitzt einen piezoelektrischen Körper 4 als
Substrat. Er besteht aus einem Lithiumniobat-Kristall
(LiNbO 3). Der piezoelektrische Körper 4 besitzt eine
Grundfläche, auf der eine Eingangselektrode 20 und
eine Ausgangselektrode 22 jeweils in Form eines Paars
dünner, durch Aufdampfen gebildeter Metallschichten
ausgebildet ist. Die Eingangselektrode 20 besitzt eine
gemeinsame Elektrode 24 a mit mehreren Elektrodenfingern
26 a in Form von Kammzähnen, und eine gemeinsame
Elektrode 24 b mit mehreren Elektrodenfingern 26 b, eben
falls in Form von Kammzähnen, wobei die Elektroden
finger 26 a und 26 b ineinander verschränkt sind. Die
Elektrodenfinger 26 a sind in Richtung von der gemein
samen Elektrode 24 a auf die gemeinsame Elektrode 24 b
zunehmend dichter angeordnet, während die Elektroden
finger 26 b von der gemeinsamen Elektrode 24 b fort in
Richtung auf die gemeinsame Elektrode 24 a zunehmend
stärker aufgespreizt sind. Die Ausgangselektrode 22
umfaßt eine gemeinsame Elektrode 28 a mit mehreren Elektro
denfingern 30 a in Form von Kammzähnen, sowie eine ge
meinsame Elektrode 28 b mit mehreren Elektrodenfingern
30 b, ebenfalls in Form von Kammzähnen. Die Ausgangs
elektrode 22 ist auf der Oberfläche des piezoelektri
schen Körpers 4 in dem gleichen Muster ausgebildet, wie
die Eingangselektrode 20. Die Elektrodenfinger 26 a,
26 b, 30 a und 30 b erstrecken sich in einer Richtung, die
etwa senkrecht zu der mit dem Pfeil T angedeuteten
Richtung verläuft, entlang der sich eine elastische
Oberflächenwelle von der Eingangselektrode 20 zu der
Ausgangselektrode 22 hin fortpflanzt.
Zwischen der Eingangselektrode 20 und der Ausgangs
elektrode 22 ist eine Punktstruktur in Form eines Streu-
Reflektors 42 angeordnet. Der Streu-Reflektor 42 umfaßt
mehrere Punkte, die in einer senkrecht zur Ausbreitungs
richtung T der elastischen Oberflächenwelle verlaufen
den Richtung angeordnet sind und sich in Ausbreitungs
richtung T erstrecken. Die Punkte können jede beliebi
ge Gestalt haben, z.B. können die Punkte rechtwinklig,
kreisförmig oder ähnlich ausgebildet sein, solange sie
bei Betrachtung als Punkte gesehen werden können. Der
Streu-Reflektor 42 besteht aus Material der gleichen
dünnen Metallschicht wie die Eingangs- und Ausgangs
elektroden 20, 22, und sollte vorzugsweise durch Auf
dampfen gemeinsam mit den Elektroden 20 und 22 herge
stellt werden.
Im folgenden sollen Arbeitsweise und vorteilhafte Wir
kungen des Filters für elastische Oberflächenwellen
beschrieben werden.
Wenn zwischen die gemeinsamen Elektroden 24 a und 24 b
der Eingangselektrode 20 ein Eingangssignal IN gelegt
wird, schwingt der piezoelektrische Körper 4 aufgrund
des piezoelektrischen Effekts. Die Schwingung pflanzt
sich von der Eingangselektrode 20 in Form einer
elastischen Welle entlang der Oberfläche des piezo
elektrischen Körpers 4 in Richtung auf die Ausgangs
elektrode 22 fort. Das Frequenzband der elastischen
Welle, die sich zur Ausgangselektrode 22 fortpflanzt,
bestimmt sich durch die größten und die kleinsten Ab
stände zwischen den Elektrodenfingern 26 a und zwischen
den Elektrodenfingern 26 b oder zwischen den Elektroden
fingern 30 a und zwischen den Elektrodenfingern 30 b,
wie es oben erläutert wurde. Wo die Übertragungszone
für die elastische Welle zwischen der Eingangselektrode
20 und der Ausgangselektrode 22 in Fortpflanzungsrich
tung T in mehrere Kanäle unterteilt ist, wie es in
Fig. 4 dargestellt ist, pflanzen sich durch diese
Kanäle A, B, C, D, ... elastische Wellen einer Nor
malverteilung mit verschiedenen Mittenfrequenzen fort.
Die sich so in den Kanälen A, B, C, D, ... fort
pflanzenden elastischen Wellen werden von der Ausgangs
elektrode 22 in ein elektrisches Ausgangssignal OUT
umgesetzt. Wäre nicht der Streu-Reflektor 42, so wür
den sämtliche elastischen Wellen, die durch die je
weiligen Kanäle A, B, C, D, ... laufen, kombiniert wer
den, und das Ausgangssignal OUT hätte ein Frequenzgang,
wie er in Fig. 3 gezeigt ist.
Erfindungsgemäß befindet sich jedoch in dem Kanal D
der Streu-Reflektor 42 zwischen der Eingangselektrode
20 und der Ausgangselektrode 22. Deshalb wird die durch
den Kanal C laufende elastische Welle von dem Streu-
Reflektor 42 zerstreut und reflektiert und erreicht nicht
die Ausgangselektrode 22. Deshalb besitzt das von der
Ausgangselektrode 22 erzeugte Ausgangssinal OUT einen
Frequenzgang, bei dem die elastische Welle mit einer
dem Kanal C entsprechenden Mittenfrequenz fehlt. Fig. 5
zeigt einen solchen Frequenzgang, wobei b ein Frequenz-
Sperrband bezeichnet, in welchem die elastische Welle
in dem Kanal C zerstreut und reflektiert wird.
Den Frequenzgang mit einem solchen Frequenz-Sperrband b
bezeichnet man als Kerbfilter-Kennlinie, und das eine
solche Kennlinie aufweisende Filter läßt sich z.B. als
Kerbfilter zum Beseitigen eines Störsignals aus einem
Videosignalband eines TV-Signals einsetzen. Da der Streu-
Reflektor 42 durch Aufdampfen oder ähnliche Methoden
in Verbindung mit der Herstellung der Eingangs- und Aus
gangselektroden 20 und 22 hergestellt werden kann,
kostet das Filter 40 gemäß der Erfindung praktisch
nicht mehr als das herkömmliche Filter gemäß Fig. 2
und benötigt auch nicht mehr Zeit für die Herstellung.
Der durch die Elektroden 20 und 22 bestimmte Frequenz
gang muß nicht modifiziert werden, jedoch können be
stimmte gewünschte Frequenzen in einfacher Weise dadurch
gesperrt werden, daß der Fortpflanzungsweg in der oben
beschriebenen Weise geändert wird. Somit läßt sich der
Frequenzgang eines Bauelements für elastische Ober
flächenwellen nach der Herstellung der Bauelements
ändern oder modifizieren, was bislang unmöglich war.
Beispielsweise besitzt das in Fig. 2 dargestellte Filter
den in Fig. 3 gezeigten Frequenzgang. Die Maske zur
Herstellung des Filters wird zunächst hergestellt. Durch
Herstellung einer weiteren Maske läßt sich ein Kerb
filter mit einem gewünschten Frequenzgang herstellen,
indem die weitere Maske für den Fortpflanzungsweg der
elastischen Welle ausgebildet wird. Man kann auch direkt
den Streu-Reflektor im Fortpflanzungsweg der elastischen
Welle in dem Filter nach Fig. 2 vorsehen. Der Streu-
Reflektor 42 kann als dünne Metallschicht aus Aluminium,
Gold oder dergleichen durch Aufdampfen oder ähnliche
Methoden gebildet werden. Weiterhin kann der Streu-
Reflektor 42 auch durch ein Oxid gebildet werden, z.B.
durch Siliziumdioxid. Alternativ können bestimmte
Frequenzen auch dadurch gesperrt werden, daß man anstelle
des Streu-Reflektors 42 Nuten in Form einer Gitter
struktur in einem vorbestimmten Bereich des Fortpflanzungs
wegs der elastischen Welle definiert, und zwar durch
Ionen-Ätzung, Ionen-Implantation oder dergleichen.
Fig. 6 zeigt ein Filter 48 für elastische Oberflächen
wellen nach einer weiteren Ausführungsform der Er
findung. Das Filter 48 enthält als Streu-Reflektoren
44 und 46 Gitterstrukturen, die in verschiedenen
Kanälen eines Fortpflanzungswegs elastischer Wellen
zwischen den Eingangs- und Ausgangselektroden 20 und
22 angeordnet sind.
Elastische Wellen zweier verschiedener Frequenzen, die
diese Kanäle durchlaufen, werden durch die Streu-
Reflektoren 44 und 46 zerstreut und reflektiert. Das
Ausgangssignal OUT an der Ausgangselektrode 22 besitzt
einen Frequenzverlauf mit zwei Frequenz-Sperrbändern
c und d, wie in Fig. 7 gezeigt ist.
Die Punktstruktur jedes der Streu-Reflektoren 42, 44 und
46 setzt sich zusammen aus Punkten, die irgendeine Ge
stalt haben können, z.B. Rechteck- oder Kreisform.
Fig. 8 zeigt ein Beispiel für die Punkte einer Punkt
struktur. Die elastische Welle kann am wirksamsten dadurch
reflektiert und gestreut werden, daß die Punkte in
konstanten Intervallen oder Abständen entlang der Fort
pflanzungsrichtung T der elastischen Welle gehalten
werden und außerdem die Schrittweite der Punkte, d.h.
der Abstand zwischen zwei sich entsprechenden Seiten
kanten der Punkte, auf ein Ganzzahliges der halben
Wellenlänge der elastischen Oberflächenwelle eingestellt
wird. Wie aus Fig. 8 hervorgeht, kann jeder der Punkte
gegenüber der zur Fortpflanzungsrichtung T senkrechten
Richtung versetzt und geneigt ausgebildet sein, um die
durch die Streu-Reflektoren 42, 44 bzw. 46 zerstreute
und reflektierte elastische Oberflächenwelle daran zu
hindern, von der Eingangselektrode 20 empfangen zu
werden. Mit dieser Punkte-Anordnung und Punkte-Form
läßt sich ein Frequenz-Durchlaßband a erreichen, wel
ches möglichst flach ausfällt.
Fig. 9 zeigt eine weitere Ausführungsform eines Filters
52 für elastische Oberflächenwellen. Das Filter 52
besitzt eine Eingangselektrode 50 mit einer ersten
Gruppe von Elektrodenfingern 54 a, die an eine gemeinsame
Elektrode gekoppelt sind, und eine zweite Gruppe von
Elektrodenfingern 54 b, die an die andere gemeinsame
Elektrode gekoppelt sind. Die Anzahl von Elektroden
fingern 54 a ist kleiner als die Anzahl der Elektroden
finger 54 b. Letztere sind gleichmäßig beabstandet,
während die Elektrodenfinger 54 a unregelmäßige Abstände
aufweisen. Anders ausgedrückt: die Elektrodenfinger
54 a sind so angeordnet, als ob aus einem vollständigen
Satz gleichmäßig beabstandeter Elektrodenfinger einige
Elektrodenfinger fortgelassen oder herausgenommen
worden wären. Das Filter 52 besitzt eine Ausgangs
elektrode 56, die aus einer ersten Gruppe gleichmäßig
beabstandeter Elektroden 58 a und einer zweiten Gruppe
gleichmäßig beabstandeter Elektrodenfinger 58 b besteht,
wobei die Anzahl der Elektrodenfinger 58 a der Anzahl
der Finger 58 b gleicht.
Das Filter 52 mit diesem Aufbau besitzt eine sehr stark
verbesserte Selektivität, da das Verhältnis zwischen der
Einfügungsdämpfung bei durchgelassenen Frequenzen und
der Dämpfung bei den Eckfrequenzen mehr als 40 dB be
trägt, wie in Fig. 10 veranschaulicht ist. Der Frequenz
gang nach Fig. 10 besitzt ausgeprägte Kennlinienknicke,
und der 30 dB/3 dB-Faktor wird innerhalb von 1,1 er
reicht. Die horizontale Frequenzachse in Fig. 10 ist
normiert. Die verbesserte Selektivität des Filters 52
wird erreicht, weil die Fortpflanzungszone der
elastischen Oberflächenwelle geschmälert ist durch die
verringerte Anzahl von Elektrodenfingern, und die
Intensität der elastischen Oberflächenwelle in der
Zone außerhalb der Fortpflanzungszone ist sehr klein.
Durch Anordnen eines Streu-Reflektors an einer ge
wünschten Stelle zwischen den Eingangs- und Ausgangs
elektroden 50 und 56 des Filters 52 läßt sich also der
Bereich der gesperrten Frequenzen stark reduzieren, und
das Dämpfungsmaß der gesperrten Frequenzen läßt sich
erhöhen, insoweit die Fortpflanzungszone einer elastischen
Oberflächenwelle einer gewissen Frequenz geschmälert ist
(Fig. 11).
Fig. 12 zeigt ein Filter 62 für elastische Oberflächen
wellen mit einer Ausgangselektrode 60, deren Elektroden
finger geteilte Spannungen zugeführt werden. Das Filter
62 enthält außerdem eine Eingangselektrode 20, die
der Elektrode nach Fig. 6 gleicht. Die an die Elektroden
finger der Ausgangselektrode 60 anzulegenden geteilten
Spannungen werden durch Spannungsteiler-Widerstände 64 a
bis 64 f erzeugt. Die Selektivität des Filters 62 läßt
sich -wie mit dem in Fig. 9 gezeigten Filter 52- dadurch
verbessern, daß man die Widerstandswerte der Widerstände
64 a bis 64 f derart auswählt, daß sie von der Mitte zu
den Außenseiten des Widerstands-Feldes hin zunehmend
größer werden, damit sie folgender Ungleichung ent
sprechen:
(64 c=64 d) < (64 b=64 e) < (64 a=64 f)
Wenn man das Filter 62 mit einem oben beschriebenen
Streu-Reflektor kombiniert, kann man ein Kerbfilter
mit einem ausgeprägten Kennlinienknick und guter
Selektivität erhalten.
Das Fortlassen oder Entfernen gewisser Elektrodenfinger
aus einem vollständigen Satz von Elektrodenfingern zur
Schaffung der ersten Gruppe von Elektrodenfingern 54 a
gemäß Fig. 9 ist nicht die Realisierung einer Funktion,
die man durch inverse Fouriertransformation eines
für ein Filter geforderten Frequenzgangs erhält, wie
es der Fall bei einem herkömmlichen Filter mit parallelen
Elektrodenfiltern der Fall ist. Bei dem Filter nach
Fig. 2 wird der gewünschte Frequenzgang dadurch bestimmt,
daß man die größten und die kleinsten Abstände zwischen
den Elektrodenfingern einstellt. Selbst wenn einige
der Elektrodenfinger des Filters nach Fig. 2 fortge
lassen oder beseitigt würden, ähnlich der Anordnung nach
Fig. 9, hätten die Funktion eines solchen Elektroden
finger-Fortlasses und das Durchlaßband praktisch keinen
Einfluß aufeinander. Um die Selektivität des Frequenz
gangs gemäß der Erfindung zu verbessern, ist es wichtig,
in geeigneter Weise die Beziehung zwischen der Erregungs
intensitäts-Verteilung am Fortpflanzungsweg der
elastischen Oberflächenwelle bei Anlegen einer gewissen
Frequenz und Empfang der Intensitätsverteilung am Aus
gang auszuwählen. Die Funktion der wirksamen Beseitigung
oder Fortlassung von Elektrodenfingern sollte zu diesem
Zweck ausgewählt werden.
Wie aus der oben Beschreibung hervorgeht, ist auf einer
Oberfläche eines piezoelektrischen Körpers mindestens
ein Paar von Elektroden mit Elektrodenfingern derart
ausgebildet, daß die Finger nach Art von Kammzinken
sich in einer zur Fortpflanzungsrichtung der elastischen
Oberflächenwelle senkrechten Richtung zunehmend weiter
aufspreizen. Eine Punktstruktur dient als Streu-
Reflektor zum Zerstreuen und Reflektieren eines Teils
der elastischen Oberflächenwelle. Die Punktstruktur
befindet sich an einer gewünschten Stelle zwischen den
Elektroden. Es können einige der Elektrodenfinger des
Filters für elastische Oberflächenwellen fortgelassen
oder entfernt werden, oder es können geteilte Spannungen
an die Elektrodenfinger gelegt werden. Es besteht auch
die Möglichkeit, einen Streu-Reflektor in einem Filter
vorzusehen, bei dem einige der Elektrodenfinger ent
fernt sind, oder bei dem den Elektrodenfingern geteilte
Spannungen zugeführt werden. Mit einer solchen Ausge
staltung erhält man ein Filter mit guten Kennlinien
knicken, guter Selektivität und gewünschtem Frequenzgang.
Das Filter für elastische Oberflächenwellen gemäß der
Erfindung ist in der Lage, ein Ausgangssignal mit einem
komplexen Frequenzgang zu liefern, ohne daß eine externe
Filterschaltung notwendig ist. Man kann den Frequenzgang
steuern, ohne daß eine komplizierte und umfangreiche
Zusatzeinrichtung notwendig ist.
Claims (6)
1. Filter für elastische Oberflächenwellen,
gekennzeichnet durch
- - einen piezoelektrischen Körper (4) mit einer Oberfläche;
- - ein Paar auf der Oberfläche angeordneter Elektroden (20, 22) zum Senden und zum Empfangen einer elastischen Oberflächenwelle zwischen den Elektroden (20, 22), um ein Signal mit vorgeschriebenem Frequenzgang aufzunehmen, wobei mindestens eine der Elektroden mehrere Elektroden finger (26 a, 26 b, 30 a, 30 b) aufweist, die zunehmend stärker voneinander abgespreizt sind, und
- - eine auf der Oberfläche zwischen den Elektroden ange ordnete Punktstruktur (42, 44, 46) zum Streuen und zum Reflektieren einer elastischen Oberflächenwelle vor bestimmter Frequenz.
2. Filter nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Punkt
struktur (42, 44, 46) mehrere Punkte umfaßt, die mit
konstantem Abstand und einer Schrittweite angeordnet
sind, die einem Vielfachen der halben Wellenlänge der
elastischen Oberflächenwelle entspricht.
3. Filter nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Punkt
struktur gegenüber einer Richtung geneigt ist, die
senkrecht ist zu der Richtung, in der sich die elastische
Oberflächenwelle zwischen den Elektroden ausbreitet.
4. Filter für elastische Oberflächenwellen,
gekennzeichnet durch
- - einen piezoelektrischen Körper (4) mit einer Ober fläche;
- - ein Paar auf der Oberfläche angeordnete Elektroden (50, 56) zum Senden und zum Empfangen einer elastischen Oberflächenwelle zwischen den Elektroden, um ein Signal mit vorbeschriebenem Frequenzgang aufzunehmen, wobei zumindest eine der Elektroden mehrere Elektrodenfinger aufweist, die zunehmend stark voneinander abgespreizt sind; wobei
- - eine oder beide der Elektroden eine Gruppe von Elektrodenfingern und fehlende Elektrodenfinger auf weist, wobei die fehlenden Finger, falls vorhanden, zusammen mit der Gruppe von Elektrodenfingern einen vollständigen Satz von Elektrodenfingern ergeben würden.
5. Filter für elastische Oberflächenwellen,
gekennzeichnet durch
- - einen piezoelektrischen Körper (4) mit einer Ober fläche;
- - ein Paar von auf der Oberfläche angeordneten Elektro den (20, 60) zum Senden und zum Empfangen einer elastischen Oberflächenwelle zwischen den Elektroden, um ein Signal mit vorbestimmten Frequenzgang aufzu nehmen, wobei zumindest eine der Elektroden (20, 60) mehrere Elektrodenfinger aufweist, die zunehmend stark voneinander abgespreizt sind, und
- - eine Mehrzahl von Widerständen (64 a, 64 f), die zu den jeweiligen Elektrodenfingern einer oder beider Elektroden in Reihe geschaltet sind.
6. Filter nach Anspruch 4 oder 5,
gekennzeichnet durch einen Streu-Reflektor,
der eine Punktstruktur aufweist und auf der Oberfläche,
auf der sich die elastische Oberflächenwelle fortpflanzt,
angeordnet ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16746086A JPS6324708A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 弾性表面波フイルタ |
JP18079886A JPH07118625B2 (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 | 斜め電極指弾性表面波フイルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3723545A1 true DE3723545A1 (de) | 1988-03-03 |
DE3723545C2 DE3723545C2 (de) | 1996-10-10 |
Family
ID=26491501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3723545A Expired - Lifetime DE3723545C2 (de) | 1986-07-16 | 1987-07-16 | Akustischer Oberflächenwellenfilter |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4878036A (de) |
CA (1) | CA1271817A (de) |
DE (1) | DE3723545C2 (de) |
FR (1) | FR2601824B1 (de) |
GB (1) | GB2193060B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4227340A1 (de) * | 1991-08-22 | 1993-02-25 | Hitachi Ltd | Oberflaechenwellen-bauelement und kommunikationseinrichtung, die ein solches bauelement verwendet |
DE102017003855A1 (de) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | Frank Grundmann | Vorrichtung zur Erhöhung der Stabilität am unteren Erdungsring bei Elektrofiltern |
DE102017007787A1 (de) | 2017-08-17 | 2019-02-21 | Frank Grundmann | Vorrichtung zur Erleichterung der Ausrichtung von Elektroden bei Nass- Elektrofiltern |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2206257B (en) * | 1987-05-26 | 1991-08-14 | Clarion Co Ltd | Surface acoustic wave device |
JP2601543B2 (ja) * | 1989-04-25 | 1997-04-16 | 日本無線株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
FR2650919B1 (fr) * | 1989-08-10 | 1992-01-03 | Dassault Electronique | Dispositif acoustoelectrique a ondes de surface perfectionne |
US5051645A (en) * | 1990-01-30 | 1991-09-24 | Johnson Service Company | Acoustic wave H2 O phase-change sensor capable of self-cleaning and distinguishing air, water, dew, frost and ice |
US5289073A (en) * | 1992-11-09 | 1994-02-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Unidirectional surface acoustic wave transducer |
US6023122A (en) * | 1999-04-15 | 2000-02-08 | Nortel Networks Corporation | Surface wave devices with tapered transducers |
EP1198881B1 (de) | 1999-06-03 | 2004-07-28 | Tele Filter Zweigniederlassung der Dover Germany GmbH | Akustisches oberflächenwellenfilter |
DE19943072B4 (de) * | 1999-06-03 | 2004-05-13 | Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung e.V. | Akustisches Oberflächenwellenfilter |
US6791236B1 (en) | 2000-10-11 | 2004-09-14 | Yuri Abramov | Method utilizing the saw velocity dispersion effect for weighting by shaping the electrode fingers of a saw interdigital transducer and apparatus produced thereby |
US6856214B2 (en) * | 2002-12-10 | 2005-02-15 | Nortel Networks Limited | Surface wave devices with low passband ripple |
US6847272B2 (en) * | 2003-02-28 | 2005-01-25 | Northrop Grumman Corporation | Weighted SAW reflector using distributed acoustic reflective dots |
DE10314153A1 (de) * | 2003-03-28 | 2004-10-07 | Epcos Ag | Oberflächenwellen-Anordnung zur breitbandigen Signalübertragung |
JP2005150918A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP5042763B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2012-10-03 | 日本電波工業株式会社 | 弾性波フィルタ |
JP4694609B2 (ja) * | 2008-10-24 | 2011-06-08 | 日本電波工業株式会社 | 弾性波フィルタ |
CN111165886A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-05-19 | 云南中烟工业有限责任公司 | 一种可变频声表面波电子烟 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2163876A1 (de) * | 1971-01-05 | 1972-07-27 | Philips Nv | Elektromechanisches Filter |
US4055820A (en) * | 1975-12-05 | 1977-10-25 | Sperry Rand Corporation | Reflective dot array for acoustic wave processing |
US4204178A (en) * | 1977-04-07 | 1980-05-20 | U.S. Philips Corporation | Acoustic wave devices |
GB2060305A (en) * | 1979-09-20 | 1981-04-29 | Secr Defence | Acoustic wave device including a reflective array |
DE2824371C2 (de) * | 1977-06-03 | 1984-07-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma, Osaka | Akustisches Oberflächenwellenfilter |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3946342A (en) * | 1973-08-10 | 1976-03-23 | Texas Instruments Incorporated | Weighting surface wave filters by withdrawing electrodes |
DE2431620A1 (de) * | 1974-07-02 | 1976-01-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Schallwandler fuer akustische oberflaechenwellen |
DE2435751A1 (de) * | 1974-07-25 | 1976-02-12 | Licentia Gmbh | Akustisches oberflaechenwellenfilter |
GB1512790A (en) * | 1975-08-22 | 1978-06-01 | Mullard Ltd | Acoustic surface wave devices |
US4134087A (en) * | 1977-04-08 | 1979-01-09 | Hughes Aircraft Company | Amplitude weighted surface acoustic wave device |
US4130813A (en) * | 1977-05-23 | 1978-12-19 | Raytheon Company | Surface wave device having enhanced reflectivity gratings |
US4155056A (en) * | 1977-08-25 | 1979-05-15 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Cascaded grating resonator filters with external input-output couplers |
FR2466139B1 (fr) * | 1979-09-20 | 1988-03-04 | Nat Res Dev | Dispositif reflecteur d'ondes acoustiques superficielles |
GB2108800B (en) * | 1981-10-14 | 1985-03-20 | Gen Electric Co Plc | Surface acoustic wave devices |
JPH0642618B2 (ja) * | 1984-02-28 | 1994-06-01 | 日本無線株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
US4635008A (en) * | 1985-11-19 | 1987-01-06 | Sperry Corporation | Dispersive SAW filter with tapered transducers |
-
1987
- 1987-07-14 GB GB8716588A patent/GB2193060B/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-07-14 CA CA000541984A patent/CA1271817A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-07-15 US US07/073,976 patent/US4878036A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-07-16 DE DE3723545A patent/DE3723545C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-07-16 FR FR878710021A patent/FR2601824B1/fr not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2163876A1 (de) * | 1971-01-05 | 1972-07-27 | Philips Nv | Elektromechanisches Filter |
US4055820A (en) * | 1975-12-05 | 1977-10-25 | Sperry Rand Corporation | Reflective dot array for acoustic wave processing |
US4204178A (en) * | 1977-04-07 | 1980-05-20 | U.S. Philips Corporation | Acoustic wave devices |
DE2824371C2 (de) * | 1977-06-03 | 1984-07-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma, Osaka | Akustisches Oberflächenwellenfilter |
GB2060305A (en) * | 1979-09-20 | 1981-04-29 | Secr Defence | Acoustic wave device including a reflective array |
Non-Patent Citations (5)
Title |
---|
HUANG,F. et al.: High-Performance SAW Dispersive Delay Line Using Reflective Thin Metal Dor Arrays,In: Electronics Letters, 5th June 1986, Vol.22, No.12, S.653-654 * |
JP 57-89321 A., In: Patents Abstr.of Japan, Sect.E., Vol.6 (1982) No.173 (E-129) * |
JP 60-180318 A., In: Patents Abstr.of Japan, Sect.E., Vol.10 (1986) No.20 (E-376) * |
Laker, Cohen, Szabo, Pustaver Computer-Aided design of with drawal-Weighted SAW Bandpass Filters, in: IEEE Transations on Circuits and Systems, Vo. CAS-25, Nr. 5, Mai 1978, S. 241-251 * |
OLINER,A.A. (Editor): Acoustic Surface Waves, Springer-Verlag 1978, S.118-119 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4227340A1 (de) * | 1991-08-22 | 1993-02-25 | Hitachi Ltd | Oberflaechenwellen-bauelement und kommunikationseinrichtung, die ein solches bauelement verwendet |
DE102017003855A1 (de) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | Frank Grundmann | Vorrichtung zur Erhöhung der Stabilität am unteren Erdungsring bei Elektrofiltern |
DE102017007787A1 (de) | 2017-08-17 | 2019-02-21 | Frank Grundmann | Vorrichtung zur Erleichterung der Ausrichtung von Elektroden bei Nass- Elektrofiltern |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8716588D0 (en) | 1987-08-19 |
FR2601824B1 (fr) | 1991-01-11 |
GB2193060B (en) | 1991-04-03 |
CA1271817A (en) | 1990-07-17 |
GB2193060A (en) | 1988-01-27 |
US4878036A (en) | 1989-10-31 |
DE3723545C2 (de) | 1996-10-10 |
FR2601824A1 (fr) | 1988-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3723545C2 (de) | Akustischer Oberflächenwellenfilter | |
DE2045534C3 (de) | Oberflächenwellenfilter | |
DE2821791C2 (de) | ||
DE19513937C2 (de) | Akustisches Oberflächenwellenfilter | |
DE2016109A1 (de) | Elektro-akustisches Filter für Oberflächen-Schallwellen | |
DE2739688C2 (de) | ||
DE3838383C2 (de) | ||
DE2848267B2 (de) | Akustische Oberflächenwelleneinrichtung | |
DE10136305B4 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelementes | |
DE2831584C2 (de) | Wandler für akustische Oberflächenwellen und Filter auf der Basis dieser Wandler | |
DE2820046C2 (de) | Akustisches Oberflächenwellen- Bauelement | |
DE102019120942A1 (de) | Elektroakustischer Resonator | |
DE102005009359B4 (de) | Bandpassfilter | |
DE4013214C2 (de) | Akustisches Oberflächenwellenfilter | |
DE2610183A1 (de) | Wellenfilter mit akustischer oberflaechenleitung | |
DE10345239B4 (de) | Mit Oberflächenwellen arbeitender Wandler | |
DE2754494A1 (de) | Elastischoberflaechenwellenfilter | |
DE10358347B4 (de) | Oberflächenwellenfilter | |
DE2835107C3 (de) | Wandlerelektrodenanordnung für einen elektromechanischen Wandler nach dem Oberflächenwellenprinzip | |
DE2314642A1 (de) | Filter fuer akustische wellen | |
DE2945643C2 (de) | ||
DE2752113A1 (de) | Mehrpoliger resonator | |
DE2439530A1 (de) | Akustische oberflaechenwellenanordnung | |
DE3838923C2 (de) | Akustisches Oberflächenwellenfilter | |
DE19852300A1 (de) | AOW-Filter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition |