DE3645017C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3645017C2
DE3645017C2 DE3645017A DE3645017A DE3645017C2 DE 3645017 C2 DE3645017 C2 DE 3645017C2 DE 3645017 A DE3645017 A DE 3645017A DE 3645017 A DE3645017 A DE 3645017A DE 3645017 C2 DE3645017 C2 DE 3645017C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
carrier plate
ink
electrodes
plate
ink chambers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE3645017A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Yasuhara
Makoto Kawasaki Kanagawa Jp Nishimura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP19741385A external-priority patent/JPS6256150A/ja
Priority claimed from JP3978086A external-priority patent/JPS62198466A/ja
Priority claimed from JP3977986A external-priority patent/JPS62198465A/ja
Priority claimed from JP3977886A external-priority patent/JPS62198464A/ja
Priority claimed from JP8167086A external-priority patent/JPS62238756A/ja
Priority claimed from JP18985386A external-priority patent/JPS6345056A/ja
Priority claimed from JP18985486A external-priority patent/JPS6345057A/ja
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE3645017C2 publication Critical patent/DE3645017C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1623Manufacturing processes bonding and adhesion
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1607Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/1609Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1632Manufacturing processes machining
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B41J2002/14225Finger type piezoelectric element on only one side of the chamber

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Tintenstrahldruckkopf mit mehreren Düsen, der Tinte in Form von Tröpfchen unter Ausnutzung eines piezoelektrischen Effekts verspritzt, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Ein solcher ist aus der JP-OS 55-17 575 bekannt.
Bei dem bekannten Tintenstrahldruckkopf sind in der Oberseite der Trägerplatte aus piezoelektrischem Material nebeneinander mehrere Tintenkammern bildende, relativ flache Vertiefungen ausgebildet, und auf der Oberseite der Trägerplatte ist eine Elektrodenschicht angeordnet, die auch die Wände und den Boden der Vertiefungen bedeckt. An der Unterseite der Trägerplatte sind mehrere Gegenelektroden angeordnet, die den Vertiefungen gegenüberstehen. Die Trägerplatte ist von einer Deckplatte abgedeckt, die ebenfalls aus piezoelektrischem Material besteht und in der gleichen Weise wie die Trägerplatte gestaltet ist, so daß von den beiden piezoelektrischen Platten eine symmetrische Anordnung gebildet wird, wobei die beiden jeweils einer Tintenkammer zugeordneten Gegenelektroden elektrisch miteinander verbunden sind. Bei Anlegen einer Spannung zwischen der Elektrode an der Verbindungsfläche der beiden piezoelektrischen Platten einerseits und ein einer Tintenkammer zugeordnetes Gegenelektrodenpaar andererseits ändert sich die Dicke des piezoelektrischen Materials der Platten zwischen der angesprochenen Tintenkammer und den Gegenelektroden, was einen Einfluß auf das Volumen der Tintenkammer hat und letztlich zum Ausspritzen von Tinte aus der zugehörigen Düse führt.
Wegen des notwendigen engen Abstandes der Tintenkammern in den piezoelektrischen Platten ist jedoch nicht ausgeschlossen, daß die Dickenänderung des piezoelektrischen Materials im Bereich einer angesprochenen Tintenkammer sich auf benachbarte Bereiche der piezoelektrischen Platten überträgt und bei den dort befindlichen Tintenkammern zu einem unerwünschten, wenngleich auch geringen Tintenausstoß führt.
Angesichts der vorangehenden Erläuterungen liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Tintenstrahldruckkopf der eingangs genannten Art anzugeben, der kompakt aufgebaut ist und dabei einfach hergestellt werden kann und bei dem die Übersprechdämpfung zwischen benachbarten Tintenkammern verbessert ist.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs gelöst.
Die Erfindung soll nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert werden.
Fig. 1 zeigt im Querschnitt eine Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf die piezoelektrische Platte, und
Fig. 3 zeigt eine Draufsicht auf die Deckplatte.
Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch einen Tintenstrahldruckkopf nach der Erfindung. In Fig. 1 ist mit dem Bezugszeichen 40 eine Platte aus piezoelektrischem Material bezeichnet. Wie in Fig. 2 dargestellt, sind eine Mehrzahl von Tintenkammern 42 gleicher Tiefe und eine Mehrzahl von Tintendüsen 46 und eine Mehrzahl Tinteneinlässe 44, die jeweils mit den Tintenkammern 42 in Verbindung stehen, in der piezoelektrischen Platte 40 ausgebildet. In der piezoelektrischen Platte 40 sind Nuten 48 in der Weise ausgebildet, daß diese zwischen den benachbarten Tintenkammern 42 liegen. Neben einer jeden der Tintenkammern 42 sind Elektroden 54 zur Aufnahme einer Spannung auf der Oberseite der piezoelektrischen Platte 40 angeordnet. Zugehörige Gegenelektroden 56 sind an der Unterseite der piezoelektrischen Platte 40 an solchen Stellen angeordnet, daß sie zusammen mit den Elektroden 54 und der piezoelektrischen Platte 40 entsprechende piezoelektrische Elemente ausbilden. Eine Deckplatte 50 ist beispielsweise durch Verklebung oder Verschweißung fest auf der so aufgebauten piezoelektrischen Platte 40 angebracht. Wie Fig. 3 zeigt, sind langgestreckte Durchbrüche 52 in der Deckplatte 50 derart angeordnet, daß sie den Nuten 48 jeweils gegenüberstehen. Die Tintenkammern 42 können sich daher unabhängig voneinander zusammenziehen. Das heißt, wenn eine Spannung an ein ausgewähltes Paar Elektroden 54 und 56 angelegt wird, dann zieht sich das dazwischenliegende piezoelektrische Element zusammen, um die Deckplatte 50 nach innen zu ziehen, was zur Folge hat, daß sich das Volumen der Tintenkammer 42 vermindert und die darin enthaltene Tinte in Form von Tröpfchen aus der zugehörigen Tintendüse 46 ausgespritzt wird. Beim Betrieb der Vorrichtung hat die Kontraktion der Tintenkammer 42 keinen Einfluß auf die benachbarten Tintenkammern 42, weil dies die langgestreckten Durchbrüche 52 und die Nuten 48 verhindern. Ein Übersprechen zwischen den Tintenkammern ist daher ausgeschlossen.
Bei der dargestellten Ausführungsform beträgt bei einer Größe einer jeden Düse 46 von 40 µm × 40 µm die Distanz, oder besser gesagt der Teilungsabstand zwischen den Düsen 46 beispielsweise 1 mm. Die Dicke der piezoelektrischen Platte 40 beträgt 0,5 mm. Die Breite der Tintenkammern 42 ist 0,7 mm. Die Tintenkammern 42, die, wie oben beschrieben, extrem klein sind, können mit Hilfe einer Zerteilsäge ausgebildet werden, wie sie zum Zerteilen von Halbleiterplättchen verwendet wird. Als Schneidkanten sind solche von 15 µm Dicke für Zerteilsägen dieses Typs entwickelt worden, so daß die Tintenkammern 42 in ausreichend zufriedenstellender Weise mit der Zerteilsäge ausgebildet werden können.

Claims (2)

  1. Tintenstrahldruckkopf, bestehend aus
    • a) einer Trägerplatte aus piezoelektrischem Material, mit mehreren nebeneinander darin als Ausnehmungen in der Oberseite ausgebildeten, langgestreckten Tintenkammern, die durch Trennwände voneinander abgetrennt sind, jeweils mit einer nach außen führenden Tintenstrahldüse verbunden sind und mit einem Tinteneinlaß versehen sind,
    • b) einer gemeinsamen Deckplatte, die auf der Oberseite der Trägerplatte angeordnet ist und die Tintenkammern an der Oberseite der Trägerplatte verschließt, und
    • c) einer Elektrodenanordnung zur Erregung des piezo­ elektrischen Materials aus den einzelnen Tintenkammern individuell zugeordneten ersten Elektroden auf der einen Seite der Trägerplatte und entsprechenden Gegenelektroden (zweiten Elektroden) auf der anderen Seite der Trägerplatte,
  2. dadurch gekennzeichnet, daß
    • d) von der Oberseite der Trägerplatte (40) ausgehend in jeder Trennwand eine langgestreckte Nut (48) ausgebildet ist,
    • e) in der Deckplatte (50) langgestreckte Durchbrüche (52) ausgebildet sind, die mit den Nuten (48) in der Trägerplatte (40) fluchten, und
    • f) die ersten Elektroden (54) einer Tintenkammer (42) auf der Oberseite der Trennwände beiderseits der Ausnehmung (42) angeordnet sind.
DE3645017A 1985-09-06 1986-09-04 Expired - Lifetime DE3645017C2 (de)

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19741385A JPS6256150A (ja) 1985-09-06 1985-09-06 インクジエツト記録ヘツド
JP3978086A JPS62198466A (ja) 1986-02-25 1986-02-25 インクジエツト記録ヘツド
JP3977986A JPS62198465A (ja) 1986-02-25 1986-02-25 インクジエツト記録ヘツド
JP3977886A JPS62198464A (ja) 1986-02-25 1986-02-25 インクジエツト記録ヘツド
JP8167086A JPS62238756A (ja) 1986-04-09 1986-04-09 インクジエツト記録ヘツド
JP18985386A JPS6345056A (ja) 1986-08-13 1986-08-13 インクジエツト記録ヘツド
JP18985486A JPS6345057A (ja) 1986-08-13 1986-08-13 インクジエツト記録ヘツド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3645017C2 true DE3645017C2 (de) 1990-07-12

Family

ID=27564498

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863630206 Granted DE3630206A1 (de) 1985-09-06 1986-09-04 Tintenstrahldruckkopf
DE3645017A Expired - Lifetime DE3645017C2 (de) 1985-09-06 1986-09-04

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863630206 Granted DE3630206A1 (de) 1985-09-06 1986-09-04 Tintenstrahldruckkopf

Country Status (2)

Country Link
US (2) US4752788A (de)
DE (2) DE3630206A1 (de)

Families Citing this family (77)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4887100A (en) * 1987-01-10 1989-12-12 Am International, Inc. Droplet deposition apparatus
DE3709455A1 (de) * 1987-03-23 1988-10-06 Siemens Ag Anordnung fuer einen elektrodynamisch betriebenen tintenschreibkopf
JPS63312158A (ja) * 1987-06-13 1988-12-20 Fuji Electric Co Ltd インクジェット記録ヘッド
DE3725500A1 (de) * 1987-07-31 1989-02-09 Siemens Ag Piezoelektrischer tintendruckkopf und verfahren zu seiner herstellung
DE3725499A1 (de) * 1987-07-31 1989-02-09 Siemens Ag Piezoelektrischer tintendruckkopf und verfahren zu seiner herstellung
GB8722086D0 (en) * 1987-09-19 1987-10-28 Cambridge Consultants Poling piezo-electric ceramic
DE3733109A1 (de) * 1987-09-30 1989-04-13 Siemens Ag Verfahren zur herstellung eines piezokeramik-elementes fuer einen tintenstrahlschreiber
DE3805279A1 (de) * 1988-02-19 1989-08-31 Siemens Ag Piezoelektrischer tintendruckkopf und verfahren zu seiner herstellung
GB8824014D0 (en) * 1988-10-13 1988-11-23 Am Int High density multi-channel array electrically pulsed droplet deposition apparatus
US5260723A (en) * 1989-05-12 1993-11-09 Ricoh Company, Ltd. Liquid jet recording head
GB8910961D0 (en) * 1989-05-12 1989-06-28 Am Int Method of forming a pattern on a surface
JPH0733087B2 (ja) * 1989-06-09 1995-04-12 シャープ株式会社 インクジェットプリンタ
JPH0764060B2 (ja) * 1989-06-09 1995-07-12 シャープ株式会社 インクジェットプリンタ
JP2964618B2 (ja) * 1989-11-10 1999-10-18 セイコーエプソン株式会社 インクジェットプリンタ用のヘッド
JP3041952B2 (ja) * 1990-02-23 2000-05-15 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド、圧電振動体、及びこれらの製造方法
US6186619B1 (en) 1990-02-23 2001-02-13 Seiko Epson Corporation Drop-on-demand ink-jet printing head
US5534900A (en) * 1990-09-21 1996-07-09 Seiko Epson Corporation Ink-jet recording apparatus
US5363131A (en) * 1990-10-05 1994-11-08 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head
DE69129159T2 (de) * 1990-11-09 1998-07-16 Citizen Watch Co Ltd Tintenstrahlkopf
US5265315A (en) * 1990-11-20 1993-11-30 Spectra, Inc. Method of making a thin-film transducer ink jet head
US5202703A (en) * 1990-11-20 1993-04-13 Spectra, Inc. Piezoelectric transducers for ink jet systems
DE69011694T2 (de) * 1990-12-06 1995-01-26 Markpoint Dev Ab Anordnung zur gesteuerten tintentropfenerzeugung.
JPH04357037A (ja) * 1991-03-19 1992-12-10 Tokyo Electric Co Ltd インクジェットプリンタヘッド
JP2833875B2 (ja) * 1991-04-16 1998-12-09 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドの製造方法、及びその製造機
US5410341A (en) * 1991-05-28 1995-04-25 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Droplet jet device
JPH0577420A (ja) * 1991-09-20 1993-03-30 Brother Ind Ltd 液滴噴射装置
JPH0596739A (ja) * 1991-10-09 1993-04-20 Rohm Co Ltd インクジエツトプリントヘツドの製造方法
JPH05124186A (ja) * 1991-11-06 1993-05-21 Brother Ind Ltd 液滴噴射装置
JPH05131622A (ja) * 1991-11-13 1993-05-28 Minolta Camera Co Ltd インクジエツト記録装置
SE9200555D0 (sv) * 1992-02-25 1992-02-25 Markpoint Dev Ab A method of coating a piezoelectric substrate
JPH0664168A (ja) * 1992-03-11 1994-03-08 Tokyo Electric Co Ltd インクジェットプリンタヘッド及びその製作方法
JP3097298B2 (ja) * 1992-04-17 2000-10-10 ブラザー工業株式会社 液滴噴射装置およびその製造方法
US5278585A (en) * 1992-05-28 1994-01-11 Xerox Corporation Ink jet printhead with ink flow directing valves
US5825382A (en) * 1992-07-31 1998-10-20 Francotyp-Postalia Ag & Co. Edge-shooter ink jet print head and method for its manufacture
DE4225799A1 (de) * 1992-07-31 1994-02-03 Francotyp Postalia Gmbh Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
US6050679A (en) * 1992-08-27 2000-04-18 Hitachi Koki Imaging Solutions, Inc. Ink jet printer transducer array with stacked or single flat plate element
JP3106044B2 (ja) * 1992-12-04 2000-11-06 日本碍子株式会社 アクチュエータ及びそれを用いたインクジェットプリントヘッド
JPH06234216A (ja) * 1993-02-10 1994-08-23 Brother Ind Ltd インク噴射装置
US6074048A (en) * 1993-05-12 2000-06-13 Minolta Co., Ltd. Ink jet recording head including interengaging piezoelectric and non-piezoelectric members and method of manufacturing same
JP3318687B2 (ja) * 1993-06-08 2002-08-26 日本碍子株式会社 圧電/電歪膜型素子及びその製造方法
JP2699813B2 (ja) * 1993-07-30 1998-01-19 日本電気株式会社 インクジェット記録装置の記録ヘッド
DE4336416A1 (de) * 1993-10-19 1995-08-24 Francotyp Postalia Gmbh Face-Shooter-Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
JP3163878B2 (ja) * 1993-11-11 2001-05-08 ブラザー工業株式会社 インク噴射装置
JP3043936B2 (ja) * 1994-02-08 2000-05-22 シャープ株式会社 インクジェットヘッド
EP0695641B1 (de) * 1994-08-03 2001-04-04 Francotyp-Postalia Aktiengesellschaft & Co. Anordnung für plattenförmige Piezoaktoren und Verfahren zu deren Herstellung
BR9404646A (pt) * 1994-12-02 1997-03-04 Brasil Compressores Sa Compressor hermético para sistema de refrigeraçao
US6297577B1 (en) 1995-01-12 2001-10-02 Minolta Co., Ltd. Light controlling apparatus
JP3166530B2 (ja) * 1995-01-30 2001-05-14 ブラザー工業株式会社 インク噴射装置
US5818481A (en) * 1995-02-13 1998-10-06 Minolta Co., Ltd. Ink jet printing head having a piezoelectric driver member
JPH0939244A (ja) * 1995-05-23 1997-02-10 Fujitsu Ltd 圧電ポンプ
JPH08336966A (ja) * 1995-06-15 1996-12-24 Minolta Co Ltd インクジェット記録装置
JP2870459B2 (ja) * 1995-10-09 1999-03-17 日本電気株式会社 インクジェット記録装置及びその製造方法
JPH09254382A (ja) * 1996-03-19 1997-09-30 Fujitsu Ltd 圧電素子及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタヘッド及びその製造方法
JPH1024582A (ja) * 1996-07-12 1998-01-27 Canon Inc 液体吐出ヘッド並びに該液体吐出ヘッドの回復方法及び製造方法、並びに該液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置
EP0819523A1 (de) * 1996-07-18 1998-01-21 Océ-Technologies B.V. Tintenstrahldüsenkopf
EP0819527B1 (de) * 1996-07-18 2000-05-10 Océ-Technologies B.V. Tintenstrahldüsenkopf mit mehrfacher Blockstruktur
EP0820869B1 (de) * 1996-07-18 2000-05-10 Océ-Technologies B.V. Tintenstrahldüsenkopf
EP0819525A1 (de) * 1996-07-18 1998-01-21 Océ-Technologies B.V. Tintenstrahl-Düsenkopf mit mehrfacher Blockstruktur
WO1998007183A2 (en) * 1996-07-25 1998-02-19 Materials Systems Incorporated Serpentine cross section piezoelectric actuator
JP3365224B2 (ja) * 1996-10-24 2003-01-08 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッドの製造方法
JPH10146974A (ja) * 1996-11-19 1998-06-02 Brother Ind Ltd インクジェットヘッド
JP3257960B2 (ja) * 1996-12-17 2002-02-18 富士通株式会社 インクジェットヘッド
US6053600A (en) * 1997-01-22 2000-04-25 Minolta Co., Ltd. Ink jet print head having homogeneous base plate and a method of manufacture
JPH10244669A (ja) * 1997-03-05 1998-09-14 Fujitsu Ltd インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタ
JPH10296971A (ja) 1997-04-23 1998-11-10 Minolta Co Ltd インクジェット記録装置
US6107726A (en) * 1997-07-25 2000-08-22 Materials Systems, Inc. Serpentine cross-section piezoelectric linear actuator
DE69804724T2 (de) * 1997-07-25 2002-08-14 Seiko Epson Corp Tintenstrahldruckkopf und sein Herstellungsverfahren
US6296811B1 (en) * 1998-12-10 2001-10-02 Aurora Biosciences Corporation Fluid dispenser and dispensing methods
US6444106B1 (en) 1999-07-09 2002-09-03 Orchid Biosciences, Inc. Method of moving fluid in a microfluidic device
US6699018B2 (en) * 2001-04-06 2004-03-02 Ngk Insulators, Ltd. Cell driving type micropump member and method for manufacturing the same
US6752601B2 (en) * 2001-04-06 2004-06-22 Ngk Insulators, Ltd. Micropump
JP3997865B2 (ja) * 2002-08-29 2007-10-24 ブラザー工業株式会社 インクジェットプリンタヘッド
US7176600B2 (en) * 2003-12-18 2007-02-13 Palo Alto Research Center Incorporated Poling system for piezoelectric diaphragm structures
JP4963555B2 (ja) * 2005-04-28 2012-06-27 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US20070140875A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Green James S Piezoelectric pump
NL2009517C2 (en) * 2012-09-25 2014-03-27 Micronit Microfluidics Bv Device and method for activating a capillary-stop valve of a device.
CN108909185B (zh) * 2018-06-15 2020-07-17 大连瑞林数字印刷技术有限公司 一种厚膜压电元件驱动的压电喷墨打印喷头

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2543451A1 (de) * 1975-09-29 1977-03-31 Siemens Ag Piezoelektrisch betriebener schreibkopf fuer tintenmosaikschreibeinrichtungen
JPS5511812A (en) * 1978-07-10 1980-01-28 Seiko Epson Corp Liquid jet device
JPS5517575A (en) * 1978-07-26 1980-02-07 Seiko Epson Corp Liquid jet device

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE789108R (fr) * 1971-09-21 1973-01-15 Weishaupt Max Gmbh Procede pour la gazeification et la combustion d'hydrocarbures liquides, et bruleur pour combustibles liquides realise pour appliquer ce procede
DE2233469C2 (de) * 1972-07-07 1974-02-28 Olympia Werke Ag, 2940 Wilhelmshaven Schreibkopf für ein Tintenstrahl-Schreibwerk
DE2349555C2 (de) * 1973-04-25 1983-04-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Druckkopf für Farbflüssigkeits-Spritzdrucker und dergleichen
DE2353182A1 (de) * 1973-10-24 1975-05-07 Triumph Werke Nuernberg Ag Verfahren zur herstellung von schreibkoepfen mit raster- oder matrixartig angeordneten schreibelektroden
US4032929A (en) * 1975-10-28 1977-06-28 Xerox Corporation High density linear array ink jet assembly
AU531269B2 (en) * 1979-03-06 1983-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet printer
US4385304A (en) * 1979-07-09 1983-05-24 Burroughs Corporation Stacked drop generators for pulsed ink jet printing
US4312008A (en) * 1979-11-02 1982-01-19 Dataproducts Corporation Impulse jet head using etched silicon
US4392145A (en) * 1981-03-02 1983-07-05 Exxon Research And Engineering Co. Multi-layer ink jet apparatus
DE3117028A1 (de) * 1981-04-29 1982-11-18 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Schreibkopf fuer tintenschreibeinrichtungen mit zylinderfoermigen tintenkanaelen
JPS58158263A (ja) * 1982-03-15 1983-09-20 Hitachi Ltd インク粒子形成装置
US4487662A (en) * 1982-09-20 1984-12-11 Xerox Corporation Electrodeposition method for check valve
DE3306098A1 (de) * 1983-02-22 1984-08-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisch betriebener schreibkopf mit kanalmatrize
JPS6013557A (ja) * 1983-07-04 1985-01-24 Nec Corp インクジエツト式印字ヘツド
DE3403615A1 (de) * 1984-02-02 1985-08-08 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Schreibkopf fuer tintenschreibeinrichtungen
US4605939A (en) * 1985-08-30 1986-08-12 Pitney Bowes Inc. Ink jet array

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2543451A1 (de) * 1975-09-29 1977-03-31 Siemens Ag Piezoelektrisch betriebener schreibkopf fuer tintenmosaikschreibeinrichtungen
JPS5511812A (en) * 1978-07-10 1980-01-28 Seiko Epson Corp Liquid jet device
JPS5517575A (en) * 1978-07-26 1980-02-07 Seiko Epson Corp Liquid jet device

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Patent Abstract of Japan, M-5, 29.03.80, Vol. 4, Nr. 4 mit zugehöriger & JP-A 55-011 812 *
Patent Abstract of Japan, M-7, 15.04.80, Vol. 4, Nr. 49 mit zugehöriger & JP-A 55-017 575 *

Also Published As

Publication number Publication date
US4752788A (en) 1988-06-21
DE3630206A1 (de) 1987-03-19
DE3630206C2 (de) 1990-05-03
US4819014A (en) 1989-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3645017C2 (de)
EP0116971B1 (de) Piezoelektrisch betriebener Schreibkopf mit Kanalmatrize
DE60315553T2 (de) Tintenstrahldruckkopf
EP0648607B1 (de) Tintenstrahldruckkopfmodul für einen Face-Shooter-Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
EP0713777B1 (de) Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE60128506T2 (de) Tintenstrahlkopf
DE69818666T2 (de) Auf abruf arbeitende tintenstrahldruckvorrichtung
DE4214555C2 (de) Elektrothermischer Tintendruckkopf
DE69908807T2 (de) Tröpfchenaufzeichnungsgerät
DE69824019T2 (de) Tröpfchen-niederschlagvorrichtung
DE69931001T2 (de) Piezoelektrischer Vibrator, Verfahren zu dessen Herstellung und diesen piezoelektrischen Vibrator verwendender Tintenstrahldruckkopf
DE602005005757T2 (de) Tintenstrahlkopf
DE60313233T2 (de) Tintenstrahlkopf, Verfahren für dessen Herstellung, und Tintenstrahldrucker
EP0530209B1 (de) Tintenschreibkopf für eine nach dem thermalwandlerprinzip arbeitende flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsvorrichtung und verfahren zu seiner herstellung
DE4424771C1 (de) Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE3524000A1 (de) Fluessigkeitsstrahlschreibkopf
EP0713773A2 (de) Tropfenerzeuger für Mikrotropfen, insbesondere für einen Ink-Jet-Printer
DE2703320A1 (de) Troepfchenstrahlen-aufzeichnungsvorrichtung
DE3820082A1 (de) Tintenstrahl-schreibkopf
DE19745980B4 (de) Tintenstrahlkopf zum Vorsehen eines akkuraten Positionierens von Düsen von Segmentchips auf einem Halter
DE69233523T2 (de) Tintenstrahldruckkopf
DE602004002995T2 (de) Tintenstrahlkopf
EP0713775B1 (de) Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE69833978T2 (de) Tröpfchenaufzeichnungsgerät und Herstellungsverfahren dafür
EP0671270B1 (de) Tintenstrahldruckkopf

Legal Events

Date Code Title Description
Q172 Divided out of (supplement):

Ref country code: DE

Ref document number: 3630206

8110 Request for examination paragraph 44
AC Divided out of

Ref country code: DE

Ref document number: 3630206

Format of ref document f/p: P

AC Divided out of

Ref country code: DE

Ref document number: 3630206

Format of ref document f/p: P

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee