DE3524348C2 - - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/082—Integration of non-optical monitoring devices, i.e. using non-optical inspection means, e.g. electrical means, mechanical means or X-rays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Positionieren
von Testköpfen nach dem Oberbegriff des
Anspruchs 1.
Zur Qualitätsprüfung elektronischer Bauelemente, wie z. B. integrierter
Schaltungen (IC), werden vollautomatische Prüfanlagen verwendet.
Diese Prüfanlagen werden mittels Kabelleitungen über Testköpfe,
die auch im deutschen Sprachraum mit dem englischen Wort Testhead
bezeichnet werden, an IC-Sortieranlagen angeschlossen. Hierzu
werden Vorrichtungen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 verwendet,
die üblicherweise dann als Testkopf-Manipulatoren bezeichnet
werden. Diese Testkopf-Manipulatoren werden auch verwendet, um die
Testköpfe über sog. Wafer-Prober zu setzen, sie in eine ergonomisch
günstige Lage für manuelles Prüfen von elektronischen Bauteilen
bzw. für Einstellarbeiten oder Reparaturen am Testkopf selbst zu
bringen. Derartige Testköpfe wiegen mit den anhängenden Kabeln bis
zu 1000 N.
Für die Positionierung der Testköpfe ist es notwendig, daß der Testkopf-Manipulator
sowohl eine Höhenverstellung als auch in einer horizontalen
Ebene Bewegungen in zwei Koordinatenrichtungen, eine Drehung
in der horizontalen Ebene und eine Kippbewegung um eine horizontale
Achse ermöglicht.
Aus der modernen Fertigungstechnik sind an sich Handhabungsgeräte,
sog. Manipulatoren, die eine freie Zuordnung von auch schweren Geräten
zu Bearbeitungsstellen ermöglichen, wie z. B. im Handbuch "Warnecke,
Hans-Jürgen; Schraft Rolf D.: Handbuch, Handhabungs-, Montage-
und Industrierobotertechnik, Band I: verlag moderne industrie,
1984 ISBN 3-478-41130-0" zusammengestellt. Für eine präzise Führung
eines Testkopfes für die vorgenannten Zwecke, die eine präzise Höhenverstellbarkeit,
eine Drehung des Testkopfes um eine horizontale
Achse und ein Kippen relativ zum Ständer ermöglichen muß, wobei
keine der Bewegungen ein Spiel haben darf, sind derartige Handhabungsgeräte
nicht geeignet.
Eine dem Anmelder bekannt gewordende Ausführung eines derartigen Manipulators
für die vorgenannten Zwecke ist so aufgebaut, daß in
einer auf Spreizstützen aufgestellten Standsäule in Hohlkastenbau
weise eine Parallelführung mit zwei Rundsäulen und eine Gewindespindel
zur Höheneinstellung des Manipulators vorgesehen ist. Eine
translatorische Verstellmöglichkeit in Anschlußrichtung des Testkopfes
ist über eine Parallelführung mittels zweier symmetrisch zur
Standsäule angeordneter Rundsäulen, zwischen denen die Kippvorrichtung
zur Aufnahme des Testkopfes angebracht ist und die manuell verschiebbar
ist, gegeben. Eine seitliche Verstellmöglichkeit ist
nicht vorgesehen. Der Testkopf kann weiterhin um die Hochachse der
Säule gedreht und um eine waagrechte Achse gekippt werden. Eine Anpassung
an unterschiedlich breite Testköpfe ist durch Auswechseln
der aus den waagrechten Parallelführungen gebildeteten Aufnahmegaben
möglich. Die Zugänglichkeit der Testkopfrückseite ist aufgrund der
Bauart eingeschränkt.
Eine andere bekannt gewordene Bauform eines solchen Manipulators
ist so gestaltet, daß in einer einseitig offenen Standsäule in C-
Form, die ebenfalls mittels Spreizstützen vertikal aufgestellt ist,
der Testkopfträger klemmbar auf einer Rundsäule aufgenommen ist.
Der Testkopfträger ist als starre Aufnahmegabel ausgebildet und mittels
einer dreifach gelenkig angeordneten Tragarmkonstruktion in
der Horizontalebene klemmbar einzustellen. Eine Anpassung der Aufnahmegabel
an unterschiedlich breite Testköpfe erfordert entweder
das Auswechseln der Aufnahmegabel oder das Einfügen von Paßstücken
zwischen Aufnahmegabel und Testkopf. Die Zugänglichkeit der Testkopfrückseite
ist infolge der Gabelbauart und des kompakten Aufbaus
der Tragarmkonstruktion eingeschränkt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Testkopf-Manipulator
der beschriebenen Bauart so weiterzuentwickeln, daß eine einfache
und betriebssichere Positionierung des schweren Testkopfes möglich
ist, wobei eine einfache Anpassung an unterschiedlich breite Testköpfe
möglich sein soll und die Testkopfrückseite besser zugänglich
gemacht werden soll.
Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung mit den Merkmalen des An
spruchs 1 gelöst. Vorteilhafte konstruktive Ausgestaltungen ergeben
sich aus den Unteransprüchen.
Bei der Vorrichtung nach der Erfindung wird die starre Aufnahmegabel
durch ein Paar von symmetrisch zu einer durch die Mittelachse
einer Standsäule verlaufenden Ebene angeordneten Gelenkarmpaaren ersetzt.
Jedes der symmetrisch angeordneten Gelenkarmpaare ermöglicht
in horizontaler Ebene die erforderliche translatorische und rotatorische
Einstellung des Testkopfes zur Anpassung an die jeweilige
Aufgabe. Es ist jetzt möglich, den Testkopf in horizontaler Ebene
sowohl zu drehen als auch in Richtung auf die Kontaktierstelle hin
translatorisch zu bewegen und zusätzlich seitlich eine Justiermöglichkeit
bereitzustellen, ohne wegen der Durchführung der Einrichtbewegung
in einem Freiheitsgrad dadurch die Einstellung in einem anderen
Freiheitgrad ändern zu müssen.
Es ist hierbei bei der Handhabung der Vorrichtung als Vorteil anzusehen,
daß bei dieser Konstruktion ein Drehgelenk in der Nähe einer
Schwerpunktsachse des Testkopfes liegt.
Ein weiterer Vorteil ist, daß wegen des Fortfalls einer starren Aufnahme
gabel der Testkopf auf der Rückseite leicht zugänglich ist. Zudem ragen
keine Bauteile des Manipulators über die Anschlußebene des Testkopfes
hinaus.
Die Erfindung wird nachstehend mittels der zugehörigen Zeichnungen an
einem Ausführungsbeispiel erläutert, dessen Konstruktion sich bereits in
der Praxis als sehr brauchbar erwiesen hat. Es ist selbstverständlich,
daß die Vorrichtung für ähnliche Anwendungsfälle durch entsprechende
Anpassung der Anschlußteile ebenfalls ohne Einschränkung verwendet werden
kann. Denkbar wäre auch der Einbau eines weiteren, beispielsweise mit der
Achse senkrecht zur Stützsäulenebene liegenden Drehgelenks zur Erweite
rung der Justiermöglichkeiten der Testkopfaufnahme.
Einzelheiten einer erfindungsgemäßen Vorrichtung werden im folgenden in
Verbindung mit den anliegenden Zeichnungen erläutert:
Fig. 1 zeigt einen Testkopf- Manipulator in einer Seitenansicht,
Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf einen Testkopf- Manipulator nach
Fig. 1.
In der Seitenansicht gemäß Fig. 1 und der Draufsicht gemäß Fig. 2 ist
der Grundaufbau eines Testkopf- Manipulators erkennbar:
Eine vertikale Standsäule 1 ist auf dem Boden mit Spreizstützen 2, die
zur vertikalen Justierung mit Stütztellern 3 ausgerüstet sind, auf
stellbar. In der Standsäule ist eine Parallelführung mit Linearlagern 4
und einer Gewindespindel mit Kurbel 5 zur Höheneinstellung eingebaut. Die
Gewindespindel ist an einem Querhaupt 7 mittels des Hebels 6 fest
stellbar. An dem Querhaupt 7 sind links und rechts jeweils Gelenkarme 8, 9
für die horizontale Positionierbewegung angebaut. Die Gelenkarme 9 sind
an den Gelenken 10 jeweils mit Klemmschrauben 11 klemmbar. Die Gelenk
lager sind spielfrei justiert. An den Enden der Gelenkarmpaare 8, 9 ist
eine Kippvorrichtung 12 zur Aufnahme des Testkopfes 15 angebracht, wobei
der Testkopf in der Kippvorrichtung über den Beschlag 13 in Führungsnuten
mit den Klemmschrauben 12 um eine horizontale Achse um 180 Grad
schwenkbar angeordnet ist.
Soll beispielsweise ein Testkopf an einen IC-Sortierautomaten ange
schlossen werden, so wird der Testkopf-Manipulator hinter dem Sortier
automaten in Stellung gebracht und mittels der Spreizfüße 2 und der
Stützteller 3 fest aufgestellt. Die Gelenkarme 8, 9 werden seitlich
verschwenkt und der Testkopf in dem Beschlag 13 befestigt. Hierauf wird
der Testkopf hinter die Kontaktierungsstelle des Sortierautomaten ge
schwenkt. Mit der Gewindespindel 5 wird die Höhe eingestellt. Durch
Öffnen der Klemmschrauben kann der Testkopf horizontal in der Ebene
beweglich an die Kontaktierungsstelle herangeführt werden. Eine eventu
elle Justierung in der horizontalen Achse erfolgt im Kippbeschlag 12 in
den Führungsnuten mit den Klemmschrauben 14. Ist der Kontakt mit dem
Sortierautomaten hergestellt, wird durch das Anziehen der Klemmschrauben
6, 11, 14 die Stellung des Testkopfes fixiert.
Claims (4)
1. Vorrichtung zum Positionieren von Testköpfen (15) mittels
einer an einer auf Spreizstützen aufgestellten Standsäule (1)
höhenverstellbar über eine Gelenkverbindung in einer Ebene beweglich
gehaltenen Testkopfaufnahme, dadurch gekennzeichnet,
daß die Testkopfaufnahme um eine horizontale Kippachse
schwenkbar am freien Ende eines Paares von symmetrisch zu
einer durch die Mittelachse der Standsäule (1) verlaufenden
Ebene angeordneten Gelenkarmpaaren (8, 9) angeordnet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Gelenke (10) eines der Arme (9) jedes Gelenkarmpaares durch
Klemmschrauben (11) klemmbar sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Gelenke (19) mit Nadellagern ausgerüstet sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die
Gelenke (10) spielfrei eingestellt sind.
Priority Applications (2)
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Publications (2)
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Country Status (2)
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