DE3524348A1 - Vorrichtung zum positionieren von testkoepfen - Google Patents
Vorrichtung zum positionieren von testkoepfenInfo
- Publication number
- DE3524348A1 DE3524348A1 DE19853524348 DE3524348A DE3524348A1 DE 3524348 A1 DE3524348 A1 DE 3524348A1 DE 19853524348 DE19853524348 DE 19853524348 DE 3524348 A DE3524348 A DE 3524348A DE 3524348 A1 DE3524348 A1 DE 3524348A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- test head
- test
- test heads
- manipulator
- adjustment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/082—Integration of non-optical monitoring devices, i.e. using non-optical inspection means, e.g. electrical means, mechanical means or X-rays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
Description
Zur Qualitätsprüfung elektronischer Bauelemente, wie z. B. integrierter
Schaltungen (IC), werden vollautomatische Prüfanlagen verwendet. Diese
Prüfanlagen werden mittels Kabelleitungen über Testköpfe, die auch im
deutschen Sprachraum mit dem englischen Wort Testhead bezeichnet werden,
an IC- Sortieranlagen angeschlossen. Hierzu werden Vorrichtungen gemäß
dem Oberbegriff des Anspruchs 1 verwendet, die üblicherweise dann als
Testkopf- Manipulatoren bezeichnet werden. Diese Testkopf- Manipulatoren
werden auch verwendet, um die Testköpfe über sog. Wafer- Prober zu set
zen, sie in eine ergonomisch günstige Lage für manuelles Prüfen von
elektronischen Bauteilen bzw. für Einstellarbeiten oder Reparaturen am
Testkopf selbst zu bringen. Derartige Testköpfe wiegen mit den anhängen
den Kabeln bis zu 1000 N.
Für die Positionierung der Testköpfe ist es notwendig, daß der Testkopf-
Manipulator sowohl eine Höhenverstellung als auch in einer horizontalen
Ebene Bewegungen in zwei Koordinatenrichtungen, eine Drehung in der
horizontalen Ebene und eine Kippbewegung um eine horizontale Achse er
möglicht.
Eine bekannte Ausführung eines derartigen Manipulators ist so aufgebaut,
daß in einer auf Spreizstützen aufgestellten Standsäule in Hohlkastenbau
weise eine Parallelführung mit zwei Rundsäulen und eine Gewindespindel
zur Höheneinstellung des Manipulators vorgesehen ist. Eine trans
latorische Verstellmöglichkeit in Anschlußrichtung des Testkopfes ist
über eine Parallelführung mittels zweier symmetrisch zur Standsäule ange
ordneter Rundsäulen, zwischen denen die Kippvorrichtung zur Aufnahme des
Testkopfes angebracht ist und die manuell verschiebbar ist, gegeben. Eine
seitliche Verstellmöglichkeit ist nicht vorgesehen. Der Testkopf kann
weiterhin um die Hochachse der Säule gedreht und um eine waagrechte Achse
gekippt werden. Eine Anpassung an unterschiedlich breite Testköpfe ist
durch Auswechseln der aus den waagrechten Parallelführungen gebildeteten
Aufnahmegabel möglich. Die Zugänglichkeit der Testkopfrückseite ist auf
grund der Bauart eingeschränkt.
Eine weitere bekannte Bauform eines solchen Manipulators ist so gestal
tet, daß in einer einseitig offenen Standsäule in C- Form, die ebenfalls
mittels Spreizstützen vertikal aufgestellt ist, der Testkopfträger
klemmbar auf einer Rundsäule aufgenommen ist. Der Testkopfträger ist als
starre Aufnahmegabel ausgebildet und mittels einer dreifach gelenkig
angeordneten Tragarmkonstruktion in der Horizontalebene klemmbar einzu
stellen. Eine Anpassung der Aufnahmegabel an unterschiedlich breite
Testköpfe erfordert entweder das Auswechseln der Aufnahmegabel oder das
Einfügen von Paßstücken zwischen Aufnahmegabel und Testkopf. Die Zu
gänglichkeit der Testkopfrückseite ist infolge der Gabelbauart und des
kompakten Aufbaus der Tragarmkonstruktion eingeschränkt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Testkopf- Manipulator der
beschriebenen Bauart so weiterzuentwickeln, daß eine einfache und be
triebssichere Positionierung des schweren Testkopfes ermöglicht wird,
wobei eine einfache Anpassung an unterschiedlich breite Testköpfe möglich
sein soll und die Testkopfrückseite besser zugänglich gemacht werden
soll.
Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung mit den Merkmalen des An
spruchs 1 gelöst. Vorteilhafte konstruktive Ausgestaltungen ergeben sich
aus den Unteransprüchen.
Bei der Vorrichtung nach der Erfindung wird die starre Aufnahmegabel
durch ein symmetrisch angeordnetes Gelenkarmpaar ersetzt, das aus jeweils
drei Gelenken, zwei Armen und einer integrierten Kippvorrichtung zur
Aufnahme des Testkopfes besteht. Das symmetrisch angeordnete Gelenk
armpaar ermöglicht in horizontaler Ebene die erforderliche trans
latorische und rotatorische Einstellung des Testkopfes zur Anpassung an
die jeweilige Aufgabe. Es ist jetzt möglich, den Testkopf in horizontaler
Ebene sowohl zu drehen als auch in Richtung auf die Kontaktierstelle hin
translatorisch zu bewegen und zusätzlich seitlich eine Justiermöglichkeit
bereitzustellen, ohne wegen der Durchführung der Einrichtbewegung in
einem Freiheitsgrad dadurch die Einstellung in einem anderem Freiheitgrad
ändern zu müssen.
Es ist hierbei bei der Handhabung der Vorrichtung als Vorteil anzusehen,
daß bei dieser Konstruktion ein Drehgelenk in der Nähe einer Schwer
punktsachse des Testkopfes liegt.
Ein weiterer Vorteil ist, daß wegen des Fortfalls einer starren Aufnahme
gabel der Testkopf auf der Rückseite leicht zugänglich ist. Zudem ragen
keine Bauteile des Manipulators über die Anschlußebene des Testkopfes
hinaus.
Die Erfindung wird nachstehend mittels der zugehörigen Zeichnungen an
einem Ausführungsbeispiel erläutert, dessen Konstruktion sich bereits in
der Praxis als sehr brauchbar erwiesen hat. Es ist selbstverständlich,
daß die Vorrichtung für ähnliche Anwendungsfälle durch entsprechende
Anpassung der Anschlußteile ebenfalls ohne Einschränkung verwendet werden
kann. Denkbar wäre auch der Einbau eines weiteren, beispielsweise mit der
Achse senkrecht zur Stützsäulenebene liegenden Drehgelenks zur Erweite
rung der Justiermöglichkeiten der Testkopfaufnahme.
Einzelheiten einer erfindungsgemäßen Vorrichtung werden im folgenden in
Verbindung mit den anliegenden Zeichnungen erläutert:
Fig. 1 zeigt einen Testkopf- Manipulator in einer Seitenansicht,
Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf einen Testkopf- Manipulator nach
Fig. 1.
In der Seitenansicht gemäß Fig. 1 und der Draufsicht gemäß Fig. 2 ist
der Grundaufbau eines Testkopf- Manipulators erkennbar:
Eine vertikale Standsäule 1 ist auf dem Boden mit Spreizstützen 2, die
zur vertikalen Justierung mit Stütztellern 3 ausgerüstet sind, auf
stellbar. In der Standsäule ist eine Parallelführung mit Linearlagern 4
und einer Gewindespindel mit Kurbel 5 zur Höheneinstellung eingebaut. Die
Gewindespindel ist an einem Querhaupt 7 mittels des Hebels 6 fest
stellbar. An dem Querhaupt 7 sind links und rechts jeweils Gelenkarme 8, 9
für die horizontale Positionierbewegung angebaut. Die Gelenkarme 9 sind
an den Gelenken 10 jeweils mit Klemmschrauben 11 klemmbar. Die Gelenk
lager sind spielfrei justiert. An den Enden der Gelenkarmpaare 8, 9 ist
eine Kippvorrichtung 12 zur Aufnahme des Testkopfes 15 angebracht, wobei
der Testkopf in der Kippvorrichtung über den Beschlag 13 in Führungsnuten
mit den Klemmschrauben 12 um eine horizontale Achse um 180 Grad
schwenkbar angeordnet ist.
Soll beispielsweise ein Testkopf an einen IC- Sortierautomaten ange
schlossen werden, so wird der Testkopf- Manipulator hinter dem Sortier
automaten in Stellung gebracht und mittels der Spreizfüße 2 und der
Stützteller 3 fest aufgestellt. Die Gelenkarme 8, 9 werden seitlich
verschwenkt und der Testkopf in dem Beschlag 13 befestigt. Hierauf wird
der Testkopf hinter die Kontaktierungsstelle des Sortierautomaten ge
schwenkt. Mit der Gewindespindel 5 wird die Höhe eingestellt. Durch
Öffnen der Klemmschrauben kann der Testkopf horizontal in der Ebene
beweglich an die Kontaktierungsstelle herangeführt werden. Eine eventu
elle Justierung in der horizontalen Achse erfolgt im Kippbeschlag 12 in
den Führungsnuten mit den Klemmschrauben 14. Ist der Kontakt mit dem
Sortierautomaten hergestellt, wird durch das Anziehen der Klemmschrauben
6, 11, 14 die Stellung des Testkopfes fixiert.
Claims (4)
1. Vorrichtung zum Positionieren von Testköpfen mit einer auf Spreiz
stützen aufgestellten Standsäule, einer Höhenverstellung, einer Testkopf-
Aufnahme, die in einer horizontalen Einstellebene beweglich und drehbar
angeordnet ist und eine Kippvorrichtung trägt, die um eine horizontale
Achse drehbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Testkopf- Aufnahme aus
einem symmetrisch zur Standsäule in der horizontalen Einstellebene ange
ordneten Gelenkarmpaar (8, 9) besteht.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Testkopf-
Aufnahme durch Klemmschrauben (11) an den Gelenkarmen (9) klemmbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenke
(10) mit Nadellagern ausgerüstet sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenke
(10) spielfrei eingestellt sind.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853524348 DE3524348A1 (de) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | Vorrichtung zum positionieren von testkoepfen |
US06/883,089 US4742980A (en) | 1985-07-08 | 1986-07-08 | Positioning device for test heads |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853524348 DE3524348A1 (de) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | Vorrichtung zum positionieren von testkoepfen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3524348A1 true DE3524348A1 (de) | 1987-01-29 |
DE3524348C2 DE3524348C2 (de) | 1990-05-10 |
Family
ID=6275225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853524348 Granted DE3524348A1 (de) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | Vorrichtung zum positionieren von testkoepfen |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4742980A (de) |
DE (1) | DE3524348A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3526137A1 (de) * | 1985-07-22 | 1987-01-29 | Heigl Helmuth | Vorrichtung zum entkoppeln eines testkopfes |
US4875005A (en) * | 1987-08-07 | 1989-10-17 | Tokyo Electron Limited | Mechanism for turning over a test head of a wafer probing machine |
WO2003005045A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-01-16 | Heigl, Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum positionieren eines testkopfs an einer prüfeinrichtung |
DE10132489A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-04-17 | Heigl Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
WO2015025024A3 (de) * | 2013-08-21 | 2015-04-16 | Turbodynamics Gmbh | Ausrichteinrichtung und handhabungsvorrichtung |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3617741A1 (de) * | 1986-05-27 | 1987-12-03 | Heigl Helmuth | Handhabungsvorrichtung |
US5181681A (en) * | 1991-02-12 | 1993-01-26 | Edwards Johnny W | Adjustable stand apparatus |
US5982182A (en) * | 1994-09-01 | 1999-11-09 | Chiu; Michael A. | Interface apparatus for automatic test equipment with positioning modules incorporating kinematic surfaces |
JP3869465B2 (ja) * | 1995-02-23 | 2007-01-17 | テラダイン・インコーポレーテッド | 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ |
US5606262A (en) * | 1995-06-07 | 1997-02-25 | Teradyne, Inc. | Manipulator for automatic test equipment test head |
US6166552A (en) * | 1996-06-10 | 2000-12-26 | Motorola Inc. | Method and apparatus for testing a semiconductor wafer |
DE29714431U1 (de) * | 1997-08-12 | 1997-11-27 | Grieblinger Klaus | Aufhängevorrichtung |
US6098936A (en) * | 1998-02-23 | 2000-08-08 | Birrell; Andrew | Portable ergonomic work station |
US6095468A (en) * | 1998-03-27 | 2000-08-01 | Hill-Rom, Inc. | Support arm for a service column |
FR2806022B1 (fr) * | 2000-03-13 | 2002-08-02 | Abb Barras Provence | Manipulateur d'un dispositif de test de composants electroniques a verin compensateur |
US6396296B1 (en) * | 2000-05-15 | 2002-05-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for electrical characterization of an integrated circuit package using a vertical probe station |
WO2005037166A2 (en) * | 2003-10-13 | 2005-04-28 | Hill-Rom Services, Inc. | Brake system for patient care equipment support arm |
US7336258B1 (en) | 2004-01-05 | 2008-02-26 | Goetsch Stephen R | Adjustable computer mouse stand |
US7770247B2 (en) * | 2005-05-02 | 2010-08-10 | Hill-Rom Services, Inc. | Brake system for wall arm |
CN106291326B (zh) * | 2016-08-23 | 2018-10-12 | 台州贝蕾丝电子商务有限公司 | 一种用于集成电路的定点检测机构 |
EP3785336B1 (de) * | 2018-04-24 | 2023-02-01 | Schleuniger AG | Werkzeugwechsler, bearbeitungsmaschine, verfahren zum wechseln eines werkzeugs |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1114948A (en) * | 1912-12-10 | 1914-10-27 | Willard R Walker | Swinging shelf. |
FR834246A (fr) * | 1938-02-25 | 1938-11-16 | Perfectionnements aux supports de projecteurs | |
US2605069A (en) * | 1947-02-13 | 1952-07-29 | Trenton Pice | Nursing bottle holder |
US3243497A (en) * | 1964-12-11 | 1966-03-29 | Dynapower Systems Corp Of Cali | Universal support for electrotherapeutic treatment head |
CH549260A (de) * | 1973-05-04 | 1974-05-15 | Baitella Carlo | Stativ, insbesondere fuer fuehlhebelmessuhren. |
US4240603A (en) * | 1979-05-23 | 1980-12-23 | Keystone Ferrule & Nut Corporation | Support assembly |
DD159697B1 (de) * | 1981-03-13 | 1986-07-16 | Romuald Schoen | Hebelanordnung zum verschwenken des geraetetraegers fuer eine ophthalmologische diagnostikeinheit |
US4592526A (en) * | 1981-08-24 | 1986-06-03 | Jacob Kobelt | Adjustable holding device |
US4544120A (en) * | 1983-04-11 | 1985-10-01 | Lowel-Lighy Manufacturing, Inc. | Flag frame and clamp |
US4520981A (en) * | 1983-05-23 | 1985-06-04 | Marvco Tool & Mfg. Inc. | Adjustable telescopic support |
US4523256A (en) * | 1983-11-08 | 1985-06-11 | Small Leroy O | Variable position light stand |
US4607897A (en) * | 1985-07-08 | 1986-08-26 | Schwartz C Bruce | Videoendoscopic support stand |
-
1985
- 1985-07-08 DE DE19853524348 patent/DE3524348A1/de active Granted
-
1986
- 1986-07-08 US US06/883,089 patent/US4742980A/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
- ISBN 3-478-41130-0 * |
WARNECKE,Hans-Jürgen, SCHRAFT,Rolf D.: Handbuch, Handhabungs-, Montage- und IndustrierobotertechnikBand I: verlag moderne industrie, 1984 * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3526137A1 (de) * | 1985-07-22 | 1987-01-29 | Heigl Helmuth | Vorrichtung zum entkoppeln eines testkopfes |
US4875005A (en) * | 1987-08-07 | 1989-10-17 | Tokyo Electron Limited | Mechanism for turning over a test head of a wafer probing machine |
WO2003005045A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-01-16 | Heigl, Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum positionieren eines testkopfs an einer prüfeinrichtung |
DE10132489A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-04-17 | Heigl Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
DE10132489B4 (de) * | 2001-07-05 | 2004-12-09 | Heigl, Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
US6940273B2 (en) | 2001-07-05 | 2005-09-06 | Cornelia Heigl | Handling device, especially for positioning a test head on a testing device |
WO2015025024A3 (de) * | 2013-08-21 | 2015-04-16 | Turbodynamics Gmbh | Ausrichteinrichtung und handhabungsvorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3524348C2 (de) | 1990-05-10 |
US4742980A (en) | 1988-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3524348C2 (de) | ||
DE4017983C2 (de) | ||
DE3735075C2 (de) | ||
DE19517330A1 (de) | Handhabungsvorrichtung | |
DE3801813C2 (de) | ||
DE4007011C2 (de) | Positioniervorrichtung | |
DE2950575A1 (de) | Vorrichtung zum hoehenabgleich | |
DE102013109055A1 (de) | Ausrichteinrichtung und Handhabungsvorrichtung | |
DE3617741A1 (de) | Handhabungsvorrichtung | |
DE3615941A1 (de) | Geraet zum pruefen von elektronischen bauelementen, insbesondere ic's | |
DE10132489B4 (de) | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung | |
DE2223213C3 (de) | Gestell für eine MeB- oder Werkzeugmaschine | |
DE2738609C2 (de) | Prüf- und MeBlehre zum Feststellen von Verformungen des Rahmens von Motorrädern | |
DE19535048A1 (de) | Einstell- und Meßgerät für Scheibenwischerarme | |
DE19739658A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur lagegenauen Anordnung von Kraftfahrzeugteilen, insbesondere von Karosseriebauteilen auf einem Strukturcubing | |
DE3813477C1 (en) | Apparatus for holding an object | |
EP0418710B1 (de) | Einrichtung zum Positionieren eines Mastes zur Inspektion und/oder Reparatur einer Kernumfassung eines wassergekühlten Kernreaktors | |
DE2833372C2 (de) | Abbundanlage | |
DE19718398B4 (de) | Handhabungsvorrichtung | |
DE3526137C2 (de) | Testkopf-Manipulator | |
DE3615942A1 (de) | Vorrichtung zum kraftarmen handhaben und moeglichst genauem positionieren eines schweren elektronischen testgeraetes, insbesondere eines testcomputers | |
DE102004029001B4 (de) | Vorrichtung zur Positionierung eines Bauteils in einer geneigten Lage und Schlagprüfstand mit einer solchen Vorrichtung | |
DE4218984A1 (de) | Positioniersystem für optische Prüfgeräte | |
DE2041383A1 (de) | Einstellbare Supporteinrichtung fuer Maschinenwerkzeuge | |
DE517875C (de) | Stativ mit Neigekopf fuer Aufnahme-Apparate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition |