DE2827005A1 - Optischer kreis aus polymere - Google Patents

Optischer kreis aus polymere

Info

Publication number
DE2827005A1
DE2827005A1 DE19782827005 DE2827005A DE2827005A1 DE 2827005 A1 DE2827005 A1 DE 2827005A1 DE 19782827005 DE19782827005 DE 19782827005 DE 2827005 A DE2827005 A DE 2827005A DE 2827005 A1 DE2827005 A1 DE 2827005A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optical
polymer layer
substrate
polymer
optical fibers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19782827005
Other languages
English (en)
Other versions
DE2827005C2 (de
Inventor
Yuzo Katayama
Takashi Kurokawa
Shigeru Oikawa
Norio Takato
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Publication of DE2827005A1 publication Critical patent/DE2827005A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2827005C2 publication Critical patent/DE2827005C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/30Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/125Bends, branchings or intersections
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/13Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/138Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by using polymerisation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/28Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/2804Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/36Mechanical coupling means
    • G02B6/3628Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3632Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
    • G02B6/3636Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the mechanical coupling means being grooves
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/36Mechanical coupling means
    • G02B6/3628Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3648Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures
    • G02B6/3652Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures the additional structures being prepositioning mounting areas, allowing only movement in one dimension, e.g. grooves, trenches or vias in the microbench surface, i.e. self aligning supporting carriers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/36Mechanical coupling means
    • G02B6/3628Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3684Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/36Mechanical coupling means
    • G02B6/3628Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3684Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
    • G02B6/3696Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier by moulding, e.g. injection moulding, casting, embossing, stamping, stenciling, printing, or with metallic mould insert manufacturing using LIGA or MIGA techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Multicomponent Fibers (AREA)

Description

Bes ehre ib ung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen optischen Kreis aus Polymere mit optischen We.l.lenleitern, an die optische Fasern als Ein- und Auslässe angeschlossen sind. ^
Es ist bei optischen Wellenleitern dieser Art bekannt, daß man auf optische Genauigkeit besonders achten soll, wenn optische Fasern mit einem optischen Wellenleiter verbunden werden. Das Verfahren zur Verbindung wird daher kompliziert und erfordert eine Verbesserung für die Verbindung z.B. einen Stecker oder eine fein einstellbare Spann- und Fixiereinrichtung. Dementsprechend^srehen unvermeidbare Schwierigkeiten bei der Miniaturisierung und wirtschaftlichen Herstellung von optischen Kreisen.
Die Erfindung von Siemens gemäß der DE-OS 26Ο91Λ3 und der Zeitschrift " Optics Communication,-Band 17, Nummer 1, Seiten 129 bis 132, kann als eine Verbesserung für die oben erwähnte Verbindung zwischen optischen Fasern und einem optischen .Wellenleiter betrachtet werden. Nach dem Verfahren von Siemens werden ein streifenförmiges optischer Wellenleiter mit Abzweigungen sowie Führungsnuten für die optischen Fasern durch ein fotolithografisches Verfahren hergestellt, wobei auf ein Substrat eine Foto-" widerstands-Schicht aufgebracht wird. Es wird eine fotoempfindliche Polymere- bzw.
809882/0820
Kunststoff schicht, deren Dicke im wesentlichen dem Durchmesser der optischen Fasern entspricht, auf das Substrat aufgebracht und durch eine vorbestimmte Fotomaske einem Licht ausgesetzt. Nach der Entwicklung der fotoempfindlichen Polymerebzw. Kunstsirbf fschicht werden die Führungsnuten für diej optischen Fasern und der streifenförmige, optische Wellenleiter zur selben Zeit gebildet, wobei dadurch eine exakte Fluchtung zwischen den optischen Fasern und dem optischen Wellenleiter erhalten wird.
Die optischen Fasern werden in die Führungsnuten eingelegt, um die Stirnseiten der optischen Fasern .mit den Stirnseiten des verzweigten optischen Wellenleiters in Kontakt zu bringen. In diesem Fall besteht jedoch die Gefahr bzw. Tendenz, daß an den Stoßverbindungen zwischen den Fasern und dem Wellenleiter Luft zurückgehalten bzw. eingeschlossen wird. Die Folge ist, daß der Refle χ ionsverlust an der Berührungsfläche zunimmt. Um den Reflexionsverlust zu reduzieren, ist es notwendig ein Bindeöl zu be- · nutzen, um einen vollständigen Kontakt zwischen den oben erwähnten Stirnflächen der beiden Teile sicherzustellen. Außerdem ist der Wellenleiterverlust sehr groß, d.h. 10 bis 20 dB/cm bei X = 0,63 pm, und 2 dB/cm bei 7^· = 1,15 um,
809882/0820
Ferner ist es schwierig, einen optischen Kreis mit geringen Verlustwerten herzustellen. Weiters tendieren die in den Führungsnuten befestigen optischen Fasern, sich nach einer gewissen Zeit zu lösen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen optischen Kreis zu schaffen, der Hauptfasern aufweist, in denen optische, als Ein- und Auslässe dienende Fasern mit optischen Wellenleitern verbunden sind, sodaß sie eine integrierte Einheit bilden, und der die oben genannten Nachteile und Ablenkungen vermeidet.
Diese Aufgabe wird durch einen optischen Kreis aus Polynare gelöst, der optische Hauptfasern aufweist, die aus einer Vielzahl optischer Fasern bestehen, deren jedes eine Ende in einem auf ein Substrat aufgebrachten, transparenten Polymere-Film bzw. Polymere-Schicht eingebettet ist, und die einen optischen Wellenleiter aus Polymere aufweisen, der einen höheren Brechungsindex als der Polymere-Film bzw. die Polymere-Schicht besitzt und der innerhalb der Polymere-Schicht zwischen den eingebetteten Enden der optischen Fasern geformt ist derart, daß die Anschlußenden des Vfellenleiters mit den eingebetteten Enden der optischen Fasern fluchten und perfekt verbunden sind, wobei der optische Kreis bestehend aus dem Substrat, Polymere-Film bzw«.
809882/0820
-Schicht, dem optischen Wellenleiter aus Polymere und aus den optischen Fasern als integrierte Einheit ausgebildet ist.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden anhand der folgenden "Zeichnungen von einem Ausführungsbeispiel näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel eines optischen Kreises aus Polymere in perspektivischer Ansicht und im vergrößerten Maßstab, wobei der besseren Obersicht v«gen die Schalung 7 von dem abgebildeten optischen Kreis entfernt ist,
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer aus Substrat und Schalung bestehenden Einheit, die zur Herstellung des optischen Kreises aus Polymere gemäß Fig. 1 benutzt wird, und
Fig. 3 in den Teilfiguren A, B, C, D und E die Herstellungsschritte für den erfindungsgemäßen optischen Kreis.
In Fig. 1 ist ein Ausführungsbeispiel eines optischen Kreises aus Polymere gemäß der vorliegenden Erfindung in perspektivische Ansicht gezeigt, wobei dieser optische Kreis aus optischen Fasern 1, einem Polymere-Film bzw. einer Polymere-Schicht 2, einem Substrat 3, einem in dem Polymere-Film bzw. in der . Polymere-Schicht 2 gebildeten optischen Wellenleiter U aus Polymere und aus einem Polymere-
809882/0820
Oberzug 5 besteht. Der Üba?zug 5 dient zum Schutz der oberen Oberfläche des Kreises. Das Substrat 3 stellt ebenfalls eine Art Oberzug für die untere Oberfläche des Kreises dar.
Im folgenderi~w"ird das Verfahren zur Herstellung des "Optischen Krefees gemäß vorliegender Erfindung anhand der Zeichnungen beschreiben.
Es wird ein Substrat 3 mit einer Länge von 30 mm, einer Breite von 10 mm und einer Dicke von 1 mm bereitgestellt. Dieses Substrat, das als Schutzschicht für einen später aufgebrachten, verzweigten optischen Wellenleiter 4 aus Polymere dient, muß aus einem transparenten Material hergestellt werden, z.B. Glas (ri^ = 1,5) oder Methylpenten-Polymere (n„ = 1,46), das einem Heineren Brechungsindex als der optische Wellenleiter besitzt und das während des Gießprozesses vor Auflösung, Trübung und Risse bewahrt wird, was durch ein'Lösungsmittel für den Polymere-Film bzw. die Polymere-Schicht verursacht wird. An den Stellen auf der Oberfläche des Substrates 3, die die Ein- und Auslässe des optischen Kreises bestimmen, werden nicht tiefe bzw. flache V-förmige bzw. Keilnuten 6 zur Führung der Endteile der optischen Fasern gebildet. Die oben er-
809882/0820
wähnten Keilnuten 6 können auf dem Glassubstrat durch die sogenannte Ultraschallschneidmethode hergestellt werden. Das Substrat 3 mit den Nuten 6 kann aber ebenso wie die Schalung 7 als integrierte Einheit durch Formgießen von Methylpenten-Polymere hergestellt werden.
Wie in Fig. 2 gezeigt, wird eine Schalung 7 um das Substrat herum angebracht, um eine Polymere-Lösung auf das Substrat 3 gießen zu können. Die Schalung 7 besitzt Löcher 8, durch die die optischen Fasern hindurchgeführt werden. Die optische Faser 1 wird durch das Loch 8 hindurch so auf die Nut 6 gelegt", daß das Ende der Faser 1 das Ende der Nut 6 berührt, wie es in Fig. 3 A gezeigt Et. Die optische Faser 1 wird dabei mittels eines Klebers aus Epoxyharz mit der Nut 6 verbunden. Anschließend wird das Loch 8 mit demselben Kleber abgedichtet. Wie in Fig. 3 A gezeigt, besteht die optische Faser aus einem Glaskern 10, der von einer glasabdeckenden Schicht 9 umgeben ist. Die Nut 6 besitzt einen solchen V-förmigen Querschnitt, daß die Grundlinie bzw. die untere Linie des kreisförmigen Querschnitts des Glaskernes IO im wesentlichen mit der Oberfläche des Substrates 3 fluchtet. Diese Anordnung reduziert eine
809882/0820
Fehlanpassung während der gegenseitigen Kopplung zwischen der Stirnfläche des optischen Wellenleiters 1 und derjenigen des Glaskernes 10 der optischen Faser 1.
Wenn eine optische Faser einen Kerndurchmesser von iÖO μπι sowie einen äußeren Durchmesser von 150 pm und eine Brechungsindex-Differenz zwischen dem Kern und der Deckschicht 9 von etwa 1% aufweist, wird das Substrat mit der Schalung 7, die die optischen Fasern 1 sicher halten, etwa horizontal in eine Trockenkammer gegeben, in der Stickstoffgas eingeleitet wird. Dann wird auf das Substrat 3 eine Polymere-Lösung gegossen, um einen Polymere-FiIm bzw. eine Polymer^-Schicht 2 mit einer Dicke von etwa 90 Mikron hezusteilen. Die Polymere-Lösung besteht aus 100 g Methylenchlorid als Lösungsmittel, 2 g Polycarbonat (n~ = 1,59), das aus 1,1-(U,H*- dihydroxydiphenyD-cyclohexan als ein Matrix-Polymere synthetisiert ist, ein ml Methylacrylat als durch UV-Licht-Bestrahlung polymeresierbares Dotierungsmonomere (nD in Polymere-Zustand = 1,47), 2 mg Benzoeäthyläther als Fotosensibilisator und aus 0,1 mg Hydrochinon als Hemmer. Eine geeignete Menge der oben erwähnten Polymere-Lösung wird auf das Substrat 3 gegossen und etwa 5 Stunden bei etwa 300C zur Verdampfung des Methylenchlorids getrocknet, wobei auf dem Substrat ein
809882/0820
PoIymere-FiIm bzw. eine Polymere-Schicht 2 mit einer Dicke von etwa 100 Mikron entsteht, wie in Fig. 3 B gezeigt ist. Die Flecken bzw. Punkte, die in dem Polymere-Film 2 gezeigt sind, deuten die Anwesenheit von Monomere-Partikel an.
Gemäß Fig.-3--G wird der Polymere-Film bzw. die Polymere-Schicht 2 mit einer Fotomaske 11 aus Glas bedeckt, die ein Wellenleiter-Muster 12 mit einer Breite von etwa 90 Mikron aufweist. In diesem Falle ist es ratsam, mit einem Mikroskop die Anpassung zwischen der Stirnseite der in dem Polymere-Film 2 eingebetteten optischen Faser 1 und der Stirnseite des Musters 12 von dem optischen Wellenleiter zu beobachten, um eine vollständige Fluchtung zwischen den beiden Stirnseiten bzw. -flächen sicherzustellen. Dann wird auf die Maske 11 für etwa 10 Minuten ein aus einer Ultra-Hochdruck-Quecksilberlampe von 500 W stammendes, ultraviolettes Licht gestrahlt, und zwar in Richtung der Pfeile gemäß Fig. 3 C. Als Folge davon wird das Methylacrylat-Monomere, das in dem Polymere-Film bzw. in der Polymere-Schicht 2 enthalten ist, an dem den lichtausgesetzten Teil selektiv fotopolymerisiert und der Brechungsindex in dem dem Licht ausgesetzten Teil gegenüber den übrigen Teilen gesenkt.
309882/0820
Nach Entfernen der Fotomaske 11 aus Glas wird der dem Licht ausgesetzte Film 2 für etwa 8 Stunden bei etwa 85° C in Vakuum getrocknet, um das Methylacrylat-Monomer, das in dem Polymere-Film 2 nicht reagiert hat, abzudampfenViii'e'dem Licht nicht ausgesetzten Teile des Polymere-Films bzw. der Polymere-Schicht 2, die jetzt nur aus dem erwähnten Polycarbonat bestehen, bilden den optischen Wellenleiter U mit einem .höheren Brechungsindex, als die dem Licht ausgesetzten Teile des Polymere-Films bzw. der Polymere-Schicht 2 aufweisen. Die Fig. 3 D zeigt Teile des optischen Wellenleiters 4. Die. Differenz zwischen den Brechungsindices des Polymere-FiIms 2 und des optischen Wellenleiters 4 kann innerhalb eines Bereiches von 0,5 bis 2,5% durch die Gießzeit kontrolliert werden, d.h. die Zeit zwischen dem Moment, in dem die Polymere-Lösung in die Schalung 7 gegossen wird, und dem Moment, in dem die Lichtbestrahlung begonnen wird. Diese Zeitspanne beträgt zwischen 4 und 15 Stunden.
Mittels der oben erwähnten Schritte erhält man eine Ausführung eines optischen Kreises aus Polymere gemäß der vorliegenden Erfindung. Vorzugsweise, wie in den
809882/0820
ORIGINAL INSPECTED
Figuren 1 und 3 E gezeigt, wird der Polymere-Film bzw. die Polymere-Schicht 2 mit einem Ober zug versehen, z.B. aus Epoxyharz der Polyglykol-Art (nD = 1,52), das einen Härter aufweist, wobei das Kunstharz etwa 2 Stunden bei einer Temperatur von jetwä. 60° C ausgehärtet wird. Auf diese Weis:e entsteht ein transparenter bzw. durchsichtiger Oberzug 5 mit einem niedrigen Brechungsindex.
Es wurde ein optischer Kreis aus Polymere·,· der gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist, getestet, um den Obertragungsverlust bei He-Ne-Laserlicht zu bestimmen. Der Wellenleiter-verlust betrug bei dem optischen Wellenleiter mit der Gestalt gemäß Fig. 1 0,15 dB/cm. Der Verlust an der Verbindungsstelle zwischen dem optischen Wellenleiter 4 und der optischen Faser 1 betrug etwa 0,5 dB. Der Laserlicht-Verlust durch den gesamten optischen Kreis betrug etwa 1,5 dB.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, einen optischen Kreis aus Polymere zu erhalten, der einen optischen Wellenleiter mit niedrigem Übertragunsverlust aufweist wobei mit dem optischen Wellenleiter optische Fasern zu integrierten Haupt- bzw. Führungsfasern zusammengefügt sind. Der erfindungsgemäße optische Kreis kann mit
003882/0820
einem optischen Übertragungssystem sehr leicht dauerhaft durch Zusammenfügen der optischen Fasern oder durch Steckverbindungen bzw. Stecte? verbunden werden. Da die Endteile der optischen Fasern 1 mit dem Substrat 3 verbunden bzw. auf das.1 .Substrat 3 geklebt und in dem Polymere-Film bzw. in der Polymere-Schicht 2 eingebettet sind, sind die optischen Fasern 1 fest mit dem optischen Wellenleiter 4 verbunden, wobei verhindert wird, daß zur Verbindungsstelle zwischen den beiden Teilen Luft eindringt. Dadurch wird erreicht, daß der Reflexions verlust eines Laserlichts an der Grenzfläche zwischen den optischen Fasern und dem optischen Wellenleiter extrem reduziert wird. Dadurch ist es auch nicht mehr erforderlich, das eingangs erwähnte Bindeöl zu benutzen.
809882/0820

Claims (11)

Patentansprüche
1.) Optischer Kreis aus Polymere mit optischen Haupt- bzw. Führungsfasern, dadurch gekennzeichnet, daß er eine Vielzahl optischer Tasern (1), deren Endteile in einer transparenten, auf ein Substrat (3) aufgetragenen Polymere-Schicht (2) eingebettet sind, und einen optischen Wellenleiter (U) mit einem höheren Brechungsindex als die Polymere-Schicht (2) aufweist, wobei der Wellenleiter (U) innerhalb der Polymere-Schicht (2) zwischen den in dieser eingebetteten Endteilen der optischen Fasern (1) gebildet ist derart, daß seine Anschlußenden mit den einge-
809882/0820
ORIGINAL INSPECTED
betteten Edteilen der optischen Fasern (1) fluchten und perfekt verbunden sind, und daß der optische Kreis mit dem . Substrat (3), der Polymere-Schicht (2), dem optischen Wellenleiter (4) aus Polymere und den optischen Fasern (1) einen integrierteri:.}Kre;is bildet.
2. Optischer Kreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die transparente PoIymere-Schicht bzw. der transparente Polymere-Film (2) aus einem Polycarbonat besteht, das aus 1,1-(1I5H'- dihydroxydiphenyl)-cyclonexan synthetisiert ist.
3. Optischer Kreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß seine Oberfläche mit einem Oberzug (5) versehen ist, der aus einem ausgehärteten Epoxyharz besteht und einen geringeren Brechungsindex aufweist als die Polymere-Schicht (2).
4. Verfahren zur Herstellung eines optischen Kreises aus Polymere mit optischen Hauptbzw. Führungsfasern, dadurch gekennzeichnet , daß
a) jedes Endteil der Vielzahl optischer Fasern mittels eines Klebers auf V-förmige bzw. Keilnuten befestigt wird, die auf ei' nem Substrat an vorbestimmten Stellen vorgesehen sind,
b) auf das Substrat mit den optischen Fasern eine Polymere-Lösung gegossen wird, die eine Monomere, durch UV-Licht-Bestrahlung
809882/0820
polymerisierbar« Substanz, einen Fotosensibilisator und einen Hemmer enthält ,
c) das Lösungsmittel der vergossenen Polymere-Lösung abgedampft wird, sodaß eine Polymere-Schicht entsteht, die die auf dem Substrat befestigten optischen Fasern einbettet,
d) eine das Muster der optischen Wellenleitung laufweisende Fotomaske aus Glas auf die Polymere-Schicht aufgelegt wird derart, daß das Muster mit den eingebetteten Enden der optischen Fasern fluchtet,
e) daß die Maske mit einem UV-Licht bestraiit wird, so daß eine optische, mit den optischen Fasern verbundene Wellenleitung aus Polymere in. der Polymere-Schicht entsteht, und daß
f) die zurückgebliebene Monomere-Substanz aus der Polymere-Schicht durch Trocknung im Vakuum-entfernt wird, nachdem die Fotomaske von der Polymere-Schicht abgenommen wurde.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß die Oberfläche des optischen Kreises aus Polymere mit einem Oberzug beschichtet wird, der aus einem Epoxyharz besteht mit einem geringeren Brechungsindex als die Polymere—Schicht.
6. Verfahren nach Anspruch U, dadurch gekenn- =■
£09882/0820
zeichnet, daß das Substrat aus Glas hergestellt wird und daß die V-förmigen bzw. Keilnuten auf dem Substrat durch Ultraschallschneiden hergestellt werden.
7. Verfahren nach Anspruch fc, dadurch gekennzeichnet j. daß das Substrat mit den V-förmigen b,zw. Keilnuten sowie eine Schalung durch Formgießen eines Methylpenten-Polymere hergestellt - wird.
8. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Polymere-Lösung eine Methylenchlorid-Lösung vom Polycarbonat ist, das aus 1,l-(4, 4'-dihydro xyddiphenyD-cyclohexan synthetisiert ist.
9. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die monomere Substanz, die durch Lichtbestrahlung polymeres ierbar ist, ein Methylacrylat ist.
10. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Foto sensibilisator ein Benzoeathyläther ist.
11. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Hemmer Hydrochinon ist.
809882/0820
DE2827005A 1977-06-21 1978-06-20 Verfahren zur Herstellung eines optischen Kreises aus Polymeren Expired DE2827005C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7275577A JPS547948A (en) 1977-06-21 1977-06-21 Optical circuit of high molecule

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2827005A1 true DE2827005A1 (de) 1979-01-11
DE2827005C2 DE2827005C2 (de) 1983-03-10

Family

ID=13498478

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2827005A Expired DE2827005C2 (de) 1977-06-21 1978-06-20 Verfahren zur Herstellung eines optischen Kreises aus Polymeren

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4240849A (de)
JP (1) JPS547948A (de)
DE (1) DE2827005C2 (de)
FR (1) FR2395520A1 (de)
GB (1) GB2000877B (de)

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3011166A1 (de) * 1979-04-02 1980-10-16 Hughes Aircraft Co Verfahren zur herstellung einer optischen wellenleiteranordnung
DE3011059A1 (de) * 1980-03-21 1981-10-01 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optischer stern-koppler mit planarem mischerelement
DE3036044A1 (de) * 1980-09-24 1982-05-06 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optischer stern-koppler mit planarem mischerelement
JPS5784408A (en) * 1980-11-13 1982-05-26 Nec Corp Optical distributing circuit
US4666236A (en) * 1982-08-10 1987-05-19 Omron Tateisi Electronics Co. Optical coupling device and method of producing same
US4693544A (en) * 1982-12-14 1987-09-15 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Optical branching device with internal waveguide
JP2594895B2 (ja) * 1983-07-08 1997-03-26 株式会社日立製作所 光集積回路素子の製造方法
GB8417911D0 (en) * 1984-07-13 1984-08-15 British Telecomm Connecting waveguides
FR2574950B1 (fr) * 1984-12-18 1987-09-25 Corning Glass Works Composants optiques integres en verre et leur fabrication
US4749245A (en) * 1985-03-11 1988-06-07 Kuraray Co., Ltd. Thin film waveguide device and manufacturing method for making same
EP0204980A1 (de) * 1985-06-03 1986-12-17 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum Herstellen von drei- oder mehrtorigen Lichtwellenleiterkopplern nach dem Strahlteilerprinzip
US4783136A (en) * 1986-04-16 1988-11-08 Gte Laboratories Incorporated Optical waveguides and methods for making same
GB2191601A (en) * 1986-06-12 1987-12-16 Gen Electric Co Plc Alignment of arrays of optical waveguides
GB2191603A (en) * 1986-06-13 1987-12-16 Northern Telecom Ltd Optical conductor having at least three layers
US4796975A (en) * 1987-05-14 1989-01-10 Amphenol Corporation Method of aligning and attaching optical fibers to substrate optical waveguides and substrate optical waveguide having fibers attached thereto
FR2628848B1 (fr) * 1988-03-17 1990-06-29 Alsthom Cgee Coupleur optique pour fibres polymeres
US4878727A (en) * 1988-06-30 1989-11-07 Battelle Memorial Institute Multimode channel waveguide optical coupling devices and methods
DE3923709A1 (de) * 1989-07-18 1991-01-31 Standard Elektrik Lorenz Ag Optoelektronische anordnung
EP0412675B1 (de) * 1989-08-08 1995-06-07 Imperial Chemical Industries Plc Optische Komponente
JP3066866B2 (ja) * 1989-10-25 2000-07-17 三菱瓦斯化学株式会社 光分岐器
JP3066868B2 (ja) * 1989-11-15 2000-07-17 三菱瓦斯化学株式会社 光分岐器
US5046808A (en) * 1989-12-18 1991-09-10 Litton Systems, Inc. Integrated optics chip and method of connecting optical fiber thereto
US5393371A (en) * 1989-12-18 1995-02-28 Litton Systems, Inc. Integrated optics chips and laser ablation methods for attachment of optical fibers thereto for LiNbO3 substrates
CA2052823A1 (en) * 1990-10-11 1992-04-12 Bruce Lee Booth Coupling of optical fiber to optical waveguide device
US5444805A (en) * 1992-03-07 1995-08-22 Robert Bosch Gmbh Integrated optical component
US5343544A (en) * 1993-07-02 1994-08-30 Minnesota Mining And Manufacturing Company Integrated optical fiber coupler and method of making same
US5473720A (en) * 1993-07-28 1995-12-05 At&T Corp. Method for enhancing the pullout strength of polymer-coated optical fiber
TW281731B (de) * 1994-08-26 1996-07-21 Akzo Nobel Nv
GB2297626A (en) * 1995-01-27 1996-08-07 Cambridge Consultants Miniature mounting grooved substrate
US5914709A (en) * 1997-03-14 1999-06-22 Poa Sana, Llc User input device for a computer system
US6690845B1 (en) 1998-10-09 2004-02-10 Fujitsu Limited Three-dimensional opto-electronic modules with electrical and optical interconnections and methods for making
US6684007B2 (en) 1998-10-09 2004-01-27 Fujitsu Limited Optical coupling structures and the fabrication processes
US6845184B1 (en) 1998-10-09 2005-01-18 Fujitsu Limited Multi-layer opto-electronic substrates with electrical and optical interconnections and methods for making
US6343171B1 (en) 1998-10-09 2002-01-29 Fujitsu Limited Systems based on opto-electronic substrates with electrical and optical interconnections and methods for making
US6785447B2 (en) 1998-10-09 2004-08-31 Fujitsu Limited Single and multilayer waveguides and fabrication process
US6706546B2 (en) 1998-10-09 2004-03-16 Fujitsu Limited Optical reflective structures and method for making
US6611635B1 (en) 1998-10-09 2003-08-26 Fujitsu Limited Opto-electronic substrates with electrical and optical interconnections and methods for making
CN1330773A (zh) * 1998-11-13 2002-01-09 巴特勒纪念研究院 用于端接光缆的系统
EP1157292A1 (de) 1999-02-05 2001-11-28 Corning Incorporated Faseroptische komponente mit geformtem optischem element und ihr herstellungsverfahren
JP2001274528A (ja) 2000-01-21 2001-10-05 Fujitsu Ltd 薄膜デバイスの基板間転写方法
US6860651B2 (en) * 2001-06-26 2005-03-01 Derosa Michael E. Method and device for removing heat from a fiber-optic package
DE10219690A1 (de) * 2002-05-02 2003-11-27 Ralf Spillecke Sensorelement zur Detektion von Kondensation
US7295742B2 (en) * 2002-05-31 2007-11-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical element and method for producing the same
JP2005128419A (ja) * 2003-10-27 2005-05-19 Nec Corp 光導波路構造およびその作製方法
CN101103289A (zh) * 2004-12-09 2008-01-09 Rpo私人有限公司 光功率分配器件
US8597871B2 (en) * 2005-06-18 2013-12-03 The Regents Of The University Of Colorado Three-dimensional direct-write lithography
WO2007080740A1 (ja) * 2006-01-13 2007-07-19 Mitsumi Electric Co., Ltd. 光導波路デバイス及び光導波路デバイスの製造装置
US9052462B2 (en) * 2010-05-28 2015-06-09 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Area array waveguide power splitter
US8548288B2 (en) * 2011-12-20 2013-10-01 Oracle International Corporation Efficient inter-chip optical coupling

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2112575A1 (de) * 1970-03-19 1971-09-30 Western Electric Co Verfahren zum Erzeugen eines Musters unterschiedlichen Brechungsindexes in einem lichtdurchlaessigen Koerper
DE2453524A1 (de) * 1973-11-15 1975-05-22 Western Electric Co Koppeleinrichtung
DE2529073A1 (de) * 1974-07-16 1976-01-29 Ibm Koppelelement
DE2151781B2 (de) * 1971-10-18 1976-09-09 Institut Kibernetiki Akadernü Nauk Grusinskoi SSR, Tbilisi (Sowjetunion) Verfahren zum herstellen von lichtleitersystemen
DE2516975A1 (de) * 1975-04-17 1976-10-28 Siemens Ag Verteiler in planartechnik fuer optische signale

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4973147A (de) * 1972-11-13 1974-07-15
US4090902A (en) * 1973-05-23 1978-05-23 Industrie Pirelli, S.P.A. Optical fiber cable and manufacture thereof
JPS5232581B2 (de) * 1973-09-25 1977-08-23
DE2609143A1 (de) * 1976-03-05 1977-09-08 Siemens Ag Aus-/einkoppler fuer multimodeglasfasern

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2112575A1 (de) * 1970-03-19 1971-09-30 Western Electric Co Verfahren zum Erzeugen eines Musters unterschiedlichen Brechungsindexes in einem lichtdurchlaessigen Koerper
DE2151781B2 (de) * 1971-10-18 1976-09-09 Institut Kibernetiki Akadernü Nauk Grusinskoi SSR, Tbilisi (Sowjetunion) Verfahren zum herstellen von lichtleitersystemen
DE2453524A1 (de) * 1973-11-15 1975-05-22 Western Electric Co Koppeleinrichtung
DE2529073A1 (de) * 1974-07-16 1976-01-29 Ibm Koppelelement
DE2516975A1 (de) * 1975-04-17 1976-10-28 Siemens Ag Verteiler in planartechnik fuer optische signale

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Topical Meeting on Optical Interference Coatings", Pacific Grove, California, Feb. 1976, Vortrag von I.I.Clair *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2395520A1 (fr) 1979-01-19
FR2395520B1 (de) 1982-07-09
JPS547948A (en) 1979-01-20
DE2827005C2 (de) 1983-03-10
GB2000877A (en) 1979-01-17
GB2000877B (en) 1982-01-06
US4240849A (en) 1980-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2827005A1 (de) Optischer kreis aus polymere
AT503585B1 (de) Leiterplattenelement sowie verfahren zu dessen herstellung
DE3220352C2 (de)
DE4232608C2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Deckels für eine integriert optische Schaltung
DE69535102T2 (de) Einkapselung von optoelektronischen bauteilen
DE69433764T2 (de) Wellenleiter-optische Faser Verbindungsverfahren
DE19504768B4 (de) Lichtwellenleiter-Konnektoren
DE602006001008T2 (de) Herstellungsverfahren für einen optischen Wellenleiter
DE3138296C2 (de)
EP0629297A1 (de) Integriertes optisches bauelement.
DE19838807A1 (de) Metallbeschichtetes optisches Faseranordnungsmodul
DE60213345T2 (de) Faserarray mit V-Nuten-Substrat und Deckpressplatte
EP0043475B1 (de) Verfahren zur Herstellung einer integrierten mikrooptischen Vorrichtung zur Verwendung mit Multimode-Lichtfasern
DE60218266T2 (de) Optische Vorrichtung, Gehäuse und Herstellungsverfahren
DE19607671B4 (de) Verfahren zur Herstellung optischer Bauelemente mit angekoppelten Lichtwellenleitern und nach diesem Verfahren hergestellte Bauelemente
EP0388642A2 (de) Mikromechanisches Bauteil
EP2219059A2 (de) Verfahren zur Herstellung einer elektro-optischen Leiterplatte mit Lichtwellenleiterstrukturen
DE69815368T2 (de) Hybrides chipverfahren
DE2614647A1 (de) Aus-/einkoppler fuer multimode-lichtleitfasern
DE3324612A1 (de) Optische koppelanordnung
DE4240950C1 (de) Verfahren zum Herstellen eines Deckels für eine integriert optische Schaltung und Deckel für eine integriert optische Schaltung
DE102019210747B4 (de) Optisches system und verfahren zum herstellen eines optischen systems
DE3011166A1 (de) Verfahren zur herstellung einer optischen wellenleiteranordnung
DE60118474T2 (de) Optisches Element und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2926003A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur herstellung von teilen eines optischen verzweigerelementes

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: HENKEL, G., DR.PHIL. FEILER, L., DR.RER.NAT. HAENZ

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO,

8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: HENKEL, G., DR.PHIL. FEILER, L., DR.RER.NAT. HAENZEL, W., DIPL.-ING. KOTTMANN, D., DIPL.-ING, PAT.-ANW., 8000 MUENCHEN