DE19900337A1 - Differenzsignalübertragungsschaltung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Differenzsignalübertragungs­ schaltung zum Übertragen eines schnellen Impulssignals über eine Differenzübertragungsleitung und insbesondere eine Dif­ ferenzsignalübertragungsschaltung zur Verwendung in einem Halbleiterprüfsystem, in dem eine CMOS-Schaltung vom Diffe­ renztyp eine Differenzübertragungsleitung direkt ansteuert, die aus einem Paar Koaxialkabeln oder verdrillten Doppellei­ tungen gebildet ist.

Bei der Prüfung schneller elektrischer Bauelemente, z. B. LSI- und VLSI-Schaltungen, muß ein Halbleiterprüfsystem schnelle Signalübertragungsschaltungen zum Senden schneller Prüfsignale von einem Zentralprozessor zu einem Prüfkopf oder Empfangen von Antwortsignalen eines Prüflings (DUT) haben, die vom Prüfkopf zum Zentralprozessor gesendet werden. In vielen Situationen erfolgt eine solche Signalübertragung in einem Differenzmodus, bei dem zwei Signale, die jeweils zwi­ schen einem Eingangsanschluß und einer gemeinsamen Masse an­ gelegt, d. h. miteinander abgeglichen sind, verstärkt und übertragen werden.

Ein Beispiel für die Schaltungsanordnung in einer Diffe­ renzsignalübertragungsschaltung ist in Fig. 5, 6 und 7 zum Übertragen schneller Impulssignale gezeigt. Ein Beispiel von Fig. 6 hat n Kanäle von Übertragungsschaltungen. In diesem Beispiel ist die Differenzsignalübertragungsschaltung mit Ausgangspuffern 11 ₁ bis 11 _n, ECL-(emittergekoppelten Lo­ gik-)Differenztreibern 12 ₁ bis 12 ₄, Senderwiderständen 13 ₁ bis 13 _n, Übertragungskabeln 14 ₁ bis 14 _n, Empfängerwiderstän­ den 15 ₁ bis 15 _n und Differenzempfängern 16 ₁ bis 16 _n konfigu­ riert.

Impulsbreiten der schnellen Impulssignale in einer sol­ chen Anwendung wie einem schnellen Halbleiterprüfsystem sind nur mehrere hundert Picosekunden schmal. Die am Ausgang des Differenzempfängers 16 wiedergegebene Impulswellenform muß die hohe Taktauflösung im ursprünglichen Impulssignal im Hin­ blick auf die Vorderflanke und Rückflanke (ansteigende und abfallende Flanke) der Impulswellenform beibehalten. Zudem darf die wiedergegebene Impulswellenform keine Schwankungen in ihrer ansteigenden Flanke und abfallenden Flanke haben.

Der Ausgangspuffer 11 ist ein CMOS-Puffer, der in der Ausgangsstufe einer LSI-Schaltung zur Kopplung mit einem ECL- Pegel des ECL-Differenztreibers 12 vorgesehen ist. Mehrere Ausgangspuffer 11 ₁ bis 11 _n können am Ausgang der LSI-Schal­ tung vorgesehen sein, um schnelle Impulssignale von der LSI- Schaltung zu empfangen und die Logikpegel der Impulssignale in einen durch die ECL-Differenztreiber 12 ₁ bis 12 _n zu emp­ fangenen ECL-Pegel umzuwandeln. Beispiele für die Ausgangs­ puffer sind Bauelemente mit PECL (positiver emittergekoppel­ ter Logik), PCML (Pseudostromschaltlogik) und LVDS (Nieder­ spannungsdifferenzsignal), die sämtlich CMOS-Treiber sind, aber ECL-Spannungshübe aufweisen.

Die Übertragungskabel 14 ₁ bis 14 _n sind beispielsweise Differenzkoaxialkabel zum Durchleiten hochfrequenter Signale. Eine typische Kennimpedanz des Koaxialkabels beträgt 110 Ohm. In der Anwendung eines Halbleiterprüfsystems verbinden die Übertragungskabel 14 ₁ bis 14 _n den Zentralprozessor und die Prüfstationen des Halbleiterprüfsystems. Bei einer solchen Anwendung beträgt die Länge der Übertragungskabel 5 Meter oder mehr.

Die ECL-Treiber 12 ₁ bis 12 _n sind Treiber vom Differenz­ typ, die die schnellen Impulssignale von den Ausgangspuffern 11 ₁ bis 11 _n empfangen, um die Übertragungskabel 14 ₁ bis 14 _n anzusteuern. Die Ausgangsimpedanz Z_out der ECL-Treiber 12 beträgt mehrere Ohm, was wesentlich kleiner als die Kennimpe­ danz der Übertragungskabel 14 ist. Jeder der Senderwiderstän­ de 13 ₁ bis 13 _n weist Pull-down-Widerstände von mehreren hun­ dert Ohm auf, die mit einer Spannungsquelle V_EE gemäß Fig. 6 verbunden sind. Ferner weist der Senderwiderstand 13 eine Reihenabschlußschaltung 13 _st auf, die jeweils ein Paar Rei­ henwiderstände R₁ und eine Spitzenschaltung hat. Jede der Spitzenschaltungen ist mit einem Widerstand RP₂ und einem Kondensator CP₂ gemäß Fig. 7 gebildet.

Der Reihenwiderstand R₁ in der Reihenabschlußschaltung 13 _st hat eine Impedanz von rund 50 Ohm, so daß die Summe der Impedanz R₁ und des Z_out-Werts des ECL-Differenztreibers 12 gleich der Hälfte der Kennimpedanz (110 Ohm) des Übertra­ gungskabels 14 ist. Diese Impedanzanordnung kann einen wirk­ samen Abschluß bilden und damit ein reflektiertes Signal vom Differenzempfänger 16 durch die Summe der Reihenwiderstände R₁ und der Ausgangsimpedanz Z_out des ECL-Differenzpuffers 14 absorbieren.

Wie technisch bekannt ist, kommt die Spitzenschaltung in einer schnellen Impulsübertragungsschaltung zum Einsatz, um Hochfrequenzkomponenten im Impulssignal zu kompensieren oder zu verstärken und die Schärfe der ansteigenden und abfallen­ den Flanken des Impulssignals beizubehalten. Das Beispiel von Fig. 7A ist eine Spitzenschaltung erster Ordnung, bei der der Spitzenwiderstand RP₂ und der Spitzenkondensator CP₂ in Rei­ he verbunden sind. Fig. 7B zeigt ein weiteres Beispiel für eine Spitzenschaltung, die aus einer Spitzenschaltung erster Ordnung mit einem Spitzenwiderstand RP₂ und einem Spitzen­ kondensator CP₂ in Reihenschaltung sowie einer Spitzenschal­ tung zweiter Ordnung gebildet ist, in der ein Spitzenwider­ stand RP₃ und ein Spitzenkondensator CP₃ parallel verbunden sind.

Jeder der Empfängerwiderstände 15 ₁ bis 15 _n ist ein Paar Parallelwiderstände zum Abschließen des Übertragungskabels 14 am Eingang des Differenzempfängers 16. Beispielsweise beträgt die Impedanz jedes der Parallelwiderstände etwa 55 Ohm. Die Parallelwiderstände sind mit Masse über einen Kondensator ge­ mäß Fig. 6 verbunden. Beim Empfangen der Differenzimpulssi­ gnale geben die Differenzempfänger 16 ₁ bis 16 _n die übertra­ genen Impulssignale an ihren Ausgängen wieder.

In der beschriebenen herkömmlichen Differenzsignalüber­ tragungsschaltung steuern die ECL-Differenztreiber 12 die Übertragungskabel 14 zum Senden der Impulssignale an. Der Grund dafür, weshalb die ECL-Differenztreiber 12 diese Anord­ nung haben müssen, besteht darin, daß die Ausgangspuffer 11 in der LSI-Schaltung keine genügend kleine Ausgangsimpedanz haben, um an die Kennimpedanz der Übertragungskabel 14 ange­ paßt zu sein.

Normalerweise hat ein Halbleiterprüfsystem hunderte oder mehr Übertragungskanäle für schnelle Impulssignale. Somit muß in einer solchen Anwendung des Halbleiterprüfsystems eine große Anzahl von ECL-Differenztreibern auf einer Leiterplatte am Ausgang der LSI-Schaltung gemäß Fig. 5 angeordnet sein. Da die herkömmliche Technologie eine große Anzahl von ECL-Trei­ bern benötigt, ist sie nachteilig, da sie den Stromverbrauch erhöht, den Platzbedarf auf der Leiterplatte vergrößert und die Kosten steigert.

Daher besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, eine Differenzsignalübertragungsschaltung bereitzustellen, bei der CMOS-(komplementäre Metall-Oxid-Halbleiter-)Treiberschal­ tungen mit relativ hoher Ausgangsimpedanz, die am Ausgang der LSI-Schaltung vorgesehen sind, die Übertragungskabel direkt ansteuern.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Differenzsignalübertragungsschaltung bereitzustellen, bei der die Übertragungskabel direkt ansteuernde CMOS-Treiberschal­ tungen in eine LSI-Schaltung integriert sind.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Differenzsignalübertragungsschaltung bereitzustellen, durch die sich der Einsatz von ECL-Differenztreibern beim Ansteuern der Übertragungskabel zum Übertragen schneller Impulssignale erübrigen kann.

Noch eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Differenzsignalübertragungsschaltung bereitzustellen, die den Stromverbrauch, den Platzbedarf auf der Leiterplatte und die Herstellungskosten senken kann.

Bei der Differenzsignalübertragungsschaltung der Erfin­ dung steuern CMOS-(komplementäre Metall-Oxid-Halbleiter-) Treiber direkt Differenzübertragungskabel zum Übertragen schneller Signale über sie an. Die Differenzsignalübertra­ gungsschaltung verfügt über einen CMOS-Differenztreiber zum Empfangen eines von einer LSI-Schaltung zu übertragenden schnellen Signals und Führen des Signals zu einem Differenz­ übertragungskabel, eine Impedanzanpassungsschaltung, die an einem Ausgang des CMOS-Differenztreibers vorgesehen ist, um eine Ausgangsimpedanz des Treibers zu senken, und eine Rei­ henabschlußschaltung, die zwischen dem Ausgang des CMOS-Dif­ ferenztreibers und dem Differenzübertragungskabel vorgesehen ist, um eine Gesamtimpedanz am Ausgang des Treibers an eine Kennimpedanz des Differenzübertragungskabels anzupassen.

Durch die Differenzsignalübertragungsschaltung der Er­ findung erübrigt sich die Verwendung der ECL-Treiber in der herkömmlichen Technologie. Die Differenzsignalübertragungs­ schaltung weist mehrere Übertragungskanäle zum Übertragen schneller Impulssignale auf, die durch die LSI-Schaltung er­ zeugt werden. Der CMOS-Treiber in jedem Übertragungskanal ist in die LSI-Schaltung integriert, bei der es sich um eine in­ tegrierte CMOS-Schaltung handelt.

Ferner verfügt diese Differenzsignalübertragungsschal­ tung über einen an einem Ende des Differenzübertragungskabels vorgesehenen Differenzempfänger zum Empfangen und Wiedergeben des schnellen Signals über das Übertragungskabel und einen mit einem Eingang des Differenzempfängers verbundenen Empfän­ gerwiderstand, um eine Eingangsimpedanz des Differenzempfän­ gers an die Kennimpedanz des Übertragungskabels anzupassen.

Erfindungsgemäß weist die Differenzsignalübertragungs­ schaltung CMOS-Differenztreiber auf, die eine relativ hohe Ausgangsimpedanz am Ausgang der LSI-Schaltung haben und die Übertragungskabel direkt ansteuern. Die CMOS-Treiberschaltun­ gen in der Übertragungsschaltung können in eine LSI-Schaltung in deren Ausgangsstufe integriert sein. Die Differenzsignal­ übertragungsschaltung der Erfindung erfordert keine herkömm­ lichen ECL-Differenztreiber zum Ansteuern der Übertragungska­ bel. Damit kann die Differenzsignalübertragungsschaltung der Erfindung den Stromverbrauch, den Platzbedarf auf der Leiter­ platte und die Herstellungskosten senken.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1 ist ein Blockschaltbild eines Beispiels für die Struktur in der Differenzsignalübertragungsschaltung der Er­ findung.

Fig. 2 ist eine schematische Darstellung einer Impedanz­ beziehung in der Differenzsignalübertragungsschaltung der Er­ findung.

Fig. 3 ist eine schematische Darstellung einer körperli­ chen Anordnung in der Differenzsignalübertragungsschaltung der Erfindung.

Fig. 4 ist ein Schaltbild eines Beispiels für die Schal­ tungsstruktur im Differentialtreiber eines LVDS-Typs zur Ver­ wendung in der Differenzsignalübertragungsschaltung der Er­ findung.

Fig. 5 ist eine schematische Darstellung einer körperli­ chen Anordnung in der Differenzsignalübertragungsschaltung der herkömmlichen Technologie von Fig. 6.

Fig. 6 ist ein Blockschaltbild eines Beispiels für die Struktur in der Differenzsignalübertragungsschaltung der her­ kömmlichen Technologie.

Fig. 7A und 7B sind Schaltbilder von Beispielen für die Schaltungsstruktur in der Reihenabschlußschaltungen in der Differenzsignalübertragungsschaltung der Erfindung.

Fig. 1 zeigt ein Beispiel für die Schaltungsstruktur der Differenzsignalübertragungsschaltung der Erfindung. In der Erfindung ist die Differenzsignalübertragungsschaltung mit CMOS-(komplementären Metall-Oxid-Halbleiter-)Differenztrei­ bern 1 ₁ bis 1 _n, Impedanzanpassungsschaltungen 3 ₁ bis 3 _n, Übertragungskabeln 14 ₁ bis 14 _n, Empfängerwiderständen 15 ₁ bis 15 _n und Differenzempfängern 16 ₁ bis 16 _n konfiguriert. Jede der Impedanzanpassungsschaltungen 3 ist aus einem Paar Parallelwiderständen 3 _m und einer Reihenabschlußschaltung 3 _st gebildet.

Die CMOS-Differenztreiber 1 ₁ bis 1 _n führen Impulssigna­ le direkt zu den Übertragungskabeln 14. Die Parallelwider­ stände 3 _1m bis 3 _nm in der Impedanzanpassungsschaltung 3, die am Ausgang der CMOS-Differenztreiber 1 vorgesehen ist, sollen die Ausgangsimpedanz der CMOS-Differenztreiber 1 senken. Die Reihenabschlußschaltungen 3 _1st bis 3 _nst sind in der Impe­ danzanpassungsschaltung 3 vorgesehen, um die Gesamtimpedanz am Ausgang der CMOS-Differenztreiber 1 an die Kennimpedanz der Übertragungskabel 14 anzupassen.

Die Differenztreiber 1 ₁ bis 1 _n sind CMOS-Schaltungen, die in der Ausgangsstufe der LSI-Schaltung vorgesehen sind. Vorzugsweise sind die CMOS-Treiber 1 ₁ bis 1 _n in die LSI- Schaltung integriert. Ein Beispiel für einen solchen CMOS- Differenztreiber ist ein LVDS-(Niederspannungsdifferenzsi­ gnal-)Treiber, von dem ein Schaltplan in Fig. 4 gezeigt ist. Da der LVDS-Treiber in Fig. 4 eine CMOS-Schaltung ist, ist seine Ausgangsimpedanz relativ hoch, z. B. 150 Ohm, was nicht an die Abschlußwiderstände R₁ oder die Kennimpedanz des Übertragungskabels 14 angepaßt ist.

Zum Übertragen des schnellen Impulssignals ohne Einbuße seiner Signalqualität, z. B. Anstiegs- und Abfallzeiten an den Flanken, erfolgt die Impedanzanpassung durch die Impe­ danzanpassungsschaltungen 3 ₁ bis 3 _n. Wie erwähnt wurde, ist jede der Impedanzanpassungsschaltungen 3 aus einem Paar Par­ allelwiderständen 3 _m und einer Reihenabschlußschaltung 3 _st gebildet. Die Reihenabschlußschaltungen 3 _1st bis 3 _nst kön­ nen die gleiche Schaltungsstruktur wie in Fig. 7A und 7B ha­ ben und sind mit einem Reihenabschlußwiderstand sowie einer oder mehreren Spitzenschaltungen konfiguriert. Wie anhand von Fig. 6 beschrieben wurde, stellen die Reihenabschlußschaltun­ gen 3 _1st bis 3 _nst die Impedanzanpassung an die Übertra­ gungskabel 14 her und kompensieren das gesamte Hochfrequenz­ verhalten der Differenzsignalübertragungsschaltung.

Der Zweck der Parallelwiderstände 3 _1m bis 3 _nm in den Impedanzanpassungsschaltungen 3 besteht darin, die Aus­ gangsimpedanz der CMOS-Differenztreiber 1 einzustellen. Im Hochfrequenzbereich schließen zwei Parallelwiderstände 3 _1m bis 3 _nm den Ausgang der CMOS-Differenztreiber 1 gegen Masse ab. Dadurch wird die Äquivalenzimpedanz am Ausgang des CMOS- Differenztreibers auf einen Wert gesenkt, der vom Betrag des Impedanzwerts der Parallelwiderstände 3 _1m bis 3 _nm abhängig ist. Der Zweck des zwischen den Parallelwiderständen und Mas­ se eingefügten Kondensators besteht in der Beseitigung von Gleichtaktrauschen, und er ist für die Übertragung der schnellen Impulssignale nicht wesentlich.

Fig. 2 ist eine schematische Darstellung einer Impedanz­ beziehung in einem einzelnen (ersten) Kanal der Differenzsi­ gnalübertragungsschaltung von Fig. 1. Da die Kennimpedanz des Übertragungskabels 14 ₁ 110 Ohm beträgt, muß die Impedanz Z₃ in Fig. 2 die Hälfte der Kennimpedanz betragen, d. h. 55 Ohm. Die Impedanz des Reihenwiderstands R₁ in der Reihenabschluß­ schaltung 3 _1st darf nicht zu klein sein, da sich ansonsten der Effekt der Spitzenschaltung im Hochfrequenzbereich ver­ ringert. Somit beträgt die Impedanz des Reihenwiderstands R₁ z. B. 33 Ohm. Folglich beträgt die Impedanz Z₁ in Fig. 2 22 Ohm, was die Differenz zwischen Z₃ (55 Ohm) und dem Wider­ stand R₁ (33 Ohm) ist.

Die Ausgangsimpedanz des CMOS-Differenztreibers 1 ₁ und der Impedanzanpassungsschaltung 3 _1m sind parallel zueinander verbunden. Damit muß sich die Gesamtimpedanz der Parallelver­ bindung an die Impedanz Z₁ anpassen, die in diesem Beispiel 22 Ohm beträgt. Da die Ausgangsimpedanz des CMOS-Differenz­ treibers 1₁ 150 Ohm beträgt, berechnet sich die Impedanz des Parallelwiderstands R_s1 in der Impedanzanpassungsschaltung 3 _1m auf etwa 25,8 Ohm. Zulässige Abweichungen des Impedanz­ betrags des Parallelwiderstands R_s1 hängen von der gewünsch­ ten Taktauflösung und Schwankungstoleranz im wiedergegebenen Impulssignal am Ausgang des Differenzempfängers 16 ab. Im praktischen Gebrauch ist eine Impedanzabweichung von ± 10% der Kennimpedanz des Übertragungskabels 14 für den Parallel­ widerstand R_s1 akzeptabel.

Im vorstehenden Beispiel wird aufgrund der Parallelwi­ derstände R_s1 in der Impedanzanpassungsschaltung eine Ampli­ tude des Impulssignals am Ausgang des CMOS-Differenztreibers 1 ₁ vor Zuführung zum Übertragungskabel 14 gedämpft. Eine solche Amplitudenverringerung verursacht keine Probleme in der praktischen Anwendung, da der Empfänger 16 aufgrund der Differenzstruktur eine hohe Eingangsempfindlichkeit hat.

Durch diese Schaltungsanordnung wird die Impedanzanpas­ sung zwischen der Kennimpedanz des Übertragungskabels 14 und einer Gesamtabschlußimpedanz erreicht, die durch die Reihen­ abschlußschaltung 3 _1st, die Impedanzanpassungsschaltung 3 _1m und den CMOS-Differenztreiber 1 ₁ zustande kommt. Außerdem wird die Hochfrequenzkompensation durch die Spitzenschaltung ähnlich wie im herkömmlichen Beispiel erreicht. Daher kann das schnelle Impulssignal wirksam über die Differenzsignal­ übertragungsschaltung übertragen werden, ohne die herkömmli­ chen ECL-Treiber von Fig. 5 und 6 zu verwenden.

In der Erfindung können die CMOS-Differenztreiber 1 das Impulssignal direkt zu den Übertragungskabeln führen, ohne die ECL-Differenztreiber zu verwenden. Die CMOS-Differenz­ treiber lassen sich in die CMOS-LSI-Schaltung in deren letz­ ter Stufe integrieren. Dadurch vereinfacht sich eine körper­ liche Anordnung un der Differenzsignalübertragungsschaltung der Erfindung gemäß Fig. 3 stark. Somit ist die Übertragungs­ schaltung der Erfindung vorteilhaft gegenüber dem Stand der Technik in ihrer höheren Schaltungsdichte, ihrem geringeren Stromverbrauch und ihren niedrigeren Herstellungskosten.

Die CMOS-Differenztreiber im vorstehenden Beispiel sind LVDS-Treiber. Möglich sind auch andere Arten von Differenz­ treibern in der Erfindung, z. B. Pseudo-ECL-Bauelemente, u. a. mit PECL (positiver emittergekoppelter Logik) und PCML (Pseudostromschaltlogik). Ferner können die CMOS-Differenz­ treiber getrennt von der LSI-Schaltung angeordnet sein. Auch andere Schaltungen mit relativ hoher Ausgangsimpedanz, z. B. ein mit einer TTL-IC ausgebildeter Differenztreiber, sind in der Erfindung mit zugeordneten Impedanzanpassungsschaltungen möglich.

Obwohl im vorstehenden Beispiel die Übertragungskabel 14 Koaxialkabel sind, können in der Erfindung andere Arten von Übertragungskabeln zum Einsatz kommen. Verwendet werden kön­ nen z. B. verdrillte Doppelleitungen, Bandleitungen auf einer Leiterplatte und Koaxialkabel mit anderer Impedanz. Ferner wird im vorstehenden Beispiel ein Paar Übertragungskabel in einem Übertragungsschaltungskanal genutzt. Allerdings ist in der Erfindung auch eine einzelnes Übertragungskabel möglich.

Erfindungsgemäß weist die Differenzsignalübertragungs­ schaltung CMOS-Differenztreiber auf, die eine relativ hohe Ausgangsimpedanz am Ausgang der LSI-Schaltung haben und die Übertragungskabel direkt ansteuern. Die CMOS-Treiberschaltun­ gen in der Übertragungsschaltung können in eine LSI-Schaltung in deren Ausgangsstufe integriert sein. Die Differenzsignal­ übertragungsschaltung der Erfindung erfordert keine herkömm­ lichen ECL-Differenztreiber zum Ansteuern der Übertragungska­ bel. Dadurch kann die Differenzsignalübertragungsschaltung der Erfindung Stromverbrauch, Platzbedarf auf der Leiterplat­ te und Herstellungskosten senken.

Obwohl hierin nur eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung speziell dargestellt und beschrieben ist, wird deutlich, daß zahlreiche Abwandlungen und Änderungen der Er­ findung im Rahmen der vorstehenden Lehren und der beigefügten Ansprüche möglich sind, ohne vom Grundgedanken und Schutzum­ fang der Erfindung abzuweichen.

Claims (11)

1. Differenzsignalübertragungsschaltung zum Übertragen ei­ nes schnellen Signals über eine Differenzübertragungs­ leitung mit:
einem CMOS-(komplementären Metall-Oxid-Halbleiter-)­ Differenztreiber zum Empfangen eines von einer LSI- Schaltung zu übertragenden schnellen Signals und Führen des Signals zu einem Differenzübertragungskabel;
einer Impedanzanpassungsschaltung, die an einem Ausgang des CMOS-Differenztreibers vorgesehen ist, um eine Aus­ gangsimpedanz des Treibers zu senken; und
einer Reihenabschlußschaltung, die zwischen dem Ausgang des CMOS-Differenztreibers und dem Differenzübertra­ gungskabel vorgesehen ist, um eine Gesamtimpedanz am Ausgang des Treibers an eine Kennimpedanz des Differenz­ übertragungskabels anzupassen.

2. Differenzsignalübertragungsschaltung nach Anspruch 1, wobei der CMOS-Treiber in die LSI-Schaltung in einer Ausgangsstufe der LSI-Schaltung integriert ist, die eine integrierte CMOS-Schaltung ist.

3. Differenzsignalübertragungsschaltung nach Anspruch 1 oder 2, ferner mit einem an einem Ende des Differenz­ übertragungskabels vorgesehenen Differenzempfänger zum Empfangen und Wiedergeben des schnellen Signals über das Übertragungskabel und einem an einem Eingang des Diffe­ renzempfängers angeschlossenen Empfängerwiderstand, um eine Eingangsimpedanz des Differenzempfängers an die Kennimpedanz des Übertragungskabels anzupassen.

4. Differenzsignalübertragungsschaltung nach einem der An­ sprüche 1 bis 3, wobei die Reihenabschlußschaltung auf­ weist: einen Abschlußwiderstand, der so vorgesehen ist, daß er eine Reihenverbindung mit dem Differenzübertra­ gungskabel bildet, und eine Spitzenschaltung zum Kompen­ sieren einer Hochfrequenz-Signalübertragungskennlinie der Differenzsignalübertragungsschaltung.

5. Differenzsignalübertragungsschaltung nach Anspruch 4, wobei der Reihenwiderstand und die Spitzenschaltung par­ allel zueinander verbunden sind und die Spitzenschaltung aus einem Widerstand und einem Kondensator gebildet ist, die in Reihe miteinander verbunden sind.

6. Differenzsignalübertragungsschaltung nach Anspruch 4 oder 5, wobei das schnelle Signal ein Impulssignal ist, dessen Übergangszeiten von Vorder- und Rückflanken durch die Spitzenschaltung kompensiert werden.

7. Differenzsignalübertragungsschaltung zum Übertragen ei­ nes schnellen Signals über eine Differenzübertragungs­ leitung mit:
mehreren Übertragungskanälen zum Übertragen schneller Impulssignale, die durch eine LSI-Schaltung erzeugt wer­ den, wobei jeder der Übertragungskanäle aufweist:
einen CMOS- (komplementären Metall-Oxid-Halblei­ ter-) Differenztreiber zum Empfangen eines von der LSI-Schaltung zu übertragenden schnellen Signals und Führen des Signals zu einem Differenzübertra­ gungskabel;
eine Impedanzanpassungsschaltung, die an einem Aus­ gang des CMOS-Differenztreibers vorgesehen ist, um eine Ausgangsimpedanz des Treibers zu senken;
eine Reihenabschlußschaltung, die zwischen dem Aus­ gang des CMOS-Differenztreibers und dem Differenz­ übertragungskabel vorgesehen ist, um eine Gesamtim­ pedanz am Ausgang des Treibers an eine Kennimpedanz des Differenzübertragungskabels anzupassen; und
einen Differenzempfänger, der an einem Ende des Differenzübertragungskabels vorgesehen ist, zum Empfangen und Wiedergeben des schnellen Signals über das Übertragungskabel;
wobei der CMOS-Treiber in jedem Übertragungskanal in die LSI-Schaltung integriert und wobei die LSI-Schaltung ei­ ne integrierte CMOS-Schaltung ist.

8. Differenzsignalübertragungsschaltung nach Anspruch 7, wobei jeder der Übertragungskanäle ferner einen Empfän­ gerwiderstand aufweist, der an einem Eingang des Diffe­ renzempfängers angeschlossen ist, um eine Eingangsimpe­ danz des Differenzempfängers an die Kennimpedanz des Übertragungskabels anzupassen.

9. Differenzsignalübertragungsschaltung nach Anspruch 7 oder 8, wobei die Reihenabschlußschaltung in jedem der Übertragungskanäle aufweist: einen Abschlußwiderstand, der so vorgesehen ist, daß er eine Reihenverbindung mit dem Differenzübertragungskabel bildet, und eine Spitzen­ schaltung zum Kompensieren einer Hochfrequenz-Signal­ übertragungskennlinie der Differenzsignalübertragungs­ schaltung.

10. Differenzsignalübertragungsschaltung nach Anspruch 9, wobei der Reihenwiderstand und die Spitzenschaltung par­ allel zueinander verbunden sind und die Spitzenschaltung aus einem Widerstand und einem Kondensator gebildet ist, die in Reihe miteinander verbunden sind.

11. Differenzsignalübertragungsschaltung nach Anspruch 9 oder 10, wobei Übergangszeiten von Vorder- und Rückflan­ ken des schnellen Impulssignals durch die Spitzenschal­ tung kompensiert werden.