DE19849700C2 - Mikroventilanordnung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikroventilanordnung, mit einem Mikroventil, das ein durch Mikrostrukturierungsverfahren her­ gestelltes Gehäuse aufweist, das zwei sich gegenüberliegende Gehäuseschichten enthält, zwischen denen eine Ventilkammer definiert ist, in der sich ein membran- oder plattenartiges Ventilglied befindet, wobei in wenigstens einer der beiden Gehäuseschichten mindestens ein Fluidkanal verläuft, der dem Ventilglied gegenüberliegend mit einer von diesem beherrsch­ ten Kanalmündung in die Ventilkammer einmündet, und mit einem elektrisch betätigten Aktor zur Vorgabe der Relativposition des Ventilgliedes bezüglich der Kanalmündung.

Eine Mikroventilanordnung dieser Art geht beispielsweise aus der EP 0 485 739 A1 hervor. Sie umfaßt ein Mikroventil mit einem mehrschichtigen Gehäuse, das durch Mikrostrukturie­ rungsverfahren hergestellt ist. Ein aus einer mittleren Ge­ häuseschicht herausstrukturiertes Ventilglied befindet sich in einer zwischen zwei weiteren Gehäuseschichten definierten Ventilkammer und läßt sich mit Hilfe eines elektrostatischen Aktors betätigen. In wenigstens einer der äußeren Gehäuseschichten verläuft ein Fluidkanal, der so in die Ventilkammer einmündet, daß seine Kanalmündung dem Ventilglied gegenüber­ liegt. Durch den Aktor läßt sich das Ventilglied zwischen ei­ ner die Kanalmündung überdeckenden Schließstellung und einer die Kanalmündung freigebenden und dabei mit größerem Abstand zu dieser angeordneten Offenstellung umschalten.

Für manche Einsatzfälle von Mikroventilen wäre es zweckmäßig, eine Information über den momentanen Schaltzustand und somit die aktuelle Position des Ventilgliedes zu erhalten. Zwar könnte man prinzipiell aufgrund des Betätigungszustandes des Aktors auf den Schaltzustand des Mikroventils schließen, doch ist bei einer eventuellen Fehlfunktion des Mikroventils nicht garantiert, daß der Betätigungszustand des Aktors und der Schaltzustand des Ventilgliedes tatsächlich übereinstimmen.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Mikroven­ tilanordnung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit der sich in zuverlässiger Weise Rückschlüsse auf die Position des Ventilgliedes ziehen lassen.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist vorgesehen, daß die Mikroven­ tilanordnung eine Positionserfassungseinrichtung zur Erfas­ sung der Position des Ventilgliedes auf Basis der gemessenen Kapazität eines elektrischen Kondensators aufweist, der zwei sich in Bewegungsrichtung des Ventilgliedes gegenüberliegen­ de, am Ventilglied und an einer der Gehäuseschichten vorgesehene Kondensatorflächen enthält, die unmittelbar von Elektro­ denflächen des elektrischen Aktors gebildet sind.

Dem erfindungsgemäßen Mikroventil ist eine Positionserfas­ sungseinrichtung zugeordnet, deren wesentliche Bestandteile in Gestalt der Kondensatorflächen in das Mikroventil integ­ riert sind. Da die gemessene Kapazität eine Funktion des Ab­ standes zwischen den beiden Kondensatorflächen ist, kann dar­ aus in einfacher Weise der tatsächliche Abstand zwischen dem Ventilglied und der von diesem gesteuerten Kanalmündung er­ mittelt und somit die Position des Ventilgliedes festgestellt werden. Es ist somit eine sehr einfache und zuverlässige Mög­ lichkeit gegeben, den Schaltzustand des Mikroventils zu über­ wachen. Darüberhinaus kann die gemessene Kapazität bei Bedarf auch als Regelgröße herangezogen werden, um in Verbindung mit einer geeigneten Regeleinrichtung eine in Abhängigkeit von angestrebten Druck- und/oder Durchflußwerten erforderliche Positionierung des Ventilgliedes vorzunehmen, letzteres ins­ besondere im Zusammenhang mit einem Stetigbetrieb des Mikro­ ventils.

Die Kondensatorflächen der Mikroventilanordnung sind unmit­ telbar von den Elektrodenflächen eines elektrostatischen Ak­ tors gebildet. Somit lassen sich durch Messung der Kapazität des nunmehr vorgesehenen elektrischen Kondensators in zuver­ lässiger Weise Rückschlüsse auf die Position des Ventil­ gliedes ziehen. Zugleich dienen die Kondensatorflächen des elektrischen Kondensators als elektrische Wirkbereiche des elektrischen Aktors, so daß insgesamt eine sehr kompakte An­ ordnung entsteht. Weiter wird durch die gemeinsame Nutzung elektrischer Flächen sowohl für Aktor- als auch für Sensor­ funktionen die Herstellung der Mikroventilanordnung sehr ein­ fach, weil nur wenige elektrische Flächen erforderlich sind.

Es ist zwar auch denkbar, durch einen außen am Gehäuse des Mikroventils angeordneten Sensor eine unmittelbare Erfassung der Position des Ventilgliedes vorzunehmen. Eine solche Lö­ sung ist jedoch durch die zahlreichen erforderlichen und zu­ dem räumlich zu trennenden Bauelemente voluminös. Dem dürfte jedoch regelmäßig die sehr geringe Baugröße des Mikroventils entgegenstehen.

Eine solche voluminöse Lösung wird beispielsweise in der DE 38 09 597 A1 vorgeschlagen. Dort sind an einer Mikroventilan­ ordnung zur Positionsmessung Sensor-Bauelemente angeordnet, wobei der momentane Schaltzustand einer beweglichen, als Ven­ tilglied dienenden Zunge unter anderem anhand kapazitiver Ef­ fekte erfasst wird. Jedenfalls ist eine bauliche Trennung von Aktor-Bauelementen einerseits und Sensor-Bauelementen ande­ rerseits vorgesehen, wobei insbesondere auf eine thermische Trennung von sensorischen und aktorischen Komponenten Wert gelegt wird.

Jeweils ein separater Vorschlag für eine spezielle Bauform eines elektrostatischen Sensors, nämlich ein Sensor mit Kamm­ elektroden, sowie für eine spezielle Bauform eines elektrostatischen Aktors, der mit Kammelektroden arbeitet, geht aus der DE 197 44 292 A1 hervor.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Un­ teransprüchen hervor.

In einer zweckmäßigen Variante ist der elektrische Aktor als elektrostatischer Aktor ausgebildet, dessen Elektrodenflächen unmittelbar die Kondensatorflächen bilden. Die Elektrodenflä­ chen dienen dabei zugleich zur elektrostatischen Betätigung des Aktors und als elektrostatische Messflächen des Sensors.

Um die Kapazität des elektrischen Kondensators zu messen, ist die Mikroventilanordnung zweckmäßigerweise mit einer geeigne­ ten Kapazitätsmesseinrichtung ausgestattet. Ihr Wirkprinzip kann beispielsweise darauf basieren, daß den Kondensatorflä­ chen eine Wechselspannung auferlegt und der fließende Strom erfaßt wird.

Um mit der Mikroventilanordnung variable Ausgangsdrücke und/oder Durchflußwerte realisieren zu können, ist das Mikro­ ventil vorzugsweise als Stetigventil und dabei insbesondere als Proportionalventil ausgebildet. Hier kann dem Aktor eine Spannungsquelle mit variabel einstellbarer Ausgangsspannung zugeordnet sein, so daß die momentane Relativposition zwi­ schen dem Ventilglied und der zugeordneten Kanalmündung von der aktuell eingestellten Ausgangsspannung abhängt.

Ein als Stetigventil ausgebildetes Mikroventil eignet sich besonders für den Einsatz bei geregelter Betriebsweise. Hier­ zu kann eine Regeleinrichtung vorgesehen sein, die auf Basis der gemessenen Kapazität als Ist-Wert und eines vorwählbaren Sollwertes eine Stellgröße liefert, die zur Betätigung des Aktors herangezogen wird und eine variable Positionseinstel­ lung des Ventilgliedes in Abhängigkeit von der jeweiligen Stellgröße ermöglicht. Der Sollwert kann beispielsweise einem ausgangsseitig des Mikroventils gewünschten Druckwert oder Durchflußwert entsprechen. Vorteilhaft ist hierbei, daß in der Regel auf den zusätzlichen Einsatz von Druck- und/oder Durchflußsensoren verzichtet werden kann, so daß sich eine kostengünstige Regelung realisieren läßt.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beilegenden einzi­ gen Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt eine be­ vorzugte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Mikroventil­ anordnung mit einem im Querschnitt dargestellten Mikroventil und einer zugeordneten Regeleinrichtung.

Bei dem in der Zeichnung stark vergrößert und schematisch dargestellten Ventil handelt es sich um ein solches mikrome­ chanischer Bauart, das durch Mikrostrukturierungsverfahren hergestellt wird und daher als Mikroventil 1 bezeichnet wer­ den kann. Es verfügt über ein Gehäuse 2 in Mehrschichtaufbau, das mehrere flächig stapelartig aufeinandergesetzte und in der Regel durch Bonden fest und fluiddicht miteinander ver­ bundene Gehäuseschichten 3 aufweist. Die Anzahl der Gehäuseschichten 3 ist in Abhängigkeit vom gewünschten Ventiltyp va­ riabel, wobei das Ausführungsbeispiel über drei plattenartige Gehäuseschichten 3 verfügt.

Die beiden äußeren, oben und unten angeordneten Gehäuse­ schichten 3 begrenzen zwischen sich eine Ventilkammer 7. De­ ren seitliche Begrenzung übernimmt ein rahmenartig umlaufen­ der Randbereich 4 der mittleren Gehäuseschicht 3, aus der im übrigen ein membran- oder plattenartiges Ventilglied 5 he­ rausstukturiert ist, das von dem rahmenartigen Randbereich 4 umschlossen wird und mit diesem über zweckmäßigerweise feder­ elastische Aufhängungsstege 6 einstückig verbunden ist. Das Ventilglied 5 ist somit in der Ventilkammer 7 angeordnet.

Zur besseren Unterscheidung sei die das Ventilglied 5 enthal­ tende mittlere Gehäuseschicht 3 als Ventilgliedschicht 8 be­ zeichnet.

In der beim Ausführungsbeispiel untenliegenden äußeren Gehäu­ seschicht 3 verlaufen mehrere Fluidkanäle 12, 13, weshalb sie nachfolgend als Kanalschicht 14 bezeichnet wird. Es handelt sich beim Ausführungsbeispiel um zwei Fluidkanäle, die beide einerseits in die Ventilkammer 7 einmünden, wobei wenigstens die Kanalmündung 15 des einen, ersten Fluidkanals 12 dem Ven­ tilglied 5 gegenüberliegt. Der erste Fluidkanal 12 ist beim Ausführungsbeispiel vorgesehen, um andererseits mit einer Druckquelle P verbunden zu werden, so daß er auch als Speise­ kanal bezeichnet werden kann.

Der andere, zweite Fluidkanal 13 bildet beim Ausführungsbei­ spiel einen Arbeitskanal, der mit einem Verbraucher A verbun­ den werden kann.

Die Kanalmündung 15 des ersten Fluidkanals 12 wird von dem Ventilglied 5 beherrscht. Letzteres ist über die Aufhänge­ stege 6 derart beweglich an dem Randbereich 4 gelagert, daß es in einer durch Doppelpfeil angedeuteten Bewegungsrichtung 16 rechtwinkelig zur Ausdehnungsebene der einzelnen Gehäuse­ schichten 3 verlagert werden kann. Hierbei kann es zwischen von der Kanalschicht 14 und der an dieser vorgesehenen Kanal­ mündung 15 mehr oder weniger weit entfernten Offenstellungen und einer an der Kanalschicht 14 anliegenden und dabei die Kanalmündung 15 fluiddicht absperrenden bzw. überdeckenden Schließstellung bewegt werden. In der Zeichnung ist eine mög­ liche Offenstellung abgebildet.

In den Offenstellungen kann über den ersten Fluidkanal 12 zu­ geführtes Druckmedium, insbesondere Druckluft, durch die Ven­ tilkammer 7 hindurch zum zweiten Fluidkanal 13 überströmen und somit zu einem angeschlossenen Verbraucher gelangen. In der Schließstellung ist die Fluidverbindung unterbrochen.

Das beispielsgemäße Mikroventil 1 ist als 2/2-Wegeventil aus­ geführt. Die in der Zeichnung obenliegende äußere Gehäuse­ schicht 3 ist dabei als kanallose Deckschicht 17 ausgebildet. Allerdings wäre durchaus auch eine Ausgestaltung mit höher­ wertiger Ventilfunktion denkbar, insbesondere als 3/2 Wegeventil, in welchem Falle anstelle der Deckschicht 17 eben­ falls eine Kanalschicht geeigneten Aufbaus vorgesehen sein könnte.

Insbesondere in Abhängigkeit vom gewählten Herstellungsver­ fahren, beispielsweise Ätz- oder Abformtechniken, bestehen die Gehäuseschichten 3 insbesondere aus Halbleitermaterial und/oder Kunststoffmaterial.

Die momentan zwischen dem Ventilglied 5 und der Kanalmündung 15 vorliegende Relativposition und somit der Schaltzustand des Mikroventils 1 wird durch einen elektrisch betätigten Ak­ tor 18 vorgegeben. Beim Ausführungsbeispiel ist eine Ausle­ gung dahingehend getroffen, daß bei deaktiviertem Aktor eine Offenstellung vorliegt, die beispielsweise durch die feder­ elastischen Aufhängestege 6 gewährleistet werden kann und im übrigen auch durch das am ersten Fluidkanal 12 anstehende Druckmedium bewirkt wird. Bei aktiviertem Aktor 18 hingegen wird das Ventilglied 5 zur Kanalmündung 15 herangezogen, wo­ bei im vorliegenden Fall durch den Aktivierungsgrad des Ak­ tors 18 Einfluß darauf genommen werden kann, ob die Schließ­ stellung vorliegt oder eine zwischen der Schließstellung und der maximalen Offenstellung liegende Zwischen-Offenstellung. Es handelt sich also bei dem Mikroventil 1 des Ausführungs­ beispiels um ein sogenanntes Stetigventil, insbesondere ein Proportionalventil, das eine stufenlose Vorgabe des dem Druckmedium zur Verfügung gestellten Durchflußquerschnittes gestattet. Dementsprechend läßt sich der am zweiten Fluidkanal 13 abgreifbare Druck und/oder Durchfluß variabel einstel­ len.

Die Ausgestaltung des Aktors 18 ist an sich beliebig. Er könnte beispielsweise nach dem Elektromagnetprinzip arbeiten. Besonders kompakte Abmessungen verbunden mit einer besonders günstigen Integrationsmöglichkeit in das Gehäuse 2 ermöglicht allerdings die beim Ausführungsbeispiel vorhandene Ausgestal­ tung als elektrostatischer Aktor. Hierzu ist an den einander zugewandten Seiten der Kanalschicht 14 und des Ventilgliedes 5 jeweils eine Elektrodenfläche 22, 22' vorgesehen, die je­ weils von einer am betreffenden Bauteil angeordneten flächi­ gen und elektrisch leitfähigen dünnen schichtartigen Elektro­ de 23, 23' gebildet ist. Letztere stehen mit zur Gehäuseau­ ßenfläche geführten internen elektrischen Leitern 24 in Ver­ bindung, an die unter Vermittlung externer elektrischer Lei­ ter 25 eine Spannungsquelle U angeschlossen ist.

Die Spannungsquelle U liefert eine variabel einstellbare Aus­ gangsspannung, die an die beiden Elektroden 23, 23' angelegt wird, so daß sich zwischen deren Elektrodenflächen 22, 22' ein elektrostatisches Feld ausbildet, dessen Stärke von der Höhe der angelegten Gleichspannung abhängt, wobei das Ventil­ glied 5 feldstärkeabhängig gegen die Kanalschicht 14 herange­ zogen wird. Somit stellt sich der zwischen dem Ventilglied 5 und der Kanalmündung 15 bzw. der zugeordneten Kanalschicht 14 vorhandene momentane Abstand als Funktion der angelegten Aus­ gangsspannung der Spannungsquelle U dar.

Die Elektroden 23, 23' könnten im übrigen auch unmittelbar von der Oberfläche des Ventilgliedes 5 und/oder der Kanal­ schicht 14 gebildet sein, wenn die entsprechenden Bereiche elektrisch leitend ausgeführt sind und zwischen den beiden Gehäuseschichten 3 eine elektrische Isolation erfolgt.

Das Mikroventil 1 ist nun desweiteren mit einer allgemein mit Bezugsziffer 25 bezeichneten Positionserfassungseinrichtung ausgestattet, die eine Erfassung der momentanen Position des Ventilgliedes 5 mit Bezug zu der von ihm beherrschten und ge­ steuerten Kanalmündung 15 ermöglicht. Die Positionserfas­ sungseinrichtung 25 wird zum leichteren Verständnis im fol­ genden zunächst als eine von dem Aktor 18 separate Einrich­ tung beschrieben.

Wesentlicher Bestandteil dieser Positionserfassungseinrich­ tung 25 ist ein elektrischer Kondensator 26, der sich, in Be­ wegungsrichtung 16, auf der dem elektrischen Aktor 18 entge­ gengesetzten Seite des Ventilgliedes 5 befindet. Er umfaßt zwei Kondensatorflächen 27, 27', die sich in Bewegungsrich­ tung 16 gegenüberliegen, wobei die eine Kondensatorfläche 27 an der der Ventilkammer 7 zugewandten Innenfläche der Deck­ schicht 17 und die andere Kondensatorfläche 27' an der der Deckschicht 17 zugewandten Außenfläche des Ventilgliedes 5 angeordnet ist.

Beim Ausführungsbeispiel sind die Kondensatorflächen 27, 27' an dünnwandigen Kondensatorplatten 28, 28' vorgesehen, die insbesondere nach Art eine Beschichtung an den vorerwähnten Flächen der Deckschicht 17 und des Ventilgliedes 5 angebracht sind. Allerdings wäre es vergleichbar der zu den Elektroden 23, 23' erfolgten Schilderung ohne weiteres auch möglich, die Kondensatorflächen 27, 27' unmittelbar an den zugeordneten Bauteilen vorzusehen.

Die Kondensatorflächen 27, 27' stehen mit zur Außenoberfläche des Gehäuses 2 geführten gehäuseinternen elektrischen Leitun­ gen 32 in Verbindung. Diese wiederum sind beim Ausführungs­ beispiel über weiterführende externe elektrische Leitungen 33 an eine Kapazitätsmeßeinrichtung K angeschlossen. Letztere ermöglicht eine insbesondere kontinuierliche oder quasi kon­ tinuierliche Messung der Kapazität des Kondensators 26, wel­ che von dem zwischen den beiden Kondensatorflächen 27, 27' eingehaltenen Abstand abhängt. Die Kapazitätsmeßung kann bei­ spielsweise dadurch erfolgen, daß an die Kondensatorplatten 28, 28' durch die Kapazitätsmeßeinrichtung K eine Wechsel­ spannung angelegt und der daraus resultierende Strom wiederum durch die Kapazitätsmeßeinrichtung K ermittelt wird.

Da der Abstand zwischen den beiden Kondensatorflächen 27, 27' von der durch den Aktor 18 vorgegebenen Position des Ventil­ gliedes 5 abhängt, ergibt sich eine unmittelbare Abhängigkeit der gemessenen Kapazität von der Position des Ventilgliedes 5 und somit vom Abstand zwischen diesem Ventilglied 5 und der von ihm zu steuernden Kanalmündung 15. Somit ist bei Einhaltung kompaktester Abmessungen eine sehr präzise Positionser­ fassung des Ventilgliedes 5 möglich.

Erfindungsgemäß sind im Unterschied zu der oben beschriebenen separaten Ausgestaltung des Aktors 18 und des Kondensators 26 die Kondensatorflächen 27, 27' unmittelbar von den Elektro­ denflächen 22, 22' des elektrostatischen Aktors 18 gebildet. Auf diese Weise genügt die Ausstattung des Mikroventils 1 mit einem einzigen Elektrodenpaar. Die Elektroden 23, 23' sind in diesem Falle gemäß der strichpunktiert angedeuteten Leitungs­ führung 34 außer an die Spannungsquelle U auch an die Kapazi­ tätsmeßeinrichtung K angeschlossen, wobei sich gegenseitige Beeinflussungen weitestgehend dadurch ausschließen lassen, daß in der Kapazitätsmeßeinrichtung K mit einer hochfrequen­ ten Wechselspannung gearbeitet wird.

Während das Mikroventil 1 des Ausführungsbeispiels ein Ste­ tigventil bzw. Proportionalventil ist, sei darauf verwiesen, daß sich die Positionserfassungeinrichtung 25 auch bei Venti­ len anderer Betriebscharakteristik verwenden läßt und insbe­ sondere bei solchen, die zumindest bei einer gewissen Annähe­ rung des Ventilgliedes 5 an die Kanalschicht 14 ein schlagar­ tiges Umschaltverhalten an den Tag legen.

Jedenfalls kann die Kapazität, die sich am Kondensator 26 einstellt, als Kriterium für das Maß der Ventilöffnung heran­ gezogen werden. Dadurch läßt sich das Mikroventil sehr leicht in einen Regelkreis einbinden, der beispielsweise eine Durchfluß- oder Druckregelung realisiert. Beim Ausführungsbeispiel ist eine solche Regelungsvariante gezeigt, wobei die Kapazi­ tätsmeßeinrichtung K und die Spannungsquelle U in eine Re­ geleinrichtung 35 einbezogen sind, die als weiteren Bestand­ teil einen Regler R enthält.

Die von der Kapazitätsmeßeinrichtung K ermittelte Kapazität wird gemäß Pfeil 36 als Ist-Wert bzw. als Regelgröße in den Regler R eingespeist, dem außerdem gemäß Pfeil 37 ein vor­ wählbarer Soll-Wert aufgeschaltet werden kann.

Der Regler R liefert nun auf Basis der miteinander vergliche­ nen Soll- und Ist-Werte eine durch Pfeil 38 angedeutete Stellgröße, die der Spannungsquelle U zugeleitet wird, welche eine von der Stellgröße abhängige variable Ausgangsspannung für die Betätigung des Aktors 18 liefert.

Der am zweiten Fluidkanal 13 vorliegende Druck- und/oder Durchflußwert hängt vom Öffnungsgrad des Mikroventils 1 ab, welcher sich durch die Kapazitätsmessung erfassen läßt. Auf diese Weise kann, je nach Anwendungsfall, eine Druck- und/oder Durchflußregelung realisiert werden, wobei das in der Meßkapazität enthaltene Abstandssignal betreffend den Ab­ stand zwischen Ventilglied 5 und Kanalmündung 15 als Regel­ größe herangezogen wird. Auf zusätzliche Druck- oder Volumen­ sensoren bzw. Durchflußmeßeinrichtungen kann somit in vielen Fällen verzichtet werden, was einen kostengünstigen Aufbau der Mikroventilanordnung ermöglicht.

Claims (7)

1. Mikroventilanordnung, mit einem Mikroventil (1), das ein durch Mikrostrukturierungsverfahren hergestelltes Gehäuse (2) aufweist, das zwei sich gegenüberliegende Gehäuseschichten (3, 14; 3, 17) enthält, zwischen denen eine Ventilkammer (7) definiert ist, in der sich ein membran- oder plattenartiges Ventilglied (5) befindet, wobei in wenigstens einer der bei­ den Gehäuseschichten (3, 14; 3, 17) mindestens ein Fluidkanal (12) verläuft, der dem Ventilglied (5) gegenüberliegend mit einer von diesem beherrschten Kanalmündung (15) in die Ven­ tilkammer (7) einmündet, und mit einem elektrisch betätigten Aktor (18) zur Vorgabe der Relativposition des Ventilgliedes (5) bezüglich der Kanalmündung (15), dadurch gekennzeichnet, dass die Mikroventilanordnung eine Positionserfassungsein­ richtung (25) zur Erfassung der Position des Ventilgliedes (5) auf Basis der gemessenen Kapazität eines elektrischen Kondensators (26) aufweist, der zwei sich in Bewegungsrich­ tung (16) des Ventilgliedes (5) gegenüberliegende, am Ventil­ glied (5) und an einer der Gehäuseschichten (3, 14) vorgese­ hene Kondensatorflächen (27, 27') enthält, die unmittelbar von Elektrodenflächen (22, 22') des elektrischen Aktors (18) gebildet sind.

2. Mikroventilanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass der elektrische Aktor (18) als elektrostati­ scher Aktor ausgebildet ist, dessen Elektrodenflächen (22, 22') unmittelbar die Kondensatorflächen (27, 27') bilden.

3. Mikroventilanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Kondensatorflächen (27, 27') zu einer elektrischen Kapazitätsmessung mit einer elektrischen Wech­ selspannungsquelle (K) verbunden sind.

4. Mikroventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Kondensatorflächen (27, 27') zu einer elektrischen Kapazitätsmessung mit einer hochfre­ quenten elektrischen Wechselspannungsquelle (K) und zur Er­ zeugung einer elektrostatischen Aktorik mit einer elektri­ schen Gleichspannungsquelle (U) verbunden sind.

5. Mikroventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Mikroventil (1) als Stetig­ ventil ausgebildet ist, wobei dem Aktor (18) eine Spannungs­ quelle (U) mit variabel einstellbarer Ausgangsspannung zuge­ ordnet ist und die momentane Relativposition zwischen dem Ventilglied (5) und der zugeordneten Kanalmündung (15) von der aktuell eingestellten Ausgangsspannung abhängt.

6. Mikroventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Regeleinrichtung (35), die auf Ba­ sis der gemessenen Kapazität als Ist-Wert und eines vorwähl­ baren Soll-Wertes eine zur Betätigung des Aktors (18) heran­ gezogene Stellgröße liefert.

7. Mikroventilanordnung nach Anspruch 6 in Verbindung mit Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellgröße auf die Spannungsquelle (U) einwirkt, die eine von der Stellgröße abhängige Ausgangsspannung liefert.