Zunächst wird
der allgemeine Aufbau eines Beispiels einer herkömmlichen Handhabungseinrichtung,
die als Transportvorrichtung des horizontalen Transporttyps bzw.
als horizontale Transporteinrichtung bezeichnet wird, unter Bezugnahme
auf 3 kurz dargestellt.
Die
in 3 gezeigte Handhabungseinrichtung 60 weist
einen Beschickungsabschnitt 61, der zum Transportieren
und zum Umsetzen von zu testenden ICs (im Test befindlichen ICs)
auf ein Testtablett 64 dient, eine Konstanttemperaturkammer 65,
die eine Durchwärmungskammer
bzw. Temperaturanpassungskammer 66 und einen Testabschnitt 67 enthält, eine
Auslaßkammer 68, die
auch als Wärmeabführungs-/Kälteabführungskammer
bezeichnet wird und zum Abführen
der Wärme
oder Kälte
von den getesteten ICs dient, die von dem Testabschnitt 67 auf dem
Testtablett 64 hereintransportiert werden, nachdem sie
in dem Testabschnitt 67 einem Test unterzogen worden sind,
und einen Entladeabschnitt 62 auf, der zum Entgegennehmen
der ICs, die auf dem Testtablett 64 von der Auslaßkammer
herantransportiert werden, sowie zum Transportieren und zum Umsetzen
dieser ICs von dem Testtablett 64 auf ein Universaltablett 63,
das auch als Vielzwecktablett oder als ein Kundentablett bezeichnet
wird, ausgelegt ist.
Die
Temperaturanpassungskammer 66 und der Testabschnitt 67 der
Konstanttemperaturkammer 65 sowie die Auslaßkammer 68 sind
in der angegebenen Reihenfolge von links nach rechts gemäß der in 3 gezeigten Darstellung
angeordnet (diese Richtung wird im folgenden auch als die Richtung
der Achse X bezeichnet), wohingegen der Beschickungsabschnitt 61 und
der Entladeabschnitt 62 vor der Konstanttemperaturkammer 65 und
der Auslaßkammer 68 angeordnet
sind. Weiterhin ist in dem am weitesten vorne befindlichen Abschnitt
der Handhabungseinrichtung 60 ein Tablettspeicher- bzw.
Tablettlagerabschnitt 70 angeordnet, der zum Speichern von
Universaltabletts 63DT, die mit zu testenden ICs bestückt sind,
von Universaltabletts 63ST, die mit bereits getesteten
und sortierten ICs bestückt
sind, und von leeren Universaltabletts 63ET dient.
Die
Temperaturanpassungskammer 66 der Konstanttemperaturkammer 65 ist
dazu ausgelegt, auf die im Test befindlichen ICs, die in dem Beschickungsabschnitt 61 auf
ein Testtablett 64 aufgebracht worden sind, eine Temperaturbelastung
auszuüben, die
entweder durch eine vorbestimmte hohe Temperatur oder niedrige Temperatur
bedingt ist. Demgegenüber
ist der Testabschnitt 67 derart ausgelegt, daß er diese
ICs, die noch unter der vorbestimmten, in der Temperaturanpassungskammer 66 ausgeübten Temperaturbelastung
stehen, den elektrischen Tests unterzieht. Damit die ICs während des
Testvorgangs bei dieser Temperatur gehalten werden, die einer vorbestimmten
hohen oder niedrigen Temperatur entspricht und zu der entsprechenden
Temperaturbelastung der ICs führt,
sind sowohl die Temperaturanpassungskammer 66 als auch
der Testabschnitt 67 in der Konstanttemperaturkammer 65 untergebracht, die
imstande ist, ihren Innenbereich bei einer vorbestimmten Temperatur
zu halten.
Das
Testtablett 64 wird in umlaufender Weise von dem Beschickungsabschnitt 61 sequentiell
durch die Temperaturanpassungskammer 66 und den Testabschnitt 67,
die Auslaßkammer 68 und
den Entladeabschnitt 62 hindurch und dann zurück zu dem
Beschickungsabschnitt 61 transportiert. In diesem umlaufenden
Transportpfad ist jeweils eine vorbestimmte Anzahl von Testtabletts 64 angeordnet,
die aufeinanderfolgend in derjenigen Richtung bewegt werden, die
in 3 durch Pfeile angegeben
ist.
Ein
Testtablett 64, das in dem Beschickungsabschnitt 61 mit
im Test befindlichen und von einem Universaltablett 63 stammenden
ICs bestückt
wurde, wird von dem Beschickungsabschnitt 61 zu der Konstanttemperaturkammer 65 transportiert
und dann anschließend
in die Temperaturanpassungskammer 66 über eine Einlaßöffnung eingeführt, die
in der Vorderwand der Konstanttemperaturkammer 65 ausgebildet
ist. Die Temperaturanpassungskammer 66 ist mit einer vertikal
wirkenden Transporteinrichtung (Vertikaltransporteinrichtung) ausgestattet,
die derart ausgestaltet ist, daß sie
eine Mehrzahl von Testtabletts 64 (beispielsweise fünf Testtabletts)
in der Form eines Stapels halten kann, wobei vorbestimmte Abstände zwischen
benachbarten Tabletts vorhanden sind. Bei dem dargestellten Beispiel
wird ein Testtablett, das neu von dem Beschickungsabschnitt 61 erhalten
worden ist, auf der obersten Tablettlagerstufe gelagert, wohingegen
dasjenige Testtablett, das an der untersten Tablettlagerstufe gehalten
ist, zu dem Testabschnitt 67 transportiert wird, der sich
auf der linken Seite, d.h. der stromauf befindlichen Seite der Temperaturanpassungskammer 66,
gesehen in der Richtung der Achse X, befindet sowie an die Temperaturanpassungskammer 66 angrenzt
und mit deren unterem Abschnitt in Verbindung steht. Es ist somit ersichtlich,
daß die
Testtabletts 64 in einer Richtung heraustransportiert werden,
die rechtwinklig zu der Richtung verläuft, mit der sie in die Temperaturanpassungskammer 66 eingeführt worden
sind.
Die
vertikale Transporteinrichtung bewegt die Testtabletts, die auf
den aufeinanderfolgenden Tablettlagerstufen angeordnet sind, sequentiell
zu der jeweiligen nachfolgenden, in vertikaler Richtung darunter
liegenden Tablettlagerstufe. Die vertikale Richtung wird im folgenden
als Richtung der Achse Z bezeichnet. Auf die im Test befindlichen
ICs wird die durch die vorbestimmte hohe oder niedrige Temperatur
hervorgerufene Belastung ausgeübt,
während das
Testtablett, das an der obersten Tablettlagerstufe gehalten wird,
sequentiell bis zu der untersten Tablettlagerstufe bewegt wird,
wobei die Temperaturbelastung auch noch während der Wartezeitdauer bis zur
Leerung des Testabschnitts 67 einwirkt.
In
dem Testabschnitt 67 ist ein nicht gezeigter Testkopf angeordnet.
Das Testtablett 64, das jeweils eins nach dem anderen aus
der Konstanttemperaturkammer 65 heraustransportiert worden
ist, wird auf dem Testkopf angeordnet, bei dem eine vorbestimmte
Anzahl der ICs aus der Gesamtzahl von im Test befindlichen und auf
dem Testtablett angeordneten ICs jeweils in elektrischen Kontakt
mit Bauelementsockeln gebracht wird. Die Bauelementsockel sind an
dem Testkopf angeordnet, in 3 jedoch nicht
gezeigt. Nach dem Abschluß des
durch den Testkopf durchgeführten
Tests bezüglich
aller ICs, die auf einem Testtablett angeordnet sind, wird das Testtablett 64 dann
nach rechts in Richtung der Achse X, d.h. stromabwärts, zu
der Auslaßkammer 68 transportiert,
in der die Wärme
oder Kälte
von den getesteten ICs abgeführt
wird bzw. die ICs auf ihre frühere
Temperatur zurückgebracht
werden.
In
gleichartiger Weise wie bei der vorstehend beschriebenen Temperaturanpassungskammer 66 ist
auch die Auslaßkammer 68 mit
einer vertikalen Transporteinrichtung ausgestattet, die dazu ausgelegt
ist, eine Mehrzahl von Testtabletts 64 (beispielsweise
fünf Testtabletts)
aufzunehmen, die jeweils mit vorbestimmten Abständen zwischen den Testtabletts aufeinandergestapelt
sind. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel
wird ein Testtablett, das neu von dem Testabschnitt 67 zugeführt wird,
auf der untersten Tablettlagerstufe angeordnet, wohingegen das Testtablett,
das sich auf der obersten Tablettlagerstufe befindet, zu dem Entladeabschnitt 62 ausgegeben wird.
Die vertikale Transporteinrichtung bewegt die Testtabletts, die
auf den aufeinanderfolgenden Tablettlagerstufen gehalten sind, sequentiell
zu der jeweils nächsten,
vertikal darüber
liegenden Tablettlagerstufe. Die Wärme oder Kälte wird von den getesteten
ICs hierbei abgeführt,
so daß die
getesteten ICs wieder auf die außenseitige Temperatur, d.h.
auf die Raumtemperatur zurück gebracht
werden, während das
jeweilige Testtablett, das an der untersten Tablettlagerstufe gehalten
wird, schrittweise bis zu der obersten Tablettlagerstufe bewegt
wird.
Da
der IC-Test üblicherweise
bezüglich
der ICs, die in der Temperaturanpassungskammer 66 einer
gewünschten
Temperaturbelastung, die in einem breiten Temperaturbereich von –55°C bis zu
+125°C liegt,
ausgesetzt worden sind, werden die getesteten ICs in der Auslaßkammer 68 beispielsweise
dann, wenn die ICs in der Temperaturanpassungskammer 66 einer
hohen Temperatur von beispielsweise ungefähr +120°C ausgesetzt worden sind, mit
zwangsweise umgewälzter
Luft wieder auf die Raumtemperatur herabgekühlt. Falls auf die ICs in der
Temperaturanpassungskammer 66 eine niedrige Temperatur
von beispielsweise ungefähr –30°C ausgeübt worden
ist, werden die ICs in der Auslaßkammer 68 mit erwärmter Luft
oder mittels einer Heizeinrichtung wieder auf eine Temperatur erwärmt, bei
der keine Kondensation auftritt. Auch wenn üblicherweise Testtabletts 64 eingesetzt
werden, die aus einem Material hergestellt sind, das einem derartigen
breiten Temperaturbereich, d.h. sowohl hohen als auch niedrigen
Temperaturen widerstehen kann, ist es selbstverständlich nicht
erforderlich, daß die
Testtabletts 64 aus einem solchen Material, das hohen und/oder
niedrigen Temperaturen widerstehen kann, hergestellt sind, falls
die ICs bei der Raumtemperatur getestet werden.
Nach
der Abfuhr der Wärme
oder Kälte
von den ICs wird das Testtablett 64 in einer Richtung transportiert,
die rechtwinklig zu der Richtung verläuft, mit der das Testtablett 64 von
dem Testabschnitt 67 her eingeführt worden ist und die im folgenden
als Richtung der Achse Y bezeichnet wird. Das Testtablett 64 wird
hierbei in Richtung zu der Vorderseite der Auslaßkammer 68 transportiert
und aus der Auslaßkammer 68 zu
dem Entladeabschnitt 62 ausgegeben.
Der
Entladeabschnitt 62 ist derart ausgestaltet, daß die getesteten
ICs, die auf dem Testtablett 64 transportiert werden, in
Abhängigkeit
von den bei den Tests erzielten Ergebnisdaten in Kategorien einsortiert
werden und die getesteten ICs auf die entsprechenden, zugehörigen Universaltabletts 63 aufgebracht
werden. Bei diesem Beispiel bietet der Entladeabschnitt 62 die
Möglichkeit,
das jeweilige Testtablett 64 an zwei Positionen A und B
anhalten zu können.
Die ICs, die sich auf dem oder den an der ersten Position A und
der zweiten Position B angehaltenen Testtabletts 64 befinden,
werden in Abhängigkeit
von den bei dem Test erzielten Ergebnisdaten aussortiert und zu
den entsprechenden Universaltabletts der zugehörenden Kategorien transportiert
und in diesen Universaltabletts gespeichert, wobei sich die Universaltabletts
hierbei bei den für
die Universaltabletts vorgesehenen Sollpositionen, d.h. Anhaltepositionen in
Ruhe bzw. stationär
befinden. Bei dem dargestellten Beispiel sind vier Universaltabletts 63a, 63b, 63c und 63d vorhanden.
Das Testtablett 64, das in dem Entladeabschnitt 62 von
ICs geleert worden ist, wird zu dem Beschickungsabschnitt 61 zurücktransportiert,
bei dem es erneut mit zu testenden ICs bestückt wird, die von einem Universaltablett 63 abgenommen werden.
Es werden dann die gleichen Arbeitsschritte erneut ausgeführt.
Hierbei
ist anzumerken, daß die
Anzahl von Universaltabletts 33, die in dem Entladeabschnitt 62 an
den Universaltablett-Sollpositionen angeordnet werden können, bei
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
aufgrund des zur Verfügung
stehenden Raums auf vier beschränkt
ist. Demzufolge ist auch die Anzahl von Kategorien (Klassen), in
die die ICs in Echtzeit einsortiert werden können, auf vier Klassen beschränkt. Auch
wenn vier Klassen im allgemeinen ausreichend sind, damit drei Kategorien
für die
Feinunterteilung der "auslegungskonformen
Bauelemente" in
Bauelemente mit hoher, mittlerer und geringer Antwortgeschwindigkeit
zusätzlich
zu der einen Kategorie, die den "nicht
auslegungskonformen Bauelementen" zugeordnet
ist, bereitgestellt werden können,
können
jedoch in manchen Fällen
einige ICs unter den getesteten ICs vorhanden sein, die zu keiner dieser
Kategorien gehören.
Wenn irgendwelche derartigen getesteten ICs gefunden werden sollten,
die in eine andere Klasse als die vier vorstehend genannten Kategorien
einsortiert werden sollten, sollte ein Universaltablett 63,
das dieser zusätzlichen
Kategorie zugeordnet ist, aus dem Tablettlagerabschnitt 70 herausgenommen
und zu der entsprechenden Universaltablett-Sollposition in dem Entladeabschnitt 62 transportiert
werden, damit diese ICs in diesem Universaltablett untergebracht
werden können.
Damit dieser Ablauf erreicht wird, ist es notwendig, eines der Universaltabletts,
die bislang in dem Entladeabschnitt 62 angeordnet sind,
zu dem Tablettlagerabschnitt 70 zu transportieren und in
diesem zu lagern.
Falls
der Austausch der Universaltabletts während des Ablaufs des Sortiervorgangs
bewirkt wird, müßte dieser
Sortiervorgang während
des Austauschs unterbrochen werden. Aus diesem Grund ist bei dem
vorliegenden Ausführungsbeispiel
ein Pufferabschnitt 71 zwischen den Anhaltepositionen A
und B für
das Testtablett 64 und den Positionen der Universaltabletts 63a bis 63d angeordnet.
Der Pufferabschnitt 71 ist derart ausgebildet, daß er getestete
ICs, die zu einer selten auftretenden Kategorie gehören, zeitweilig
speichern kann. Der Pufferabschnitt 71 kann eine Kapazität aufweisen,
die eine Aufnahme von beispielsweise ungefähr 20 bis 30 ICs ermöglicht,
und kann mit einem Speicherabschnitt ausgestattet sein, in dem die
Kategorie der ICs speicherbar ist, die in dem Pufferabschnitt 71 an
den IC-Lagerpositionen vorhanden sind. Die Positionen und die Kategorie
der einzelnen ICs, die zeitweilig in dem Pufferabschnitt 71 gelagert
werden, werden folglich in dem Speicherabschnitt gespeichert. Zwischen
den Sortiervorgängen
oder nach der Füllung
des Pufferabschnitts 71 mit ICs wird ein Universaltablett
für diejenige
Kategorie, zu der die in dem Pufferabschnitt gespeicherten ICs gehören, von
dem Tablettlagerabschnitt 70 zu dem Entladeabschnitt 62 für die Aufnahme
dieser ICs transportiert. Hierbei ist anzumerken, daß die zeitweilig
in dem Pufferabschnitt 71 gelagerten ICs auch auf eine
Mehrzahl von Kategorien aufgeteilt bzw. diesen zugeordnet sein kann.
In diesem Fall ist es dann erforderlich, Universaltabletts von dem
Tablettlagerabschnitt 70 zu dem Entladeabschnitt 72 mit
einer Anzahl zu transportieren, die der Anzahl der jeweils gleichzeitig
vorhandenen Kategorien entspricht.
Eine
nicht gezeigte, in den Richtungen X und Y transportierende Transporteinrichtung,
die mit einem beweglichen, im Stand der Technik auch als Aufnehmer-
und Positionierungskopf bezeichneten Kopf ausgestattet ist, wird
dazu benutzt, die im Test befindlichen ICs von dem oder den Universaltabletts 63,
die sich bei den Universaltablett-Sollpositionen (Anhaltepositionen)
im Stillstand, d.h. im stationären
Zustand, befinden, zu den entsprechenden Testtabletts zu transportieren.
An der bodenseitigen Fläche
dieses beweglichen Kopfs ist eine IC-Aufnahmefläche bzw. ein IC-Aufnehmersaugnapf
(IC-Greifelement) angebracht, die mit einem auf dem Universaltablett 63 angeordneten
IC in Anlage gebracht wird, so daß dieser durch Unterdruck angesaugt
und ergriffen werden kann und für
einen Transport von dem Universal tablett 63 zu dem Testtablett 64 bereit
ist. Eine in den Richtungen X und Y wirksame Transporteinrichtung mit
einem gleichartigen Aufbau wird dazu benutzt, die getesteten ICs
von den Testtabletts 64 zu den in dem Entladeabschnitt 62 angeordneten
Universaltabletts 63 zu transportieren. Der bewegliche
Kopf ist üblicherweise
mit einer Mehrzahl von Aufnehmersaugflächen, beispielsweise acht Aufnehmersaugflächen, versehen,
so daß zu
einem jeweiligen Zeitpunkt acht ICs zwischen den Universaltabletts
und den Testtabletts transportiert werden können.
Auch
wenn dies nicht gezeigt ist, ist oberhalb des Tablettlagerabschnitts 70 eine
Tablettransporteinrichtung angeordnet. In dem Beschickungsabschnitt 61 transportiert
die Tablettransporteinrichtung ein Universaltablett 63DT,
das mit zu testenden ICs bestückt
ist, von dem Tablettlagerabschnitt 70 zu den für die Universaltabletts
vorgesehenen Sollpositionen, bei denen die zu testenden ICs auf
ein Testtablett umgesetzt werden. Ein geleertes Universaltablett 63 wird
an einer vorbestimmten Position gelagert, wobei es sich üblicherweise
um diejenige Position handelt, an der leere Universaltabletts 63ET gelagert werden.
In gleichartiger Weise wie bei dem Entladeabschnitt 62 transportiert
auch hier die vorstehend beschriebene Tablettransporteinrichtung
Universaltabletts, die den unterschiedlichen Kategorien zugeordnet
sind, von dem Tablettlagerabschnitt 70 zu den entsprechenden
Sollpositionen für
die Universaltabletts, an denen die getesteten und von den Testtabletts 64 zugeführten ICs
auf die Universaltabletts aufgebracht werden sollen. Sobald ein
Universaltablett 63 vollständig gefüllt worden ist, wird es an
einer vorbestimmten Position in dem Tablettlagerabschnitt 70 gelagert,
wohingegen ein leeres Universaltablett 63ET durch die Tablettransporteinrichtung
von dem Tablettlagerabschnitt 70 zu der zugehörigen Universaltablett-Sollposition
transportiert wird.
Ferner
ist in dem Beschickungsabschnitt 61 eine Positionskorrektureinrichtung 69,
die zum Korrigieren der Orientierung oder der Position eines ICs dient
und als "Präzisionsausrichtungseinrichtung" bezeichnet wird,
zwischen der Sollposition für
das Universaltablett und der Anhalteposition für das Testtablett 64 angeordnet.
Diese die Position der ICs korrigierende Positionskorrektureinrichtung 69 weist
relativ tiefe Ausnehmungen auf, in die die ICs hineinfallen können, bevor
sie von dem Universaltablett zu dem Testtablett 64 transportiert
werden. Die Ausnehmungen sind jeweils durch schräg verlaufende Seitenwände begrenzt,
durch die die Tiefe vorgegeben wird, mit der die ICs in die Ausnehmungen
hineinfallen. Sobald acht ICs durch die Positionskorrektureinrichtung 69 jeweils
relativ zueinander exakt positioniert worden sind, werden diese
präzise
positionierten ICs erneut durch den beweglichen Kopf ergriffen und
dann zu dem Testtablett 64 transportiert. Das Universaltablett 63 ist
mit Ausnehmungen zum Halten von ICs versehen, die im Vergleich mit
der Größe von ICs übermäßig groß ausgelegt
sind. Hierdurch ergibt sich eine breite Variation hinsichtlich der
Positionen der ICs, die in dem Universaltablett 63 gelagert
sind. Als Folge hiervon könnte
dann, wenn die ICs so, wie sie sind, durch den beweglichen Kopf
ergriffen und direkt zu dem Testtablett 64 transportiert würden, der
Fall auftreten, daß einige
dieser ICs nicht erfolgreich in die IC-Lagerausnehmungen eingebracht
werden könnten,
die in dem Testtablett 64 vorhanden sind. Aus diesem Grund
ist die Positionskorrektureinrichtung 69 erforderlich,
die bewirkt, daß die ICs
matrixförmig
so exakt angeordnet werden, wie es der matrixförmigen Anordnung der in dem
Testtablett 64 vorhandenen IC-Aufnahmeausnehmungen entspricht.
Bei
einem IC-Tester, der mit einer Handhabungseinrichtung mit dem vorstehend
erläuterten Aufbau
verbunden ist, ist, wie insbesondere aus 4 ersichtlich ist, ein Testkopf 81,
der in dem Testabschnitt 67 der Handhabungseinrichtung 60 angeordnet
ist, separat von dem eigentlichen bzw. eigenständigen Gerät oder Rechner 80 des
IC-Testers aufgebaut. Die Komponente 80 wird im Stand der
Technik auch als "Main
Frame" bzw. Hauptrechner
bezeichnet. In dieser eigenständigen
Komponente 80 des IC-Testers sind die hauptsächlichen
elektrischen und elektronischen Schaltungen, Spannungsquellen usw.
untergebracht. Die Verbindung zwischen der Komponente 80 des
IC-Testers und dem Testkopf 81 wird mit Hilfe einer Signalübertragungsleitung 82 bewirkt,
die beispielsweise ein Kabel sein kann. Der Testkopf 81 enthält intern
eine Meßschaltung,
die Treiber, Vergleicher und weitere Komponenten umfaßt, und
enthält
ferner eine nicht gezeigte Performance-Platine bzw. Anpassungsplatine
oder Verdrahtungsplatine, die an der Oberseite des Testkopfs angebracht
ist. An dieser Anpassungsplatine ist eine vorbestimmte Anzahl von
Bauelementsockeln montiert, die in einem Fall, bei dem die zu testenden
Halbleiterbauelemente durch ICs gebildet sind, als IC-Sockel ausgelegt
sind.
Wie
aus 4 ersichtlich ist,
ist der Testkopf 81 an der Bodenseite des Testabschnitts 67 der Handhabungseinrichtung 60,
d.h. bei dem vorliegenden Beispiel an dem Boden der Konstanttemperaturkammer
der Handhabungseinrichtung, derart montiert, daß die IC-Sockel des Testkopfs 81 gegenüber dem
Innenbereich des Testabschnitts 67 der Handhabungseinrichtung 60 über eine Öffnung hindurch freigelegt
sind, die in dem Boden des Testabschnitts 67 ausgebildet
ist. Bei dieser Ausgestaltung ist eine Positionierungseinrichtung
erforderlich, die zur Bewegung des Testkopfs 81 nach oben
und unten in Richtung der Achse Z, d.h. in vertikaler Richtung,
sowie zum Festhalten des Testkopfs 81 in seiner Position
ausgelegt ist.
Es
ist im Stand der Technik bekannt, daß die Anzahl von ICs, die gleichzeitig
in dem Testabschnitt 67 getestet werden können, von
der Anzahl von IC-Sockeln abhängt,
die an dem Testkopf 81 angebracht sind. In den letzten
Jahren hat sich das Bedürfnis
hinsichtlich einer Erhöhung
der Anzahl von ICs, die gleichzeitig in dem Testabschnitt getestet werden
können,
d.h. hinsichtlich einer Erhöhung
des in IC-Zahlen ausgedrückten
Durchsatzes mit gleichzeitiger Messung, ergeben, und zwar aufgrund
des Ansatzes, das Ausnutzungsverhältnis des IC-Testers zu verbessern.
Hierdurch hat sich eine Erhöhung
der Anzahl von IC-Sockeln, die an dem Testkopf montiert sind, ergeben,
was wiederum zwingend zu einem vergrößerten Testkopf führt. Als
Folge hiervon ist die Tendenz vorhanden, daß sich das Gewicht des Testkopfs
vergrößert. Lediglich
als Beispiel sei angegeben, daß es
derartige schwere Testköpfe
gibt, die bis zu 300 Kilogramm wiegen. Ferner müssen die Testköpfe jedoch
auch durch andere Testköpfe
in Abhängigkeit
von dem Typ der zu testenden ICs, den Inhalten bzw. dem Umfang der
Tests, der Größe der benutzten
Testtabletts und weiterer Parameter ersetzt werden können. Auch
im Hinblick auf die Notwendigkeit von Wartungsarbeiten ist es vorteilhaft,
wenn der Testkopf einfach entfernt, d.h. abgenommen werden kann.
Aufgrund
dieses Sachverhalts ist der Testkopf in dem Testabschnitt 67 der
Handhabungseinrichtung mit Hilfe einer Befestigungsvorrichtung befestigt,
die im Stand der Technik auch als "Hifix"-Basis oder als Test-Befestigungsvorrichtung
bezeichnet wird. Wenn der Testkopf in dem Testabschnitt angebracht
werden soll, werden demzufolge die folgenden Abläufe durchgeführt: Es
wird ein derartiger, schwerer Testkopf von einem Bereich hinter
der Handhabungseinrichtung zu einer vorbestimmten Position unterhalb
des Testabschnitts transportiert, der Testkopf wird ausgehend von
dieser Position vertikal nach oben bis zu einer vorbestimmten Höhenlage
bewegt und in dieser Position gehalten, und es wird dann die Befestigungsvorrichtung
in dem Testabschnitt montiert.
Herkömmlicherweise
wird eine "Wagenhebereinrichtung" bzw. eine Hebeeinrichtung
als eine Positioniereinrichtung verwendet, die zum Bewegen eines
schwergewichtigen Testkopfs von einer unterhalb des Testabschnitts
befindlichen Position vertikal nach oben bis in die vorbestimmte
Höhenlage
sowie zum Halten des Testkopfs in dieser Position ausgelegt ist.
Diese Art der bislang im Einsatz befindlichen Hebeeinrichtung wird
nachstehend unter Bezugnahme auf die 5 und 6 näher erläutert.
In 5 ist in Form einer Seitenansicht
der allgemeine Aufbau eines Beispiels einer zum Stand der Technik
rechnenden Hebeeinrichtung dargestellt, die zum Bewegen eines relativ
schweren Testkopfs in vertikaler Richtung nach oben und unten dient.
Wie vorstehend angegeben, ist an der Oberseite des Testkopfs üblicherweise
eine Anpassungsplatine montiert, auf deren Oberseite eine vorbestimmte
Anzahl von IC-Sockeln angebracht ist, die ihrerseits wiederum mit
dem Testabschnitt verbunden sind. In 5 ist
der Testkopf jedoch lediglich in Form eines Blocks 81 gezeigt,
da die 5 hauptsächlich zur Veranschaulichung
der für
den Testkopf vorgesehenen Hebeeinrichtung (Anhebemechanismus) 10 dienen
soll. Hierbei ist anzumerken, daß trotz der Tatsache, daß in 5 lediglich eine Seite des
Testkopfs 81 gezeigt ist, eine weitere Hebeeinrichtung
mit einem identischen Aufbau an der entgegengesetzten Seite des
Testkopfs vorgesehen ist.
Die
dargestellte Hebeeinrichtung 10 umfaßt zwei Schraubenpaare bzw.
Schraubspindelantriebe, die eine lange Führungsschraube bzw. Führungsspindel 11,
die bei diesem Beispiel mit einem Außengewinde versehen ist und
die sich in horizontaler Richtung, d.h. in der nach links und rechts
weisenden Richtung gemäß der Figur,
entlang der unteren Endkante an einer Seitenfläche des Testkopfs 81 mit
einer vorbestimmten Höhenlage
unterhalb der Bodenfläche
des Testkopfs 81 erstreckt, und zwei bewegliche Schraubelemente
bzw. Mutterelemente 12A und 12B enthalten, die
jeweils mit einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand voneinander
beabstandet angeordnet sind und die intern mit Gewinde versehen sind
(bei diesem Beispiel handelt es sich um Innengewinde), die sich
mit der Schraubspindel 11 in Gewindeeingriff befinden.
Die
beweglichen Schraubelemente bzw. Schraubspindelmuttern 12A und 12B dieser
beiden Schraubenpaare können
jeweils beispielsweise eine Kugelumlaufspindel aufweisen, die eine
Stahlkugel enthält,
die in einer spiralförmigen,
zwischen einem Außengewinde
und einem dem Außengewinde
gegenüberliegenden
Innengewinde definierten Rille aufgenommen ist. Die beweglichen
Schraubelemente 12A und 12B werden entlang der
Schraubspindel 11 in einer Richtung, die in 5 mit dem Pfeil 19 bezeichnet
ist, sowie in der entgegengesetzten Richtung hin- und herbewegt
und zwar abhängig
von der Richtung der Umdrehung der Schraubspindel 11 um ihre
eigene Achse. In der Umfangswand der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B sind
in der Nähe
von deren Oberseiten Stützen
bzw. Zapfen 13A und 13B in rechtem Winkel zu dieser
Umfangswand, d.h. in einer durch die Zeichnungsebene gemäß 5 hindurchgehenden Richtung,
eingefügt,
die jeweils mit einem Ende nach außen vorstehen. Die Hebeeinrichtung 10 weist
ferner zwei Verbindungszapfen 14A und 14B auf,
die mit einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand in der Längsrichtung
der Schraubspindel 11 beabstandet angeordnet sind und in
einen im wesentlichen rechteckförmigen,
beweglichen Trägerblock 21 mit
im wesentlichen derselben Höhenlage
derart eingefügt
sind, daß sie
rechtwinklig nach außen
vorstehen. Der bewegliche Trägerblock 21 ist
an einer Seitenwand des Testkopfs 81 angeordnet. Die Hebeeinrichtung 10 umfaßt ferner
zwei feststehende Zapfen 15A und 15B, die mit
einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand in der Längsrichtung
der Schraubspindel 11 beabstandet angeordnet und in ein
nicht dargestelltes Trägerelement
mit im wesentlichen der gleichen Höhenlage, d.h. bei diesem Beispiel
an einer etwas unterhalb des beweglichen Trägerblocks 21 liegenden
Position, derart eingefügt
sind, daß sie
rechtwinklig nach außen
in Richtung zu dem Testkopf vorstehen. Das Trägerelement ist hierbei mit
einem vorbestimmten Abstand außerhalb
von der Schraubspindel 11 dieser gegenüberliegend angeordnet. Die
Hebeeinrichtung 10 enthält
ferner zwei Antriebsarme antreibende bzw. Arme 16A und 16B,
die schwenkbar mit ihren einen Enden mit den Zapfen 13A bzw. 13B verbunden
sind, die im folgenden auch als erste feststehende Zapfen bezeichnet
werden und an den beweglichen Schraubelementen 12A bzw. 12B befestigt
sind. Mit ihren anderen Enden sind die antreibenden Arme 16A und 16B schwenkbar
mit den Verbindungszapfen 14A bzw. 14B des beweglichen
Trägerblocks 21 verbunden. Die
Hebeeinrichtung 10 besitzt ferner zwei angetriebene Arme 18A und 18B,
die mit ihrem jeweils einen Ende mit den Zapfen 15A und 15B schwenkbar
verbunden sind, die im folgenden auch als zweite feststehende Zapfen
bezeichnet sind und die jeweils an dem Trägerelement befestigt sind.
Ferner verfügt
die Hebeeinrichtung 10 über
Schwenkzapfen 17A und 17B, die die entsprechenden
Antriebsarme und angetriebenen Arme im wesentlichen an deren zwischen
ihren entgegengesetzten Enden liegenden Mittelpunkten schwenkbar
verbinden.
An
den anderen Enden der angetriebenen Arme 18A und 18B sind
jeweils Gleitzapfen 22A bzw. 22B befestigt, die
von diesen angetriebenen Armen 18A und 18B in
Richtung zu dem Testkopf 81 vorstehen und die in in horizontaler
Richtung langgestreckten Schlitzen 23A bzw. 23B aufgenommen
sind, die jeweils in dem beweglichen Trägerblock 21 an entsprechenden
Positionen derart ausgebildet sind, daß die Gleitzapfen 22A und 22B sich
gleitend in den langgestreckten Schlitzen 23A und 23B bewegen, wenn
die angetriebenen Arme 18A und 18B verschwenkt
werden.
Das
Trägerelement,
das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist,
kann direkt an einer Trägerbasis 5,
die bei diesem Ausführungsbeispiel
eine Installationsoberfläche
ist, auf der die Handhabungseinrichtung installiert ist, befestigt
sein. Alternativ kann auch der Rahmen, d.h. das Gestell der Handhabungseinrichtung
als das Trägerelement zum
Einsatz kommen.
Es
sei hierbei angemerkt, daß die
zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B an separaten Trägerelementen
(bei diesem Beispiel handelt es sich um zwei Elemente) befestigt
sein können,
die jeweils an der Trägerbasis 5 festgelegt
sind. Die Schwenkzapfen 17A und 17B können entweder
an den entsprechenden zugehörigen
angetriebenen Armen oder den antreibenden Armen befestigt sein.
Die
Schraubspindel 11 ist mit Hilfe einer Mehrzahl von nicht
gezeigten und an der Trägerbasis 5 befestigten
Lagern drehbar gelagert und ist an einem Ende über eine Kupplung 25 und
ein Untersetzungsgetriebe 26 mit der drehenden Abtriebswelle eines
Motors 27 verbunden, der ebenfalls an der Trägerbasis 5 befestigt
ist. Auf der anderen Seite sind die beweglichen Schraubelemente 12A und 12B gleitverschieblich
an einer nicht gezeigten Führungsschiene
gelagert, die an der Trägerbasis 5 oder
an den Trägern
bzw. Halterungen für
die Schraubspindel 11 befestigt ist und sich in einer Richtung
längs der Schraubspindel 11 erstreckt.
Die
angetriebenen Arme 18A und 18B weisen im wesentlichen
die gleiche Form und Größe wie die
antreibenden Arme 16A und 16B auf und sind über die
entsprechenden Schwenkzapfen 17A und 17B mit den
antreibenden Armen 16A und 16B in der Form eines
X gekoppelt. Demgemäß werden
bei einer Drehung der Schraubspindel 11, beispielsweise in
der Uhrzeigerrichtung bzw. Vorwärtsrichtung,
die beiden beweglichen Schraubelemente 12A und 12B in
Richtung zu den feststehenden Zapfen 15A und 15B in
derjenigen Richtung bewegt, die in der Figur durch den Pfeil 19 angegeben
ist, so daß die
antreibenden Arme 16A und 16B hierdurch ausgehend
von der dargestellten Position in Richtung zu einer vertikalen Stellung
verlagert werden, wodurch wiederum die angetriebenen Arme 18A und 18B ausgehend von
der dargestellten Position in Richtung zu einer vertikalen Stellung
bewegt werden, während
sie sich nach oben verlagern. Demzufolge wird der bewegliche Trägerblock 21 in
der vertikalen Richtung, die in 5 durch
einen Pfeil 20 angegeben ist, nach oben bewegt, so daß demzufolge
auch der Testkopf 81, der an dem beweglichen Trägerblock 21 angebracht ist,
vertikal nach oben bewegt wird.
In
der anfänglichen,
in 5 dargestellten Position
ist die Anordnung derart getroffen, daß die Mittelachsen der ersten
feststehenden Zapfen 13A und 13B der beweglichen
Schraubelemente 12A und 12B und die Mittelachsen
der zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B des
Trägerelements,
das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, im
wesentlichen auf der gleichen Höhenlage,
d.h. in der gleichen horizontalen Ebene, liegen; daß ferner die
Mittelachse des Verbindungszapfens 14A des beweglichen
Trägerblocks 21 und
die Mittelachse des zweiten feststehenden Zapfens 15A des
Trägerelements,
das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist,
im wesentlichen in der gleichen vertikalen Ebene liegen; und daß die Mittelachse
des Verbindungszapfens 14B des beweglichen Trägerblocks 21 und
die Mittelachse des zweiten feststehenden Zapfens 15B des
Trägerelements,
das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist,
im wesentlichen in der gleichen vertikalen Ebene liegen. Die Ausgestaltung
ist jedoch nicht auf die gezeigte Anordnung beschränkt.
Da
auf der entgegengesetzten Seite des Testkopfs 81 ein im
wesentlichen rechteckförmiger beweglicher
Trägerblock
sowie eine Hebeeinrichtung mit dem identischen Aufbau angeordnet
sind, wird der Trägerkopf 81 in
einer vorbestimmten Höhenlage oberhalb
der Trägerbasis 5 mit
Hilfe der als Paar vorliegenden beweglichen Trägerblöcke und Hebeeinrichtungen (Schraubspindeln,
bewegliche Schraubelemente, antreibende Arme und angetriebene Arme), die
an den gegenüberliegenden
Seiten des Testkopfs 81 vorgesehen sind, gehalten, wie
dies in 5 gezeigt ist.
In manchen Fällen
kann die Trägerbasis 5 einen
Rahmen oder ein Gestell der Handhabungseinrichtung umfassen bzw.
einen Teil desselben bilden.
Im
folgenden wird die Arbeitsweise der gemäß den vorstehenden Ausführungen
aufgebauten Hebeeinrichtung 10 näher erläutert.
Zunächst wird
der Testkopf 81 zu einer vorbestimmten Position unterhalb
des Testabschnitts der Handhabungseinrichtung transportiert, und
es werden die beweglichen Trägerblöcke 21 an
dem Testkopf 81 an dessen sich gegenüberliegenden Seitenwänden angebracht.
Zu diesem Zeitpunkt befindet sich die Hebeeinrichtung 10 in
ihrer anfänglichen Position
bzw. Ausgangsposition, die in 5 dargestellt
ist. Der Motor wird dann so betätigt,
daß die Schraubspindel 11 bei
dem gezeigten Beispiel in dem Uhrzeigersinn gedreht wird, wodurch
die beweglichen Schraubelemente 12A und 12B, die
sich bislang in der in 5 dargestellten
Position befinden, in derjenigen Richtung bewegt werden, die in 5 durch den Pfeil 19 angegeben
ist. Aufgrund dieses Sachverhalts werden die einen Enden der antreibenden
Arme 16A und 16B, die durch die ersten feststehenden
Zapfen 13A und 13B der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B schwenkbar
gelagert sind, allmählich
in Richtung zu den zweiten feststehenden Zapfen 15A bzw. 15B bewegt.
Da die angetriebenen Arme 18A und 18B an ihren
einen Enden durch die zweiten feststehenden Zapfen 15A bzw. 15B schwenkbar
gelagert sind, werden die antreibenden Arme 16A und 16B als
Resultat dieser Bewegung in der Gegenuhrzeigerrichtung um die Schwenkzapfen 17A und 17B herum
in Richtung zu einer vertikalen Stellung bewegt, wodurch die Verbindungszapfen 14A und 14B,
die an dem beweglichen Trägerblock 21 befestigt
sind, nach oben angehoben werden. Gleichzeitig hiermit führt die
Schwenkbewegung der antreibenden Arme 16A und 16B in
Richtung zu der vertikalen Stellung zu einer Bewegung der Schwenkzapfen 17A und 17B schräg nach rechts und
oben. Hierdurch wiederum werden die angetriebenen Arme 18A und 18B dazu
gebracht, daß sie
um die zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B (im Uhrzeigersinn)
in Richtung zu einer vertikalen Stellung verschwenkt werden. Als
Ergebnis dessen wird eine Antriebskraft hervorgerufen, durch die
die Verbindungszapfen 14A und 14B des beweglichen
Trägerblocks 21 in
der vertikalen Richtung nach oben bewegt werden, wie dies in 5 durch den Pfeil 20 bezeichnet
ist. Demzufolge wird auch der bewegliche Trägerblock 21 in der
vertikalen, durch den Pfeil 20 veranschaulichten Richtung
nach oben bewegt, was zur Folge hat, daß sich der Testkopf 81,
der an dem beweglichen Trägerblock 21 angebracht
ist, gleichzeitig hiermit vertikal nach oben bewegt.
Es
ist somit ersichtlich, daß durch
eine Drehung der Schraubspindel 11 mit Hilfe des Motors 27 der
Testkopf 81 allmählich
in vertikaler Richtung bis zu einer vorbestimmten Höhenlage
angehoben wird, bei der er präzise
bezüglich
des Testabschnitts der Handhabungseinrichtung positioniert ist.
Nachdem der Testkopf diese Höhenlage
erreicht hat, wird der Motor 27 deaktiviert, um hierdurch
den Testkopf 81 in dieser Höhenlage zu halten. In diesem
Zustand wird der Testkopf 21 an seiner Position an dem
Testabschnitt der Handhabungseinrichtung mit Hilfe einer Befestigungseinrichtung
wie etwa einer "Hi-fix"-Basis derart montiert
wird, daß die
IC-Sockel, die an dem Testkopf 81 angebracht sind, in dem
Inneren des Testabschnitts freiliegen, d.h. dem Innenbereich des Testabschnitts
frei zugänglich
zugewandt sind.
Wenn
der Testkopf 81 abgesenkt werden soll, wird die Befestigungseinrichtung
von dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung abgetrennt, bevor
die Schraubspindel 11 mit Hilfe des Motors 27 in
der Gegenuhrzeigerrichtung (bei dieser Ausführungsform) gedreht wird. Es
ist ersichtlich, daß durch diese
Motordrehung eine Bewegung der beiden beweglichen Schraubelemente 12A und 12B in
einer Richtung hervorgerufen wird, die entgegengesetzt ist zu der
durch den Pfeil 19 angegebenen Richtung, so daß der Testkopf 81 in
die anfängliche,
in 5 dargestellte Position
abgesenkt wird. Diesbezüglich
ist keine nähere
Erläuterung
erforderlich.
In 6 ist eine Vorderansicht
dargestellt, die den allgemeinen Aufbau einer Ausführungsform einer
zum Stand der Technik rechnenden Hebeeinrichtung zeigt, die zum
Bewegen eines, relativ gesehen, leichtgewichtigeren Testkopfs in
vertikaler Richtung nach oben und unten ausgelegt ist. Diese Hebeeinrichtung
ist derart ausgestaltet, daß sie
von Hand nach oben und unten bewegt werden kann. Da die zeichnerische
Darstellung gemäß 6 hauptsächlich darauf abzielt, die
Hebeeinrichtung 10 für
den Testkopf zu veranschaulichen, ist der Testkopf lediglich als
ein Block 81 gezeigt. Hierbei ist weiterhin anzumerken,
daß aufgrund
der Tatsache, daß in 6 der Testkopf 81 von
der Vorderseite her gesehen ist, die linke und die rechte Seite
des Testkopfs (gemäß der Darstellung
in 6) die gegenüberliegenden
lateralen Seitenwände
darstellen (auch wenn die Ansicht gemäß 6 tatsächlich die Rückseitenansicht darstellen
würde,
wenn der Testkopf von der Vorderseite des IC-Testers her betrachtet
würde,
wird vorliegend die in 6 gezeigte
Ansicht als Vorderansicht bezeichnet, da der Testkopf den Gegenstand
der vorliegenden Erfindung bildet bzw. für vorliegende Erfindung wichtig
ist).
Die
dargestellte Hebeeinrichtung (Hebebühne) 30 enthält ein einen
kleinen Durchmesser besitzendes Kettenrad 32, das an einer
Trägerbasis 5 in einer
vorbestimmten Höhenlage
unterhalb der bodenseitigen Fläche
des Testkopfs 81 im wesentlichen in dessen Mitte drehbar
gelagert ist, und zwei großen Durchmesser
aufweisende Kettenräder 33A und 33B,
die voneinander um einen vorbestimmten Abstand beabstandet sowie
derart angeordnet sind, daß sie
jeweils entgegengesetzten Seiten des kleinen Durchmesser aufweisenden
Kettenrads 32 gegenüberliegen.
Diese beiden großen
Durchmesser aufweisenden Kettenräder 33A und 33B sind
an der Trägerbasis 5 etwas
außerhalb
der Seitenwände
des Testkopfs 81 drehbar gelagert.
Das
kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 umfaßt einen
Handgriff 31, der koaxial zum Kettenrad 32 an
diesem befestigt ist. Das kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 und
die beiden großen
Durchmesser aufweisenden Kettenräder 33A und 33B sind
mit Hilfe einer um sie herumgeführten
Kette 34 drehend miteinander verbunden. Hierbei sind die
Größe und die
Anzahl von Getriebezähnen
dieser Kettenräder 32, 33A und 33B vorab derart
ausgewählt,
daß die
beiden großen
Durchmesser aufweisenden Kettenräder 33A und 33B dann,
wenn das kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 manuell
mit Hilfe eines Griffs 31H, der an dem Handgriff 31 befestigt
ist, gedreht wird, mit der gleichen Geschwindigkeit über die
Kette 34 gedreht werden, wobei jedoch diese Geschwindigkeit der
Kettenräder 33A und 33B erheblich
niedriger ist als die Drehgeschwindigkeit (Drehzahl) des kleinen Durchmesser
aufweisenden Kettenrads 32.
Die
großen
Durchmesser besitzenden Kettenräder 33A und 33B weisen
erste Kegelräder 35A und 35B auf,
die jeweils koaxial zu den Kettenrädern 33A und 33B an
diesen befestigt sind und sich gemeinsam mit den Kettenrädern 33A und 33B drehen. In
annähernd
rechtem Winkel zu diesen ersten Kegelrädern 35A und 35B sind
zweite Kegelräder 36A bzw. 36B angeordnet,
die mit den ersten Kegelrädern 35A und 35B kämmen und
an den unteren Enden von vertikal verlaufenden Schraubspindeln 37A bzw. 37B befestigt
sind. Die Schraubspindeln 37A und 37B sind bei
dieser Ausführungsform
mit Außengewinde
versehen. Die Schraubspindeln 37A und 37B sind
entweder an der Trägerbasis 5 oder
an einem Rahmen der Hebeeinrichtung drehbar gelagert und stehen
in Gewindeeingriff mit Gewindeelementen 38A bzw. 38B,
die an den Seitenwänden
des Testkopfs 81 im wesentlichen in der Mitte bezogen auf
die horizontale Abmessung bzw. Breite angebracht sind. Diese Gewindeelemente 38A und 38B können jeweils
beispielsweise eine Kugelumlaufspindel enthalten, die interne Innengewinde
besitzt, die ihrerseits mit den Schraubspindeln 37A und 37B kämmen. Demgemäß führt eine
Drehung der ersten Kegelräder 35A und 35B zu
einer Drehung der mit diesen in kämmendem Eingriff stehenden
Seitenkegelrädern 36A und 36B,
wodurch gleichzeitig hiermit die Schraubspindeln 37A und 37B gedreht
werden, so daß die
Gewindeelemente 38A und 38B in Vertikalrichtung
bewegt werden.
Nachfolgend
wird die Arbeitsweise der in der vorstehend erläuterten Weise aufgebauten Hebeeinrichtung 30 näher beschrieben.
Zunächst wird
der Testkopf 81 zu einer vorbestimmten Position unterhalb
des Testabschnitts der Handhabungseinrichtung transportiert, und
es werden anschließend
die Gewindeelemente 38A und 38B an dem Testkopf 81 an
dessen beiden sich gegenüberliegenden
Seitenwänden
angebracht. Zu diesem Zeitpunkt befindet sich die Hebeeinrichtung 30 in
der anfänglichen,
in 6 dargestellten Position.
Anschließend
dreht der Benutzer den Handgriff 31 mit Hilfe des Griffs 31H in
der Uhrzeigerrichtung (bei dieser Ausführungsform), um hierdurch das
kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 in der Uhrzeigerrichtung
zu drehen. Die beiden großen Durchmesser
aufweisenden Kettenräder 33A und 33B werden
demzufolge über
die Kette 34 ebenfalls in der Uhrzeigerrichtung mit der
gleichen Geschwindigkeit oder Drehzahl gedreht, wobei diese Geschwindigkeit
oder Drehzahl jedoch erheblich niedriger ist als die Drehgeschwindigkeit
(Drehzahl) des kleinen Durchmesser aufweisenden Kettenrads 32. Damit
werden die ersten Kegelräder 35A und 35B, die
an den Kettenrädern 33A bzw. 33B befestigt
sind, gleichfalls im Uhrzeigersinn gedreht, wodurch die zweiten
Kegelräder 36A und 36B,
die mit den ersten Kegelrädern 35A und 35B in
kämmendem
Eingriff stehen, im Gegenuhrzeigersinn gedreht werden.
Bei
dieser Ausführungsform
ist die Ausgestaltung derart getroffen, daß eine Drehung der Schraubspindeln 37A und 37B im
Gegenuhrzeigersinn zu einer vertikal nach oben gerichteten Bewegung
der Gewindeelemente 38A und 38B führt. Demgegenüber ruft
eine im Uhrzeigersinn erfolgende Drehung der Schraubspindeln 37A und 37B eine
vertikal nach unten gerichtete Bewegung der Gewindeelemente 38A und 38B hervor.
Der Testkopf 81 wird somit als Folge dieser nach oben gerichteten
Bewegung der Gewindeelemente 38A und 38B nach
oben bewegt, wie es in 6 mit
dem Pfeil 39 veranschaulicht ist. Es ist damit ersichtlich,
daß der
Testkopf 81 in vertikaler Richtung bis zu einer vorbestimmten
Höhenlage
angehoben werden kann, bei der er exakt im Hinblick auf den Testabschnitt
der Handhabungseinrichtung positioniert ist. Wenn der Testkopf diese
Höhenlage
erreicht hat, wird die Drehung des Handgriffs 31 beendet,
so daß der
Testkopf 81 in dieser Höhenlage
gehalten wird. In diesem Zustand wird der Testkopf 81 an
der vorgesehenen Stelle an dem Testkopf der Handhabungseinrichtung
mit Hilfe einer Befestigungseinrichtung wie etwa einer "Hi-fix"-Basis derart montiert,
daß die
an dem Testkopf 81 angebrachten IC-Sockel gegenüber dem
Innenbereich des Testabschnitts frei liegen und sich in diesem Innenbereich befinden.
Wenn
der Testkopf 81 abgesenkt werden soll, wird die Befestigung
von dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung abgetrennt, bevor
der Handgriff 31 dieses Mal in der Gegenuhrzeigerrichtung
gedreht wird, um hierdurch die Schraubspindeln 37A und 37B in
der Uhrzeigerrichtung zu drehen. Es ist offensichtlich, daß dies zu
einer vertikal nach unten gerichteten Bewegung der beiden Gewindeelemente 38A und 38B führt, wodurch
der Testkopf 81 in die anfängliche, in 6 gezeigte Position abgesenkt wird. Weitere
Erläuterungen
zu diesem Bewegungsablauf sind nicht erforderlich.
Die
Hebeeinrichtung 10, die vorstehend unter Bezugnahme auf 5 beschrieben worden ist, ist
im Hinblick auf die Antriebskraft und die Geschwindigkeit der vertikalen
Bewegung des Testkopfs mit keinerlei Problemen verbunden, da diese Hebeeinrichtung
derart ausgestaltet ist, daß der
Testkopf in vertikaler Richtung aufgrund des Einsatzes des Motors 27 bewegt
wird. Jedoch ist eine Schaltung zum Steuern des Motors erforderlich.
Darüber hinaus
ist es vom Gesichtspunkt der Betriebssicherheit her gesehen erforderlich,
die gegenseitige positionsmäßige Beziehung
zwischen der Hebeeinrichtung 10 und dem Testabschnitt der
Handhabungseinrichtung, mit dem der Testkopf 81 gekoppelt
werden soll, exakt zu erfassen, so daß demzufolge eine Kommunikationseinrichtung
für diesen
Zweck benötigt wird.
Ferner ist es notwendig, Ausgestaltungen zu treffen, durch die verhindert
wird, daß der
Testkopf 81 herabfällt
bzw. absinkt, wenn ein zufälliger
Ausfall der Spannungsquelle auftreten sollte.
Im
Unterschied hierzu ist bei der Hebeeinrichtung 30, die
vorstehend unter Bezugnahme auf 6 erläutert worden
ist, keine Steuerschaltung erforderlich, da sie derart ausgestaltet
ist, daß der
Testkopf 81 in vertikaler Richtung von Hand bewegt werden
kann, wobei in diesem Fall das kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 und
die großen Durchmesser
aufweisenden Kettenräder 33A und 33B über die
Kette 34 miteinander verbunden sind, um hierdurch die über den
Handgriff ausgeübte
Drehantriebskraft aufgrund der Drehzahluntersetzung zu vergrößern. Jedoch
führt eine
Zunahme des Gewichts des Testkopfs 81 zu einer entsprechenden
Zunahme der Kraft, die zur Betätigung
des Handgriffs benötigt
wird. Ferner bestehen vielfältige
Schwierigkeiten im Hinblick auf die Bedienbarkeit einschließlich der
Begrenzung der Drehgeschwindigkeit oder Drehzahl des Handgriffs 31,
was durch die manuelle Betätigung
und die geringere Geschwindigkeit der vertikalen Bewegungen des
Testkopfs 81 bedingt ist, die ihrerseits wiederum auf die
Drehzahluntersetzung zurückzuführen ist,
die ihrerseits wiederum zur Erzielung einer Erhöhung der Drehantriebskraft
benötigt
wird.
Eine
Positioniervorrichtung gemäß dem Oberbergriff
des Patentanspruchs 1 ist aus der
DE 40 07 011 A1 bekannt. Bei diesem Stand
der Technik ist der Testkopf an einem Auslegerarm befestigt, welcher
seinerseits von einem Führungsschlitten
gehalten wird, der längs
einer Führungssäule vertikal
beweglich ist. Der Führungsschlitten
ist über
eine Achse mit einem Doppelzahnrad der losen Rolle einer Flaschenzuganordnung
verbunden. Eine Doppelkette der Flaschenzuganordnung ist mit einem
Ende an einem Gehäuse
der Positioniervorrichtung befestigt, führt unter der losen Rolle hindurch über eine
feste Rolle und trägt
am anderen Ende ein Gegengewicht. An der Welle der festen Rolle
befindet sich das Rad eines Zahnradgetriebes zur Feineinstellung
der Höhe des
Auslegerarms. Mit einer Handkurbel wird das Zahnradgetriebe betätigt. Das
Gegengewicht muß hier
so bemessen sein, daß es
nicht nur das Gewicht des Testkopfs selbst sondern auch das des
Auslegerarms und des Führungsschlittens
kompensiert.
Aus
der
DE 35 26 137 C2 ist
ein Testkopf-Manipulator mit einer vertikalen Rundsäulenführung und
einer Höheneinstellung
mit Gewindespindel bekannt, bei dem die Gewindespindel senkrecht
angeordnet ist und die Gewichtskraft des Testkopfes sowie seiner
Halterung von einer vorspannbaren Feder aufgenommen wird.
Aus
der
DE 36 15 941 A1 ist
eine Vorrichtung bekannt, die dazu dient, einen von einem Tragrahmen
getragenen Testcomputer zwecks dessen Festlegung an einem Gerät zum Prüfen von
elektronischen Bauelementen so zu handhaben und zu positionieren,
daß die
vorhandenen mechanischen und elektrischen Verbindungselemente ineinander
greifen. Die Vorrichtung besteht aus einem Ständer mit einem Führungsrohr,
in dem eine Säule
höhenverstellbar
gelagert ist. Die jeweilige Verstellposition der Säule ist
durch einen am Führungsrohr
angeordneten Klemmhebel feststellbar. In dem Führungsrohr ist eine Luftfeder
mit Druckausgleich angeordnet, die eine Höheneinstellung mit geringem
Kraftaufwand ermöglicht.
Aus
der
DE 36 17 741 A1 ist
eine Handhabungsvorrichtung für
einen Testkopf mit einem Standgehäuse bekannt, in dem zwei Führungssäulen beweglich
gelagert sind, und die eine per Handrad betätigbare Gewindespindel zur
Höheneinstellung aufweist,
wobei für
den Gewichtsausgleich des Testkopfes und einer Aufnahmeeinrichtung
für diesen Gewichtsstücke in dem
Standgehäuse
höhenverschieblich über eine
Flaschenzuganordnung mit einer Führungsplatte
verbunden sind und die Aufnahmeeinrichtung mit der Gewindespindel
zur Festeinstellung in der Höhe
gegenüber
der Führungsplatte verstellbar
ist.