-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Vergleichsverfahren für eine Lagerungsvorrichtungslagerung
in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung.
-
Genauer
gesagt bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Vergleichsverfahren
für eine
Lagerungsvorrichtungslagerung in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung
zum Verbessern der Halbleiterwaferkassettentransportfähigkeit.
-
Unter
Bezugnahme auf die 15 und 16,
eine herkömmliche
Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 weist
Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, die Halbleiterwafer
in Einheiten einer Kassette 232, d.h. in einer Einheitsanzahl,
die in einer entsprechenden Kassette 232 aufgenommen ist,
zum Anwenden eines Herstellungsprozesses auf eine integrierte Halbleiterschaltung,
eine Lagerungsvorrichtung 234 zum Speichern beziehungsweise
Lagern einer Mehrzahl von Kassetten 232, einen automatischen
Transportierer 38 zum Ausführen einer Transportaufgabe,
d.h. eines Transportablaufs, für eine
Kassette 232 zwischen einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und
einer Lagerungsvorrichtung 234 und eine Transportvorrichtung 42 für einen
Transport zwischen verschiedenen Lagerungsvorrichtungen (im folgenden
Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42) zum
Befördern
einer Kassette 232 zwischen einer Mehrzahl von Lagerungsvorrichtungen 234,
die entlang der Herstellungsprozeßlinie angeordnet sind, auf.
-
Die
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet die Lagerungsvorrichtung 234 als
einen Lagerplatz für
eine Halbleiterwaferkassette 232 vor und nach dem Herstellungsprozeß. Zwei
automatische Transportierer 38 sind mit der Transportaufgabe (dem
Transport) für
eine Kassette 232 beziehungsweise die Kassetten 232 zwischen
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und der Lagerungsvorrichtung 234 beschäftigt. Zum
Zwecke der Bequemlichkeit und Vereinfachung ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in
der Zeichnung in einer abgeschnittenen Weise dargestellt. Tatsächlich ist
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in
einer umlaufenden Weise angeordnet, wobei eine Mehrzahl der Lagerungsvorrichtungen 234 benachbart
zu dieser angeordnet sind. Entsprechende Gruppen von Prozeßvorrichtungen 32, 34 und
automatischen Transportierern 38 entsprechen jeder der
anderen Lagerungsvorrichtungen 234.
-
Unter
Bezugnahme auf insbesondere 16,
die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 weist
weiter einen Hostcomputer (Hauptrechner) 50 zum Steuern
der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, der Lagerungsvorrichtungen 234,
der automatischen Transportierer 38, und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42,
und ein Kommunikationskabel 58 zum Liefern der Verbindung
zwischen den verschiedenen Vorrichtungen und dem Hostcomputer 50 auf.
-
Der
Hostcomputer 50 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 52 zum
Ausführen
eines Berechnungsprozesses, ein Terminal 54 zum Eingeben
von Fabrikationsstandarddaten eines Produktes und eine Mehrzahl
von Bedienerterminals 56, die an der Linie vorgesehen sind,
auf.
-
Eine
Lagerungsvorrichtungsteuerung 64, die ein Element der Lagerungsvorrichtung 234 ist,
steuert (treibt) die anderen Strukturelemente der Lagerungsvorrichtung 234 zum
Ausführen
einer vorbestimmten Aufgabe (Ablauf) entsprechend einer Aufgabenanweisung
von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 an.
Eine Steuerung 60 für
den automatischen Transportierer, die ein Element des automatischen
Transportierers 38 ist, steuert (treibt) die anderen Strukturelemente
des automatischen Transportierers 38 zum Ausführen einer
vorbestimmten Aufgabe (Ablauf) entsprechend einer Aufgabenanweisung
von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 an.
Die Kommunikation zwischen der Steuerung 60 für den automatischen Transportierer
und dem automatischen Transportierer 38 wird mittels Funk über eine
Steuerstationskommunikationseinheit 62 ausgeführt. Eine
Steuerung 66 für
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung, die ein Element
der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 ist,
steuert (treibt) ein Strukturelement der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und
außerdem
ein Strukturelement der Lagerungsvorrichtung 234 über das
Kommunikationskabel 58 zum Ausführen einer vorbestimmten Aufgabe
(Ablauf) entsprechend einer Aufgabenanweisung, die von dem Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt wurde, an.
-
Ein
Halbleiterwafer 70 und eine Halbleiterwaferkassette 232,
die durch die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 übertragen
beziehungsweise transportiert wird, und eine herkömmliche
ID-Karte 240, die an der Halbleiterwaferkassette 232 angebracht ist,
werden im folgenden unter Bezugnahme auf die 17A bis 17C beschrieben. Eine Mehrzahl der integrierten
Halbleiterschaltungen (nicht gezeigt) werden auf einem Halbleiterwafer
(im folgenden als "Wafer" bezeichnet) 70 produziert
beziehungsweise ausgebildet. Die Halbleiterwaferkassette (im folgenden
als "Kassette" bezeichnet) 232 ist
die Minimaleinheit des Lagerns und Transportierens einer Mehrzahl
von Wafern 70. Eine ID-Karte 240 ist an der Kassette 232 angebracht.
Die ID-Karte 240 enthält
Information, die mit der Kassette 232 und den darin gelagerten
Wafern 70 verbunden ist. Einiges der Information derselben
kann auf einer Anzeigeeinheit 74 geliefert beziehungsweise
angezeigt werde. In der ID-Karte 240 kann die Information teilweise über eine
Kommunikationseinheit 76 durch ein externes Steuersystem,
das später
beschrieben wird, überschrieben
werden. Außerdem
kann die gespeicherte Information in einer kontaktlosen Weise übertragen
werden. Die Kommunikationseinheit 76 ist an der Vorderseite
der ID-Karte 240 angebracht. Die 17A und 17B zeigen eine transversale Orientierung beziehungsweise
eine vertikale Orientierung der Kassette 232, an der die
ID-Karte 240 angebracht ist. Genauer gesagt sind in der
transversalen Orientierung die Wafer 70 derart gelagert,
daß die Scheibenfläche in einer
senkrechten Ebene liegt. In der senkrechten Orientierung sind die
Wafer 70 derart gelagert, daß die Scheibenfläche in einer
horizontalen Ebene liegt. Die 17C zeigt
die ID-Karte 240 im Detail.
-
Die
Details der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34,
der Lagerungsvorrichtung 234, das automatischen Transportierers 38 und
der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 werden
im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
-
Unter
Bezugnahme auf 10, die Bearbeitungsvorrichtung 32 weist
einen Hauptkörper
(Hauptteil) 170 zum Anwenden eines Herstellungsprozesses
für integrierte
Halbleiterschaltungen auf jeden Wafer aus einer Mehrzahl von Wafern 70,
zwei Kassettenständer 172,
die eine Kassette 232, die in der Einheit einer Kassette
zu bearbeiten ist, empfangen, und eine an den automatischen Transportierer
gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den
Zustand des Kassettenstands 172 in Richtung des automatischen
Transportierers 38, um zu bestätigen, ob irgendeine nicht
korrekte Kassette 232 auf dem Kassettenstand 172 plaziert ist,
bevor der automatische Transportierer 38 eine Kassette 232,
die noch nicht bearbeitet ist, auf dem Kassettenstand 172 plaziert,
oder ob die Kassette 232, die einer Bearbeitung unterworfen
wurde, korrekt auf dem Kassenstand 172 plaziert ist, bevor
diese Kassette 232 weggenommen wird, auf.
-
Unter
Bezugnahme auf 11, die Bearbeitungsvorrichtung 34 weist
einen Hauptkörper
(Hauptteil) 180 zum Anwenden eines Herstellungsprozesses
für eine
integrierte Halbleiterschaltung auf jeden Wafer aus einer Mehrzahl
von Wafern 70, zwei Kassettenständer 182, die Kassetten 232,
die in der Einheit von zwei Kassetten zu bearbeiten sind, empfangen,
und eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum
Liefern von Information über
den Zustand des Kassettenstands 182 in Richtung des automatischen
Transportierers 38, um zu bestätigen, ob irgendeine nicht
korrekte Kassette 232 auf dem Kassettenstand 182 plaziert
ist, bevor der automatische Transportierer eine Kassette 232,
die zu bearbeiten ist, auf dem Kassettenstand 182 plaziert,
oder ob die Kassette 232, die einer Bearbeitung unterworfen
worden ist, korrekt auf dem Kassettenstand 182 plaziert
ist, bevor diese Kassette 232 weggenommen wird, auf.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 234 wird unter Bezugnahme auf die 18 bis 20 beschrieben. Die
bezüglich
des automatischen Transportierers 38 betriebsseitige Seite
der Lagerungsvorrichtung 234 und die diesbezüglich gegenüberliegende
Seite sind entsprechend in den 18 und 19 gezeigt.
Die 20 zeigt im Detail eine Einlaßpforte
(Einlaßabschnitt) 260 zur
manuellen Eingabe, gesehen von dem Pfeil A in 19. Diese Figuren sind mit einer Lagerungsvorrichtungswand 94,
die die Außenwand ist,
gezeichnet, die teilweise weggeschnitten beziehungsweise weggelassen
ist, so daß das
Innere gezeigt werden kann. Die Lagerungsvorrichtung 234 weist
eine Lagerungsvorrichtungsplatte (Lagerungsvorrichtungsregalplatte) 96,
auf der eine Mehrzahl von Kassetten 232 in Transversalorientierung
montiert beziehungsweise plaziert werden kann, auf. Ein Lagerplatz
für eine
große
Anzahl von Kassetten 232 wird erhalten durch Stapeln einer
Mehrzahl von Kassetten 232 auf entsprechenden Lagerungsvorrichtungsplatten 96 in
der senkrechten Richtung. Die Lagerungsvorrichtung 234 weist
eine Pforte (Abschnitt) 98, die ein Abschnitt der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und
für den
Eintritt oder Austritt einer Kassette 232, die durch die
Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 befördert wird,
vorgesehen ist, eine Einlaßpforte
(Einlaßabschnitt) 260,
die ein Abschnitt der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und
für einen
Bediener (nicht gezeigt) zum Einbringen einer Kassette 232 vorgesehen
ist, eine Auslaßpforte (Auslaßabschnitt) 262,
die ein Abschnitt der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und
für einen
Bediener zum Wegnehmen einer Kassette 232 vorgesehen ist, eine
Auslaßpforte
(Auslaßabschnitt) 252 für den automatischen
Transportierer 38, damit dieser eine Kassette 232 empfangen
kann, eine Auslaßlieferungspforte
(Auslaßlieferungsabschnitt) 100,
die ein Abschnitt der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist,
für einen
Transfer beziehungsweise eine Übertragung einer
Kassette 232 zu der Auslaßpforte 252, eine
Einlaßpforte
(Einlaßabschnitt) 254,
durch welche eine Kassette 232 von dem automatischen Transportierer 38 eingegeben
wird, eine Einlaßlieferpforte
(Einlaßlieferabschnitt) 104,
die ein Abschnitt einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist
und auf der eine Kassette 232 von der Einlaßpforte 254 plaziert
wird, einen Lagerungsvorrichtungskran (Lagerungsvorrichtungshubvorrichtung) 80,
der zwischen den Lagerungsvorrichtungsplatten 96 angeordnet
ist für
die Transportaufgabe des Transportierens einer Kassette 232 zwischen
einem Kassettenlagerungsplatz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und
entsprechenden Pforten der Lagerungsvorrichtungsplatte 96,
eine Übertragungsvorrichtung 82 zum
Empfangen einer Kassette 232 von dem Wagen der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und
zum Plazieren derselben auf der Pforte 98 oder zum Liefern
einer Kassette 232 von der Pforte 98 auf einen
leeren Wagen der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42,
und eine Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 zum Übertragen
beziehungsweise Transferieren einer Kassette 232 von der
Pforte 100 zu der Pforte 252 oder von der Pforte 254 zu
der Pforte 104, auf.
-
Der
Lagerungsvorrichtungskran 80, die Übertragungsvorrichtung 82 und
die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 führen eine
Transportaufgabe in der Einheit von einer Kassette, zwei Kassetten
beziehungsweise einer Kassette aus. Die Anzahl der Kassetten, die
auf der Pforte 98, der Einlaßpforte 260, der Auslaßpforte 262,
der Auslaßlieferpforte 100,
der Einlaßlieferpforte 104,
der Auslaßpforte 252 und
der Einlaßpforte 259 montiert
werden können,
ist zwei Kassetten, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette,
eine Kassette, eine Kassette, beziehungsweise eine Kassette. Zwei
Vorwärtsbewegungsvorrichtungen 250 sind
vorgesehen. Dementsprechend sind zwei Auslaßpforten 252, zwei
Einlaßpforten 254, zwei
Auslaßlieferpforten 100 und
zwei Einlaßlieferpforten 104 vorgesehen.
Außerdem
sind zwei Einlaßpforten 260 und
zwei Einlaßpforten 262 für eine manuelle
Eingabe/Ausgabe vorgesehen.
-
Wie
in 20 gezeigt ist, ein ID-Karten-Leser/Schreiber 270 ist
an jeder Einlaßpforte 260 angebracht.
Da die ID-Karten-Kommunikationseinheit 76 an
der Vorderseite der ID-Karte 240 positioniert ist, muß der ID-Karten-Leser/Schreiber 270 entsprechend
zu der Vorderseite der ID-Karte 240 vorgesehen sein. Falls
der ID-Karten-Leser/Schreiber 270 so angeordnet ist, daß die Vorderseite
der ID-Karte 240 zu der Betriebsseite des Bedieners gerichtet
ist, kann die Kassette 232 aufgrund des Hindernisses des ID-Karten-Lesers/Schreibers 270 nicht
leicht herausgenommen werden. Darum ist die Kassette 232 auf der
Einlaßpforte 260 für eine manuelle
Eingabe so orientiert, daß die
Vorderseite der ID-Karte 240,
die an der Kassette 232 angebracht ist, um 90° nach rechts
bezüglich
der Betriebsseite des Bedieners gerichtet ist.
-
Der
Lagerungsvorrichtungskran 80 kann die Orientierung der
Kassette 232 beim Plazieren der Kassette 232 auf
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 nicht frei ändern. Die
Kassette 232, die über
die Einlaßpforte 260 eingegeben
wird, wird auf der Seite der Einlaßpforte 260 der Lagerungsvorrichtungsplatte bzw.
des Lagerungsvorrichtungsregals 96 aufgenommen. Die Orientierung
der Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist
identisch zu derjenigen auf der Einlaßpforte 260. Beim
Ausgeben der Kassette 232, die auf der Seite der Einlaßpforte 260 der
Lagerungsvorrichtungsplatte 96 plaziert ist, über die
Auslaßpforte 252 greift
der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 232 auf
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mit seinem eigenen Arm
und dreht seinen Arm um 180° zum
Plazieren der Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100.
Die Orientierung der Kassette 232 wird durch diesen Transport
um 180° gedreht.
Die Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100 ist
so plaziert, daß die
ID-Karte 240, die an der Kassette 232 angebracht
ist, bezüglich
der Aufgabenebene des automatischen Transportierers 38 um
90° gedreht
ist. Die Kassette 232, die über die Auslaßpforte 252 ausgegeben
wird, muß so
orientiert sein, daß die
angebrachte ID-Karte 240 der Aufgabenebene für den automatischen
Transportierer 38 gegenüberliegt,
um den Transferbetrieb durch den automatischen Transportierer 38 zu
erleichtern. Darum muß die
Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 die
Orientierung der Kassette 232 um –90° während des Transfers der Kassette 232 ändern.
-
Ähnlich wird
die Orientierung der Kassette 232, die auf der Einlaßpforte 254 plaziert
ist, um 90 Grad durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 geändert. Dann
wird die Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte
(in dem Lagerungsvorrichtungsregal) 96, die auf der Seite
der Einlaßpforte 254 vorgesehen
ist, durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 mit derselben
Orientierung aufgenommen. Der Lagerungsvorrichtungkran 80 greift
die Kassette 232 mit seinem eigenen Arm zum Plazieren der
Kassette 232 auf der Auslaßpforte 262. Durch
diesen Transport wird die Orientierung der Kassette 232 um 180° gedreht.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 234 weist außerdem eine Bedienungstafel 121,
die durch den Bediener während
des Eintritts/Austritts der Kassette 232 durch die Einlaßpforte 260/Ruslaßpforte 262 benutzt wird,
auf.
-
Unter
Bezugnahme auf 8, der automatische Transportierer 38 weist
einen Wagen 140, der entsprechend der Führung eines Führungsbandes 126,
das auf dem Boden befestigt ist, läuft, eine Transportiererkommunikationseinheit 142 zum Übertragen
von Information an die und von der Steuerstationskommunikationseinheit 62 der
Steuerung 60 für den
automatischen Transportierer, einen Arm 144, eine Hand 146,
und eine Handklaue 148 zum Ausführen einer Transportaufgabe
für die
Kassette 232, vier Transferhalterungen 150 zum
Halten der Kassette 40, 232, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder
von der Lagerungsvorrichtung 234 übernommen worden ist, während des
Transports in der vertikalen Orientierung, eine Bedienungstafel 152 zum Übertragen
von Information an den und von dem Bediener, und einen Stoßfänger 154 zum
Detektieren eines Hindernisses beziehungsweise einer Störung zum
Unterbrechen der momentanen Aufgabe auf.
-
Unter
Bezugnahme auf 9, die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 weist
eine Verfahrschiene 160, die eine Schleife bildet, einen
Wagen 162, der sich in einer konstanten Richtung auf der
Verfahrschiene 160 bewegt, zum Transportieren beziehungsweise
Befördern
von nicht mehr als zwei Kassetten 40, 232, und
eine Hängevorrichtung 164 zum
Aufhängen
der Verfahrschiene 160 an dem entsprechenden Dach beziehungsweise
zum Herabhängen
lassen der Verfahrschiene 160 von einer entsprechenden
Halterung.
-
Ein
herkömmliches
Verfahren zum Steuern der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 wird
im folgenden beschrieben. Zuerst wird (1) das Steuerverfahren für eine von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitete
Kassette 232, die durch den automatischen Transportierer 38 in
die Lagerungsvorrichtung 234 befördert wird, und die dann durch
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 zu
der nächsten
Lagerungsvorrichtung 234 befördert wird, beschrieben. Dann
wird (2) das Steuerverfahren für
eine Kassette 232, die zu bearbeiten ist, die von einer
Lagerungsvorrichtung 234 der vorhergehenden Stufe in eine
Lagerungsvorrichtung 234 transportiert und dann aus dieser
entsprechend einer Anforderung von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entnommen
wird, um zu dieser durch den automatischen Transportierer 38 transportiert
zu werden, beschrieben. Letztlich wird (3) das Steuerverfahren für einen
Eintritt durch die Einlaßpforte 260 für eine manuelle
Eingabe und für
einen Austritt durch die Auslaßpforte 262 für eine manuelle
Ausgabe beschrieben.
-
Steuerverfahren (1)
-
Die
auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforte 254 und
die auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogene
Pforte 98 sind beide leer, wenn der Strom für die Lagerungsvorrichtung 234 angeschaltet
ist und die Initialisierung vervollständigt ist. Ein Bericht wird über das
Kommunikationskabel 58 an den Hostcomputer 50 geliefert,
daß jede
Pforte eine Kassette empfangen kann. Auf das Empfangen der Pfortenverfügbarkeitsinformation
hin bestimmt der Hostcomputer 50, ob die Transportaufgabe
für einen
Transport einer Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 unter
Verwendung des automatischen Transportierers 38 und der
Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 möglich ist
oder nicht, über die
empfangene Information über
die Verfügbarkeit der
Pforten ohne Detektion des Lagerungsstatus der Kassette 232 in
der Lagerungsvorrichtung 234.
-
In
dem obigen Zustand sendet die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an
den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58 eine Übergabeanfrage für die bearbeitete
Kassette 232, die dem Herstellungsprozeß für die integrierte Halbleiterschaltung
unterworfen wird beziehungsweise worden ist. Die Bearbeitungsvorrich tung 32, 34 fordert
an, daß die
Kassette beziehungsweise die Kassetten in der Einheit von einer
Kassette oder in der Einheit einer Mehrzahl von Kassetten zu übergeben
sind. Als Reaktion auf diese Übergabeanfrage
liefert der Hostcomputer 50 sofort einen Transportaufgabenbefehl über das
Kommunikationskabel 58 an den automatischen Transportierer 38,
da die Verfügbarkeitsinformation über die
Einlaßpforte 254 für den automatischen
Transportierer 58 von der Lagerungsvorrichtung 234 im
voraus geliefert worden ist. Die verfügbare Einlaßpforte 254 wird entsprechend
jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 bestimmt.
Die Daten derselben werden an den Hostcomputer 50 im voraus über den
Terminal 54 geliefert. Der Hostcomputer 50 muß einen
Transportaufgabenbefehl in der Einheit von 1 Kassette an den automatischen
Transportierer 38 senden, selbst falls eine Übergabeanfrage
in der Einheit von 2 Kassetten von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert
wird, da der Eintritt einer Kassette über beziehungsweise durch die
Einlaßpforte 254 nur
in der Einheit von 1 Kassette auf einmal ausgeführt wird beziehungsweise werden kann.
-
Die
Steuerung 60 für
den automatischen Transportierer, die den Transportaufgabenbefehl
für eine
Kassette von dem Hostcomputer 50 empfängt, weist die Aufgabe dem
geeignetsten automatischen Transportierer aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38,
damit dieser die Transportaufgabe ausführt, durch Kommunikation mit
dem Hauptteil über
Funk mittels der Steuerstationskommunikationseinheit 62 und
der Transportiererkommunikationseinheit 142 zu. Diese Transportaufgabe,
das heißt
der entsprechende Transportablauf, wird im folgenden beschrieben.
Zuerst bewegt sich der Wagen 140 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
aus der eine Kassette zu entladen ist, d.h. zu der Quelle des Transport
(im folgenden als "Quelle" bezeichnet), entsprechend
des Führungsbandes 156,
das an dem Boden des Standbyplatzes (Bereitschaftsplatzes) befestigt
ist. An dem Ort der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bestätigt der
automatische Transportierer 38 über die an den automatischen
Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174, ob
eine Kassette 232 an dem relevanten Kassettenstand 172, 182 vorhanden
ist. Dann werden der Arm 144, die Hand 146 und
die Handklaue 148 zum Aufnehmen einer re levanten Kassette 232 von
dem Kassettenstand 172, 182 und zum Plazieren
derselben auf der Transferhalterung 150 angesteuert. Dieser
Halteaufgabe folgend bewegt sich der Wagen 140 von dem
Ort der Quellen-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in
Richtung einer bezeichneten Einlaßpforte 254 einer
Lagerungsvorrichtung 234, in die eine Kassette zu laden ist,
das heißt
zu dem Bestimmungsort des Transports (im folgenden als "Bestimmung" bezeichnet).
-
Nach
der Ankunft an der Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung 234 plaziert
der automatische Transportierer 38 die Kassette 232 von
der Übertragungshalterung 150 auf
der Einlaßpforte 254 in
einer Abfolge, die entgegengesetzt zu derjenigen ist, die oben beschrieben
wurde. Vor dem Plazieren der Kassette 232 auf der bezeichneten
Einlaßpforte 254 bestätigt der
automatische Transportierer 38 über die an den Transportierer
gerichtete Kommunikationseinheit 102, ob es eine nicht
korrekte Kassette 232 auf der Einlaßpforte 254 (d.h.
eine fälschlich
auf der Einlaßpforte 254 plazierte
Kassette 232) gibt, und gibt sofort einen Fehler beziehungsweise
eine Fehlermeldung aus, wenn es eine nicht korrekte Kassette 232 gibt.
Diese Fehlermeldung basiert auf der Bestimmung, daß eine andere
Kassette 232 auf derselben Pforte einen abnormalen Zustand
impliziert, da die Kassette 232 entsprechend der Information
von der Lagerungsvorrichtung 234, daß die Einlaßpforte 254 leer ist,
transportiert wurde. Wenn alle bezeichneten Aufgaben vervollständigt sind,
sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer einen
Vervollständigungsbericht
an den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58.
-
Auf
das Empfangen eines Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist,
von dem automatischen Transportierer 38 hin sendet der
Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 234 eine
Anweisung, die Kassette 232 durch die Einlaßpforte 254 aufzunehmen
(Eintrittsaufgabenanweisung). Als Reaktion auf diese Eintrittsaufgabenanweisung,
die über
das Kommunikationskabel 58 gesendet worden ist, ermittelt
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Lagerplatz
auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initiiert
dann die Aufgabe. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt wer den kann,
wartet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 auf das Freiwerden
eines Lagerplatzes ohne Initiierung der Aufgabe. Die Lagerungsvorrichtung 234,
die das Abarbeiten einer Eintrittsaufgabe beginnt, steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 zum
Drehen der Kassette 232 um 90° an, die dann von der Einlaßpforte 254 zu
der Einlaßlieferungspforte 104 bewegt
wird. Wenn diese Übertragungsaufgabe
vervollständigt
ist, wird der Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Befördern der
Kassette 232 auf der Einlaßlieferungspforte 104 zu
einem Speicherplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96,
die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 ermittelt
worden ist, betätigt.
Derart ist die Abfolge von Schritten einer Eintrittsaufgabe vervollständigt. Auf
die Vervollständigung
dieser Aufgabe hin liefert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen
Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.
Wenn die Einlaßpforte 254 während der Übertragungsaufgabe
von der Einlaßpforte 254 zu
der Einlaßlieferungspforte 104 frei
wird, liefert die Lagerungsvorrichtung 234 diese Information,
daß die Pforte
leer ist, an den Hostcomputer 50, analog zu dem Zeitpunkt
der Initialisierung, um sich für
die nächste
Transportaufgabe unter Verwendung des automatischen Transportierers 38 vorzubereiten.
-
Der
Hostcomputer 50, der einen Bericht, daß die Eintrittsaufgabe vervollständigt ist,
von der Lagerungsvorrichtung 234 empfängt, bestimmt die Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 für diese
Kassette 232. Außerdem
wird eine Bestätigung
ausgeführt,
ob die Pforte 98 für
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 der
Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist oder nicht.
Diese Information, daß die
Pforte leer ist, wird an den Hostcomputer 50 gesendet,
wenn die Initialisierung beim Anschalten der Lagerungsvorrichtung 234 vervollständigt ist,
oder wenn die relevante Pforte verfügbar wird. Wenn die Pforte 98 der
Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist, sendet der
Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung für die Kassette 232,
die mit der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 in Verbindung
steht, d.h. eine Transportaufgabenanweisung, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 über das
Kommunikati onskabel 58. Als Reaktion liefert die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine
Anfrage zum Transferieren der Kassette 232 von dem Lagerplatz
in Richtung der Pforte 98 in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234, d.h.
eine Transferaufgabenanfrage, über
das Kommunikationskabel 58. Die Lagerungsvorrichtung 234, die
der Transferaufgabe zugeordnet ist, bewegt die Kassette 232 unter
Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann wird
ein Bericht, daß die Aufgabe
vervollständigt
ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.
Als Reaktion sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen
leeren Wagen 162 zu einer Station, die der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 entspricht.
Nach dieser Bewegung liefert die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine
Anfrage an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 234, daß die relevante
Kassette 232 auf der Pforte 98 in Richtung des
leeren Wagens 162 bewegt wird. Die Lagerungsvorrichtung 234,
die dieser Anfrage zugeordnet ist, bewegt die Kassette 232 mittels
der Übertragungsvorrichtung 82.
Dann wird ein Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.
Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66,
die diesen Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, empfängt,
bewegt den Wagen 162 zu der Station, die der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 entspricht.
Derart wird eine Kassette 232, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet
worden ist, befördert
und in die Lagerungsvorrichtung 234 durch den automatischen Transportierer 38 eingebracht,
und dann wird sie ausgegeben, um an die nächste Lagerungsvorrichtung 234 durch
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt
zu werden, während die
Transportaufgabe zwischen den Lagerungsvorrichtungen fortgesetzt
wird.
-
Steuerverfahren (2)
-
Durch
Senden der Information, daß die
Pforte 98 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist,
von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikati onskabel 58 wird eine neue Kassette 232,
die zu bearbeiten ist, auf dem Wagen 162 plaziert, um zu
der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 transferiert beziehungsweise
befördert
zu werden. Bei der Ankunft des Wagens 162 sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über das
Kommunikationskabel 58 eine Anforderung an die Lagervorrichtungsteuerung 64,
daß die
Kassette 232 auf dem Wagen 162 auf der Pforte 98 plaziert
werden soll. Die Lagerungsvorrichtung 234, die dieser Anforderung
zugewiesen ist, führt
die Aufgabe unter Verwendung der Übertragungsvorrichtung 82 aus.
Dann wird ein Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.
-
Als
Reaktion sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 66 einen
Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist. Der Hostcomputer 50, der diesen Bericht empfängt, sendet
eine Anweisung an die Bestimmungslagerungsvorrichtung 234,
die Kassette 232 auf der Pforte 98 aufzunehmen.
Entsprechend dieser Anweisung für
die Aufgabe zur Aufnahme (Eintrittsaufgabenanweisung), die über das
Kommunikationskabel 58 gesendet worden ist, ermittelt die
Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 einen Lagerplatz auf einer
Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initiiert dann die Aufgabe
beziehungsweise beginnt mit deren Abarbeitung. Wenn ein Lagerplatz
nicht ermittelt werden kann, wird die Steuerung 64 die
Aufgabe nicht initiieren und darauf warten, daß ein Lagerplatz frei wird. Die
Lagerungsvorrichtung 234, die mit der Eintrittsaufgabe
beginnt, bewegt die Kassette 232 auf der Pforte 98 zu
dem ermittelten Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 unter
Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Wenn die
angewiesene Aufgabe vervollständigt
ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 234 einen Bericht,
daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50. Die Kassette 232,
die zu bearbeiten ist, die in der Lagerungsvorrichtung 234 gelagert
ist, wird dort gelassen, um darauf zu warten, daß der Kassettenstand 172, 182 der
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für die nachfolgende
Bearbeitung verfügbar
wird.
-
Eine
Kassettenladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 wird
an den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58 in einem Zustand gesandt, in
dem die Kassette 232, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 234 gelagert ist.
Der Hostcomputer 50 identifiziert, ob es eine zu bearbeitende
Kassette 232 in der Lagerungsvorrichtung 234 gibt
und schreitet zu einer Austrittsaufgabe fort, wenn es eine geeignete
Kassette gibt. Wenn es keine Kassette 232 gibt, wartet
der Hostcomputer 50 darauf, daß eine geeignete Kassette 232 in
die Lagerungsvorrichtung 234 eintritt beziehungsweise in
diese eingebracht wird. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 kann
eine Ladeanfrage für
eine Mehrzahl von Kassetten 232 auf einmal senden, entsprechend
des Typs derselben. Da nur eine Kassette 232 auf der Auslaßpforte 252 plaziert
werden kann, werden die Austrittsaufgabe aus der Lagerungsvorrichtung 234 und
die Transportaufgabe von der Lagerungsvorrichtung 234 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die einer
Anfrage für
eine Mehrzahl von Kassetten entsprechen, wiederholt für die Anzahl
der Kassetten ausführt.
-
Der
Hostcomputer 50 wählt
in der Phase der Austrittsaufgabe eine aus der Mehrzahl der Austrittspforten 252 entsprechend
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Eintrittsanforderung
senden, aus. Außerdem
wird eine Anweisung für
eine Aufgabe zum Ausgeben einer Kassette 232, d.h. eine
Austrittsaufgabenanweisung, an diese über das Kommunikationskabel 58 an
die Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 gesandt. Die verfügbare Auslaßpforte 252 wird
entsprechend jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, ähnlich zu
der Einlaßpforte 254,
bestimmt. Die Daten derselben werden an den Hostcomputer 50 im
voraus über
das Terminal 54 angelegt. Die Lagerungsvorrichtung 234,
die die Austrittsaufgabenanweisung empfängt, transferiert die relevante
Kassette 232 zu der Auslaßlieferungspforte 100 unter
Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann steuert
die Lagerungsvorrichtung 234 die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 zum
Ausgeben der Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100 an
die Auslaßpforte 252 an.
Desweiteren wird die Kassette 232 zum Erleichtern des Betriebes
des automatischen Transportierers 38 um 90° gedreht.
Derart wird die Aufgabe zum Ausgeben an der Auslaßpforte 252 (Austritts aufgabe)
vervollständigt.
Die Lagerungsvorrichtung 234 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe
vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50.
-
Der
Hostcomputer 50, der den Bericht, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist,
von der Lagerungsvorrichtung 234 empfängt, sendet eine Anweisung
an den automatischen Transportierer 38 über das Kommunikationskabel 58,
so daß die
Kassette 232 auf der Auslaßpforte 252 zu dem
Kassettenständer 172, 182 der
Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 transportiert
wird. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer,
die diese Anweisung empfängt,
ordnet dem geeignetsten Transportierer aus der Mehrzahl der automatischen
Transportierer 38 diese Transportaufgabe, wodurch dieser
automatische Transportierer 38 eine Transportaufgabe für die Kassette 232 ausführt, durch
Kommunikation mit dem Hauptteil über
Funk unter Verwendung der Steuerstationskommunikationseinheit 62 und
der Transportiererkommunikationseinheit 142 zu.
-
Diese
Transportaufgabe wird im folgenden beschrieben. Der Wagen 140 des
automatischen Transportierers 38 an dem Standbyplatz bewegt
sich in Richtung der Auslaßpforte 252 der
Lagerungsvorrichtung 234 entsprechend des Führungsbandes 156,
das am Boden befestigt ist. Wenn er an der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 ankommt,
bestätigt
der automatische Transportierer 38 ob es eine Kassette 232 an
der Auslaßpforte 252 gibt, über die an
den Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102.
Dann steuert der automatische Transportierer 38 den Arm 144,
die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Holen der
Kassette 232 von der Auslaßpforte 252 und zum
Plazieren dieser auf der Transferhalterung 150 an. Wenn
die Kassette 232 als ein Ergebnis der Bestätigung fehlt,
wird sofort ein Fehler beziehungsweise eine Fehlermeldung ausgegeben.
Der Halteaufgabe folgend bewegt sich der Wagen 140 von
der Lagerungsvorrichtung 234 zu der Vorderseite eines bezeichneten
Kassettenstands 172, 182 der Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.
Der automatische Transportierer 38 plaziert die Kassette 232 auf
dem Kassettenstand 172, 182 aus der Halterung 150 entsprechend
einer Prozedur, die entgegenge setzt zu der obigen Abfolge ist. Vor dem
Plazieren der Kassette 232 auf dem bezeichneten Kassettenstand 172, 182 bestätigt der
automatische Transportierer, ob es eine nicht korrekte Kassette 232 auf
dem Kassettenstand 172, 182 gibt, über die
an den Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174.
Ein Fehler wird sofort ausgegeben, wenn es eine nicht korrekte Kassette 232 gibt.
Dieser Fehler beziehungsweise diese Fehlermeldung basiert auf der
Bestimmung, daß ein
andere Kassette 232 auf dem relevanten Kassettenstand einen
nicht korrekten Zustand impliziert, da die Kassette 232 entsprechend
der Information von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
daß der
Kassettenstand 172, 182 leer ist, ausgeführt wurde.
Wenn alle bezeichneten Aufgaben vervollständigt sind, liefert die Steuerung 60 für den automatischen
Transportierer einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist,
an den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58.
-
Der
Aufgabe, die Kassette 232 durch den automatischen Transportierer 38 in
die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu laden (Ladeaufgabe),
folgend sendet der Hostcomputer 50 eine vorbestimmte Bearbeitungsinitiierungsanweisung
an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 über das
Kommunikationskabel 58.
-
Steuerverfahren (3)
-
Wenn
die Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 in
manueller Weise einzubringen ist, plaziert der Bediener zuerst die
Kassette 232 auf der Einlaßpforte 260 und bedient
die Bedienungstafel 121, die integral mit der Lagerungsvorrichtung 234 vorgesehen
ist. Die Bedienung der Tafel 121 erlaubt es der Lagerungsvorrichtung 234 zu
detektieren, daß die
Kassette 232 an der Einlaßpforte 260 plaziert worden
ist. Die Information auf der ID-Karte 240 dieser Kassette 232 wird
durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 270 gelesen.
Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 hält durch
diesen Bericht Kenntnis, daß der
Bediener eine Kassette 232 plaziert hat. Der Hostcomputer 50 sendet
eine Anweisung für
eine Aufgabe zum Aufnehmen der Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 (Eintrittsaufgabenanweisung) ohne überprüfen des
Lagerungsstatus der Kassetten 232 in der Lagerungsvorrichtung 234.
Die verfügbare
Einlaßpforte 260 wird
entsprechend der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 bestimmt.
Die Daten derselben werden im voraus an den Hostcomputer 50 über den
Terminal 54 angelegt. Entsprechend der Eintrittsaufgabenanweisung,
die über
das Kommunikationskabel 58 geliefert wird, ermittelt die
Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 einen Lagerplatz auf einer
Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initiiert dann die Aufgabe.
Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, wird die Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 die
Aufgabe nicht initiieren und darauf warten, daß ein Lagerplatz verfügbar wird.
Die Lagerungsvorrichtung 234, die die Eintrittsaufgabenanweisung
initiiert, transferiert die Kassette 232 auf der Einlaßpforte 260 auf
den Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 unter Verwendung
des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist,
sendet die Lagerungsvorrichtung 234 einen Bericht, daß die Aufgabe
vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe
von einem Bediener vervollständigt.
-
Das
Verfahren des Entladens einer Kassette 232, die in der
Lagerungsvorrichtung 234 gespeichert ist, über die
Auslaßpforte 262 für einen
Bediener wird im folgenden beschrieben. Es wird der Fall angenommen,
in dem eine Kassette in eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 aus
der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 zu laden ist, wenn
ein automatischer Transportierer 38 nicht vorgesehen ist.
Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet eine
Kassettenladeanforderung an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50 identifiziert,
ob es eine Kassette 232, die zu bearbeiten ist, in der
Lagerungsvorrichtung 234 gibt. Wenn es eine zu bearbeitende
Kassette gibt, schreitet der Hostcomputer 50 mit der Austrittsaufgabenphase
fort. Wenn es keine Kassette gibt, wartet der Computer 50 darauf,
daß eine
relevante Kassette, die zu bearbeiten ist, in die Lagerungsvorrichtung 234 eintritt
beziehungsweise eingegeben wird. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 kann
eine Ladeanfrage für
eine Mehrzahl von Kassetten 232 auf einmal senden, entsprechend
des Typs derselben. Wenn eine Anforderung für eine Mehrzahl von Kassetten geliefert
wird, wird die Austrittsaufgabe aus der Lagerungsvorrichtung 234,
die nachfolgend beschrieben wird, wiederholt für eine Anzahl von Malen ausgeführt, die
der Anzahl der angeforderte Kassetten entspricht.
-
Der
Hostcomputer 50 in der Austrittsaufgabenphase selektiert
irgendeine aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 262 entsprechend
der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34, die Ladeanfrage
liefern. Eine Austrittsaufgabenanweisung, die mit der ausgewählten Auslaßpforte 262 verbunden
ist, wird an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt. Die verfügbare Auslaßpforte 262 für die manuelle
Ausgabe wird abhängig
von jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 bestimmt, ähnlich zu
der Auslaßpforte 252 für den automatischen
Transportierer. Die Daten werden an den Hostcomputer 50 im
voraus über
das Terminal 54 angelegt. Die relevante Lagerungsvorrichtung 234 überträgt die Kassette 232 an
die Auslaßpforte 262 unter
Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Außerdem wird
eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 234 geliefert,
die dem Bediener erlaubt, die Kassette 232 auf der Auslaßpforte 262 wegzunehmen.
Als Reaktion auf diese Anzeige nimmt der Bediener die Kassette 232 von
der Auslaßpforte 262 und
meldet, daß die Entnahmeaufgabe
vervollständigt
ist, an die Lagerungsvorrichtung 234 über die Bedienungstafel 121. Als
Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 234, daß die Austrittsaufgabe
vervollständigt
ist. Ein Vervollständigungsbericht
darüber
wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.
Der Bediener, der die Kassette 232 entnimmt, muß diese
Kassette zu dem Kassettenstand 172, 182 der geeigneten
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Ladeanfrage
ausgegeben hat, befördern.
Jedoch weiß der
Bediener nicht, welche Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 diese
Anforderung ausgegeben hat. Der Bediener muß den Bedienerterminal 56 des Hostcomputers 50 benutzen,
um die geeignete Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
identifizieren. Dann befördert
der Bediener die Kassette 232 zu der identifizierten, geeigneten
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und plaziert sie
auf dem Kassettenstand 172, 182.
-
Die
oben beschriebene herkömmliche Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 weist
Probleme auf, wie sie im folgenden erläutert werden.
-
Aus
der Zeitschrift Deutsche Hebe- und Fördertechnik, 1986, Heft 12,
Seite 19 – 26
ist eine Abhandlung über
die Möglichkeiten
und Vorteile des Einsatzes drahtloser Übertragungstechniken in Logistik-
und Lagersystemen bekannt. Es werden die Eigenschaften und Möglichkeiten
verschiedener drahtloser Übertragungssysteme
diskutiert. In einem Absatz über
neuere Entwicklungen und Erfahrungen wird ein Infrarot-Datenübertragungssystem
mit dem Namen "infraCom
9600" beschrieben,
dessen technische Eigenschaften in einer schematischen Darstellung
abgebildet sind. In dieser schematischen Darstellung sind Softwarefunktionen
und Softwarepakete angegeben, die auf einem Host-Rechner und auf lokalen
Steuercomputern benutzt werden sollen. Die Softwarefunktionen sind
Buchhaltung, Produktionsplanung und Steuerung, Zeit- und Personaldatenerfassung
und Auftragsverfolgung. Die Softwarepakete sind Lagerplatzverwaltung,
Transportoptimierung, Fahrzeugverwaltung, Statistiken, permanente
Inventur, ABC-Analysen
und Systempflege.
-
In
der Eintritts- und der Austrittsaufgabenphase für die Kassette 232 in
die und aus der Lagerungsvorrichtung 234 hatte der Hostcomputer
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 bei jeder Eintritts/Austrittsaufgabe über die
Lagerung beziehungsweise den Lagerungszustand der Kassette 232 in
der Lagerungsvorrichtung 239 zu informieren.
-
Angesichts
des vorhergehenden ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
ein Vergleichsverfahren für
die Lagerungsvorrichtungslagerung, bei dem eine Lagerungsvorrichtungssteuerung
nicht bei jedem Eintritt/Austritt einer Kassette über die
Lagerungsinformation für
eine Kassette in einer Lagerungsvorrichtung befragt werden muß, und das
zum schnellen Verfolgen des Grundes, wenn es eine Diskrepanz in
der Kassettenlagerungsinformation in der Lagerungsvorrichtung gibt,
in der Lage ist, anzugeben.
-
Diese
Aufgabe wird gelöst
durch ein Verfahren nach Anspruch 1.
-
Weiterbildungen
der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
-
Das
Vergleichsverfahren für
eine Lagerungsvorrichtungslagerung, d.h. zum Vergleichen von Informationen über die
Lagerung von Kassetten in einer Lagerungsvorrichtung, wird bei einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung
verwendet, die eine Lagerungsvorrichtung zur Lagerung einer Mehrzahl
von Halbleiterwaferkassetten, eine Bearbeitungsvorrichtung zum Anwenden
eines Prozesses bei einer Halbleiterwaferkassette bzw. den Wafern
in einer Halbleiterwaferkassette, einen automatischen Transportierer
zum Ausführen
einer Transportaufgabe für
den Transport einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Lagerungsvorrichtung und
einer Bearbeitungsvorrichtung, eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung zum
Ausführen
einer Transportaufgabe für
einen Transport einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung
und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung,
und einen Hostcomputer zum Liefern einer Steuerung der Lagerungsvorrichtung,
der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung, des automatischen
Transportierers und der Bearbeitungsvorrichtung auf. Der Hostcomputer
weist einen Terminal zum Übertragen
einer Anweisung von einem Bediener an den Hostcomputer und zum Liefern
einer Anzeige eines Ergebnisses und einen Lagerungsvorrichtungslagerungsspeicher zum
Speichern von Lagerungsinformation über eine Lagerungsvorrichtung
auf. Das Vergleichsverfahren der Lagerungsvorrichtungslagerung enthält die Schritte
des Abfragens über
die Lagerung einer Halbleiterwaferkassette in der Lagerungsvorrichtung
als Reaktion auf eine Anweisung von dem Bediener, des Empfangens
einer Halbleiterwaferkassettenlagerungsinformation von der Lagerungsvorrichtung,
des Vergleichens der Lagerungsinformation, die von der Lagerungsvorrichtung
berichtet wird, mit der Lagerungsvorrichtungslagerungsinformation
in dem Lagerungsvorrichtungslagerungsspeicher, und, wenn die Lagerungsinformation,
die von der Lagerungsvorrichtung berichtet wird, sich von der Lagerungsinformation über die
Lagerungsvorrichtung in dem Lagerungsvorrichtungslagerungsspeicher
unterscheidet, des Lieferns einer Anzeige auf dem Terminal über die
Diskrepanz in der Lagerungsinformation, auf.
-
Wie
oben beschrieben worden ist wird die Halbleiterwaferkassettenlagerungsinformation,
die durch die Lagerungsvorrichtung gehalten bzw. gespeichert wird,
mit der Halbleiterwaferkassettenlagerungsinformation über die
Lagerungsvorrichtung, die durch den Hostcomputer gehalten bzw. gespeichert wird,
verglichen, und eine Diskrepanz in der Lagerungsinformation wird
auf der Anzeige des Terminals geliefert. Darum kann der Grund für die Diskrepanz
in der Lagerungsinformation über
die Lagerungsvorrichtung, falls eine solche vorhanden ist, schnell
verfolgt bzw. aufgefunden werden.
-
Das
vorhergehende und andere Merkmale und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus
der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der
Figuren. Von den Figuren zeigen:
-
1 und 2 Ansichten
aus der Vogelperspektive einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230;
-
3A, 3B und 3C Darstellungen zum
Beschreiben einer Halbleiterwaferkassette 40 und einer
ID-Karte 72;
-
4 eine
Lagerungsvorrichtung 36, die von der Seite der automatischen
Transportvorrichtung gesehen wird;
-
5 eine
Lagerungsvorrichtung 36, die von der Seite des Bedieners
gesehen wird;
-
6 eine
Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe aus
der Lagerungsvorrichtung 36;
-
7A und 7B Darstellungen
zum Beschreiben eines Kassettenlagerungsplatzes in einer Lagerungsvorrichtung,
die von der Seite des automatischen Transportierer beziehungsweise
von der Seite des Bedieners gesehen sind;
-
8 ein
Aussehen eines automatischen Transportierers 38;
-
9 ein
Aussehen einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42;
-
10 ein Aussehen einer Bearbeitungsvorrichtung 32;
-
11 ein Aussehen einer Bearbeitungsvorrichtung 34;
-
12 und 13 eine
Lagerungsvorrichtung 190, die von der Seite eines automatischen Transportierers
beziehungsweise von der Seite eines Bedieners gesehen ist;
-
14 eine Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte
für eine
manuelle Ausgabe der Lagerungsvorrichtung 190;
-
15 und 16 Ansichten
aus der Vogelperspektive einer herkömmlichen Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230;
-
17A, 17B und 17C Darstellungen zum Beschreiben einer Halbleiterwaferkassette 230 und
einer ID-Karte 240;
-
18 und 19 eine
Lagerungsvorrichtung 230, die von der Seite eines automatischen Transportierers
beziehungsweise von der Seite eines Bedieners gesehen ist; und
-
20 eine Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte
für eine
manuelle Ausgabe.
-
Unter
Bezugnahme auf die 1 und 2, eine
Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 entsprechend
einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung weist die herkömmlichen Bearbeitungsvorrichtung 32 und 34,
eine neue Lagerungsvorrichtung 36, einen herkömmlichen
automatischen Transportierer 38 und eine herkömmliche Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 auf.
Die Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 sind mit
einer gewissen Lagerungsvorrichtung 36 als der Lagerplatz
beziehungsweise die Lagerstätte
für eine
Kassette 40, vor und nachdem die Kassette einer Bearbeitung
unterworfen wird bzw. wurde, vorgesehen bzw. verbunden. Zwei automatische
Transportierer 38 sind mit der Transportaufgabe zwischen
diesen befaßt
bzw. in der Transportaufgabe engagiert. Zum Zwecke der Bequemlichkeit
ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in
der Zeichnung in einer abgeschnittenen Weise gezeigt. Tatsächlich ist
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in
einer umlaufenden Weise angeordnet, wobei eine Mehrzahl von Lagerungsvorrichtungen 36 in
der Nähe
derselben angeordnet ist. Die Gruppe aus der Bearbeitungsvorrichtung
bzw. den Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 und
dem automatischen Transportierer bzw. den automatischen Transportierern 38 entspricht
jeder der anderen Lagerungsvorrichtungen 36 bzw. ist für jede dieser
anderen Lagerungsvorrichtungen 36 vorgesehen.
-
Die
Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 weist weiter
einen herkömmlichen
Hostcomputer 50, einen Hauptkörper (Hauptteil) 52 desselben,
ein Terminal 54, ein Bedienerterminal 56, ein Kommunikationskabel 58,
das entsprechend mit dem Hostcomputer 50, den Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34,
der Lagerungsvorrichtung 36 und dem automatischen Transportierer 38 verbunden
ist, zum Liefern einer Verbindung zwischen der Lagerungsvorrichtung 36 und
der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42,
eine Lagerungsvorrichtungssteuerung 64, eine Steuerung 60 für den automatischen
Transportierer und eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 auf.
Obwohl die Kommunikation zwischen der Steuerung 60 für den automatischen Transportierer
und dem automatischen Transportierer 38 mittels Funk über eine
steuerstationsseitige Kommunikationseinheit 62 ausgeführt wird,
kann die Kommunikation zwischen diesen über Draht ausgeführt werden.
-
Unter
Bezugnahme auf 3, ein Halbleiterwafer 70 und
eine Kassette 40 sind vergleichbar bzw. identisch zu den
herkömmlichen.
Eine ID-Karte 72 enthält
eine Anzeigeeinheit 74 und eine Kommunikationseinheit 76 vergleichbar
bzw. identisch zu den herkömmlichen.
Es ist zu bemerken, daß die
Kommunikationseinheit 76 an dem Boden und nicht an der
Vorderseite der ID-Karte 72 der Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung angebracht ist.
-
Die
strukturellen Elemente der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 entsprechend
der vorliegenden Ausführungsform
werden im Detail unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
-
Eine
Lagerungsvorrichtung 36 wird unter Bezugnahme auf die 4 bis 6 beschrieben.
In den 4 und 5 ist
eine Lagerungsvorrichtungswand 94 gezeigt, wobei ein Abschnitt
derselben weggeschnitten beziehungsweise weggelassen ist, so daß das Innere
der Lagerungsvorrichtung 36 gezeigt wird.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36 weist eine Lagerungsvorrichtungsplatte
beziehungsweise Lagerungsvorrichtungsregalplatte 96, eine
Pforte (Einlaß- und
Auslaßabschnitt) 98 für die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung,
eine Einlaßpforte
(Einlaßabschnitt) 116 für eine manuelle
Eingabe, eine Auslaßpforte
(Auslaßabschnitt) 118 für eine manuelle
Ausgabe, eine Auslaßpforte
(Auslaßabschnitt) 86 für einen
automatischen Transportierer, eine Auslaßlieferpforte (Auslaßabschnitt) 100 für einen
automatischen Transportierer, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 88 für einen
automatischen Transportierer, eine Einlaßlieferpforte (Einlaßlieferungsabschnitt) 104 für einen
automatischen Transportierer, einen Lagerungsvorrichtungskran (Lagerungsvorrichtungshubvorrichtung) 80, eine Übertragungsvorrichtung
(Transfervorrichtung) 82, eine Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 und
eine an einen automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102 auf.
-
Der
Lagerungsvorrichtungskran 80, die Übertragungsvorrichtung 82 und
die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 führen eine
Transportaufgabe in der Einheit von einer Kassette, zwei Kassetten
bzw. einer Kassette aus. Die Anzahl der Kassetten, die in der auf
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen
Pforte 98, der Einlaßpforte 116 für eine manuelle
Eingabe, der Auslaßpforte 118 für eine manuelle
Ausgabe, der auf den automa tischen Transportierer bezogenen Auslaßlieferungspforte 100,
der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßlieferungspforte 104,
der auf den automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte 86 und
der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte 88 montiert
beziehungsweise gehalten werden kann, ist zwei Kassetten, zwei Kassetten,
eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette bzw.
eine Kassette.
-
Zwei
Vorwärtsbewegungsvorrichtungen 84 sind
wie bei dem herkömmlichen
Fall vorgesehen. Dementsprechend sind zwei auf den automatischen Transportierer
bezogene Auslaßpforten 86,
zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforten 88,
zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Auslaßlieferpforten 100 und
zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßlieferpforten 104 vorgesehen.
Es gibt zwei Einlaßpforten 118 für eine manuelle
Ausgabe, wohingegen es nur eine Einlaßpforte 116 für eine manuelle
Eingabe gibt.
-
Wie
in 6 gezeigt ist, ein ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ist
an der Auslaßpforte 118 für eine manuelle
Ausgabe angebracht. Der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ist
außerdem
an der Einlaßpforte 116 für eine manuelle
Eingabe wie in dem herkömmlichen
Fall angebracht. In der Lagerungsvorrichtung 36 sind vier
ID-Karten-Leser/Schreiber 120 vorgesehen.
Die Richtung des Anbringens derselben unterscheidet sich von der
herkömmlichen.
Da die ID-Karten-Kommunikationseinheit 76 an der Unterseite
der ID-Karte 72 angebracht
ist, kann der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 unter einem
Kassettenempfänger 130 vorgesehen
sein. Es ist daher möglich,
daß die Vorderseite
der ID-Karte 72 so angeordnet ist, daß sie der Seite der Arbeitsebene
des Bedieners gegenüberliegt.
-
Wie
in dem herkömmlichen
Fall kann der Lagerungsvorrichtungkran 80 die Richtung
der Kassette 40 beim Plazieren der Kassette auf der Lagerungsvorrichtungsplatte
beziehungsweise in dem Lagerungsvorrichtungsregal 96 nicht
frei ändern.
Die Kassette 40, die über
die Einlaßpforte 116 eingegeben wird,
wird auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 auf der Seite
der Einlaßpforte 116 plaziert.
Die Orientierung der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist
identisch zu der Orientierung der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116.
Beim Ausgeben der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 über die
Auslaßpforte 86 greift
der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 auf
der Lagerungsvorrichtungplatte 96 mit seinem eigenen Arm
und dreht seinen Arm um 180° zum
Plazieren der Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100.
Die Orientierung der Kassette 40 wird durch diesen Transport
um 180° gedreht.
Die Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100 ist
so orientiert, daß die
ID-Karte 72, die an der Kassette 40 angebracht
ist, der Seite der Betriebsebene des automatischen Transportierers 38 gegenüberliegt.
Darum muß die
Orientierung der Kassette 40 nicht geändert werden, wenn die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 zum
Ausgeben der Kassette 40 an die Auslaßpforte 86 arbeitet.
-
In ähnlicher
Weise wird die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 auf
der Lagerungsvorrichtungsplatte (bzw. dem Lagerungsvorrichtungsregal) 96 auf der
Seite der Einlaßpforte 88 durch
den Lagerungsvorrichtungskran 80 plaziert, ohne daß ihre Orientierung
durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 gedreht
wird. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 greift die Kassette 40 mit
seinem eigenen Arm, wie in dem herkömmlichen Fall, zum Plazieren
der Kassette 40 auf der Auslaßpforte 118. Die Orientierung
der Kassette 40 wird durch diesen Betrieb um 180° gedreht.
-
Unter
Bezugnahme auf die 4 und 5, die
Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 90 für die auf
den automatischen Transportierer bezogene Pforte zum Halten der
Luftdichtheit, die in der senkrechten Richtung bewegbar ist und
an der Außenseite
der Auslaßlieferungspforte 100 und
der Einlaßlieferungspforte 104 angeordnet ist,
und eine innere Abschirmtür 92 für die auf
den automatischen Transportierer bezogene Pforte zum Beibehalten
der Luftdichtheit, die in der senkrechten Richtung bewegbar und
an der Innenseite der Auslaßlieferungspforte 100 und
der Einlaßlieferungspforte 104,
die weiter innerhalb der Lagerungsvorrichtung 36 liegt,
angeordnet ist, auf.
-
Obwohl
die Zeichnung nur die innere und die äußere Abschirmtür 92 und 90,
die auf beiden Seiten eines Paares aus Auslaßlieferungspforte 100 und Einlaßlieferungspforte 104 vorgesehen
sind, gezeigt sind, sind die innere und die äußere Abschirmtür 92 und 90 ebenfalls
an den beiden Seiten der anderen Auslaßlieferungspforte 100 und
der anderen Einlaßlieferungspforte 104 vorgesehen.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 114 und
eine innere Abschirmtür 112 entsprechend
der Pforte für
die manuelle Eingabe/Ausgabe auf. Die äußere Abschirmtür 110 und
die innere Abschirmtür 112 können in
der senkrechten Richtung zum Zweck des Beibehaltens der Luftdichtheit
der Lagerungsvor richtung 36 bewegt werden. Die äußere Abschirmtür 114 ist
außerhalb
der Einlaßpforte 116 oder
der Auslaßpforte 118 angeordnet.
Die innere Abschirmtür 112 ist
innerhalb der Einlaßpforte 116 oder
der Auslaßpforte 118 angeordnet.
-
Obwohl
nur die Abschirmtüren
für die
Einlaßpforte 116 gezeigt
sind, sind ähnliche
Abschirmtüren ebenfalls
für die
beiden Auslaßpforten 118 vorgesehen.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 122,
die an der Außenseite der
auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen
Pforte 98 angeordnet ist, und eine innere Abschirmtür 110 auf.
Die äußere und
die innere Abschirmtür 122 und 110 arbeiten
beide zum Beibehalten der Luftdichtheit der Lagerungsvorrichtung 36.
Die innere Abschirmtür 110 ist
auf einer Seite der Pforte 98 vorgesehen, die innerhalb
der Lagerungsvorrichtung 36 liegt.
-
Die
Pforte 98 kann bei geöffneter äußerer Abschirmtür 122 mittels
einer Hubvorrichtung 124 angehoben oder abgesenkt werden.
Die äußere Abschirmtür 122 wird
horizontal verschoben, und die innere Abschirmtür 110 wird vertikal
bewegt. Die Übertragungsvorrichtung 82 führt eine
Aufgabe bezüglich der
Pforte 98, die in einer durch die Hubvorrichtung 124 angehobenen
Position angeordnet ist, aus, wohingegen der Lagerungsvorrichtungskran 80 eine Aufgabe
bezüglich
der Pforte 98, die in einer durch die Hubvorrichtung 124 abgesenkten
Position angeordnet ist, ausführt.
-
Die 7A und 7B zeigen
den Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36, wenn er
von der Seite der Betriebsebene des automatischen Transportierers 38 bzw.
von der Seite der Betriebsebene des Bedieners gesehen wird. Die
Kennungen STK01 bis STK04 bezeichnen die Lagerungsvorrichtungseinheitsnummer,
welche Unterteilungen des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 zum
Erleichtern der Verwaltung des Lagerplatzes sind. Die Kennungen
T01 bis T07 bezeichnen die Plattennummer (Regalplattennummer) der
Lagerungsvorrichtungsplatte 96, was die Position der lateralen
Zeile, d.h. die Position der sich seitlich erstreckenden Zeile, anzeigt.
Die Kennungen P01 bis P04 zeigen die Positionsnummer an, die der
vertikalen Zeile (der sich in senkrechter Richtung erstreckenden
Zeile) für
jede Lagerungsvorrichtungseinheit entsprechen.
-
Unter
Bezugnahme auf 8, der automatische Transportierer 38 weist
einen Wagen 140, der entlang eines Führungsbandes 156,
das an dem Boden befestigt ist, läuft, eine Transportiererkommunikationseinheit 142 zum Übertragen
von Information an die und von der Steuerstationskommunikationseinheit 62 der
Steuerung 60 für
den automatischen Transportierer, einen Arm 144, eine Hand 146 und eine
Handklaue 148 zum Ausführen
einer Aufgabe zum Transferieren (Transferaufgabe) einer Kassette 40,
vier Transferhalterungen 150 zum Halten der Kassette 40,
die aus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder
der Lagerungsvorrichtung 36 entladen worden ist, während des
Transportes in der vertikalen Orientierung, eine Bedienungstafel 152 zum Übertragen
von Information an einen und von einem Bediener, und einen Stoßfänger 154 zum
Detektieren eines Hindernisses zum Unterbrechen der momentan ausgeführten Aufgabe
auf.
-
Obwohl
der automatische Transportierer 38 ein Roboter ist, der
durch das Führungsband 156 geführt und
nicht an ein Gleis gebunden ist, kann anstelle dessen ein Roboter
vom Gleis-Typ verwendet werden. Außerdem kann ein Roboter eines
Typs verwendet werden, der die Kassette 40 mittels der Handklaue 148 fortlaufend
ergreift, so daß die
Transferhalterung 150 verzichtbar ist. Desweiteren kann eine
Hand 146, die eine Mehrzahl von Kassetten 40 zusammen
auf einmal transferieren kann, vorgesehen sein.
-
Unter
Bezugnahme auf 9, die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 weist
eine Schiene 160, die eine Schleife bildet, einen Wagen 162,
der sich in eine Richtung (in der Richtung des Pfeiles) auf der
Schiene 160 bewegt, zum Befördern von höchstens zwei Kassetten und eine
Hängevorrichtung 164 zum
Aufhängen
der Schiene 160 an der Decke auf.
-
Unter
Bezugnahme auf 10, die Bearbeitungsvorrichtung 32 weist
einen Hauptkörper
(Hauptteil) 170 zum Anwenden eines Herstellungsprozesses
für eine
integrierte Halbleiterschaltung auf Wafer 70 in Einheiten
von einer oder einer Mehrzahl von Wafern, zwei Kassettenstände 172 zum
Empfangen von Kassetten 40, die eine nach der anderen zu
bearbeiten sind, und eine an den automatischen Transportierer gerichtete
Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den
Zustand des Kassettenstands 172 an den automatischen Transportierer 38 zum
Bestätigen,
ob eine nicht korrekte Kassette auf dem Kassettenstand 172 plaziert
ist, bevor der automatische Transportierer 38 eine Kassette 40,
die zu bearbeiten ist, auf dem Kassettenstand 172 plaziert,
oder ob eine Kassette 40, die bearbeitet worden ist, korrekt
auf dem Kassettenstand 172 vor dem Entladen plaziert ist,
auf.
-
Unter
Bezugnahme auf 11, eine Bearbeitungsvorrichtung 34 weist
einen Hauptkörper (Hauptteil) 180 zum
Anwenden eines Herstellungsprozesses für eine integrierte Halbleiterschaltung
auf Wafer 70 für
jeweils einen oder eine Mehrzahl von Wafern, zwei Kassettenstände 182 zum
Empfangen von Kassetten 40, die in der Einheit von zwei
Kassetten zu bearbeiten sind, und eine an den automatischen Transportierer
gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den
Zustand des Kassettenstands 182 an den automatischen Transportierer,
um zu bestätigen,
ob eine nicht korrekte Kassette 40 auf dem Kassettenstand 182 plaziert
ist, bevor der automatische Transportierer 38 eine zu bearbeitende
Kassette 40 auf dem Kassettenstand 182 plaziert,
oder ob eine bearbeitete Kassette 40 korrekt auf dem Kassettenstand 182 plaziert ist,
bevor sie entladen wird, auf.
-
Das
Verfahren zum Steuern des Eintritts (Eintrittssteuerverfahren) der
Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 in
der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 wird
im folgenden beschrieben, das hauptsächlich in (1) die Aufgabe des Lagerns
einer bearbeiteten Kassette 40 von den Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 in
der Lagerungsvorrichtung 36, (2) die Aufgabe des Beförderns der
Kassette 40 von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu
einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36, und (3) die Aufgabe
des Einbringens der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 durch
die Einlaßpforte 116 für eine manuelle
Eingabe unterteilt ist.
-
Eintrittssteuerverfahren
für Aufgabe
(1)
-
Der
Hostcomputer 50 hat die im voraus gespeicherte Information über die
Lagerungsvorrichtungskapazität,
d.h. die maximale Anzahl von Kassetten 40, die auf den
Lagerungsvorrichtungsplatten 96 in jeder Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert werden
können.
Diese Information über
die Lagerkapazität
wird über
der Terminal 54 eingegeben. Wenn eine Kassette 40 in
der Lagerungsvorrichtung 36 zu speichern ist, bestimmt
der Hostcomputer 50, ob es einen verfügbaren Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt,
in dem die Anzahl der Kassetten, die zu speichern ist, von dem vorbestimmten
Wert der Lagerungsvorrichtungskapazität abgezogen wird. Da der Hostcomputer 50 eine
Steuerung beziehungsweise Kontrolle des verfügbaren Raums in der Lagerungsvorrichtung 36 liefert,
muß die
Lagerungsvorrichtung 36 keinen Bericht über eine leere Einlaßpforte 88,
die sich auf einen automatischen Transportierer bezieht, und eine
leere Pforte 98, die sich auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezieht,
an den Hostcomputer 50 liefern.
-
In
einer herkömmlichen
Weise liefert die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34' eine Anforderung
an den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58, daß die bearbeitete Kassette 40 übergeben werden
soll. Wie in den 10 und 11 gezeigt ist,
liefert die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 eine Übergabeanfrage
für eine
Kassette oder eine Mehrzahl von Kassetten entsprechend des jeweiligen Typs
derselben. Der Hostcomputer 50, der die Übergabeanfrage
empfängt,
zieht die Anzahl der angefragten Kassetten von dem Wert der (noch
verfügbaren)
Speicherungskapazität
ab und schreitet zu der Phase der Transportaufgabe unter Verwendung
des automatischen Transportierers 38 fort. Wenn das Subtraktionsergebnis
eine negative Zahl ergibt, bestimmt der Hostcomputer 50,
daß die
Kassette 40 nicht gelagert werden kann. Darum wird der
Hostcomputer 50 nicht zu der Phase der Transportaufgabe
unter Verwendung des automatischen Transportierers 38 fortschreiten.
Wie in dem herkömmlichen Fall
ist eine Einlaßpforte 88 entsprechend
jeder aus der Mehrzahl der Bearbeitungsvorrichtung 32 und 34 zugeordnet.
Die Zuordnungsinformation derselben ist in dem Hostcomputer 50 vorher
gespeichert. Selbst wenn die Übergabeanfrage
von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entsprechend
jeweils zwei Kassetten geliefert wird, muß der Hostcomputer 50 eine
Transportaufgabenanweisung für
eine Kassette auf einmal an den automatischen Transportierer 38 senden,
da es nur die Kapazität
für eine
Kassette an der Einlaßpforte 88 gibt.
-
Die
Steuerung 60 für
den automatischen Transportierer, die eine Transportaufgabenanweisung
für eine
Kassette von dem Hostcomputer 50 empfängt, sendet eine Anweisung,
so daß die
Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 der
Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 transportiert wird,
wie in dem herkömmlichen
Fall. Wenn die Aufgabe vervollständigt
ist, sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer
einen Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.
-
Auf
das Empfangen des Berichtes, daß die Aufgabe
vervollständigt
ist, hin sendet der Hostcomputer 50 eine Eintrittsaufgabenanweisung
an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64, so daß die Kassette 40 in
die Lagerungsvorrichtung 36 über die Einlaßpforte 88 eingegeben
beziehungsweise in diese aufgenommen wird. Entsprechend dieser Eintrittsaufgabenanweisung,
die über
das Kommunikationskabel 58 gesandt worden ist, beginnt
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Eintrittsaufgabe
nach Ermittlung eines Lagerplatzes auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96.
Nur in einem Fehlerzustand wird der Lagerplatz nicht ermittelt.
Dieses ist so, da der Hostcomputer 50 einen verfügbaren Raum
in der Lagerungsvorrichtung 36 vor dem Initiieren der Transportaufgabe,
die durch den automatischen Transportierer 38 ausgeführt worden
ist, bestätigt hat.
Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Eintrittsaufgabe ohne
ein Problem beginnt, transferiert die Kassette 40 auf der
Einlaßpforte 88 zu
dem entsprechenden Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96.
Dabei muß die
Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 die
Kassette 40 nicht um 90° während der
Transferaufgabe drehen, da die Orientierung der Kassette 40 an
der Einlaßpforte 88 identisch
zu der Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßlieferungspforte 104 ist.
Wenn die Aufgabe vervollständigt
ist, wird die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Bericht, daß die Aufgabe
vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.
Derart wird eine bearbeitete Kassette 40, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet
worden ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 aufgenommen.
-
Eintrittssteuerverfahren
für Aufgabe
(2)
-
Wenn
die Kassette 40, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet
worden ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 aufgenommen
ist, setzt der Hostcomputer 50 diese Lagerungsvorrichtung 36 als die
Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 und bestimmt eine Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 entsprechend
einer nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
die aus der gespeicherten Information in der Kassette 40 in
der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 identifiziert wird.
Dann zieht der Hostcomputer 50 die Anzahl der Kassetten,
die zu lagern sind, von dem Wert der Kassettenkapazität (der momentanen
Anzahl von Kassetten, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung
gelagert werden können)
in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 ab. Die Steuerung schreitet
dann zu der Transportaufgabe unter Verwendung der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 fort.
Der Hostcomputer 50 bestimmt, daß die Kassette nicht gelagert
werden kann, wenn das Subtraktionsergebnis eine negative Zahl zeigt.
In diesem Fall schreitet die Steuerung nicht zu der Transportaufgabe
unter Verwendung der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 fort.
-
Der
Hostcomputer 50 in einer Phase einer Transportaufgabe sendet
eine Transportaufgabenanweisung an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 über das
Kommunikationskabel 58 wie in dem herkömmlichen Fall. Die Bestimmung,
die durch diese An weisung gesetzt wird, ist der Lagerplatz der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 in der
Bestimmungslagerungsvorrichtung 36, nicht die herkömmlicherweise
gesetzte Pforte 98, die auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogen
ist. Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66,
die die Transportaufgabenanweisung empfängt, sendet eine Anfrage an
die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58,
so daß die
Kassette 40 von dem Lagerplatz zu der Pforte 98 transferiert wird.
Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Anforderung empfängt, führt eine
vorbestimmte Aufgabe für die
relevante Kassette 40 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80 aus.
Dann wird ein Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.
Auf das Empfangen des Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist,
sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen
leeren Wagen 162 zu der Station, die der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 entspricht.
-
Auf
die Vervollständigung
dieser Bewegung hin sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine
Anforderung an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36, so
daß die
relevante Kassette 40 auf der Pforte 98 an den
leeren Wagen 162 transferiert wird. Die Lagerungsvorrichtung 36,
die diese Anforderung empfängt,
transferiert die Kassette 40 unter Verwendung der Übertragungsvorrichtung 82.
Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe
vervollständigt
ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.
Auf das Empfangen dieses Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist,
hin bewegt die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 den
Wagen 162 zu der Station, die der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 entspricht.
-
Wenn
diese Bewegung vervollständigt
ist, sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine
Anforderung an die Steuerung 64 für die Bestimmungslagerungsvorrichtung über das
Kommunikationskabel 58, so daß die Kassette 40 auf
dem Wagen 162 über
die Pforte 98 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 gespeichert beziehungsweise
gelagert wird. Die Lage rungsvorrichtungssteuerung 64 steuert
die Übertragungsvorrichtung 82 zum
Bewegen der Kassette 40 auf der Pforte 98 an.
Dann wird die Kassette 40 auf der Pforte 98 zu
dem ermittelten Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mittels
des Lagerungsvorrichtungskrans 80 transferiert. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 wird
nur in dem Fall eines Fehlers während
(der Abarbeitung) der Aufgabe zum Speichern der Kassette 40 nicht
in der Lage sein, einen Speicherplatz zu ermitteln. Dieses ist so,
da der Hostcomputer 50 vor dem Initiieren der Transportaufgabe
einen verfügbaren
Raum in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 bestätigt hat.
-
Auf
die Vervollständigung
der Aufgabe hin berichtet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 an die
Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66,
daß die
Aufgabe vervollständigt ist.
Als Reaktion sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen
Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird eine Aufgabe zum
Transportieren (Transportaufgabe) einer Kassette von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu
einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 vervollständigt.
-
Eintrittssteuerverfahren
für Aufgabe
(3)
-
Wenn
ein Bediener (nicht gezeigt) eine Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 eingibt,
plaziert der Bediener zuerst die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116.
Dann manipuliert der Bediener die Bedienungstafel 121,
die an der Lagerungsvorrichtung 36 vorgesehen ist, wodurch
die Lagerungsvorrichtung 36 identifiziert, daß die Kassette 40 auf
der Einlaßpforte 116 plaziert
worden ist. Die Information, die in der ID-Karte 72 der
Kassette 40 gespeichert ist, wird durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 gelesen.
Die gelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt.
-
Als
Reaktion beziehungsweise als Ergebnis wird dem Hostcomputer 50 mitgeteilt,
daß ein
Bediener eine Kassette 40 geladen hat. Der Hostcomputer 50 zieht
die Anzahl der Kassetten, die eintre ten sollen beziehungsweise eingegeben
werden sollen, von dem Wert der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36 ab.
Die Steuerung schreitet zu der Transportaufgabe unter Verwendung
der Lagerungsvorrichtung 36 fort. Wenn das Subtraktionsergebnis eine
negative Zahl zeigt, bestimmt der Hostcomputer 50, daß die Kassette 40 nicht
gespeichert werden kann. Darum schreitet die Steuerung nicht zu
der Eintrittsaufgabe fort. Wenn der Hostcomputer 50 in
die Phase der Eintrittsaufgabe eintritt, wird eine Eintrittsaufgabenanweisung
an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt. Entsprechend der übertragenen
Eintrittsaufgabenanweisung initiiert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die
Aufgabe, nachdem ein Lagerplatz für die Kassette 40 auf
einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ermittelt ist. Die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 wird während der
Speicherung beziehungsweise Lagerung der Kassette 40 nur
in dem Fall eines Fehlers nicht in der Lage sein, einen Lagerplatz
zu ermitteln. Dieses ist so, da der Hostcomputer 50 einen
verfügbaren
Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 bestätigt hat,
bevor diese Transportaufgabe initiiert wurde.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36 steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum
Transferieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zu
einem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an. Wenn
die Aufgabe vervollständigt
ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht,
daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe
für eine
Eingabe durch einen Bediener vervollständigt.
-
Entsprechend
des Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahrens für die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 ist
in den Hostcomputer 50 die Lagerkapazität für die maximale Anzahl von Kassetten,
die in jeder Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert werden können, im
voraus durch den Terminal 54 eingegeben. Beim Speichern
einer Kassette wird ein Lagerplatz ermittelt über die Information, die durch
Subtrahieren der Anzahl der zu speichernden Kassetten von dem Wert
der Lagerkapazität
erhalten wird. Dementsprechend kann die Aufgabe zum Speichern (Speicheraufgabe)
einer Kassette von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in
der Lagerungsvorrichtung 36 oder die Aufgabe zum Transportieren
(Transportaufgabe) einer Kassette zwischen Lagerungsvorrichtungen
ohne die Anforderungen an eine leere Einlaßpforte 88, die sich
auf einen automatischen Transportierer bezieht, oder eine leere
Pforte 98, die sich auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung
bezieht, ausgeführt
werden.
-
Der
automatische Transportierer 38 wird nicht länger am
Beginnen der Aufgabe des Transportierens (Transportaufgabe) einer
bearbeiteten Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gehindert,
bis es keine vorhergehende Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 gibt.
Darum ist das Problem der bearbeiteten Kassette 40, die
für eine
lange Zeit bei der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 belassen
wird, eliminiert. Außerdem
ist das Problem, daß die
vorbestimmte Transportfähigkeit
nicht gezeigt beziehungsweise erreicht wird, unabhängig von
einer niedrigen Betriebsrate des automatischen Transportierers 38 eliminiert.
-
Der
Fall, in dem die Transportaufgabe für die Kassette von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der
Lagerungsvorrichtung 36 nur unter Bedingung einer leeren
Einlaßpforte 88 der
Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird, und der Fall, in
dem der Lagerstatus des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 nicht
bestätigt
wird, wird nicht länger
angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine Kassette 40 eine
lange Zeit auf der Einlaßpforte 88 verbleibt,
selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 an
die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt worden ist, da es keinen
verfügbaren
Raum in dem Lagerplatz gibt, gelöst.
-
Der
Fall, daß die
Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 an
der Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) einer nachfolgenden
Kassette 40 in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 gehindert
wird, bis keine Kassette 40 auf der Pforte 98 vorhanden
ist, wird nicht länger
angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine nachfolgende Kassette 40 für eine lange
Zeit in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 verbleibt, gelöst. Außerdem ist das
Problem, daß die
vorbestimmte Transportfähigkeit
nicht erreicht beziehungsweise erfüllt wird, trotz einer niedrigen
Betriebsrate gelöst.
-
Desweiteren
wird der Fall, daß die
Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) der Kassette 40 von
der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu
der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 nur unter der Bedingung
einer leeren Pforte 98 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 ohne
Bestätigung
des Lagerstatus des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird,
nicht länger
angetroffen. Darum wird das Problem der Kassette 40, die
auf der Pforte 98 für
eine lange Zeit verbleibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung
von dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36,
der Transportaufgabe zu der Pforte 98 folgend, gesandt worden
ist, da kein verfügbarer
Raum zur Lagerung vorhanden ist, nicht länger angetroffen.
-
Desweiteren
wird das Problem der Kassette 40, die auf der Einlaßpforte 116 für eine lange
Zeit verbleibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von
dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt
worden ist, da kein Speicherplatz verfügbar ist, nicht länger angetroffen.
-
Die
Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) der Kassette 40 von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 oder
von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 kann
initiiert werden, solange ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 für eine nachfolgende
Kassette 40 ermittelt worden ist, selbst falls es eine
Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 oder der
Pforte 98 gibt. Die Kassette 40 wird nicht für eine extra
Zeit an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder
der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 belassen. Außerdem wird
die Kassette 40, die an der Einlaßpforte 88, der Pforte 98 und
der Einlaßpforte 116 ankommt,
nicht für
eine Leerlaufzeit verbleiben, da der Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 in
der Lagerungsvorrichtung 36 ermittelt ist.
-
Das
Austrittssteuerverfahren für
die Ausgabe der Kassette 40 aus der Lagerungsvorrichtung 36 in
der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 wird
im folgenden beschrieben, das hauptsächlich in (4) die Aufgabe des
Entladens des automatischen Transportierers 38 durch die
Auslaßpforte 86,
(5) die Aufgabe des Entladens zu der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 von
der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 durch die Pforte 98,
und (6) die Aufgabe des Entladens an einen Bediener durch die Auslaßpforte 118 unterteilt ist.
-
Austrittssteuerverfahren
für Aufgabe
(4)
-
Wie
in einem herkömmlichen
Fall sucht, wenn eine Kassettenladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an
den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58 gesandt wird, der Hostcomputer 50 nach
einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36.
Die Steuerung schreitet zu der Austrittsaufgabe fort, wenn es eine
solche Kassette 40 gibt. Der Hostcomputer 50,
der in die Phase der Austrittsaufgabe eintritt, sendet an die Lagerungsvorrichtung 36 an
eine Anweisung für
die Aufgabe zum Ausgeben (Austrittsaufgabenanweisung) der Kassette 40 auf
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an die Auslaßpforte 86, die
für die
entsprechende der Verarbeitungsvorrichtungen 32 und 34 vorbestimmt
ist. Auf das Empfangen der Austrittsaufgabenanweisung hin steuert
die Lagerungsvorrichtung 36 den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum
Transferieren der relevanten Kassette 40 zu der Auslaßlieferungspforte 100 an.
Dann wird die Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100 an
die Auslaßpforte 86 durch
die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 geliefert.
Die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 muß die Orientierung
der Kassette 40 während
dieser Aufgabe nicht um 90° drehen.
-
Auf
die Vervollständigung
der Austrittsaufgabe an die Auslaßpforte 86 hin sendet
die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, daß die Aufgabe
vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50. Während dieser Abfolge von Schritten
der Aufgabe der Lagerungsvorrichtung 36 wird die Information
des Entladens der Kassette 40 aus dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den
Lagerungsvorrichtungskran 80 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 von
der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gesendet. Der Hostcomputer 50, der
diese Information empfängt,
addiert, im Gegensatz zu dem Subtrahieren bei der Eintrittsaufgabe, diese
Anzahl der entladenen Kassetten zu dem Wert der Kassettenkapazität in der
Lagerungsvorrichtung 34. Die Kassette 40, die
an der Auslaßpforte 86 entladen
worden ist, wird durch den automatischen Transportierer 38 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 transportiert,
die die Ladeanfrage ausgegeben hat.
-
Austrittssteuerverfahren
für Aufgabe
(5)
-
Der
Hostcomputer 50, der einen Bericht, daß die Eintrittsaufgabe vervollständigt ist,
von der Lagerungsvorrichtung 36 empfängt, bestimmt eine geeignete
Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 entsprechend einer nachfolgenden
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die durch die
gespeicherte Information in der Kassette 40 identifiziert
wird beziehungsweise ist. Eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung
wird über
das Kommunikationskabel 58 an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesendet.
Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66,
die die Transportanweisung empfängt,
sendet zuerst eine Anfrage an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 über das
Kommunikationskabel 58 zum Ausführen einer Übertragungsaufgabe für die Kassette 40 von
dem Lagerplatz zu der Pforte 98. Die Lagerungsvorrichtung 36,
die die Anfrage empfängt,
transferiert die geeignete Kassette 40 unter Verwendung
des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann wird ein Bericht,
daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.
-
Wenn
der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von
dem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entlädt, sendet
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 diese Information
an den Hostcomputer 50 über
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66.
Alternativ wird die Information direkt an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50,
der diese Information empfängt, addiert
die Anzahl der entladenen Kassetten zu der Anzahl der Kassettenkapazität in der
Lagerungsvorrichtung 36. Die Kassette 40, die
aus der Pforte 98 entladen worden ist, wird zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 entsprechend
der Aufgabe (2), in der die Kassette 40 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu
der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 befördert wird,
transportiert.
-
Austrittssteuerverfahren
für Aufgabe
(6)
-
Der
Fall, in dem der automatische Transportierer 38 nicht installiert
ist, wird nun betrachtet. Als Reaktion darauf, daß die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 eine
Kassettenladeanfrage an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 sendet, sucht der Hostcomputer 50 nach
einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36.
-
Wenn
es eine Kassette 40 gibt, schreitet der Hostcomputer 50 mit
einer Phase der Austrittsaufgabe fort. Der Hostcomputer 50 sendet
an die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58 eine
Transportaufgabenanweisung, d.h, die Anweisung für die Aufgabe zum Transport,
der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an
die Auslaßpforte 118,
die für
die jeweilige Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 vorbestimmt
ist, wie in dem Fall der Auslaßpforte 86.
Als Reaktion transferiert die Lagerungsvorrichtung 36 die
Kassette 40 zu der Auslaßpforte 118 mittels
des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann wird eine Anzeige,
die eine Ausgabe beziehungsweise Entnahme durch die Auslaßpforte 118 erlaubt,
auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36 geliefert.
-
Der
Bediener, der die Nachricht des Erlaubens des Entladens liest, nimmt
die Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 und manipuliert
die Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrichtung 36 mitzuteilen,
daß die
Entladeaufgabe vervollständigt
ist. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 36, daß die Austrittsaufgabe
vervollständigt
ist. Ein Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, wird an den Hostcomputer 50 über das Kommu nikationskabel 58 gesendet.
Wenn der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von
dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entlädt, liefert
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 diese Information
an den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50,
der diese Information empfängt,
addiert die Anzahl der entladenen Kassetten zu dem Wert der Kassettenkapazität in der
Lagerungsvorrichtung 36. Der Bediener, der die Kassette 40 entlädt, nähert sich
dem Terminal 56 des Hostcomputers 50, um die Verarbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
identifizieren, die die Ladeanfrage ausgegeben hat. Dann transportiert
der Bediener die Kassette 40 zu den Kassettenständern 172, 182 der
geeigneten Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.
-
Bei
dem obigen Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerungsverfahren
addiert der Hostcomputer 50 die Anzahl der entladenen Kassetten
entsprechend der Information, die von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 berichtet
wird, wenn die Kassette 40 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 von
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen wird, zu dem
Wert der Kassettenkapazität
in der Lagerungsvorrichtung 36, im Gegensatz zu der Subtraktion,
die bei der Eintrittsaufgabe in die Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird.
Dementsprechend identifiziert der Hostcomputer 50 einen
verfügbaren
Raum des Lagerplatzes. Als ein Ergebnis kann der Hostcomputer 50 eine
Transportaufgabe zu dem Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
der Lagerungsvorrichtung 36 oder zwischen den Lagerungsvorrichtungen 36 schneller
als in dem Fall initiieren, in dem die Transportaufgabe durch die
Information einer leeren Einlaßpforte 88 bzw.
einer leeren Pforte 98 getriggert wird.
-
Derart
wird der Fall des automatischen Transportierers 38, der
am Initiieren einer Transportaufgabe für einen Transport einer bearbeiteten
Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gehindert
wird, bis es keine vorhergehende Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 mehr
gibt, nicht länger
angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine bearbeitete Kassette
für eine
lange Zeit bei der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verbleibt,
gelöst.
Außerdem
ist das Problem, daß die
vorbestimmte Transportfähigkeit nicht
erreicht werden kann, obwohl die Betriebsrate des automatischen
Transportierers 38 niedrig ist, gelöst.
-
Außerdem wird
der Fall der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42,
die am Initiieren einer Transportaufgabe zum Transportieren einer
nachfolgenden Kassette 40 aus der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 gehindert
wird, bis es keine vorhergehende Kassette 40 auf der Pforte 98 mehr
gibt, nicht länger
angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine nachfolgende Kassette 40 bei der
Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 verbleibt, eliminiert.
Außerdem
ist das Problem gelöst,
daß eine vorbestimmte
Transportfähigkeit
nicht erreicht beziehungsweise gezeigt wird, obwohl die Betriebsrate
der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung niedrig ist.
-
Daher
wird die Transportaufgabe zum Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
der Einlaßpforte 88 und
von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 sofort
initiiert, wenn es physisch einen verfügbaren Raum in beziehungsweise
auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 der Lagerungsvorrichtung 36 gibt.
Es gibt einen Vorteil dahingehend, daß die Standbyzeit für die Kassette 40 bei
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 reduziert
werden kann.
-
Der
Hostcomputer 50 hält
die Information über
den Lager- bzw. Speicherplatz jeder Kassette 40 in der
Lagerungsvorrichtung 36 nicht. Die Verwaltung derselben
ist der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 überlassen.
Darum identifiziert der Hostcomputer 50 in den Speicher-
bzw. Lagerplatz auf der Basis eines numerischen Wertes. In anderen
Worten, der Speicher- bzw. Lagerplatz wird geregelt entsprechend
eines Wertes, der erhalten wird durch Subtrahieren der geeigneten
Anzahl von Kassetten von der Lagerungsvorrichtungskapazität, d.h.
der maximalen Anzahl von Kassetten, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
werden kann. Ein anderes Verfahren des Erkennens des Lagerplatzes
wird im folgenden beschrieben.
-
Der
Hostcomputer 50 empfängt
Informationen, die sich auf den mit Kennungen versehen Lagerplatz
in der Lagerungsvorrichtung 36, wie es in den 7A und 7B gezeigt
ist, bezieht, über
den Terminal 54 und einen Bericht über den einer relevanten Kennung
entsprechenden Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36,
wenn eine Speicher- beziehungsweise Lagerungsaufgabe für eine Kassette 40 von
der Lagerungsvorrichtung 36 vervollständigt ist. Durch diese Informationen
kann der Hostcomputer 50 identifizieren, daß es einen
verfügbaren
Raum in dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, wenn
es keine Kassette 40 in diesem Lagerplatz gibt, d.h. in
diesem mit der entsprechenden Kennung versehenen Teil des Lagerplatzes.
-
Der
Hostcomputer 50 bezeichnet der Lagerungsvorrichtung 36 bei
der Eintrittsaufgabe den Lagerplatz für die Kassette 40 nicht.
Der Lagerplatz wird durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 bestimmt.
Es kann eine Näherung
in Betracht gezogen werden, bei der der Hostcomputer 50 den
Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 36 selbst vor einer
Eintrittsaufgabe bestimmt und die Anweisung an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet.
In diesem Fall wird die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerplatz
nicht bestimmen und speichert beziehungsweise lagert eine geeignete
Kassette 40 an dem Lagerplatz, der durch den Hostcomputer 50 bezeichnet
ist. Der Hostcomputer 50 kann identifizieren, daß es einen
verfügbaren
Raum in dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 36 gibt,
wenn es keine Kassette 40 an dem Lagerplatz gibt.
-
Der
Hostcomputer 50 kann durch den Terminal 54 eine
Mehrzahl von Einlaßpforten 88 spezifizieren,
die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt
werden können.
Außerdem
kann die Verwendungsabfolge der Einlaßpforten 88 zusammen
damit spezifiziert werden. Zum Beispiel wird in dem Fall, der in 1 gezeigt
ist, zum Beispiel die Anzahl der Einlaßpforten 88, die einer
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entsprechen, auf
2 gesetzt, und die Verwendungsabfolge derselben wird spezifiziert.
Wenn eine Übergabeanfrage
für die
Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32 an
den Hostcomputer 50 gesandt wird, bestimmt der Hostcomputer 50 eine
entsprechende Einlaßpforte
aus der Mehrzahl der Ein laßpforten 88,
die der zuvor verwendeten Einlaßpforte 88 nachfolgend
ist, oder die erste Einlaßpforte 88 der
spezifizierten Verwendungssequenz, wenn es keine weitere Einlaßpforte 88 in
der Sequenz gibt, die für
die Transportaufgabe der Kassette 40 zu verwenden ist.
-
Entsprechend
des Lagerungsvorrichtungseintrittssteuerverfahrens kann eine Mehrzahl
von Einlaßpforten 88 für einen
automatischen Transportierer einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet
werden. Durch Zuordnen von Einlaßpforten 88 mit einer
vorbestimmten Reihenfolge, können
die Einlaßpforten 88 im
wesentlichen gleich benutzt werden.
-
Desweiteren
kann der Hostcomputer 50 bevorzugterweise eine Mehrzahl
von Einlaßpforten 88 durch
den Terminal 54 spezifizieren, die für eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt
werden können.
Außerdem
kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich enthalten,
in dem die Anzahl der Transportaufgaben, die aus den Transportaufgabenanweisungen,
die an den automatischen Transportierer 38 bezüglich jeder
Pforte 88 ausgegeben worden sind, noch nicht vervollständigt sind,
gespeichert werden können.
Wenn der Hostcomputer 50 eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 empfängt, sucht
der Hostcomputer 50 nach einer Einlaßpforte 88, die für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar ist.
Wenn es eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 gibt,
die benutzt werden können,
vergleicht der Hostcomputer 50 die Anzahl der Transportanweisungen,
die in dem Datenbereich entsprechend der entsprechenden Pforte 88 gespeichert
sind, um die Einlaßpforte 88 auszuwählen, die
einen niedrigeren Wert zeigt. Der Hostcomputer 50 addiert
1 zu dem Wert in diesem Datenbereich, der mit der ausgewählten Pforte 88 in
Beziehung steht, und sendet eine Transportaufgabenanweisung an den
automatischen Transportierer 38. Wenn eine Aufgabe vervollständigt ist,
wird der Wert in dem Datenbereich um eins erniedrigt. Wenn es eine
Mehrzahl von Pforten 88 gibt, die dieselbe Anzahl von noch
nicht vervollständigten
Transportaufgaben zeigen, dann wählt
der Hostcomputer 50 eine willkürliche beziehungsweise frei
wählbare
Pforte 88 aus diesen aus.
-
Entsprechend
des Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahrens kann
eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 einer
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden.
Eine Transportaufgabenanweisung kann an einen anderen automatischen
Transportierer 38 gesandt werden, so daß die Anzahl der Aufgaben,
die noch nicht vervollständigt
sind, ausgeglichen werden kann. Darum kann die Verwendungsfrequenz
der Pforten 88 im wesentliche ausgeglichen werden.
-
Darum
wird das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung
der Einlaßpforten 88 abhängig von
der Bearbeitungsfähigkeit
und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 aufgrund
der Bestimmung der Anzahl der Einlaßpforten 88, die durch
die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt werden
können,
auf eins, obwohl es eine Mehrzahl derselben gibt, gelöst.
-
Selbst
falls die Bearbeitungsfähigkeit
und der Betriebszustand der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 unterschiedlich
sind, kann die Mehrzahl der Einlaßpforten 88 bezüglich der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 im
wesentlichen gleich verwendet werden, so daß das Problem der Variation
in der Verwendung und der Belegung der Einlaßpforten 88 eliminiert
wird.
-
Wenn
es eine Übergabeanfrage
für eine Kassette 40 von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gibt und ein
Lagerplatz in der geeigneten Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist,
wählt der
Hostcomputer 50 eine aus der Mehrzahl der Einlaßpforten 88 aus, so
daß die
Einlaßpforten 88 gleichmäßig benutzt
werden, und sendet eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen
Transportierer 38. Darum kann in dem Fall, in dem die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84,
die zum Transferieren der Kassette 40 an der Einlaßpforte 88 zu
der Einlaßlieferungspforte 104 arbeitet,
defekt ist, der Hostcomputer 50 nicht die Fehlfunktion
derselben detektieren, so daß eine Transportaufgabenanweisung
für einen
Transport der Kassette 40 zu der Einlaßpforte 88 an den
automatischen Transportierer 38 gesandt wird.
-
Um
dieses Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 einen
Datenbereich halten beziehungsweise aufweisen, in dem die Anzahl
der Aufgaben, die durch den automatischen Transportierer 38 noch
nicht vervollständigt
sind, entsprechend jeder aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 88,
die durch den Terminal 54 eingegeben worden sind, gespeichert
ist. Ein oberer Grenzwert derselben kann ebenfalls spezifiziert
werden. Beim Senden einer Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 unterdrückt der
Computer 50 die Verwendung einer gewissen Einlaßpforte 88,
wenn der Wert in dem Datenbereich, der dieser Pforte entspricht,
an dem oberen Grenzwert angekommen ist. Der Hostcomputer 50 sucht
nach einer anderen Einlaßpforte 88 als
Kandidaten. Wenn es keine geeignete Pforte gibt, wird ein Warten
auf die Vervollständigung
einer Transportaufgabe zu der Einlaßpforte 88 ausgeführt.
-
Der
Hostcomputer 50 kann einen oberen Grenzwert für jede Einlaßpforte 88 setzen.
Beim Senden einer Transportaufgabenanweisung, die mit der Einlaßpforte 88 in
Verbindung steht, wird der Hostcomputer 50 nicht länger einer
Anweisung senden, die einer Einlaßpforte 88 entspricht,
deren Anzahl von noch nicht vervollständigten Aufgaben den oberen
Grenzwert überschreitet.
Der Fall, in dem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen
aufgrund einer Fehlfunktion der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 bei
der automatischen Transportvorrichtung 38 angesammelt wird,
wird nicht angetroffen.
-
Desweiteren
ist es zu bevorzugen, daß der Hostcomputer 50 die
Vorrichtungstatusdaten, die Verfügbarkeit/Nicht-Verfügbarkeit
jeder Einlaßpforte 88 anzeigen,
halten beziehungsweise speichern kann. Die Daten können über den
Bedienerterminal 56 geändert
werden. Wenn der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung
an den automatischen Transportierer 38 bezüglich einer
Einlaßpforte 88 sendet, überprüft der Hostcomputer 50 die
Vorrichtungstatusdaten, um die Verwendung einer gewissen Pforte
zu unterdrücken,
wenn die Daten eine Nicht-Verfügbarkeit
anzeigen, und er sucht nach der nächsten möglichen Einlaßpforte 88 als
Kandidat. Wenn es keine geeignete Pforte 88 gibt, wartet
der Hostcomputer 50 darauf, daß die Vorrichtungstatusdaten
für die
Einlaßpforte 88 auf "verfügbar" geändert werden.
-
Die
Vorrichtungstatusdaten, die in dem Hostcomputer 50 anzeigen,
ob die jeweilige Einlaßpforte 88 verfügbar ist
oder nicht, können über den
Bedienerterminal 56 in "nicht
verfügbar" modifiziert werden,
wenn die Einlaßpforte 88 defekt
ist. Der Hostcomputer 50 kann die defekte Einlaßpforte 88 detektieren,
um die Übertragung
einer Transportaufgabenanweisung bezüglich der defekten Pforte 88 an
den automatischen Transportierer 38 zu unterbinden beziehungsweise
zu sperren. Der Fall, in dem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen
bei einem automatischen Transportierer 38 aufgrund einer
Fehlfunktion der defekten Einlaßpforte 88 und ähnlichem
angesammelt wird, wird nicht länger
angetroffen.
-
Der
automatische Transportierer 38 initiiert eine Transportaufgabe
auf das Empfangen einer Transportaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 hin,
die mit der Einlaßpforte 88 von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in Verbindung
steht. Der automatische Transportierer 38 entlädt die Kassette 40 von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum Plazieren
der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88. Der automatische
Transportierer 38 bestätigt,
ob keine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 verblieben
ist, bevor er eine beziehungsweise die Kassette 40 dort plaziert.
Die Bestimmung eines Fehlers wird gemacht, wenn eine andere Kassette 40 verblieben
ist, und der Fehler wird sofort an den Hostcomputer 50 berichtet.
Es gibt eine Möglichkeit,
daß eine
Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 verblieben
ist. Darum kann die Transportaufgabe häufig entsprechend des Fehlerstatus,
der durch den automatischen Transportierer 38 berichtet
wird, unterbrochen werden.
-
Dieses
Problem kann vermieden werden, wie es im folgenden erläutert wird.
Wenn der automatische Transportierer 38 eine Kassette 40 auf
einer Einlaßpforte 88 in
dem Fall zu plazieren hat, in dem bereits eine andere Kassette 40 darauf
plaziert ist, wartet der automatische Transportierer 38 eine
vorbestimmte Zeit darauf, daß die
vorhergehende Kassette 40 entladen wird, ohne einen Fehler
beziehungsweise eine Fehlermeldung auszugeben. Der automatische
Transportierer 38 kann sofort mit der Aufgabe des Transferierens
der Kassette 40 auf der Transferhalterung 150 des
automatischen Transportierers 38 zu der Einlaßpforte 88 beginnen,
wenn die vorhergehende Kassette 40 weggenommen ist. Wenn
die vorhergehende Kassette 40 selbst nach einem Ablauf
der vorbestimmten Zeit nicht entladen wird, d.h. wenn die vorhergehende
Kassette 40 nicht zu der Einlaßlieferungspforte 104 durch
die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 transferiert
wird, wird die Bestimmung, daß ein
Fehlerstatus vorliegt, gemacht. Dann kann ein Fehlerbericht an den
Hostcomputer 50 gesandt werden.
-
Derart
kann der Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 eine
Transportaufgabenanweisung bezüglich
einer gewissen Einlaßpforte 88 senden,
ohne bestätigen
zu müssen,
ob diese Pforte verfügbar
ist oder nicht. Außerdem
kann die Standbyzeit der Kassette 40, die von den Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 zu
entladen ist, reduziert werden.
-
Herkömmlicherweise
gibt der Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung
zum Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
der Einlaßpforte 88 der
Lagerungsvorrichtung 36 aus, nachdem er bestätigt hat,
ob diese Einlaßpforte 88 verfügbar ist.
Darum ist die Transportaufgabenanweisung, die an den automatischen
Transportierer 38 durch den Hostcomputer 50 gesandt
werden kann, auf die Anzahl der Pforten 88 beschränkt. Der
Hostcomputer 50 wird eine Transportaufgabenanweisung an
den automatischen Transportierer 38 senden solange eine
Lagerplatz für
die Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 ermittelt
ist. Darum gibt es eine Möglichkeit,
daß eine
große
Anzahl von Transportaufgabenanweisungen, die der Anzahl der Kassettenstände 172, 182 der
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entspricht, an den
automatischen Transportierer 38 gesandt wird. Selbst falls
eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen von dem Hostcomputer 50 an
den automatischen Transportierer 38 gesandt wird, ist die
Aufgabe, die ausgeführt
wird, im wesentlichen auf die Transportfähigkeit des automatischen Transportierers 38 begrenzt.
Dieses bedeutet, daß eine
Mehrzahl von Kassetten 40 verbleibt, die aufeinanderfolgend
durch den automatischen Transportierer 38 zu bearbeiten
beziehungsweise zu transportieren sind. Es ist daher wertlos, eine
Mehrzahl von Aufgabenanweisungen, die diese Begrenzung überschreiten,
zu senden. Desweiteren ist der automatische Transportierer 38 in
seiner Zuverlässigkeit
niedriger als der Hostcomputer 50. Es gab ein Problem dahingehend, daß, wenn
der automatische Transportierer 38, der einer Mehrzahl
von Aufgabenanweisungen entspricht, defekt wird, die Erholungszeit
beziehungsweise Reparaturzeit desselben eine signifikante lange
Zeit in Anspruch nimmt.
-
Um
das obige Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 über ein
Terminal 54 einen vorbestimmten Grenzwert für die Anzahl
von Transportaufgaben, die momentan durch den automatischen Transportierer 38 ausgeführt wird,
spezifizieren. Der Hostcomputer 50 kann außerdem einen
Datenbereich halten beziehungsweise speichern, in dem die Anzahl
der momentan ausgeführten
Aufgaben gespeichert wird. Beim Senden einer Transportaufgabenanweisung
an den automatischen Transportierer 38 bestätigt der
Hostcomputer 50, ob die Anzahl der momentan ausgeführten Aufgaben,
die in dem Datenbereich gespeichert ist, niedriger als der spezifizierte
Grenzwert ist. Wenn die Anzahl der momentanen Aufgaben kleiner als
der Grenzwert ist, addiert der Hostcomputer 50 zu dem Wert
in diesem Datenbereich 1 hinzu. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist,
erniedrigt der Hostcomputer 50 den Wert in dem Datenbereich
um 1. Wenn der Wert in dem Datenbereich gleich zu dem vorbestimmten
Grenzwert ist oder diesen überschreitet
wird die Übertragung
einer Transportaufgabenanweisung zurückgestellt bis der Wert in
dem Datenbereich kleiner als der Grenzwert wird.
-
Der
Hostcomputer 50 wird keine überflüssigen Transportaufgabenanweisungen
an den automatischen Transportierer 38 senden. Darum wird
der Fall, indem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen bei
einer Steuerung 60 für
einen automatischen Transportierer aufgrund einer Fehlfunktion des
automatischen Transportierers 38 angesammelt wird, nicht
länger
angetroffen.
-
Entsprechend
des Eintrittssteuerverfahrens für
das Eingeben der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 plaziert
der Bediener die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 und
manipuliert die Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36.
Die Lagerungsvorrichtung 36 kann durch diesen Betrieb detektieren,
daß eine
Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert
worden ist. Dementsprechend wird die Information, die in der ID-Karte 72 dieser
Kassette 40 gespeichert ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120
ausgelesen. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 erhält Kenntnis,
daß die
Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 vorhanden
ist und ermittelt einen Lagerplatz für die Kassette 40.
Wenn eine Bestimmung gemacht wird, daß die Kassette 40 nicht
gelagert werden kann, sendet der Hostcomputer 50 keine
Aufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 und wartet
darauf, daß ein
Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar wird.
Genauer gesagt wird die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 belassen,
bis ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar wird.
Der Bediener muß die
Eintrittsaufgabe für
die Kassette 40 nicht ausführen, falls er/sie weiß, daß es keinen
verfügbaren
Lagerplatz gibt. In dem Fall, in dem nur eine Pforte, die als Einlaßpforte 116 und
als Auslaßpforte 118 fungiert,
vorgesehen ist, gibt es eine Möglichkeit, daß die Austrittsaufgabe
unterdrückt
wird, da es eine Kassette 40 an der Pforte gibt, die einzugeben
ist.
-
Der
Hostcomputer 50 sucht nach einem Lagerplatz für die Kassette 40 in
der Lagerungsvorrichtung 36 auf das Empfangen eines Berichtes
von der Lagerungsvorrichtung 36, daß eine Kassette 40 an der
Einlaßpforte 116 angekommen
ist. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, kann der Hostcomputer 50 den
Bericht über
das Ankommen vernachlässigen.
In diesem Fall kann die Lagerungsvorrichtung 36 dem Bediener
auf ihrer eigenen Bedienungstafel 121 eine Nachricht präsentieren,
daß ein Lagerplatz
nicht ermittelt werden kann, um auf die weitere Tätigkeit
des Bedieners zu warten. Der Bediener, der die Nachricht auf der
Bedienungstafel 121 liest, nimmt die Kassette 40 von
der Einlaßpforte 116 weg.
Dieses Wegnehmen der Kassette 40 wird an die Lagerungsvorrich tung 36 durch
Betätigen
der Bedienungstafel 121 berichtet. Die Lagerungsvorrichtung 36 identifiziert,
daß die
Kassette 40 weggenommen worden ist, und kehrt zu dem Zustand
vor dem Plazieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zurück.
-
Wenn
ein Lagerplatz für
die Kassette 40, die an der Einlaßpforte 116 plaziert
ist, nicht ermittelt werden kann, kann der Hostcomputer 50 dieses
dem Bediener über
die Lagerungsvorrichtung 36 mitteilen. Damit kann der Bediener
einen anderen Vorgang bezüglich
der Kassette 40 ausführen.
Außerdem
kann das Problem, daß eine
Kassette, die die eine Pforte, die als sowohl die Einlaßpforte 116 als
auch die Auslaßpforte 118 dient,
belegt, in einem vergleichbaren Status die Ausführung einer Austrittsaufgabe
verhindert, eliminiert werden.
-
Der
Hostcomputer 50 wird an den automatischen Transportierer 38 eine
Transportaufgabenanweisung für
einen Transport einer Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
einer Einlaßpforte 88 auf
das Empfangen einer Übergabeanfrage von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 senden, solange
ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 vorhanden
ist. Außerdem
wird eine Transportaufgabenanweisung für den Transport einer Kassette 40, die
in einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist,
zu einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt,
solange es einen verfügbaren
Lagerplatz in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 gibt.
Wenn ein Bericht von der Lagerungsvorrichtung 36 über die
Ankunft der Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 geliefert
wird, wird eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt,
falls es einen verfügbaren
Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt. Desweiteren
wird der Hostcomputer 50 eine Austrittsaufgabenanweisung an
eine Lagerungsvorrichtung 36 auf das Empfangen einer Ladeanfrage
für eine
Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 hin
ausgeben, falls die Kassette 40, die zu bearbeiten ist,
in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert ist. Falls die
Lagerungsvorrichtung 36, der automatische Transportierer 38 oder
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 defekt
ist, wird eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen von dem
Hostcomputer 50 gesandt, selbst falls die Aufgabe tatsächlich nicht
ausgeführt
werden kann. Es gab ein Problem dahingehend, daß das Zurückkehren zu der vorhergehenden
Bedingung beziehungsweise dem vorherigen Zustand, d.h. das Erholen
von einer Fehlfunktion der defekten Vorrichtung und außerdem das
Neusenden der Transportaufgabenanweisung, zeitraubend ist.
-
Wenn
die Aufgabe des Lagerns einer Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in einer
Lagerungsvorrichtung 36, des Transportierens einer Kassette 40 von
einer Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder
zwischen den Lagerungsvorrichtungen 36 ausgeführt wird,
hat der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusinformation
nicht oder wird der Hostcomputer 50 nicht vor der Übertragung
die Vorrichtungsstatusinformation bestätigen, die anzeigt, ob die
relevante Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, der
automatische Transportierer 38, die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und/oder
die Lagerungsvorrichtung 36, die mit der Aufgabe in Beziehung
stehen, verfügbar
sind. Dieses wird der Grund des Problems, daß die Transportaufgabe für die Kassette 40 aufgrund
eines Ausfalls der diesbezüglichen Vorrichtung
unterbrochen wird, nachdem die Aufgabe initiiert worden ist.
-
In ähnlicher
Weise hat der Hostcomputer 50 beim Initiieren einer Eintrittsaufgabe über die
Einlaßpforte 116 oder
einer Austrittsaufgabe über
die Auslaßpforte 118 die
Vorrichtungsstatusinformation nicht und wird der Hostcomputer 50 nicht
vor dem Senden der Aufgabenanweisung die Vorrichtungsstatusinformation
bestätigen,
die anzeigt, ob die Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist
oder nicht. Dieses wird der Grund des Problems, daß die Aufgabe,
die auf die Kassette 40 bezogen ist, aufgrund eines Ausfalls
der Lagerungsvorrichtung 36 unterbrochen wird, nachdem
die Aufgabe initiiert worden ist.
-
Das
obige Problem kann gelöst
werden, wie es im folgenden beschrieben ist. Bei dem Lagerungsvorrichtungseintritts-/austrittsaufgabensteuerverfahren
kann der Hostcomputer 50 die Vorrichtungstatusdaten halten
beziehungsweise speichern, die anzeigen, ob die Lagerungsvorrichtung 36,
der automatische Transportierer 38 und/oder die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 verfügbar sind
oder nicht. Die Vorrichtungstatusdaten können über den Bedienerterminal 56 modifiziert
werden. Wenn eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 von
einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer
Einlaßpforte 88 an
einen automatischen Transportierer 38 zu senden ist, bestätigt der
Hostcomputer 50, ob dieser automatische Transportierer 38 und
die Lagerungsvorrichtung 36 beide verfügbar sind, mittels der Vorrichtungstatusdaten,
und er sendet dann die Transportaufgabenanweisung. Wenn eine Transportaufgabenanweisung
zum Transport einer Kassette 40 von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu
einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 zu senden ist, bestätigt der
Hostcomputer 50, daß die
Quellen-Lagerungsvorrichtung 36, die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und
die Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 verfügbar sind,
mittels der Vorrichtungstatusdaten und sendet dann die Transportaufgabenanweisung.
Wenn eine Aufgabenanweisung, die mit einer Einlaßpforte 116 in Verbindung
steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 zu senden ist, bestätigt der
Hostcomputer 50, ob die Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist,
mittels der Vorrichtungstatusdaten und sendet dann eine Eintrittsaufgabenanweisung.
Falls es als Ergebnis der Bestätigung der
Vorrichtungstatusdaten mindestens eine Vorrichtung gibt, die nicht
verfügbar
ist, wartet der Hostcomputer 50 darauf, daß die Vorrichtung
verfügbar
wird. Ähnlich
sendet bei der Austrittsaufgabe der Hostcomputer 50 eine
Austrittsaufgabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 86 zu einer
Lagerungsvorrichtung 36 verbunden ist, nachdem er bestätigt hat,
daß die
Lagerungsvorrichtung 36 und der automatische Transportierer 38 bei
der Beförderungsaufgabe
zum Befördern
der Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtung 36 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar sind.
Desweiteren wird eine Austrittsaufgabenanweisung, die mit einer
Auslaßpforte 118 verbunden
ist, an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt, nachdem bestätigt ist,
daß die
Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist.
-
Die
Anweisung für
eine Transportaufgabe wird an die Lagerungsvorrichtung 36,
den automatischen Transportierer 38 oder die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt,
nachdem bestätigt
ist, daß alle
Vorrichtungen, die mit der Transportaufgabe für den Transport zu dem Lagerplatz
in der Lagerungsvorrichtung 36, der der letztendliche Bestimmungsort
ist, oder eine relevante Vorrichtung verfügbar sind beziehungsweise ist.
Darum wird der Fall, indem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen
bei einer Transportvorrichtung angesammelt wird, die aufgrund einer
Fehlfunktion nicht arbeitet, eliminiert. Außerdem wird die Aufgabe nicht
während
des Betriebes unterdrückt.
-
Entsprechend
dieses Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahrens, bei
dem eine Transportaufgabenanweisung nach der Bestätigung,
daß alle
die Vorrichtungen, die mit der Transportaufgabe in Beziehung stehen,
verfügbar
sind, gesandt wird, wird ein Standbyzustand beim Einbringen einer
Kassette 40 durch eine Einlaßpforte 116 erhalten
werden, wenn die Vorrichtungstatusdaten für die Lagerungsvorrichtung 36 anzeigen, daß sie nicht
verfügbar
ist. Es gibt ein Problem dahingehend, daß der Bediener die Eintrittsaufgabe
für diese
Kassette 40 nicht löschen
beziehungsweise stornieren kann.
-
Das
obige Problem kann eliminiert werden, wie es nachfolgend beschrieben
ist. Wenn der Hostcomputer 50 die Vorrichtungstatusdaten
für die
Lagerungsvorrichtung 36 auf das Empfangen eines Ankunftsberichts
der Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 von der
Lagerungsvorrichtung 36 bestätigt, so daß ihm kenntlich wird, daß die Lagerungsvorrichtung 36 nicht
verfügbar
ist, kann der Hostcomputer 50 der Lagerungsvorrichtung 36 mitteilen,
daß sie nicht
verfügbar
ist und den Bericht der Ankunft der Kassette 40 vernachlässigen.
Die Lagerungsvorrichtung 36, die den Bericht empfängt, kann
dem Bediener eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 liefern, daß eine Lagerung
nicht ausgeführt
werden kann, um auf eine Tätigkeit
des Bedieners zu warten. Der Bediener, der die Anzeige auf der Bedienungstafel 121 liest,
nimmt die Kassette 40 von der Einlaßpforte 116 weg und
teilt der Lagerungsvor richtung 36 durch Betätigen der
Bedienungstafel 121 mit, daß die Kassette 40 weggenommen
worden ist. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 36,
daß die
Kassette 40 weggenommen worden ist. Ein Zustand, der dem
vorherigen Zustand vor dem Plazieren der Kassette 40 auf
der Einlaßpforte 116 entspricht,
wird erreicht.
-
Wenn
die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 nicht
gelagert werden kann, da die Vorrichtungstatusdaten für die Lagerungsvorrichtung 36 anzeigen,
daß sie
nicht verfügbar
ist, teilt der Hostcomputer 50 dieses dem Bediener entsprechend über die Lagerungsvorrichtung 36 mit.
Der Zustand vor dem Plazieren der Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 kann
erreicht werden. Darum kann der Bediener einen unterschiedliche
Vorgang beziehungsweise eine unterschiedliche Verfahrensweise für die Kassette 40 anwenden.
-
Die
Einlaßpforte 116 der
Lagerungsvorrichtung 36 kann unabhängig von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet
werden. Es ist nicht notwendig, wie in dem herkömmlichen Fall Daten über eine
verfügbare
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die diesem entspricht, über den
Terminal 54 zu liefern. Desweiteren können zwei Kassetten 40 zusammen auf
einmal plaziert werden, was unter Berücksichtigung der vorzüglichen
Fähigkeit
des Bedieners, zu arbeiten, bestimmt worden ist.
-
Wenn
der Bediener eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 lagern
will, wird zuerst die maximale Anzahl von zwei Kassetten 40 an
der Einlaßpforte 116 plaziert.
Dann wird die Bedienungstafel 121, die integral mit der
Lagerungsvorrichtung 36 vorgesehen ist, manipuliert. Der
Bediener kann die Kassette 40 an derselben Pforte ungeachtet
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Bearbeitung
der Kassette 40 vervollständigen wird, oder der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
die die nächste
Behandlung vornehmen wird, plazieren. Die Lagerungsvorrichtung 36,
der durch diesen Betrieb mitgeteilt worden ist, daß die Kassette 40 an
der Einlaßpforte 116 plaziert
ist, liest die Information, die in der ID-Karte 72 der
Kassette 40 gespeichert ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120.
Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt.
-
Der
Hostcomputer 50 wird nicht bestätigen, ob die Kassette 40 über die
Pforte eingegeben werden kann, wie bei der herkömmlichen Vorrichtung, und sendet
eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 nach
dem Ermitteln des Lagerplatzes. Entsprechend der Eintrittsaufgabenanweisung,
die über
das Kommunikationskabel 58 gesandt wird, initiiert die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Aufgabe nach dem
Bestätigen
eines Lagerplatzes auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36, die die Eintrittsaufgabe initiiert,
befördert
die erste und die zweite Kassette 40, die an der Einlaßpforte 116 plaziert
sind, zu dem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mittels
der Lagerungsvorrichtungskrans 80. Wenn die bezeichnete
Aufgabe vervollständigt
ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, daß die Aufgabe
vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe
für eine
Eingabe durch einen Bediener vervollständigt.
-
Die
Anzahl der Kassetten 40, die an der Einlaßpforte 116 der
Lagerungsvorrichtung 36 plaziert werden können, kann
auf 2 eingestellt werden. Zwei Kassetten sind die geeignete Anzahl,
wenn die Fähigkeit
des Bedieners, zu arbeiten, in Betracht gezogen wird. Es ist nicht
notwendig, die verfügbare
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für die jeweilige
Pforte 116 über
den Hostcomputer 50 einzustellen beziehungsweise zu setzen.
Derart wird die Fähigkeit
zum Ausführen
der Eintrittsaufgabe zum Eingeben der Kassette 40 in die
Lagerungsvorrichtung 36 durch den Bediener verbessert.
-
Das
Problem der Variation beim Gebrauch und der Belegung der Einlaßpforte 116 abhängig von der
Bearbeitungsfähigkeit
und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in
dem Fall, in dem eine Mehrzahl von Einlaßpforten 116 vorhanden ist
und die Anzahl, der Einlaßpforten 116,
die durch die Bearbeitungsvorrich tung 32, 34 verwendet
werden können,
auf 1 begrenzt ist, kann gelöst
werden.
-
Derart
kann die verfügbare
Einlaßpforte 116 entsprechend
einer frei wählbaren
Auswahl durch dem Bediener verwendet werden.
-
Der
Hostcomputer 50 hat die Information, die den Lagerplatz
für jede
Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 betrifft,
nicht. Die Verwaltung des Lagerplatzes wird der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 überlassen.
Der Lagerplatz wurde identifiziert durch Hinzufügen der Anzahl der ausgegebenen
Kassetten 40 zu dem Wert der Lagerungsvorrichtungskapazität und durch
Subtrahieren der eingegebenen Anzahl von Kassetten 40 von
dem Wert der Lagerungsvorrichtungskapazität auf der Basis der maximalen
Anzahl der Kassetten, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
werden können.
-
Die
Information, die dem mit Kennungen versehenen Lagerplatz einer Lagerungsvorrichtung 36 zugeordnet
ist, wie sie in den 7A und 7B gezeigt
ist, wird im voraus über
den Terminal 54 an den Hostcomputer 50 angelegt.
Der Hostcomputer 50 empfängt einen Bericht über den
Lagerplatz, wenn eine Lagerungsaufgabe für eine Kassette 40 von
der Lagerungsvorrichtung 36 vervollständigt ist. Entsprechend der
Information, die von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 berichtet
wird, wenn die Kassette 40 auf den Lagerungsvorrichtungskran 80 von
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen wird, kann der
Hostcomputer 50 detektieren, daß der Lagerplatz, an dem die
entladene Kassette 40 gelagert war, nun verfügbar ist.
-
Der
Hostcomputer 50 kann über
den Terminal 54 eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 zum Gebrauch
durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 spezifizieren
beziehungsweise spezifiziert bekommen. Außerdem kann die Verwendungssequenz
eingestellt werden. Zum Beispiel können in dem Fall aus 1 zwei
Auslaßpforten 86 als
für die
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar eingestellt
werden. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet
eine Ladeanfrage für
eine Kassette 40 an den Hostcomputer 50 über das
Kom munikationskabel 58. Der Hostcomputer 50 bestimmt
eine Auslaßpforte 86,
die in der Reihenfolge nachfolgend zu der Auslaßpforte 86 ist, die
zuvor verwendet worden ist, oder die erste Auslaßpforte 86, wenn es
keine Auslaßpforte 86 einer nachfolgenden
Rangfolge aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 86 gibt,
als die Auslaßpforte,
die für
die Transportaufgabe für
den Transport der Kassette 40 zu verwenden ist.
-
Entsprechend
des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahrens kann
eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 einer
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden.
Die Verwendungsfrequenz für
die Auslaßpforten 86 kann
durch Verwendung der Pforten 86 in der vorbestimmten Reihenfolge
ausgeglichen werden. Derart kann das folgende Problem, das in den
herkömmlichen
Fällen
angetroffen wird, gelöst
werden.
-
Genauer
gesagt gab es ein Problem dahingehend, daß eine Variation bei der Verwendung
und Belegung der Auslaßpforten 86 für einen
automatischen Transportierer abhängig
von der Bearbeitungsfähigkeit
und der Betriebsrate der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 auftrat,
wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt
und die Anzahl der Auslaßpforten 86,
die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet
werden können,
auf eins begrenzt war. Dieses Problem wird in der vorliegenden Anmeldung
gelöst.
Selbst wenn die Bearbeitungsfähigkeit
und der Betriebszustand jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 unterschiedlich
ist, kann die Verwendung der Mehrzahl von Auslaßpforten 86 durch
die Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 ausgeglichen
werden, um so das Problem der Variation in der Verwendung und der
Belegung der Auslaßpforten 86 zu
vermeiden.
-
Bevorzugterweise
kann der Hostcomputer eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86, die durch
eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt werden
können, über das
Terminal 54 spezifizieren. Der Hostcomputer 50 kann
einen Datenbereich enthalten, in dem die Anzahl der Austrittsaufgabenanweisungen, die
von einer Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben werden, die
noch nicht vervollständigt
sind, entsprechend für
jede Pforte 86 gespeichert wer den. Auf das Empfangen einer
Kassettenladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sucht
der Hostcomputer 50 nach einer Auslaßpforte 86 für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
die verfügbar
ist. Wenn es als Ergebnis der Suche eine Mehrzahl von verfügbaren Auslaßpforten 86 gibt,
vergleicht der Hostcomputer 50 den Wert in dem Datenbereich,
der mit der jeweiligen Pforte in Verbindung steht, um eine spezifische
Auslaßpforte 86 mit
dem kleineren Wert auszuwählen.
Der Wert in dem Datenbereich, der mit der ausgewählten Pforte 86 in
Verbindung steht, wird um 1 erhöht,
und eine Transportaufgabenanweisung wird an einen automatischen
Transportierer 38 gesandt. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist,
wird der Wert in dem Datenbereich, der dieser Pforte 86 entspricht,
um 1 erniedrigt. Wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt,
die demselben Wert entsprechen beziehungsweise diesen aufweisen,
wählt der Hostcomputer 50 eine
willkürliche
Pforte aus der Mehrzahl der Pforten 86 und sendet eine
Transportaufgabenanweisung an einen automatischen Transportierer 38.
-
Entsprechend
des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahrens kann
eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 einer
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden.
Eine Austrittsaufgabenanweisung wird an eine andere Lagerungsvorrichtung 36 gesandt,
so daß die Anzahl
der Aufgaben, die bezüglich
einer Pforte 86 noch nicht vervollständigt sind, gleich ist. Derart
kann die Verwendungsfrequenz der Pforten 86 im wesentlichen
ausgeglichen werden.
-
Das
Problem der Variation der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforten 86 abhängig von
der Bearbeitungsfähigkeit
und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt
und die Anzahl der Auslaßpforten 86,
die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet
werden kann, auf 1 begrenzt ist, kann eliminiert werden.
-
Selbst
wenn die Bearbeitungsfähigkeit
und der Betriebsstatus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sich
unterscheiden, kann die Mehrzahl der Auslaßpforten 86 im wesentlichen
mit einer gleichen Häufigkeit
bezüglich
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden.
Derart kann das Problem der Variation im Gebrauch und der Belegung
der Auslaßpforten 86 eliminiert
werden.
-
Wenn
es eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für eine Kassette 40 in
dem oben beschriebenen Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren
gibt, wählt
der Hostcomputer 50 eine Auslaßpforte 86 aus der
Mehrzahl der Auslaßpforten 86 in
einer gleichen Weise aus, wenn es mindestens eine Kassette 40,
die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt,
und sendet eine Austrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36.
Darum kann in dem Fall, in dem die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84,
die die Kassette 40 von der Auslaßlieferungspforte 100 an
die Auslaßpforte 86 transferiert,
defekt ist, der Hostcomputer 50 die Fehlfunktion nicht
detektieren und wird eine Austrittsaufgabenanweisung für die Kassette 40,
die sich auf die Auslaßpforte 86 bezieht,
an einen automatischen Transportierer 38 senden.
-
Um
dieses Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 einen
Datenbereich zum Speichern der Anzahl von Austrittsaufgaben, die
durch die Lagerungsvorrichtung 36 noch nicht vervollständigt sind,
bezüglich
jeder der Auslaßpforten 86 halten
und den oberen Grenzwert für
die Anzahl der Aufgaben über
den Terminal 54 setzen bzw. gesetzt erhalten.
-
In
der Phase des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung, die sich
auf die Auslaßpforte 86 bezieht,
löscht
beziehungsweise annulliert der Hostcomputer 50 die Verwendung
dieser Auslaßpforte 86, wenn
der Wert in dem Datenbereich, der sich auf diese Auslaßpforte
bezieht, an dem spezifischen oberen Grenzwert angekommen ist, und
versucht die nächste
mögliche
Auslaßpforte 86 zu
verwenden. Wenn es keine geeignete Auslaßpforte gibt, wird ein Warten auf
die Vervollständigung
einer Transportaufgabe, die mit einer verfügbaren Auslaßpforte
in Verbindung steht, ausgeführt.
-
Der
Hostcomputer 50 kann den oberen Grenzwert für die Anzahl
der Aufgaben, die noch nicht vervollständigt sind, für jede Auslaß pforte 86 einstellen.
Darum wird der Fall, in dem die Anzahl der Aufgaben, die noch nicht
vervollständigt
sind, den oberen Grenzwert überschreiten,
in der Phase des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung, die mit einer
Auslaßpforte 86 in
Verbindung steht, nicht auftreten. Außerdem wird der Fall, in dem
eine Mehrzahl von Austrittsaufgabenanweisungen bei einer Lagerungsvorrichtung 36 aufgrund
einer Fehlfunktion der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 angesammelt werden,
nicht länger
auftreten.
-
Bevorzugterweise
hält der
Hostcomputer 50 Vorrichtungstatusdaten, die anzeigen, ob
die jeweilige Auslaßpforte 86 verfügbar ist
oder nicht. Die Daten können über den
Terminal 56 geändert
werden. In der Phase des Sendens einer Transportaufgabenanweisung,
die mit einer Auslaßpforte 86 in
Verbindung steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 überprüft der Hostcomputer 50 die
Vorrichtungstatusdaten, um eine Verwendung der entsprechenden Auslaßpforte 86 zu
streichen beziehungsweise zu annullieren, wenn die Daten anzeigen,
daß sie
nicht verfügbar
ist. Die Verwendung der nächsten
möglichen
Auslaßpforte 86 wird
als der Kandidat, das heißt
als die nächste
Möglichkeit,
genommen. Wenn es keine verfügbare
Auslaßpforte 86 gibt,
wird ein Warten ausgeführt,
bis die Vorrichtungstatusdaten für
die nicht verfügbare
Auslaßpforte 86 in
Daten geändert
sind, die "verfügbar" anzeigen.
-
Da
der Hostcomputer 50 Vorrichtungstatusdaten hält, die
anzeigen, ob die jeweilige Auslaßpforte 86 verfügbar ist
oder nicht, können
die Daten einer Auslaßpforte 86,
wenn sie defekt ist, in "nicht
verfügbar" durch einen Bediener über den
Terminal 56 geändert
werden. Darum kann der Hostcomputer 50 eine defekte Auslaßpforte 86 detektieren
und die Übertragung
einer Austrittsaufgabenanweisung, die mit dieser Pforte in Verbindung
steht, an die Lagerungsvorrichtung 36 annullieren beziehungsweise sperren.
Desweiteren kann der Umstand, bei dem eine Mehrzahl von Austrittsaufgabenanweisungen bei
einer Lagerungsvorrichtung 36 aufgrund einer Fehlfunktion
der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 angesammelt
wird, nicht länger
angetroffen werden.
-
Während der
Phase der Eintrittsaufgabe bezüglich
der Lagerungsvorrichtung 36 als Reaktion auf eine Ladeanfrage
für eine
Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 kann
der Hostcomputer 50 an einen automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung
für einen
Transport der Kassette 40 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
die mit der Auslaßpforte 86 in
Verbindung steht, selbst dann senden, falls die Austrittsaufgabe
noch nicht vervollständigt
ist, entsprechend der Information, die den Aufgabenfortschritt,
d.h. den Fortschritt des Abarbeitens der Aufgabe, anzeigt, die von
der Lagerungsvorrichtung 36 während der Aufgabe beziehungsweise
des Abarbeitens der Aufgabe berichtet wird, d.h. von dem Beginn
bis zu dem Ende der Aufgabe.
-
Der
Hostcomputer 50 empfängt
eine Ladeanfrage für
eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
um eine Austrittsaufgabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 86 in
Verbindung steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 zu senden. Der
Hostcomputer 50 kann auch eine Transportaufgabenanweisung
an den automatischen Transportierer 38 für einen
Transport der momentanen Kassette 40 an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
die mit einer Auslaßpforte 86 in
Verbindung steht, senden, bevor die Austrittsaufgabe vervollständigt ist.
Dieses bedeutet, daß eine
Vorwärtsaufgabe
für den
automatischen Transportierer 38, d.h. eine Aufgabe zum Verschieben
des automatischen Transportierers 38 von der Standbyposition
zu der Quelle des Transportes, parallel zu der durch die Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführten Austrittsaufgabe
ausgeführt
werden kann.
-
Wenn
die Austrittsaufgabe bezüglich
der Auslaßpforte 86 vervollständigt ist,
wird die Transportaufgabenanweisung, die mit derselben Pforte 86 in
Verbindung steht, für
einen Transport zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an
den automatischen Transportierer 38 gesendet. Darum kann
das Problem einer Kassette 40, die auf der Auslaßpforte 86 verbleibt,
während
der Bewegung des automatischen Transportierers 38 von der
Standbyposition zu dieser Pforte 86 vermieden werden.
-
Derart
kann die Zeit, die für
die Transportaufgabe für
den Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benötigt wird,
verkürzt
werden.
-
Herkömmlicherweise
initiiert der automatische Transportierer 38 auf das Empfangen
einer Transportaufgabenanweisung für den Transport einer Kassette 40 von
der Auslaßpforte 86 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 von dem Hostcomputer 50 hin
die Aufgabe, um sich von der Standbyposition zu der Position vor
der Auslaßpforte 86 der
spezifizierten Lagerungsvorrichtung 36 zu bewegen. Dann beginnt
der automatische Transportierer 38 den Betrieb des Entladens
der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 86. Der automatische
Transportierer 38 bestätigt
vor dieser Entladeoperation, ob die Kassette 40 auf der
Auslaßpforte 86 plaziert
ist. Die Bestimmung eines Fehlerstatus wird gemacht, wenn es keine
Kassette 40 auf der Auslaßpforte 86 gibt. Ein
Fehler wird sofort an den Hostcomputer 50 gemeldet.
-
Es
wird der Fall angenommen, in dem der Hostcomputer 50 eine
Aufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 vor
der Vervollständigung
der Austrittsaufgabe für
die Ausgabe der Kassette 40 über die Auslaßpforte 86 sendet.
Es gibt eine Möglichkeit,
daß die
Kassette 40 nicht auf der Auslaßpforte 86 plaziert
ist, wenn der automatische Transportierer 38 an der Auslaßpforte 86 ankommt. In
einem solchen Fall wird der automatische Transportierer 38 eine
Fehlermeldung ausgeben, so daß die
Transportaufgabe häufig
unterbrochen wird.
-
Dieses
Problem wird vermieden, wie es im folgenden erläutert wird. Der automatische
Transportierer 38 empfängt
von dem Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung
für den
Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 der Lagerungsvorrichtung 36 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und initiiert
dann die Transportaufgabe. In der Phase, in der sich der automatische
Transportierer 38 von der Standbyposition zu der Auslaßpforte
der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 bewegt, um die Kassette 40 auf
der Auslaßpforte 36 zu
entladen, kann der automatische Transportierer 38 die Ausgabe
einer Fehlermeldung unterdrücken, selbst
falls die relevante Kassette 40 fehlt, und auf die Kassette 40 für eine vorbestimmte
Zeit warten. Wenn die Kassette 40 innerhalb der vorbestimmten
Zeit an die Auslaßpforte 86 geliefert
wird, initiiert der automatische Transportierer 38 sofort
den Betrieb des Entladens der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 auf
eine Transferhalterung 150 des automatischen Transportierers 38. Wenn
die relevante Kassette bei Ablauf der vorbestimmten Zeit nicht auf
der Pforte 86 plaziert ist, d.h. wenn die Kassette 40 nicht
von der Auslaßlieferungspforte 100 durch
die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 transferiert
wird, wird die Bestimmung gemacht, daß ein Fehler vorliegt, und
eine Fehlermeldung wird an den Hostcomputer 50 gesendet.
-
Mittels
des oben beschriebenen Mechanismus beziehungsweise der oben beschriebenen
Vorgehensweise kann der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung
an den automatischen Transportierer 38 für einen
Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 senden, bevor die
Austrittsaufgabe für
die Ausgabe der Kassette 40 an die Auslaßpforte 86 vervollständigt ist.
Darum kann die Standbyzeit für
die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Ladeanfrage ausgegeben
hat, reduziert werden.
-
Der
Hostcomputer 50 sendet an den automatischen Transportierer 38 eine
Transportaufgabenanweisung für
einen Transport einer Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
einer Einlaßpforte 88.
Der automatische Transportierer 38, der die Aufgabenanweisung
empfängt,
initiiert die Transportaufgabe und entlädt die Kassette 40 von
dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und
transportiert die Kassette 40 zu der Einlaßpforte 88 der
Bestimmungslagerungsvorrichtung 36. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet eine
Ladeanfrage für
eine Kassette 40 an den Hostcomputer 50, wenn
die vorhergehende Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 durch
den automatischen Transportierer 38 entladen, d.h. von
dort entfernt, worden ist.
-
Als
Reaktion auf diese Ladeanfrage sucht der Hostcomputer 50 nach
einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungs vorrichtung 36.
Eine Austrittsaufgabe zur Ausgabe einer Kassette 40 an die
Auslaßpforte 86 wird
durch die Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt. Dann
wird eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 von
der Auslaßpforte 86 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an einen automatischen
Transportierer 38 gesandt. Wie unter Bezugnahme auf 8 beschreiben
worden ist, der automatische Transportierer 38 enthält mindestens
zwei Kassettentransferhalterungen 150. Der automatische
Transportierer 38 bewegt sich zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 mit
einer Kassette 40 auf einer Transferhalterung 150 und
plaziert eine Kassette 40 auf einem Kassettenstand 172, 182,
für die
angefordert wurde, daß sie übergeben
wird, auf einer Kassettentransferhalterung 150. Der automatische
Transportierer 38 kann außerdem die transportierte Kassette 40 auf
der Kassettentransferhalterung 150 zu dem nun leeren Kassettenstand 172, 182 transferieren.
Jedoch sendet der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung
für einen
Transport einer Kassette von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
einer Einlaßpforte 88 und
eine Transportaufgabenanweisung einer Kassette 40 von einer
Auslaßpforte 86 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 individuell
an einen automatischen Transportierer 38, wodurch die Kassetten 40 entsprechend
transferiert werden.
-
Um
diesen Nachteil zu verbessern, kann der Hostcomputer 50 eine
Steuerung liefern, wie sie im folgenden erläutert wird. Wenn der Hostcomputer 50 eine Übergabeanfrage
für eine
Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 empfängt, sucht
der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40, die
zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36. Der Hostcomputer 50 wird
keine einzelne Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 für einen
Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
einer Einlaßpforte 88 senden.
Zuerst sendet der Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 eine
Austrittsaufgabenanweisung für eine
Ausgabe einer Kassette 40, die bearbeitet werden kann, über eine
Auslaßpforte 86.
Auf das Empfangen des Berichtes, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist,
sendet der Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 eine
Transportaufgabenanweisung für
einen Transport der Kassette 40, die zu übergeben
ist, von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
der Einlaßpforte 88 und
eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 von
der Auslaßpforte 86 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 als eine Transportaufgabenanweisung.
-
Die
Steuerung 60 für
den automatischen Transportierer, die die Transportaufgabe empfängt, die
den beiden Transportaufgaben entspricht, liefert eine Steuerung
derart, daß der
automatische Transportierer sich in Richtung der Auslaßpforte 86 der
Lagerungsvorrichtung 36 bewegt. Der automatische Transportierer 38 plaziert
die Kassette 40, die sich auf der Auslaßpforte 86 befindet,
auf der Transferhalterung 150 unter Verwendung des Armes 144,
der Hand 146 und der Handklaue 148. Dann bewegt
sich der automatische Transportierer 38 in Richtung der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.
An der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen
plaziert der automatische Transportierer 38 zuerst die
Kassette 40, die sich auf dem Kassettenstand 172, 182 befindet,
auf seiner leeren Transferhalterung 150 unter Verwendung
des Armes 144, der Hand 146 und der Handklaue 148 wie
in dem vorherigen Fall, wobei die transportierte Kassette 40 auf
der Transferhalterung 150 verbleibt. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, wird
die Kassette 40, die von der Auslaßpforte 86 geholt
worden und auf der Transferhalterung 150 plaziert worden
ist, auf den Kassettenstand 172, 182 entladen.
Dann liefert die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer
eine Steuerung derart, daß der
Wagen 140 sich der Einlaßpforte 88 der Lagerungsvorrichtung 36 nähert. Wenn
der Wagen 140 an der Einlaßpforte 88 ankommt,
wird die Kassette 40 auf der Transferhalterung 150 an
die Einlaßpforte 88 entladen,
um die Abfolge der Aufgabe beziehungsweise der Schritte der Aufgabe
zu vervollständigen.
-
Die
Steuerung 60 für
den automatischen Transportierer sendet einen geeigneten Bericht
an den Hostcomputer 50, wenn die Kassette 40 auf
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 plaziert ist.
Dem Hostcomputer 50 wird durch diesen Bericht mitgeteilt,
daß die
Kassette 40 an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen
ist. Dann sendet der Hostcomputer 50 eine Bearbeitungsstartauf gabenanweisung
an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 über das Kommunikationskabel 58.
-
Als
Reaktion auf eine Übergabeanfrage
für eine
Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sucht
der Hostcomputer 50 nach einer Kassette, die zu bearbeiten
ist und in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, und
sendet eine Transportaufgabenanweisung an 1 automatischen Transportierer 38 mit
2 Kassetten 40 als einem Paar, das heißt die zwei Kassetten 40 betrifft.
Der automatische Transportierer 38, der diese Transportaufgabenanweisung
empfängt,
führt die
Reihe von Aufgaben beziehungsweise Aufgabenschritten in der Abfolge
der Aufgabe des Holens der Kassette auf der Auslaßpforte 86,
der Aufgabe des Holens der Kassette 40 auf der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
der Aufgabe des Entladens der Kassette 40 von der Transferhalterung 150 an
die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und der Aufgabe
des Entladens der bearbeiteten Kassette 40 von der Transferhalterung 150 zu
der Einlaßpforte 88 aus.
Im Vergleich mit dem Fall, in dem die Transportaufgabe für einen
Transport der Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
der Einlaßpforte 88 und die
Transportaufgabe für
einen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 separat durch
den automatischen Transportierer 38 ausgeführt werden,
kann die Zeit, die für
die Transportaufgaben benötigt
wird, reduziert werden. Darum kann die Betriebsrate des automatischen
Transportierers 38 reduziert werden und die Kassette 40 kann
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 schnell geliefert
werden.
-
Dem
Hostcomputer 50 kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118,
die bezüglich
1 Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden
können, über den
Terminal 54 spezifiziert werden. Außerdem kann zusammen damit
die Verwendungsabfolge derselben spezifiziert werden. Zwei Auslaßpforten 118 können zugeordnet
werden, um mit einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet
zu werden. Wenn eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 übertragen
wird, wählt
der Hostcomputer 50 die Auslaßpforte 118, die in
der Reihenfolge der zuvor verwendeten Auslaß pforte 118 nachfolgend
ist, oder die erste Auslaßpforte 118,
wenn keine Auslaßpforte
mit einer nachfolgenden Rangfolge spezifiziert ist, aus. Die ausgewählte Auslaßpforte 118 wird
dazu bestimmt, für
diese Transportaufgabe für
die Kassette 40 verwendet zu werden.
-
Entsprechend
des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahrens kann
eine Mehrzahl von Auslaßpforten
einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet
werden. Es ist daher möglich,
die Verwendungshäufigkeit
der Auslaßpforten 118 entsprechend
einer vorbestimmten Reihenfolge gleich einzustellen.
-
Es
wird das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung
der Auslaßpforten 118 abhängig von
der Bearbeitungsfähigkeit
und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, wenn
es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 gibt und
die Anzahl der Auslaßpforten 118,
die für
eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet
werden können,
begrenzt ist, gelöst.
-
Darum
können,
selbst falls die Bearbeitungsfähigkeit
und der Betriebsstatus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 differieren,
die Auslaßpforten 118 mit
einer im wesentlichen gleichen Häufigkeit
durch jede beziehungsweise die jeweiligen Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 verwendet
werden. Das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung
der Auslaßpforten 118 wird
eliminiert.
-
Bevorzugterweise
können
dem Hostcomputer 50 eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118,
die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet
werden können, über den
Terminal 54 spezifiziert werden. Außerdem kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich
aufweisen beziehungsweise halten, in dem die Anzahl der Austrittsaufgabenanweisungen, die
noch nicht vervollständigt
sind, aus der Mehrzahl der Austrittsaufgabenanweisungen, die von
einer Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben werden, bezüglich jeder
Auslaßpforte 118 gespeichert
wird.
-
Auf
das Empfangen einer Kassettenladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sucht der
Hostcomputer 50 nach einer Einlaßpforte 118, die für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar ist. Wenn
es eine Mehrzahl von verfügbaren
Auslaßpforten 118 gibt,
vergleicht der Hostcomputer 50 den Wert, der für jede Pforte 118 in
dem Datenbereich gespeichert ist, und wählt die Auslaßpforte 118 aus,
die dem kleinsten Wert entspricht. Der Hostcomputer 50 addiert
1 zu dem Wert in dem Datenbereich, der der ausgewählten Pforte 118 zugeordnet
ist, und sendet eine Austrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36.
Wenn die Aufgabe vervollständigt
ist, subtrahiert der Hostcomputer 50 von dem Wert in dem
Datenbereich 1. Wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 gibt,
die dem kleinsten Wert entsprechen, wählt der Hostcomputer 50 eine
willkürliche
Pforte aus den Pforten aus, die dem kleinsten Wert entsprechen.
-
Entsprechend
des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahrens kann
eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 einer
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 durch den Hostcomputer 50 zugeordnet
werden. Der Hostcomputer 50 sendet eine Austrittsaufgabenanweisung
an eine Lagerungsvorrichtung 36, so daß die Anzahl der Aufgaben,
die noch nicht vervollständigt
ist, gleich ist. Darum kann die Verwendungshäufigkeit bzw. -frequenz der
Auslaßpforte 118 im
wesentlichen ausgeglichen werden.
-
Das
Problem der Variation bei der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforte 118 abhängig von
der Bearbeitungsfähigkeit
und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 gibt,
wobei die Anzahl der Auslaßpforten 118,
die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet
werden kann, begrenzt ist, kann gelöst werden.
-
Selbst
wenn die Bearbeitungsfähigkeit
und der Betriebszustand jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 sich
unterscheiden, kann die Auslaßpforte 118 im
wesentlichen gleich bezüglich
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden.
Das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der
Auslaßpforte 118 wird
gelöst.
-
Auf
das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung für eine Kassette, die mit einer
Auslaßpforte 86 oder
einer Auslaßpforte 118 verbunden
ist, von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 kann
die Lagerungsvorrichtung 36 die Austrittsaufgabe initiieren
und außerdem
an den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58 den Status den Fortschritts,
wenn die Aufgabe initiiert ist, wenn die Kassette 40 von
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 entladen
ist, und wenn die Aufgabe vervollständigt ist, berichten. Die Lagerungsvorrichtung 36 kann
außerdem
einen Bericht über
das Kommunikationskabel 58 an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über den
Status des Fortschreitens der Aufgabe, wenn die Aufgabe initiiert
ist, wenn die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch
den Lagerungsvorrichtungskran 80 entladen ist, und wenn
die Aufgabe vervollständigt
ist, senden, als Reaktion auf eine Transferaufgabenanweisung für einen
Transfer einer Kassette 40 zu einer Pforte 98 von
der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über das
Kommunikationskabel 58.
-
Die
Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 sendet
einen Bericht über
den Status des Fortschreitens der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung
an den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50,
stellt das Senden einer Austrittsaufgabenanweisung oder einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung
an die Lagerungsvorrichtung 36 beziehungsweise die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42,
die sich auf dieselbe Pforte bezieht, zurück bis ein Bericht über das
Fortschreiten der Aufgabe anzeigt, daß der Lagerungsvorrichtungskran 80 die
Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen
hat.
-
Bezüglich der
Aufgabenanweisung, die von dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 und
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 geliefert
worden ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht,
der anzeigt, daß der
Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von
der Lagerungsvor richtungsplatte 96 entladen hat. Außerdem stellt
der Hostcomputer 50 das Absenden einer Austrittsaufgabenanweisung
und einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung
an die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42,
die sich auf dieselbe Pforte beziehen, zurück bis er einen Bericht über ein
Fortschreiten empfängt,
der anzeigt, daß der
Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen hat. Darum
existieren der Vorteil, daß der Hostcomputer 50 keine
exzessive Menge von Aufgabenanweisungen an die Lagerungsvorrichtung 36 und
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 sendet,
und der Vorteil, daß die
Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 nicht
unbelegt in einem Standbyzustand für eine Aufgabe verbleiben, zusammen.
-
Das
Problem, daß die
angestrebte Anzahl von Aufgaben aufgrund der Unterdrückung einer
Aufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 ungeachtet der
ausreichenden Transportkapazität
der Lagerungsvorrichtung 36 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 nicht
ausgeführt
werden kann, kann gelöst
werden. Außerdem
wird das Problem gelöst,
daß der Hostcomputer 50 eine
zu große
Anzahl von Aufgabenanweisungen ungeachtet des Fortschreitens der Aufgabe
bei der Lagerungsvorrichtung 36 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 sendet,
so daß eine
Erholung beziehungsweise eine Rückkehr
zu einem korrekten Zustand verzögert wird,
wenn die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 defekt
sind.
-
Der
Hostcomputer 50 hält
Daten, die den Status des momentanen Fortschreitens der Kassette 40 in
der Lagerungsvorrichtung 36 anzeigen, um einen verfügbaren Lagerplatz
in dieser zu identifizieren. Jedoch gibt es eine Möglichkeit,
daß sich
diese Daten von den tatsächlichen
Daten über
den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die durch die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten werden, aufgrund
eines Kommunikationsleitungsfehlers zwischen dem Hostcomputer 50 und
der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 oder aufgrund eines
Datenverlustes aufgrund eines Systemfehlers des Hostcomputers 50 unterscheiden.
In einem solche Fall wird der Hostcomputer 50 fehlerhafterweise
annehmen, daß es
einen verfügbaren
Platz zur Lagerung einer Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt.
Darum antwortet der Hostcomputer 50 auf eine Übergabeanfrage
für Kassetten 40 von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 damit, daß ein automatischer Transportierer 38 eine
Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
der Einlaßpforte 88 befördert. Wenn
diese Aufgabe vervollständigt
ist, sendet der Hostcomputer 50 eine Eintrittsaufgabenanweisung
für diese
Kassette 40 an die Lagerungsvorrichtung 36. Jedoch
kann die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 nicht gelagert
werden, da es tatsächlich
keinen verfügbaren
Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, was in
einer Unterbrechung der Aufgabe beziehungsweise der Abarbeitung
der Aufgabe resultiert. Ein ähnlicher
Fall kann für
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabe für eine Kassette 40 erwartet
werden. In diesem Fall kann die Kassette 40, die an der
Pforte 98 ankommt, nicht gelagert werden, da es keinen
Speicherplatz gibt, was in einer Unterbrechung der Aufgabe resultiert.
In dem Fall, in dem eine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 vorhanden
ist, wird der Hostcomputer 50 annehmen, daß es einen
verfügbaren
Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt und eine Eintrittsaufgabenanweisung
an die Lagerungsvorrichtung 36 senden. Jedoch wird die
Aufgabe unterbrochen werden, da es tatsächlich keinen leeren Raum beziehungsweise
Platz gibt. Es gibt außerdem
eine Möglichkeit, daß der Hostcomputer 50 annehmen
wird, daß die Lagerungsvorrichtung 36 mit
Kassetten 40 aufgefüllt ist,
obwohl es einen verfügbaren
Platz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, so daß die Initiierung
einer Aufgabe, die mit einem Eintritt beziehungsweise einer Eingabe
einer Kassette verbunden ist, zurückgestellt wird.
-
Es
ist unabdingbar, den Unterschied zwischen den momentanen Daten über den
Fortschritt einer Kassette in der Lagerungsvorrichtung 36 unter der
Verwaltung durch den Hostcomputer 50 und den momentanen
Daten über
den Fortschritt unter der Verwaltung durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 zu
identifizieren, um die Unterbrechungszeit für die Aufgabe, die mit der
in Rede stehenden Lagerungsvorrichtung 36 verbunden ist,
zu reduzieren.
-
Das
Problem wird gelöst,
wie es im folgenden erläutert
ist. Als Reaktion auf eine Anweisung von einem Bediener über den
Terminal 56 weist der Hostcomputer 50 bezüglich der
spezifizierten Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 an, daß die ID-Daten von
allen Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert
sind, zu berichten sind. Diese Anweisung wird an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 über das
Kommunikationskabel 58 übertragen.
Als Reaktion sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen
Bericht über
alle Daten über
den momentanen Fortschritt der Kassetten 40 an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50 vergleicht
seine eigenen ID-Daten über
die Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert
sind, mit den Daten über
den momentanen Fortschritt von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64.
Irgendein Unterschied wird auf der Anzeige des Terminals 56 angezeigt,
um ihn dem Bediener mitzuteilen.
-
In
dem Fall, in dem eine Kassette 40 an der Einlaßpforte 88,
der Pforte 98, oder der Einlaßpforte 116 verblieben
ist, so daß die
Ausführungseintrittsaufgabe
verhindert wird, oder in dem eine Eintrittsaufgabe nicht initiiert
wird, obwohl es einen verfügbaren
Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, vergleicht
der Hostcomputer 50 seine eigenen ID-Daten über die
Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
sind, mit den ID-Daten über
die Kassetten 40, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten
werden, entsprechend einer Anweisung von dem Bediener über das
Terminal 56. Die Differenz, die sich als ein Ergebnis des
Vergleichs ergibt, kann auf die Anzeige des Terminals 56 geliefert
werden, um den Bediener zu informieren, wo das Problem liegt. Der
Bediener kann unter Bezugnahme auf die ID-Daten über die gelagerten Kassetten 40,
die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, und diejenigen,
die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten
werden, geeignete Maßnahmen
treffen, um aus dem unterbrochenen Zustand wieder heraus zu kommen.
-
Wenn
der Hostcomputer 50 die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 befragt,
kann eine Abfrage über
alle die ID-Daten für
eine Lagerungsvorrichtung zusammen auf einmal durchgeführt werden.
Wenn jedoch die Datenmenge groß ist,
ist es möglich,
eine Abfrage entsprechend der Lagerungsvorrichtungseinheiten von
STK01 bis STK04, wie sie in den 7A und 7B gezeigt
sind, auszuführen.
-
Entsprechend
einer Anweisung, die durch den Bediener über den Terminal 56 eingegeben
wird, fragt der Hostcomputer 50 die Lagerungssteuerung 64 über die
ID-Daten der Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert
sind, ab. Diese ID-Daten werden mit den ID-Daten, die in dem Hostcomputer 50 bezüglich der
Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
sind, gehalten werden, verglichen. Ein Unterschied in den ID-Daten als ein Ergebnis
dieses Vergleichs kann durch Diskrepanz verursacht werden, wobei
der Hostcomputer 50 annimmt, daß es eine Kassette 40 gibt,
wohingegen die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 annimmt,
daß es
keine Kassette 40 gibt, oder umgekehrt. Der Hostcomputer 50 liefert
eine Anzeige der Differenz in den ID-Daten auf dem Terminal 56 ohne Unterscheidung
zwischen diesen.
-
Wenn
die Daten der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 korrekt
sind, fügt
der Bediener den Daten des Hostcomputers 50 über den
Terminal 56 die Daten für
die Kassette oder Kassetten 40 hinzu, von denen durch den
Hostcomputer 50 angenommen wurde, daß sie nicht vorhanden sind.
Andererseits löscht
der Bediener aus den Daten des Hostcomputers 50 über den
Terminal 56 die Daten der Kassette oder Kassetten 40,
von denen der Hostcomputer 50 angenommen hat, daß sie vorhanden
sind. Dieser Vorgang ist ohne Beachtung der beiden Gründe, die sich
voneinander unterscheiden, auszuführen. Jedoch wird der Hostcomputer 50 auf
dem Terminal 56 kein Ergebnis liefern, daß sich entsprechend
der beiden Gründe
unterscheiden wird. Daher gab es ein Problem dahingehend, daß die Erholung
beziehungsweise Aktualisierung der ID-Daten des Hostcomputers 50 durch
den Bediener zeitraubend war.
-
Diese
Schwierigkeit kann beseitigt werden, wie es im folgenden ausgeführt ist.
In der Phase des Vergleichens der Daten, die von der Lagerungsvorrichtung 36 berichtet
werden, über
die Kassette 40, die darin gelagert ist, mit den ID-Daten,
die in dem Hostcomputer 50 gehalten sind, kann der Hostcomputer 50 auf
dem Terminal 56 die Unterscheidung zwischen den ID-Daten über die
Kassette 40, von der durch den Hostcomputer 50 angenommen
wird, daß sie
vorhanden ist, und von der durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 angenommen
wird, daß sie
nicht vorhanden ist, und den ID-Daten über die Kassette 40,
von der durch den Hostcomputer 50 angenommen wird, daß sie abwesend
ist, und von der durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 angenommen
wird, daß sie
vorhanden ist, geliefert werden.
-
Durch
Liefern der obigen Unterscheidung auf dem Terminal 56 kann
der Bediener klar die Inhalte für
die Wiedergewinnungsaufgabe identifizieren, um die dafür benötigte Zeit
zu reduzieren.
-
Der
oben beschriebene Hostcomputer 50 reagiert auf eine Anweisung
von dem Bediener über den
Terminal 56 zum Befragen der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 nach
ID-Daten einer Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
ist, wobei die ID-Daten über die
Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
ist, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, mit
denjenigen der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 verglichen werden.
Die als ein Ergebnis des Vergleichs unterschiedlichen Daten werden
direkt auf dem Terminal 56 geliefert. Darum muß der Bediener
sich dem Terminal 56 nähern,
um die Daten, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden,
zu modifizieren.
-
Diese
Schwierigkeit kann eliminiert werden, wie es im folgenden ausgeführt ist.
Zusätzlich
zu dem Liefern des Vergleichsergebnisses auf dem Terminal 56 kann
der Hostcomputer 50 alle ID-Daten bezüglich der Kassette(n) 40,
die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist (sind),
die in ihm gehalten werden, mit den ID-Daten, die in dem Bericht
enthalten sind, der von der Lagerungsvorrichtung 64 gesandt wird,
auf die Genehmigung von dem Bediener über den Terminal 56 hin, überschreiben.
-
Dementsprechend
kann der Bediener auf einmal die Aufgabe des Hinzufügens oder
Löschens von
ID-Daten für
eine Kassette 40 beziehungsweise die Kassetten 40,
die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist beziehungsweise
sind, für
den Hostcomputer 50 ausführen. Die Erholungszeit für beziehungsweise
nach einer Störung
kann signifikant reduziert werden.
-
Entsprechend
einer Anweisung von dem Bediener über den Terminal 56 fragt
der Hostcomputer 50 die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 nach
den Daten über
den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die in der
Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert ist. Der Hostcomputer 50 vergleicht
seine eigenen Daten über
den momentanen Fortschritt mit den Daten über den momentanen Fortschritt
der Kassette 40, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten
werden. Hier werden nur die ID-Daten der Kassette(n) 40,
die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert ist (sind),
verglichen. Darum wird in dem Fall, in dem der Hostcomputer 50 auch
den Lagerplatz der Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 verwaltet,
der Unterschied zwischen dem Lagerplatz der Kassette 40,
der von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 angenommen
wird, und dem Lagerplatz der Kassette 40, der durch den
Hostcomputer 50 angenommen wird, falls ein solcher vorhanden ist,
keine fehlende Übereinstimmung
als Ergebnis des Vergleichs durch den Hostcomputer 50 verursachen.
Dieser Unterschied wird nicht auf der Anzeige auf dem Terminal 56 geliefert.
-
Diese
Schwierigkeit kann vermieden werden, wie es im folgenden ausgeführt ist.
Als Reaktion auf die Befragung über
die Daten über
den momentanen Fortschritt der Kassette 40 von dem Hostcomputer 50 hin
gibt die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht über die
ID-Daten der Kassette 40 und die Lagerungsvorrichtungseinheitsnummer,
die Regalplattennummer und die Positionsnummer, die den Lagerplatz
identifizieren, an den Hostcomputer 50. Der Hostcomputer 50 vergleicht
die empfangen Daten mit seinen eigenen Daten, d.h. den ID-Daten über die
Kassette 40, welche die Daten über den momentanen Fortschritt
der Lagerungsvorrichtung 36 sind, und die Lagerungsvorrichtungseinheitsnummer,
die Regal plattennummer und die Positionsnummer, die den Lagerplatz
anzeigen, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden,
um zu bestätigen,
ob es eine Differenz in den Lagerplatzdaten zusätzlich zu einer Differenz in
den ID-Daten gibt. Der Hostcomputer liefert eine Anzeige auf dem
Terminal 56 für
jedweden Unterschied zwischen den Daten.
-
Mittels
des obigen Mechanismus kann der Unterschied zwischen den Daten über den
momentanen Fortschritt der Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
ist, zwischen dem Hostcomputer 50 und der Lagerungsvorrichtung 64 auf
der Basis des Lagerplatzes identifiziert werden. Desweiteren ist
es möglich,
eine in Frage stehende Kassette 40 selbst in einer Lagerungsvorrichtung 36 mit
einer großen
Kapazität
zu erfassen beziehungsweise aufzufinden.
-
Ein
Beispiel einer anderen Struktur der Lagerungsvorrichtung wird im
folgenden unter Bezugnahme auf die 12 bis 14 beschrieben.
-
Eine
Lagerungsvorrichtung 190 weist eine auf einen automatischen
Transportierer bezogene Auslaßpforte 196,
die vergleichbar zu der Auslaßpforte 86 der
Lagerungsvorrichtung 36 ist, auf. Bei der Lagerungsvorrichtung 190 ist
die Anzahl der Kassetten 40, die auf der Pforte 196 montiert
beziehungsweise gehalten werden kann, gleich zu der Maximalanzahl
von Kassetten eingestellt, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum
Laden angefordert werden kann, d.h. der Maximalanzahl von Kassetten,
die aus der Auslaßpforte 196 entladen
werden. Hier können
zwei Kassetten 40 auf der Pforte 196 gehalten
werden.
-
Die
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 eine Ladeanfrage für Kassetten 40.
Hier fordert die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 das
Laden von zwei Kassetten 40, was der Bearbeitungseinheit dieser
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entspricht. Als Reaktion
identifiziert der Hostcomputer 50, ob es eine Kassette 40 in
der Lagerungsvorrichtung 190 gibt, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet
werden kann. Wenn es zwei oder mehr Kassetten in der Lagerungsvorrichtung 190 gibt,
die bearbeitet werden können,
wird die Anzahl der auszugebenden Kassetten auf 2 spezifiziert und
eine Austrittsaufgabenanweisung für einen Ausgeben der beiden
Kassetten 40 an der Auslaßpforte 196 wird an die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gesandt.
-
Die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 transferiert die erste
Kassette 40 an eine Auslaßlieferungspforte 192 unter
Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 steuert
dann eine Vorwärtsbewegungsvorrichtung 200 so
an, daß die
Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 192 zu
der Auslaßpforte 186 bewegt
wird. Parallel zu der Austrittsaufgabe für die erste Kassette 40 wird
die Austrittsaufgabe für
die zweite Kassette 40 entsprechend einer ähnlichen Prozedur
an einem unterschiedlichen Haltepunkt ausgeführt. Wenn die beiden Kassetten
an die Auslaßpforte 196 ausgegeben
sind, sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen
Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50.
-
Als
Reaktion sendet der Hostcomputer 50 eine Anweisung über das
Kommunikationskabel 58 an den automatischen Transportierer 38,
daß die zwei
Kassetten 40 auf der Auslaßpforte 196 zu dem Kassettenstand 172, 182 der
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 transportiert werden
sollen. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer,
die diese Anweisung empfängt,
ordnet einen geeigneten aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38 zu,
der für
die Transportaufgabe am geeignetsten ist. Die Transportaufgabe zum
Transport der Kassette 40 wird mittels Funkkommunikation
unter Verwendung der steuerstationsseitigen Kommunikationseinheit 62 und
der Transportiererkommunikationseinheit 142 übertragen.
-
Die
Transportaufgabe zum Transport der Kassette 40 durch den
automatischen Transportierer 38 wird im folgenden beschrieben.
Anfänglich
bewegt sich der Wagen 140 von dem Bereitschaftsplatz zu
der Auslaßpforte 196 der
Quellenlagerungsvorrichtung 190 entsprechend des Führungsbandes 156,
das an dem Boden befestigt ist. Wenn der Wagen 140 an der
Auslaßpforte 196 ankommt,
bestätigt der
automatische Transportierer 38 über einen an den automatischen
Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102, ob
die erste Kassette 40 auf der Auslaßpforte 196 vorhanden
ist. Falls die erste Kassette 40 vorhanden ist, steuert
der automatische Transportierer 38 den Arm 144,
die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Holen der
ersten Kassette 40, die sich auf der Auslaßpforte 196 befindet,
auf seine eigene Transferhalterung 150 an. Eine vergleichbare Prozedur
wird für
die zweite Kassette 40 ausgeführt. Die zweite Kassette 40 wird
auf einer anderen Transferhalterung 150 des automatischen
Transportierers 38 plaziert. Wenn diese Halterungsaufgabe
vervollständigt
ist, bewegt sich der Wagen 140 von der Lagerungsvorrichtung 190 in
Richtung des bezeichneten Kassettenstandes 172, 182 der
Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.
Wenn der Wagen 140 an dem Kassettenstand 172, 182 ankommt,
plaziert der automatische Transportierer 38 aufeinanderfolgend
die Kassetten 40 auf den Transferhalterungen 150 auf
den bezeichneten Kassettenstand 172, 182 in einer
Prozedur, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen ist. Wenn
alle spezifizierten Aufgaben vervollständigt sind, sendet die Steuerung 60 für den automatischen
Transportierer an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 einen
Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist.
-
Der
Hostcomputer 50, der einen Bericht von dem automatischen
Transportierer 38 empfängt,
daß die
Transportaufgabe zum Transport der beiden Kassetten 40 zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 vervollständigt worden
ist, sendet eine Anweisung zum Starten des Bearbeitungsprozesses
an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 über das
Kommunikationskabel 58.
-
Durch
Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Auslaßpforte 196 in
der Lagerungsvorrichtung 190 gehalten beziehungsweise montiert werden
können,
identisch zu der Anzahl der Kassetten 40, die durch die
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die mit dieser
Auslaßpforte 196 in
Verbindung steht, zum Laden angefordert worden sind, kann die Folge der
Aufgaben wie die Austrittsaufgabe zum Ausgeben der Kassette 40 von
dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 190 zu der Auslaßpforte 196 und die
Transportaufgabe zum Transportieren der Kassette 40 von
der Auslaßpforte 196 zu
dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 auf
der Basis der Anzahl der Kassetten ausgeführt werden, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum
Laden angefordert sind.
-
Die
Schwierigkeit, daß in
dem Fall, in dem die Einheit von Kassetten, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum
Laden angefordert worden sind, größer als die Anzahl der Kassetten
ist, die auf der Auslaßpforte 196 gehalten
werden können,
die verbleibende(n) Kassette(n) 40, die die vorbestimmte Anzahl
von Kassetten überschreitet
beziehungsweise überschreiten,
mit einer nachfolgenden Aufgabe transferiert wird/werden, wird vermieden.
Das Problem, daß eine
Kassette 40, die bereits an dem Kassettenstand 172, 182 der
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen ist,
nicht durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet
werden kann, bis eine nachfolgende Kassette 40 ankommt,
wird eliminiert.
-
Die
Initiierung des Bearbeitens der Kassette 40, die auf dem
Stand 172, 182 befindlich ist, durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 wird
nicht länger aufgrund
einer verzögerten
nachfolgenden Kassette 40 verschoben beziehungsweise verzögert.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 190 weist weiter eine auf einen automatischen
Transportierer bezogene Einlaßpforte 198,
die ähnlich
zu der Einlaßpforte 88 der
Lagerungsvorrichtung 36 ist, auf. In der Lagerungsvorrichtung 190 ist
die Anzahl der Kassetten, die auf der Einlaßpforte 198 gehalten
beziehungsweise montiert werden kann, identisch zu der Maximalanzahl
von Kassetten, von denen durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert
werden kann, daß sie übergeben
werden, eingestellt. Hier können zwei
Kassetten 40 auf der Pforte 198 plaziert beziehungsweise
gehalten werden.
-
Die
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 führt die Übergabeanfrage
für eine
Kassette 40 für
zwei Kassetten auf einmal aus. Nachdem der Hostcomputer 50 einen
Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 190 für die Kassetten 40 ermittelt
hat, wird eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 auf
einmal gesandt. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer,
die von dem Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung
für die
Maximalanzahl von zwei Kassetten 40 empfängt, weist
die Aufgabe einen aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38 zu,
der am geeignetsten für
die Transportaufgabe ist. Eine Transportaufgabe wird durch Radio-
beziehungsweise Funkkommunikation unter Verwendung der steuerstationsseitigen Kommunikationseinheit 62 und
der Transportiererkommunikationseinheit 142 übertragen.
-
Der
Transport der Kassette 40 durch den automatischen Transportierer 38 wird
im folgenden beschrieben. Anfänglich
bewegt sich der Wagen 140 von dem Bereitschaftsplatz zu
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, von der die
Kassette 40 zu entladen ist, entsprechend des Führungsbandes 156,
das an dem Boden befestigt ist. Wenn der Wagen 140 an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ankommt,
bestätigt der
automatische Transportierer 38, ob es eine Kassette 40 auf
dem Kassettenstand 172, 182 gibt, über eine
an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174.
Falls es eine Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 gibt,
steuert der automatische Transportierer 38 den Arm 144,
die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Holen der
ersten Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 an.
Die erste Kassette 40 wird auf der Transferhalterung 150 des
automatischen Transportierers 38 plaziert. In einer vergleichbaren
Weise wird die Kassette 40 von dem Kassettenstand 172, 182 auf
einer anderen Transferhalterung 150 plaziert beziehungsweise gehalten.
Wenn die Halterungsaufgabe zum Halten der beiden Kassetten 40 vervollständigt ist,
bewegt sich der Wagen 140 von der Quellenbearbeitungsvorrichtung 32, 34 in
Richtung der spezifizierten Einlaßpforte 198 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 190.
Bei der Einlaßpforte 198 angekommen
werden die beiden Kassetten 40 aufeinander folgend von
der Transferhalterung 150 auf der Einlaßpforte 198 mit einer
Prozedur, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen ist, plaziert.
Wenn alle spezifizierten Auf gaben vervollständigt sind, sendet die Steuerung 60 für den automatischen
Transportierer einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist,
an den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58.
-
Der
Hostcomputer 50, der den Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist,
von dem automatischen Transportierer 38 empfängt, liefert
eine Eintrittsaufgabenanweisung zum Aufnehmen von zwei Kassetten 40 über die
Einlaßpforte 198 bezüglich der
Lagerungsvorrichtung 190. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 antwortet
auf diese Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommunikationskabel 58 gesandt
wird, mit dem Ermitteln eines Lagerplatzes für die Kassetten 40 auf
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und beginnt mit (dem
Abarbeiten) der Eintrittsaufgabe. Die Lagerungsvorrichtung 190 steuert die
Vorwärtsbewegungsvorrichtung 202 zum
Transferieren der ersten Kassette 40 von der Einlaßpforte 198 zu
der Einlaßlieferungspforte 194 an.
Wenn diese Transferaufgabe vervollständigt ist, wird der Lagerungsvorrichtungskran 80 zum
Transportieren der Kassette 40 auf der Einlaßlieferungspforte 194 zu dem
eingestellten Lagerungsplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96,
der durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 ermittelt
worden ist, betätigt.
Die Eintrittsaufgabe zum Aufnehmen der zweiten Kassette 40 wird
parallel zu der Eintrittsaufgabe für die erste Kassette 40 an
einem unterschiedlichen Haltepunkt entsprechend derselben Prozedur
ausgeführt.
Die Abfolge der Schritte der Aufgabe ist vervollständigt, wenn
die zweite Kassette an dem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 gelagert
ist. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet einen
Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, über
das Kommunikationskabel 58 an den Hostcomputer 50.
-
Durch
Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Einlaßpforte 198 der
Lagerungsvorrichtung 190 plaziert beziehungsweise gehalten
werden können,
identisch zu der Anzahl der Kassetten 40, bezüglich derer
von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die diese
Pforte 198 verwenden kann, angefordert werden kann, daß sie übergeben
werden, können
die Abfolge der Aufgaben wie die Transportaufgabe zum Transport
der Kassetten 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
der Einlaßpforte 198 und
die Eintrittsaufgabe zum Aufnehmen der Kassetten 40 von
der Einlaßpforte 198 auf
den Lagerungsplatz in der Lagerungsvorrichtung 190 auf
der Basis der Anzahl der Kassetten ausgeführt werden, für die von
der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert worden
ist, daß sie übergeben
werden.
-
Daher
kann das Problem, daß,
wenn die Einheit der Kassetten, bezüglich derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert
worden ist, daß sie übergeben
werden, größer als
die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Einlaßpforte 198 gehalten werden
können,
bearbeitete Kassetten 40, die die Anzahl der Kassetten überschreiten,
die auf der Einlaßpforte 198 montiert
werden können,
an dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zurückgelassen
werden, eliminiert werden. Derart wird das Problem einer langen
Lieferzeit von zu bearbeitenden Kassetten 40 an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 aufgrund
eines Anstiegs der Standbyzeit der Kassetten 40 für eine Transportaufgabe
und der Verzögerung
der Verfügbarkeit
eines verfügbaren
Platzes auf dem Kassettenstand 172, 182 eliminiert.
-
Es
werden nicht länger
bearbeitete Kassetten 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 der
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zurückgelassen.
Der Kassettenstand 172, 182 wird nach der Bearbeitung
schnell verfügbar,
so daß eine
neue Kassette 40, die zu bearbeiten ist, von der Lagerungsvorrichtung 190 ohne Verzögerung geliefert
wird beziehungsweise geliefert werden kann.
-
Unter
Bezugnahme auf 13, die Lagerungsvorrichtung 190 weist
weiter eine Auslaßpforte 210 für eine manuelle
Ausgabe, ähnlich
zu der Auslaßpforte 118 der
Lagerungsvorrichtung 136, auf. Es ist zu bemerken, daß, bei der
Lagerungsvorrichtung 190, die Anzahl der Kassetten 40,
die auf der Pforte 210 plaziert beziehungsweise gehalten
werden können,
identisch zu der Maximalanzahl von. Kassetten eingestellt ist, bezüglich derer
von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert
werden kann, daß sie übergeben
werden. Hier können
zwei Kassetten auf der Auslaßpforte 210 gehalten
beziehungsweise plaziert werden.
-
Es
wird nun der Betrieb der Lagerungsvorrichtung 190 und der
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die Kassetten 40,
die von der Lagerungsvorrichtung 190 ausgegeben werden,
bearbeitet, betrachtet, wenn kein automatischer Transportierer 38 vorgesehen
(oder verfügbar)
ist. Eine Kassettenladeanfrage wird von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an
den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58 gesandt. Hier sendet die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 die
Ladeanfrage für
die Kassette 40 für
jeweils zwei Kassetten. Der Hostcomputer 50, der eine Kassettenladeanfrage
empfängt,
befragt die Lagerungsvorrichtung 190, ob es eine zu bearbeitende
Kassette 40 für
die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gibt. Wenn es
zwei oder mehr Kassetten, die zu bearbeiten sind, gibt, wird die
Anzahl der Kassetten auf 2 eingestellt. Dann wird eine Austrittsaufgabenanweisung
für die Kassetten 40,
die mit der Auslaßpforte 210 in
Verbindung steht, an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gesandt.
-
Auf
das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den
Lagerungsvorrichtungskran 80 zum aufeinanderfolgenden Transportieren
der Kassetten 40 zu der Auslaßpforte 210, die den
beiden Haltepunkten für
die Kassetten 40 entspricht, an. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 liefert
eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 190,
die die Entnahme der Kassetten 40 auf der Auslaßpforte 210 erlaubt.
Der Bediener, der diese Nachricht liest, nimmt die beiden Kassetten 40 von der
Auslaßpforte 210 und
betätigt
die Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrichtung 190 mitzuteilen,
daß die
Entladeoperation vervollständigt
ist. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 190, daß die Austrittsaufgabe
vervollständigt
ist. Ein Bericht, daß die
Austrittsaufgabe vervollständigt
ist, wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.
Der Bediener, der die Kassetten 40 entladen hat, nähert sich
dem Terminal 56 des Hostcomputers, um die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 herauszufinden,
die die Ladeanfrage ausgegeben hat. Auf das Identifizieren der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 hin
befördert
der Bediener die Kassetten 40 zu dem Kassettenstand 172, 182 der
entsprechenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.
-
Durch
Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Auslaßpforte 210 plaziert
beziehungsweise gehalten werden können, identisch zu der Anzahl
der Kassetten 40, bezüglich
derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert
wird, daß sie geladen
werden, kann die Abfolge der Aufgaben wie die Austrittsaufgabe zur
Ausgabe der Kassetten 40 von dem Lagerungsplatz in der
Lagerungsvorrichtung 190 zu der Auslaßpforte 210 und die
Transportaufgabe zum Transportieren der Kassette 40 von
der Auslaßpforte 210 zu
dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in
der Einheit der Anzahl von Kassetten 40 ausgeführt werden,
bezüglich
der von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert
wurde, daß sie
geladen wird. Darum ist das Problem, daß, wenn die Anzahl der Kassetten,
bezüglich
derer durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert
worden ist, daß sie
geladen werden, größer als
die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Auslaßpforte 210 plaziert
beziehungsweise gehalten werden können, die Anzahl von Kassetten 40,
die größer als
die Anzahl der Kassetten ist, die gehalten werden können, für eine nachfolgende
Austrittsaufgabe zurückgestellt
werden, was die Verfügbarkeit des
Bedieners verschlechtert, eliminiert.
-
Derart
kann die Bereitschaftszeit des Bedieners reduziert werden. Außerdem kann
die Zeit, die zum Liefern von Kassetten 40 an eine geeignete
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benötigt wird,
reduziert werden.
-
Wie
in den 4 und 5 gezeigt
ist, weist die Lagerungsvorrichtung 36 eine äußere Abschirmtür 122 für die Pforte 98 auf
der Seite der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und
eine Hubvorrichtung 124 zum Anheben/Absenken der Pforte 98 auf.
Die Lagerungsvorrichtung 36 weist außerdem eine äußere Abschirmtür 90 für die Auslaßlieferungspforte 192 und
die Einlaßlieferungspforte 194 und
eine äußere Abschirmtür auf der Bedie nerseite
bezüglich
der Einlaßpforte 116 und
der Auslaßpforte 210 auf.
-
Der
Betrieb dieser Abschirmtüren
wird im folgenden beschrieben. Es ist zu bemerken, daß alle diese
Abschirmtüren
geschlossen werden, wenn kein Betrieb der Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird.
-
Der
Betrieb der äußeren Abschirmtür 90 für die auf
den automatischen Transportierer bezogene Pforte wird zuerst beschrieben.
Wenn eine Ladeanfrage für
eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ausgegeben
wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus
den in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagerten Kassetten 40,
die zu bearbeiten ist. Eine Austrittsaufgabenanweisung bezüglich der
relevanten Kassette 40 wird an die Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben.
Auf das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den
Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßlieferungspforte 100 an.
Dann steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die
Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 derart
an, daß die
Kassette 40 von der Auslaßlieferungspforte 100 zu
der Auslaßpforte 86 verschoben
wird. Da die äußere Abschirmtür 90 zu
diesem Zeitpunkt geschlossen ist, wird die Abschirmtür 90 nach
unten zum Öffnen
bewegt. Dann wird die Kassette 40 zu der Auslaßpforte 86 transferiert.
Nachdem diese Verschiebeaufgabe vervollständigt ist, bringt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 zum
Aufsteigen, wodurch die äußere Abschirmtür 90 geschlossen
wird. Derart ist die Abfolge der Auslaßaufgabe vervollständigt. Die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet einen Bericht,
daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50.
-
Wenn
eine Kassette 40 über
eine Einlaßpforte 88 einzugeben
beziehungsweise aufzunehmen ist, reagiert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 auf eine
Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 damit,
daß sie
die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 so
antreibt, daß die
Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 zu der
Einlaßlieferungspforte 104 transferiert
wird. Da die äußere Abschirmtür 90 zu diesem
Zeitpunkt geschlossen ist, wird die Abschirmtür 90 zuerst nach unten
bewegt. Dann wird die Kassette 40 auf die Einlaßlieferungspforte 104 transferiert.
Wenn diese Verschiebeaufgabe vervollständigt ist, bewegt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 zum
Schließen
nach oben. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist, steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den
Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Lagern der Kassette 40 auf
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an. Wenn diese Aufgabe
vervollständigt
ist, wird ein Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50 gesandt.
-
Der
Betrieb der äußeren Abschirmtür 114 wird
nun beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ausgegeben wird,
sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus
den Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
sind, die zu bearbeiten ist. Dann wird eine Austrittsaufgabenanweisung
an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt. Auf das Empfangen
einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den
Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Befördern der Kassette 40 auf
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßpforte 118 an.
Dann wird eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der
Lagerungsvorrichtung 36 geliefert, die das Entladen der
Kassette von der Auslaßpforte 118 erlaubt.
-
Der
Bediener, der diese Nachricht liest, betätigt die Bedienungstafel 121 zum Öffnen der äußeren Abschirmtür 114.
Als Reaktion auf diese Betätigung bewegt
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 114 zum Öffnen nach
unten. Dann entlädt
der Bediener die Kassette 40 aus der Pforte. Dann betätigt der
Bediener die Bedienungstafel 121 erneut, um die Abschirmtür 114 zum
Schließen
anzuheben. Derart ist die Abfolge der Austrittsaufgabe vervollständigt. Die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet einen Bericht,
daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.
-
Wenn
der Bediener eine Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 über die
Einlaßpforte 116 eingeben
will, betätigt
der Bediener die Bedienungstafel 121, damit die äußere Abschirmtür 114 zum Öffnen herunter
bewegt wird. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 liefert
eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121, die anzeigt,
daß die
Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert
werden kann. Der Bediener, der diese Nachricht liest, lädt die Kassette 40 auf
die Pforte 116 und betätigt
dann die Bedienungstafel 121 erneut. Als Reaktion auf diese
Betätigung detektiert
die Lagerungsvorrichtung 36, daß die Kassette 40 auf
der Einlaßpforte 116 plaziert
ist, wodurch die äußere Abschirmtür 114 zum
Schließen
angehoben beziehungsweise hochgefahren wird. Die Information, die
in der ID-Karte 72 der relevanten Kassette 40 gespeichert
ist, wird durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ausgelesen.
Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.
Als Reaktion darauf detektiert der Hostcomputer 50, daß ein Bediener eine
Kassette 40 transportiert hat. Der Hostcomputer 50 sendet
eine Eintrittsaufgabenanweisung für diese Kassette 40 an
die Lagerungsvorrichtung 36. Die Lagerungsvorrichtung 36 steuert
den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der
Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zu der
Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an, um die Eintrittsaufgabe
zu vervollständigen.
-
Der
Betrieb der äußeren Abschirmtür 122 wird
im folgenden beschrieben. Eine Kassette 40 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 wird
auf einem Wagen 162 der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 zur
Annäherung
an die Pforte 98 befördert.
Wenn der Wagen 162 an der Pforte 98 ankommt, sendet
die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine
Anfrage an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 über das
Kommunikationskabel 58, daß die Kassette 40 auf
dem Wagen 162 auf der Pforte 98 zu plazieren ist.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36, die diese Anforderung empfängt, bewegt
die äußere Abschirmtür 122 zum Öffnen seitwärts und
steuert dann die Hubvorrichtung 124 zum Anheben der Pforte 98 an. Wenn diese
Hubaufgabe vervollständigt
ist, steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Übertragungsvorrichtung 82 derart
an, daß die
Kassette 40 auf dem Wagen 162 zu der Pforte 98 transferiert
wird. Dann steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die
Hubvorrichtung 124 so an, daß die Pforte 98, auf
welcher die Kassette 40 gehalten ist, nach unten bewegt
wird. Wenn dieser Schiebebetrieb vervollständigt ist, schließt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 122 und
steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der
Kassette 40 auf die Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an.
Wenn diese Abfolge der Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen
Bericht, daß die
Aufgabe vervollständigt
ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über das
Kommunikationskabel 58. Wenn die Kassette 40,
die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, auf einen
Wagen 162 zu entladen ist, antwortet die Lagerungsvorrichtung 36 auf
eine Anweisung von der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 mit
dem Ausführen
einer Austrittsaufgabe unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80,
der äußeren Abschirmtür 122 und
der Hubvorrichtung 124 und der Übertragungsvorrichtung 82 in
einer Abfolge, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen Abfolge
ist.
-
Durch
das Vorsehen einer entsprechenden beziehungsweise geeigneten Tür an der äußeren Begrenzung
der Lagerungsvorrichtung 36 bezüglich der Einlaßlieferungspforte 104,
der Auslaßlieferungspforte 100,
der Pforte 98, der Einlaßpforte 116 und der Einlaßpforte 118 zur
Abschirmung gegen die äußere Atmosphäre kann
das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 von dem äußeren getrennt
beziehungsweise isoliert werden.
-
Die
herkömmliche
Lagerungsvorrichtung 36 war durch die Einlaßlieferungspforte 104,
die Auslaßlieferungspforte 100,
die Pforte 98, die Einlaßpforte 116 und die
Auslaßpforte 118 offen
zu der Umgebung. Es gab ein Problem dahingehend, daß Staub und
Dunst in die Lagerungsvorrichtung 36 eingebracht wurden,
so daß sie
daran anhafteten und einen Wafer 70, der in einer Kassette 40 gelagert
ist, verschlechterten. Jedoch liefert die Struktur der vorlie genden
Erfindung den Vorteil, daß Staub
und Dunst nicht in die Lagerungsvorrichtung 36 eintreten und
den Wafer 70 in der gelagerten Kassette 40 verschlechtern
werden.
-
Zum
Zwecke der Trennung des Inneren von dem Äußeren weist die Lagerungsvorrichtung 36 eine äußere Abschirmtür 122 auf
der Seite der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und
eine Hubvorrichtung 124 für die Pforte 98, eine äußere Abschirmtür 90 auf
der Seite des automatischen Transportierers 38 für die Auslaßlieferungspforte 100 und
die Einlaßlieferungspforte 104 und
eine äußere Abschirmtür 114 für die Einlaß- und Auslaßpforten 116 und 118 auf.
Das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 wird mit dem Äußeren kommunizieren
beziehungsweise in Verbindung stehen, wenn diese Abschirmtüren geöffnet sind,
so daß der
abgeschirmte Zustand zerstört
wird.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36, die in den 4 bis 6 gezeigt
ist, kompensiert dieses Problem wie es im folgenden ausgeführt wird.
Die Lagerungsvorrichtung 36 weist eine innere Abschirmtür 110 auf
der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu
der äußeren Abschirmtür 122 und der
Hubvorrichtung 124 auf. Die Lagerungsvorrichtung 36 weist
außerdem
eine innere Abschirmtür 92 an
der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu
der äußeren Abschirmtür 90 auf.
Desweiteren weist die Lagerungsvorrichtung 36 eine innere Abschirmtür 112 auf
der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu
der äußeren Abschirmtür 114 auf.
-
Der
Betrieb dieser Abschirmtüren
wird im folgenden kurz beschrieben. Alle diese Abschirmtüren sind
geschlossen, wenn die Lagerungsvorrichtung 36 nicht in
Betrieb ist.
-
Der
Betrieb der inneren Abschirmtür 92 wird zuerst
beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert
wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus
den Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
sind, die zu bearbeiten ist. Dann sendet der Hostcomputer 50 eine
Austrittsaufgabenanweisung an die relevante La gerungsvorrichtung 36.
Als Reaktion öffnet
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 dadurch,
daß sie
zum Absenken gebracht wird. Dann befördert der Lagerungsvorrichtungskran 80 die
Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der
Auslaßlieferungspforte 100.
Wenn der Betrieb des Lagerungsvorrichtungskrans 80 endet,
schließt die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 dadurch,
daß sie
zum Anheben gebracht wird. Dann öffnet
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 und
steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 zum
Verschieben der Kassette 40 von der Auslaßlieferungspforte 100 zu
der Auslaßpforte 86 an.
-
Wenn
die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 aufzunehmen
ist, öffnet
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 und steuert
die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 derart an,
daß die
Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 zu der
Einlaßlieferungspforte 104 bewegt
wird. Wenn dieser Transfer vervollständigt ist, wird die äußere Abschirmtür 90 geschlossen.
Dann bewegt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere
Abschirmtür 92 zum Öffnen nach
unten. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 transferiert die
Kassette 40 auf der Einlaßlieferungspforte 104 zu
der Lagerungsvorrichtungsplatte 96. Wenn diese Transferaufgabe
vervollständigt
ist, schließt
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 durch
Anheben derselben. Derart wird die Abfolge (der Schritte) der Eintrittsaufgaben
zum Aufnehmen (einer Kassette) von der Einlaßpforte 88 vervollständigt. Dadurch, daß immer
entweder die innere Abschirmtür 92 oder die äußere Abschirmtür 90 geschlossen
sind, kann eine Kommunikation zwischen dem Inneren und dem Äußeren der
Lagerungsvorrichtung 36 vollständig unterbunden beziehungsweise
verhindert werden.
-
Der
Betrieb der inneren Abschirmtür 112 wird im
folgenden beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert wird,
sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus
den Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert
sind, die zu bearbeiten ist. Dann wird eine Austrittsaufgabenanweisung
an die relevante Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben. Auf
das Empfangen der Austrittsaufgabenanweisung hin öffnet die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 112 dadurch,
daß sie
sie zum Absenken bringt. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 transferiert
die Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu
der Auslaßpforte 118.
Dann schließt
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 112.
Als nächstes
wird eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36 geliefert,
die das Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 erlaubt.
Entsprechend einer Betätigung über die
Bedienungstafel 121 öffnet die
Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 114.
Der Bediener entlädt
dann die Kassette 40 durch beziehungsweise über diese
Pforte.
-
Wenn
der Bediener eine Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 über die
Einlaßpforte 116 eingibt,
reagiert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 auf eine
Betätigung
der Bedienungstafel 121 durch den Bediener mit dem Öffnen der äußeren Abschirmtür 114,
und es wird die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert.
In dem Zustand, in dem die äußere Abschirmtür 114 geschlossen
ist, verursacht die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64,
daß die
Information, die auf der ID-Karte 72 der Kassette 40, die
auf der Einlaßpforte 116 plaziert
ist, aufgezeichnet ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ausgelesen
wird. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 detektiert, daß eine Kassette 40 durch
den Bediener befördert worden
ist, entsprechend dieses Berichtes und sendet eine Eintrittsaufgabenanweisung
für die
Kassette 40 an die Lagerungsvorrichtung 36. Als
Reaktion öffnet
die Lagerungsvorrichtungssteuerung die innere Abschirmtür 112 dadurch,
daß sie
dieselbe zum Absenken bringt. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 wird
zum Transferieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 auf
die Lagerungsvorrichtungsplatte 96 angesteuert. Wenn diese
Lagerungsaufgabe vervollständigt
ist, schließt
die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 112 durch
Anheben derselben. Derart wird die Eintrittsaufgabe über die Einlaßpforte 116 vervollständigt. Dadurch,
daß die
innere Abschirmtür 112 oder
die äußere Abschirm tür 114 immer
geschlossen sind, kann eine Kommunikation zwischen dem Inneren und
dem Äußeren der
Lagerungsvorrichtung 36 vollständig verhindert beziehungsweise
unterbunden werden.
-
Der
Betrieb der inneren Abschirmtür 110 wird im
folgenden beschrieben. Eine Kassette 40, die auf einem
Wagen 162 der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 von
einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 transportiert worden
ist, wird zu der Pforte 98 durch die äußere Abschirmtür 122, die
Hubvorrichtung 124 und die Transfervorrichtung 82 befördert. Hier
ist die Pforte 98 in der unteren Position angeordnet, und
die äußere Abschirmtür 122 ist
geschlossen. Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 öffnet die
innere Abschirmtür 110 dadurch,
daß sie
dieselbe zum Absenken bringt. Die Kassette 40 auf der Pforte 98 wird
auf die Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 transferiert.
Wenn diese Lagerungsaufgabe vervollständigt ist, bringt die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 die
innere Abschirmtür 110 zum Zurückkehren
in ihre vorherige Position, d.h. in den geschlossenen Zustand. Derart
wird die Abfolge (der Schritte) der Aufgabe vervollständigt.
-
Wenn
eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 auf
einen Wagen 162 zu entladen ist, wird die Kassette 40 durch
den Lagerungsvorrichtungskran 80, die innere Abschirmtür 110,
die äußere Abschirmtür 122,
die Hubvorrichtung 124 und die Übertragungsvorrichtung 82 in
einer Abfolge, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen Abfolge
ist, transferiert. Durch Einstellen, daß eine der beiden Türen, die
innere Abschirmtür 110 oder
die äußere Abschirmtür 122,
immer geschlossen ist, kann eine Kommunikation zwischen dem Inneren
und dem Äußeren der
Lagerungsvorrichtung 36 vollständig unterbunden beziehungsweise
verhindert werden.
-
Durch
das Vorsehen von Türen
an der Außenseite
und der Innenseite der Lagerungsvorrichtung bezüglich der Pforte 104,
der Auslaßlieferungspforte 100,
der Pforte 98, der Einlaßpforte 116 und der
Auslaßpforte 118 kann
das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 vollständig von
dem Äußeren getrennt
beziehungsweise isoliert werden.
-
Das
herkömmliche
Problem des Staubs und des Dunstes, die in die Lagerungsvorrichtung 36 aufgrund
der Kommunikation mit der Atmosphäre über die Einlaßlieferungspforte 104,
die Auslaßlieferungspforte 100,
die Pforte 98, die Einlaßpforte 116 und die Auslaßpforte 118 eintreten
und einen Wafer 70 in einer gelagerten Kassette 40 verschlechtern,
wird eliminiert.
-
Die
Lagerungsvorrichtungen 36 und 190 sind mit einem
ID-Karten-Leser/Schreiber 120 an
der Auslaßpforte 118 beziehungsweise
der Auslaßpforte 210 zum
Lesen von Daten auf der ID-Karte 72, die an der Kassette 40 angebracht
ist, vorgesehen.
-
Der
ID-Karten-Leser/Schreiber 120, der an der Auslaßpforte 118 angebracht
ist, wird im folgenden beschrieben. Es wird der Fall eines Betriebes
der Lagerungsvorrichtung 36 und der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
die eine Bearbeitung bei einer Kassette 40, die von der
Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben worden ist, ausführen wird,
wenn ein automatischer Transportierer 38 nicht vorgesehen
(oder verfügbar)
ist, betrachtet. Wenn eine Kassettenladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an
den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58 geliefert wird, sucht der Hostcomputer 50 nach
einer Kassette, die bearbeitet werden kann, in der Lagerungsvorrichtung 36.
Die Austrittsaufgabe wird initiiert, wenn es eine Kassette 40 gibt.
Der Hostcomputer 50 in der Phase der Austrittsaufgabe sendet
eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport einer Kassette 40 auf
eine Lagerungsvorrichtungsplatte 96 auf die Auslaßpforte 118 an
die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36, die eine Transportaufgabenanweisung
empfängt,
steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der
Kassette 40 zu der Auslaßpforte 118 an. Die
Lagerungsvorrichtung 36 liest die Daten, die auf der ID-Karte 72 der
Kassette 40 aufgezeichnet sind, unter Verwendung des ID-Karten-Leser/Schreibers 120,
der an der Auslaßpforte 118 angebracht ist,
aus. Die ausgelesen Information wird an den Hostcomputer 50 über das
Kommunikationskabel 58 gesandt.
-
Auf
das Empfangen dieses Berichtes hin vergleicht der Hostcomputer 50 die
auf die Auslaßpforte 118 entladene
Kassette 40 mit einer Kassette 40, die einer Austrittsaufgabenanweisung
entspricht, um zu bestätigen,
ob sie identisch sind. Dann wird eine ID-Karten-Schreibaufgabenanweisung
an die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58 gesandt,
damit der Name der nächsten
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in die ID-Karte 72 eingeschrieben
wird.
-
Die
Lagerungsvorrichtung 36, die die ID-Karten-Schreibaufgabenanweisung
empfängt,
sendet die Information an den ID-Karten-Leser/Schreiber 120, damit
der Name der nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in
die ID-Karte 72 eingeschrieben wird, die an der Kassette 40 angebracht ist.
Die ID-Karte 72, in die der Name der Vorrichtung eingeschrieben
ist, liefert eine Anzeige des Namens auf ihrer eigenen Anzeigeneinheit 74.
Wenn dieser Schreibbetrieb vervollständigt ist, wird ein Bericht, daß die Schreibaufgabe
vervollständigt
ist, an den Hostcomputer 50 auf einem Weg, der entgegengesetzt
zu dem oben beschriebenen ist, geliefert.
-
Auf
das Empfangen des Berichtes hin sendet der Hostcomputer 50 eine
Aufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36, um ein
Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 durch
einen Bediener zu erlauben. Auf das Empfangen der Aufgabenanweisung
hin liefert die Lagerungsvorrichtung 36 eine Anzeige auf
der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36,
die ein Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 erlaubt.
-
Der
Bediener, der diese Nachricht liest, entlädt die Kassette 40 aus
der Auslaßpforte 118 und betätigt die
Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrichtung 36 mitzuteilen,
daß die
Entladeaufgabe dervollständigt
ist. Als Reaktion sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen
Vervollständigungsbericht an
den Hostcomputer 50 über
das Kommunikationskabel 58.
-
Der
Bediener, der die Kassette 40 entladen hat, muß sich nicht
dem Terminal 56 nähern,
um die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu detektieren,
die die Ladeanfrage ausgegeben hat, da die Information auf der Anzeigeeinheit 74 der
ID-Karte 72 geliefert wird. Der Bediener kann die Kassette 40 direkt
zu dem relevanten Kassettenstand 172, 182 der
entsprechenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 befördern.
-
Durch
Anbringen des ID-Karten-Lesers/Schreibers 120 an der Auslaßpforte 118 der
Lagerungsvorrichtung 36 kann der Hostcomputer 50 den
Namen der nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34,
die die Bestimmung der Kassette 40 ist, auf die Anzeigeeinheit 74 der
ID-Karte 72, die an dieser Kassette 40 angebracht
ist, schreiben.
-
Da
sich der Bediener nicht dem Terminal 56 des Hostcomputers 50 nähern muß, um die
Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu
identifizieren, wird die Zeit für
den Aufgabenbetrieb, das heißt für die Aufgabenbearbeitung, ökonomischer
genutzt beziehungsweise verkürzt.
-
Der
Bediener kann nun die Kassette 40 direkt zu der entsprechenden
Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 befördern, indem
er den Namen überprüft, der auf
der Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72, die an
der Kassette 40 angebracht ist, geliefert wird.
-
Die
ID-Karte 72 weist eine Kommunikationseinheit 76 auf,
die an der Bodenebene derselben angeordnet ist. Durch diese Anordnung
kann bei der Lagerungsvorrichtung 36 der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 unter
dem Kassettenempfänger 220 entsprechend
der Position der Kommunikationseinheit 76 der ID-Karte 72 auf
der Einlaßpforte 116 und
der Auslaßpforte 118 angeordnet
werden beziehungsweise sein. Der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 kommuniziert
mit der Kommunikationseinheit 76, die an dem Boden der
ID-Karte 72 vorgesehen ist, über ein Kommunikationsfenster 132,
daß an
dem Kassettenempfänger 130 vorgesehen
ist. Die Anordnung des ID-Karten-Lesers/Schreibers 120 unter
dem Kasset tenempfänger 220 liefert
den Vorteil, daß,
wenn die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zu plazieren
ist, oder wenn sie von der Auslaßpforte 118 zu entladen ist,
so orientiert ist, daß die
ID-Karte 72 derselben dem
Bediener gegenüberliegt,
so daß der
ID-Karten-Leser/Schreiber 120 das
Laden oder Entladen der Kassette 40 durch den Bediener
nicht behindert.
-
Durch
Anordnen des ID-Karten-Lesers/Schreibers 120 an der Einlaßpforte 116 oder
der Auslaßpforte 118 unter
dem Kassettenempfänger 220 kann
die Halterungs- beziehungsweise Plazierungsorientierung der Kassette 40 so
eingestellt beziehungsweise festgelegt werden, daß sie dem
Bediener gegenüberliegt.
Desweiteren können
die Halterungsorientierungen der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96,
der Einlaßlieferungspforte 104,
der Auslaßlieferungspforte 100 und
der Pforte 98 alle so eingestellt werden, daß sie nach
außen
gerichtet sind.
-
Das
Problem, daß die
Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 eine
Drehungsaufgabe zum Drehen der Kassette 40 während der
Transferaufgabe auszuführen
hat, da die Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßpforte 88 sich
um 90° von
der Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßlieferungspforte 104 unterscheidet,
wird eliminiert.
-
Das ähnliche
Problem der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84,
die eine Drehungsaufgabe während
der Transferaufgabe auszuführen
hat, da die Orientierung der Kassette 40 an der Auslaßpforte 86 sich
um 90° von
der Orientierung der Kassette 40 an der Auslaßlieferungspforte 100 unterscheidet, wird
ebenfalls eliminiert.
-
Das
herkömmliche
Problem, daß man Schwierigkeiten
bei dem Bestätigen
dessen, daß die Kassette 40 auf
der Einlaßpforte 116 und
beziehungsweise oder der Auslaßpforte 118 plaziert
ist, hat, da die ID-Karte 72 der Kassette 40 nicht
so orientiert ist, daß sie
dem Bediener gegenüberliegt,
ist gelöst.
-
Der
Bediener kann nun leicht die Information lesen, die auf der Anzeigeeinheit 74 der
ID-Karte 72 der Kassette 40 geliefert wird, die
an der Einlaßpforte 116 und
beziehungsweise der Auslaßpforte 118 plaziert
ist. Durch Einstellen der Halterungsorientierung der Kassette 40 auf
der Auslaßlieferpforte 100 identisch
zu derjenigen auf der Auslaßpforte 86 und
der Halterungsorientierung der Kassette 40 auf der Einlaßlieferungspforte 104 identisch
zu derjenigen auf der Einlaßpforte 88 ist
es nicht länger
notwendig, die Kassette 40 während der Transferaufgabe zum Transferieren
der Kassette 40 zwischen diesen Pforten durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 um 90° zu drehen.
-
Das
Anhaften von Staub, Dunst und ähnlichem
auf dem Wafer 70 kann, abhängig von dem Bearbeitungsschritt
für die
Kassette 40, in der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung
kritisch sein oder nicht. Das bedeutet, daß die Anforderungen, die an
die Lagerungsumgebung in der Lagerungsvorrichtung 36 gestellt
werden, unterschiedlich sind. Eine Lagerungsvorrichtung 36,
die mit einer äußeren Abschirmtür 90 einer
inneren Abschirmtür 92, einer äußeren Abschirmtür 114,
einer inneren Abschirmtür 112 und
einer äußeren Abschirmtür 122 und
einer inneren Abschirmtür 110 vorgesehen
ist, oder eine Lagerungsvorrichtung 36, die ohne diese Abschirmtüren vorgesehen
ist, können
beide vorbereitet beziehungsweise hergestellt und entsprechend zur
Lagerung einer Kassette 40 verwendet werden, die einem
Herstellungsbearbeitungsschritt zu unterwerfen ist, abhängig davon,
ob die Anforderungen bezüglich
der Lagerungsumgebung hart beziehungsweise eine Abschirmung erfordernd
sind oder nicht.
-
Durch
verwenden einer Lagerungsvorrichtung 36 des Typs, der mit
einer Abschirmtür
vorgesehen ist oder nicht, zum Lagern der Kassette 40 entsprechend
des Schrittes, der durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bei
der Kassette 40 auszuführen ist,
kann die Anforderung an eine harte beziehungsweise reine Lagerungsumgebung
erfüllt
werden, während
die Verwendung der teuren Lagerungsvorrichtung 36 mit der
Abschirmtür
minimiert wird.
-
Bei
dem Herstellungsprozeß für eine Halbleitervorrichtung
gibt es verschiedene Herstellungsschritte, die einen Zeitraum nach
einem gewissen Schritt und vor dem nächsten Schritt benötigen, und außerdem solche,
bei denen die Umgebung zwischen den Schritten kritisch zu steuern
ist. Die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung kann beide
Typen einer Lagerungsvorrichtung 36, diejenigen mit Abschirmtüren und
diejenigen ohne Abschirmtüren,
in einer gemischten Art und Weise verwenden. Der Hostcomputer 50 kann
so aufgebaut sein, daß er
die Information über
den Herstellungsprozeß,
die sich auf den Zeitraum zwischen dem Ende eines gewissen Prozesses
bis zu dem Beginn des nächsten
Prozesses bezieht und die sich auf die Umgebung zwischen diesen
Prozessen bezieht, über den
Terminal 54 erhält.
Eine Lagerungsvorrichtung 36 des Typs mit Abschirmtüren kann
bei dem Herstellungsprozeß verwendet
werden, der unter harter Steuerung steht. Außerdem kann eine Transportsteuerung
geliefert werden, bei der der Transportaufgabe zwischen den Lagerungsvorrichtungen
unter Verwendung der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und
zwischen einer Lagerungsvorrichtung 36 und einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 unter
Verwendung eines automatischen Transportierers 38 eine
höhere
Priorität
zugeordnet wird, so daß sie
schneller als andere Herstellungsschritte beziehungsweise Transportaufgaben
ausgeführt
werden kann.
-
Derart
können
Lagerungsvorrichtungen 36 des Typs mit und ohne Abschirmtüren in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung
vorgesehen werden. Der Hostcomputer 50 kann entsprechend
eine Lagerungsvorrichtung 36 mit oder ohne Abschirmtüren entsprechend
des Herstellungsprozesses verwenden. Außerdem kann eine Transportsteuerung
bereitgestellt werden, bei der die Priorität einer Aufgabe entsprechend
geändert
wird beziehungsweise werden kann. Es ist daher möglich, die Anforderungen bezüglich des
harten Zeitraums für die
Transportaufgabe und die Aufgabenumgebung, während eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und
ein automatischer Transportierer 38 verwendet werden, ebenso
wie in anderen Prozeßschritten
zu erfüllen,
wobei die Verwendung der teuren Lagerungsvorrichtung 36 mit
Abschirmtüren
minimiert ist.
-
Obwohl
die vorliegende Erfindung im Detail beschrieben und illustriert
worden ist, ist klar zu verstehen, daß das selbe nur zum Zwecke
der Illustration und des Beispiels dient und nicht als Begrenzung verstanden
werden kann. Der Umfang der vorliegenden Erfindung wird nur durch
die Begriffe der anhängenden
Ansprüche
begrenzt.