DE19805809A1 - Transducer for determining surface plasmon resonances using spatially or time-modified layers for surface plasmon resonance spectroscopy - Google Patents

Transducer for determining surface plasmon resonances using spatially or time-modified layers for surface plasmon resonance spectroscopy

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    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons

Abstract

The transducer has a surface (5) supporting the surface plasmon resonance whose properties, and/or the properties of at least one adjacent region (7,8), are designed and/or variable so that the surface plasmon resonance can be measured by spatially and/or time resolved determination of the intensity of the radiation reflected from the surface. The adjacent region is up to 5 microns from the surface supporting the surface plasmon resonance. An Independent claim is also included for an optical sensor.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Vermessung von Oberflächenplasmonen.The invention relates to an apparatus and a method for measuring surface plasmon.

Die Oberflächenplasmonenresonanz-Spektroskopie (engl. Surface Plasmon Resonance - SPR) beobachtet Änderungen sowohl von Dicke d als auch Brechungsindex n einer dünnen Schicht eines Metalles und eventuell auf dieser aufgebrach­ ter Schichten. Oberflächenplasmonen sind kollektive Anregun­ gen der freien Elektronen in einem Metall, die von einem Lichtfeld, das an der Grenze der dünnen Metallschicht re­ flektiert wird, angeregt werden können. Die Anregung erfolgt dann, wenn sowohl Energie als auch Impuls des einfallenden Lichtfeldes mit dem der Plasmonen übereinstimmt. Die Ober­ flächenplasmonenresonanz kann somit sowohl mit Hilfe der Va­ riation der Wellenlänge (Energie) des einfallenden Lichtes, bei konstantem Winkel (Impuls) als auch durch Variation des Anregungswinkels bei konstanter Wellenlänge beobachtet wer­ den. Beide Prinzipien und Apparaturen zu ihrer Verwendung werden in dem Artikel von Erwin Kretschmann, "Die Bestimmung optischer Konstanten von Metallen durch Anregung von Ober­ flächenplasmaschwingungen", Z. Physik 241, 313-314 (1971) beschrieben.Surface plasmon resonance spectroscopy Surface Plasmon Resonance (SPR) observes changes both of thickness d and refractive index n of a thin one Layer of a metal and possibly cracked on it layers. Surface plasmons are collective stimuli against the free electrons in a metal from a Light field that re on the border of the thin metal layer is inflected, can be stimulated. The suggestion is made then when both energy and momentum of the incident Light field matches that of the plasmons. The waiter surface plasmon resonance can thus be determined with the help of Va riation of the wavelength (energy) of the incident light,  at constant angle (impulse) as well as by varying the Excitation angle at constant wavelength who observed the. Both principles and apparatus for their use are described in the article by Erwin Kretschmann, "The Determination optical constants of metals by excitation from Ober surface plasma vibrations ", Z. Physik 241, 313-314 (1971) described.

Die Position der SPR im Spektrum hängt nicht allein von den Eigenschaften der plasmonentragenden Schicht des Freielek­ tronenmetalles ab.The position of the SPR in the spectrum does not depend solely on the Properties of the plasmon-bearing layer of the Freielek tronenmetalles.

Vielmehr hängt die Position der SPR und auch ihre Form von den optischen Eigenschaften des an die Oberfläche angrenzen­ den Mediums ab. Diese Eigenschaft wird für die Verwendung der SPR in Sensoren genutzt. Speziell in Biosensoren wird das angrenzende Medium so gestaltet, daß seine optischen Eigenschaften (Dicke und Brechungsindex) durch spezifische Adsorption von Analytmolekülen modifiziert werden. Dies ge­ schieht typischerweise dadurch, daß in einer dünnen Schicht, die unspezifische Adsorption verhindert, spezielle Ligand- Moleküle fest gebunden werden. Diese Liganden sind spezifi­ sche Bindungspartner für die zu analysierenden Moleküle. Beispielsweise ist ein solches typisches Paar ein Antikörper (Ligand) und das entsprechende Antigen (Analyt). Auf diese Art und Weise kann mit Hilfe der Verschiebung im Spektrum oder allgemeiner Änderung der SPR auf die Anwesenheit und Konzentration von Analytmolekülen und die Bindungsmechanis­ men zwischen ihnen und der modifizierten Sensoroberfläche geschlossen werden. Die so erzeugten Sensoren heißen Affini­ tätssensoren. Mit ihrer Hilfe kann die Reaktion zwischen Analyt in einer Probenlösung und Ligand zeitaufgelöst ver­ messen werden. Eine Übersicht zeigt Gunnar Brink, "Selbstor­ ganisierte ultradünne Schichtsysteme auf Basis von Proteinen und Lipidmembranen; Erzeugung, Charakterisierung und Anwen­ dung in der Biosensorik", VDI Verlag. Rather, the position of the SPR and also its form depends on adjoin the optical properties of the surface the medium. This property is for use the SPR is used in sensors. Especially in biosensors the adjacent medium designed so that its optical Properties (thickness and refractive index) through specific Adsorption of analyte molecules can be modified. This ge typically happens because in a thin layer, which prevents unspecific adsorption, special ligand Molecules are firmly bound. These ligands are specific binding partner for the molecules to be analyzed. For example, such a typical pair is an antibody (Ligand) and the corresponding antigen (analyte). To this Way can be shifted in the spectrum or general change of the SPR to the presence and Concentration of analyte molecules and the binding mechanism between them and the modified sensor surface getting closed. The sensors generated in this way are called Affini motion sensors. With their help, the reaction between Analyze analyte in a sample solution and ligand in a time-resolved manner will measure. Gunnar Brink gives an overview, "Selbstor ganized ultra-thin layer systems based on proteins and lipid membranes; Generation, characterization and application in biosensor technology ", VDI Verlag.  

Die im Stand der Technik beschriebenen Sensoren und die zu Grunde liegenden Verfahren basieren auf der Beobachtung der Verschiebung der SPR entweder im Spektrum des einfallenden Lichtes oder im Anregungswinkel. Dabei hat die Verwendung eines Verfahrens, daß auf der spektralen Vermessung der SPR beruht, den Vorteil, daß der Ortsraum zur Gewinnung zusätz­ licher Information zur Verfügung steht. Wird die wellenlän­ genaufgelöste Messung mit einer ortsaufgelösten Messung ver­ knüpft, läßt sich die Informationsdichte deutlich erhöhen. Der Unterschied entspricht dem zwischen einem Schwarz-Weiß- Bildschirm und einem Farbbildschirm.The sensors described in the prior art and the zu Basic procedures are based on the observation of the Shift the SPR either in the spectrum of the incident Light or in the excitation angle. It has use a method that is based on the spectral measurement of the SPR is based, the advantage that the local area for additional extraction information is available. Will the Wavelength ver resolved measurement with a spatially resolved measurement ties, the information density can be increased significantly. The difference corresponds to that between a black and white Screen and a color screen.

Sowohl die winkel- als auch die wellenlängenaufgelöste Ver­ messung von SPR benutzt die kontrollierte Veränderung (das Durchstimmen) einer äußeren Größe über die Breite der Reso­ nanz oder das Einstrahlen von Licht mit der Breite der Reso­ nanz - spektral, ca. 100 nm oder mehr, winkelaufgelöst, einige Grad - um Veränderungen der SPR zu messen. Diese Ver­ fahren haben den Nachteil, daß sie entweder keine optimale Zeitauflösung, keine optimale Energiedichte oder keines der beiden zur Verfügung stellen können.Both the angular and the wavelength resolved ver SPR measurement uses controlled change (the Tuning) an external size across the width of the reso nance or the irradiation of light with the width of the reso nance - spectral, approx. 100 nm or more, angularly resolved, a few degrees - to measure changes in SPR. This ver driving have the disadvantage that they are either not optimal Time resolution, no optimal energy density or none of the can provide both.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Vermessung von Oberflächenplasmonen bereitzustellen, die eine bessere Zeitauflösung und/oder Energiedichte ermöglicht.The invention has for its object a device and a method for measuring surface plasmons provide that better time resolution and / or Enables energy density.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Patentansprüche ge­ löst.This task is ge with the features of the claims solves.

Ideal unter Aspekten der Zeitauflösung und der Empfindlich­ keit ist die Vermessung der SPR mit einem spektral schmal­ bandigen, parallelen, konstanten Lichtstrahl hoher Intensi­ tät. Damit kann sowohl die zeitliche, als auch die Auflösung bei der Messung von Intensitäten und damit die Sensitivität optimiert werden.Ideal in terms of time resolution and sensitivity measurement is the SPR with a spectrally narrow banded, parallel, constant light beam of high intensity act. This allows both the temporal and the resolution when measuring intensities and thus the sensitivity be optimized.

Der Erfindung liegt der Grundgedanke zugrunde, die Mate­ rialeigenschaften derjenigen Bereiche, die an die SPR tra­ gende Oberfläche des SPR-Sensors (Transducers) angrenzen, bzw. sich so nah - ± 5 µm - an der SPR tragenden Oberflä­ che befinden, daß sie die SPR signifikant beeinflussen, der­ gestalt zu modifizieren, daß eine räumlich oder zeitlich aufgelöste Bestimmung der Intensität der von der Oberfläche reflektierten Strahlung die Vermessung der SPR ermöglicht. Diese Schichten können das Freielektronenmetall (Metall­ schicht) oder eine erste auf der Lichteinkopplungs-Seite oder eine zweite auf der Probenseite befindliche (dielektri­ sche) Schicht sein. Die erste und zweite Schicht kann direkt an die Metallschicht angrenzen. Alternativ kann die erste oder zweite Schicht durch eine erste bzw. zweite Zwischen­ schicht oder mehrere Zwischenschichten von der Metallschicht getrennt sein. Ebenso kann die zweite Schicht direkt an das Probenvolumen angrenzen. Es werden in erster Linie Form und Lage der SPR entweder räumlich oder zeitlich beeinflußt. Die Erfindung ermöglicht die oben geforderte Bestimmung der SPR sowohl mit optimaler zeitlicher (nur bei räumlich aufge­ löster Bestimmung), als auch mit optimaler Intensitätsauflö­ sung. Außerdem besitzt sie den Vorteil, daß gegebenenfalls die übrigen räumlichen Achsen zur Gewinnung weiterer Infor­ mation genutzt werden können. Dies wird in den Ausführungs­ beispielen verdeutlicht. Insbesondere gestattet die Erfin­ dung auch die Kombination von räumlich oder zeitlich aufge­ lösten Messungen und schmalbandiger spektraler Modulation der Lichtquelle zur Unterdrückung äußerer Störgrößen und Er­ zielung eines optimalen Signal- zu Rauschen-Verhältnisses.The invention is based on the basic idea, the mate rial characteristics of those areas that are involved in the SPR border the surface of the SPR sensor (transducer),  or so close - ± 5 µm - to the surface carrying the SPR che find that they significantly affect the SPR, the shape to modify that spatially or temporally resolved determination of the intensity of the surface reflected radiation enables the measurement of the SPR. These layers can be the free electron metal (metal layer) or a first one on the light coupling side or a second one on the sample side (dielectri ) layer. The first and second layers can be done directly adjoin the metal layer. Alternatively, the first or second layer through a first or second intermediate layer or several intermediate layers from the metal layer be separated. The second layer can also be directly attached to the Adjacent sample volume. It is primarily form and Location of the SPR either spatially or temporally influenced. The invention enables the above-mentioned determination of the SPR both with optimal temporal (only with spatially dissolved determination), as well as with optimal intensity resolution solution. It also has the advantage that, if necessary the remaining spatial axes for obtaining further information mation can be used. This is in the execution examples made clear. In particular, the Erfin permits also the combination of spatially or temporally solved measurements and narrowband spectral modulation the light source to suppress external disturbances and Er aiming for an optimal signal-to-noise ratio.

Zur räumlichen Modifikation der Transduceroberfläche - ge­ nauer: von komplexen Brechungsindex n, Dicke d oder dem Produkt n.d - stehen verschiedene Verfahren zur Verfügung. Dabei kann einerseits die dünne Schicht des Freielektronen­ metalls entsprechend strukturiert erzeugt oder modifiziert werden, oder auch eine oder mehrere Schichten, die an die Metallschicht mittelbar oder unmittelbar angrenzen. Techni­ ken, die zur Modifikation zur Verfügung stehen, basieren auf der ortsaufgelösten Aufbringung von Material, wie beispiels­ weise ortsaufgelöste Aufsputterung von Material auf Oberflä­ chen, oder durch Bedrucken, durch gerichtete Eindiffusion von Fremdmaterialien, durch ortsaufgelöste Ionenimplanta­ tion, durch ortsaufgelöste fotoinduzierte Bindung oder auch durch gezielte Entfernung von Material von der Oberfläche beispielsweise durch Sputtern oder lithograpische Techniken, Plasmaätzen usw.For spatial modification of the transducer surface - ge more precisely: of complex refractive index n, thickness d or that Product n.d - different processes are available. On the one hand, the thin layer of free electrons correspondingly structured or modified metal or one or more layers attached to the Border the metal layer directly or indirectly. Techni ken that are available for modification are based on the spatially resolved application of material, such as wise spatially resolved sputtering of material on surface chen, or by printing, by directional diffusion  of foreign materials, through spatially resolved ion implant tion, through spatially resolved photo-induced binding or through targeted removal of material from the surface for example by sputtering or lithographic techniques, Plasma etching etc.

Eine weitere Möglichkeit zur erfindungsgemäßen räumlichen Modifikation ist die Erzeugung einer stehenden Welle - bei­ spielsweise als Dichtemodifikation auf akustischem Wege - im Bereich des Transducers, der an die SPR-tragende Oberfläche angrenzt.Another possibility for spatial according to the invention Modification is the generation of a standing wave - at for example as acoustic density modification - in Area of the transducer attached to the SPR-bearing surface adjacent.

Alternativ ist die Verwendung eines Materials an der Grenz­ fläche, dessen Brechungsindex durch Einstrahlung eines wei­ teren Lichtfeldes orts- oder zeitaufgelöst modifiziert wer­ den kann, möglich. Ein solches Material ist beispielsweise ein Farbstoff.Alternatively, the use of a material is at the limit surface whose refractive index is caused by the irradiation of a white who modified the other light field in a location or time-resolved manner that can, possible. Such a material is for example a dye.

Neben der Bestimmung der Oberflächenplasmonenresonanz durch räumliche Modifikation des Transducers, in dem Bereich, der empfindlich auf Form und Lage der SPR wirkt, ist auch die zeitaufgelöste Modifikation dieses Bereiches geeignet, die Detektion von SPR und die darauf basierende Sensorik zu ver­ bessern. Unter zeitaufgelöster Modifikation wird hier ver­ standen, die Änderung der Eigenschaften einer oder mehrerer Schichten, in einem SPR-Transducer, die dazu geeignet sind, Form und Lage der SPR zu verändern, so durchzuführen, daß diese Änderungen reversibel sind und durch zeitliche Ände­ rung einer äußeren Größe zustande kommen. Beispielsweise kann eine oder mehrere der beschriebenen Schichten oder der ganze Transducer komprimiert oder expandiert werden, oder die Temperatur entsprechender Bereiche kann verändert werden oder ein Lichtfeld wie oben beschrieben kann eingestrahlt werden.In addition to determining the surface plasmon resonance by spatial modification of the transducer, in the area of the sensitive to the shape and location of the SPR is also suitable time-resolved modification of this area, the Detection of SPR and the sensors based thereon ver improve. Under time-resolved modification, ver stood, changing the properties of one or more Layers in an SPR transducer that are suitable To change the shape and position of the SPR so that these changes are reversible and through temporal changes external size. For example can one or more of the described layers or whole transducers are compressed or expanded, or the temperature of corresponding areas can be changed or a light field as described above can be irradiated become.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbei­ spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:The invention is illustrated below with reference to embodiments play explained with reference to the drawing. Show it:

Fig. 1a einen schematischen Aufbau einer Vorrichtung zur Vermessung von SPR, Fig. 1a shows a schematic structure of an SPR measuring apparatus,

Fig. 1b eine schematischen Aufbau eines SPR-Sensors mit einer Konfiguration nach Kretschmann zur Anregung von SPR, FIG. 1b shows a schematic structure of an SPR sensor having a configuration according to Kretschmann SPR for exciting,

Fig. 1c eine Prinzipdarstellung an einem Ausschnitt eines Sensors gemäß Fig. 1b; FIG. 1c is a schematic diagram of a section of a sensor according to Fig. 1b;

Fig. 1d eine Diagrammdarstellung der Stärke des elektri­ schen Feldes E im Grenzbereich Freielektronenme­ tall 5/Probe 6; Fig. 1d is a diagram showing the strength of the electric field's E in the boundary region free electrons tall 5 / sample 6 ;

Fig. 1e eine schematisch Darstellung eines Schichtaufbaus des auf Gestalt und Lage der SPR wirkenden Trans­ ducer-Bereiches; Figure 1e is a schematic illustration of a layer structure of the forces acting on shape and position of the SPR trans ducer-range.

Fig. 2a eine schematisch Darstellung einer Variation der Schichtdicke d des Freielektronenmetalls 5 in einem SPR-Sensor gemäß einer ersten Ausführungs­ form der Erfindung; FIG. 2a is a schematic representation of a variation of the layer thickness d of the free electron metal 5 in a SPR sensor according to a first embodiment of the invention;

Fig. 2b eine schematisch Darstellung einer Variation der Schichtdicke einer zusätzlichen dielektrischen Schicht 7 zwischen Freielektronenmetall 5 und Probe 6; Figure 2b is a schematic representation of a variation of the layer thickness of an additional dielectric layer 7 between the free electron metal 5 and sample 6.

Fig. 2c eine Prinzipdarstellung einer Verschiebung eines ortsaufgelösten SPR-Signals; Fig. 2c is a schematic diagram of a displacement of a spatially resolved SPR signal;

Fig. 3: eine Prinzipdarstellung einer Variation des Bre­ chungsindex n des Freielektronenmetalls 5 oder einer Schicht 7, 8; Fig. 3 shows a schematic diagram of a variation of a refracting index n of the free electron metal 5 or a layer 7, 8;

Fig. 4 eine Prinzipdarstellung einer zyklischen Variation der optischen Eigenschaften des Freielektronenme­ talls 5 oder einer Schicht 7, 8; Fig. 4 is a schematic diagram of a cyclic variation of the optical properties of the free electron metal 5 or a layer 7 , 8 ;

Fig. 5a eine Aufsicht auf einen kreisförmigen Transducer 2 gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfin­ dung; Fig. 5a is a plan view of a circular transducer 2 according to another embodiment of the inven tion;

Fig. 5b eine schematische Anordnung verschiedener Pro­ benkanäle 10 entlang des Radius r des kreisförmi­ gen Transducers gemäß Fig. 5a; FIG. 5b is a schematic arrangement of various Pro benkanäle 10 along the radius r of the kreisförmi gen transducer shown in Fig. 5a;

Fig. 5c eine Prinzipdarstellung eines SPR-Signals als Funktion des Drehwinkels bei einem Transducer ge­ mäß Fig. 5a; 5c is a schematic diagram of a SPR signal as a function of the rotation angle at a transducer ge Mäss Fig. 5a.

Fig. 6a eine perspektivische Ansicht eines Sensors basie­ rend auf der rotationsaufgelösten Messung eines SPR-Signals gemäß einer alternativen Ausführungs­ form der Erfindung; FIG. 6a is a perspective view of a sensor basie end on the rotationally resolved measurement of an SPR signal in accordance with an alternative execution form of the invention;

Fig. 6b einen schematischen Aufbau einer Vorrichtung zur Vermessung von SPR mit einem Sensor gemäß Fig. 6a; Figure 6b is a schematic structure of an apparatus for measurement of SPR with a sensor according to Fig. 6a.

Fig. 7a eine perspektivische Ansicht eines Sensors mit einer linearen Anordnung zur Bestimmung von Ana­ lytkonzentrationen mit Hilfe ortsaufgelöster Mes­ sung eines SPR-Signals und Fig. 7a is a perspective view of a sensor with a linear arrangement for determining analyte concentrations using spatially resolved measurement of an SPR signal and

Fig. 7b eine Prinzipdarstellung eines SPR-Signals als Funktion des Ortes bei einem Transducer gemäß Fig. 7a. FIG. 7b is a schematic diagram of a SPR signal as a function of the place in a transducer according to Fig. 7a.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung be­ schrieben.In the following, embodiments of the invention will be wrote.

In Fig. 1a wird ein schematischer Aufbau eines optischen Sensors gezeigt. Es wird ein paralleler Lichtstrahl konstan­ ter Wellenlänge aus einer Lichtquelle 1, vorzugsweise ein Laser, z. B. ein Diodenlaser, auf einen SPR-Transducer 2 ein­ gestrahlt. Das vom Transducer abgegebene Licht wird von einem Detektor 3 erfaßt und anschließend von einer Auswerte­ einheit (nicht dargestellt) ausgewertet.A schematic structure of an optical sensor is shown in FIG. 1a. There is a parallel light beam constant wavelength from a light source 1 , preferably a laser, for. B. a diode laser, on an SPR transducer 2 a blasted. The light emitted by the transducer is detected by a detector 3 and then evaluated by an evaluation unit (not shown).

Der Transducer 2 wird beispielsweise wie in Fig. 1b gezeigt in Kretschmann-Konfiguration verwendet. Der Transducer be­ steht aus einer Freielektronenmetallschicht 5 auf dessen lichteinkoppelnder Seite ein Glasprisma 4 angeordnet ist. Auf der Probenseite der Metallschicht 5 ist eine Probe 6 an­ geordnet. Der Lichtstrahl wird von einer Seite des Glaspris­ mas 4, das als einkoppelndes Medium dient, auf die Oberflä­ che der Metallschicht 5 gerichtet. Das reflektierte Licht wird an einer gegenüberliegenden Seite des Glasprismas 4 ausgegeben.The transducer 2 is used, for example, in a Kretschmann configuration as shown in FIG. 1b. The transducer consists of a free electron metal layer 5 on the light coupling side of which a glass prism 4 is arranged. On the sample side of the metal layer 5 , a sample 6 is arranged. The light beam is directed from one side of the Glaspris mas 4 , which serves as a coupling medium, to the surface of the metal layer 5 . The reflected light is output on an opposite side of the glass prism 4 .

Wie aus Fig. 1c, die einen Ausschnitt von Fig. 1b zeigt, hervorgeht, kommt es an der Metallschicht 5 zu einer Total­ reflexion des Lichtes. In der Metallschicht 5 und der an­ grenzenden Probe bildet sich ein evaneszentes Feld, welches an der gegenüberliegenden Seite der Metallschicht Oberflä­ chenplasmonen anregt. Der entsprechende Feldverlauf der Oberflächenplasmonen ist in Fig. 1d gezeigt. Unter bestimm­ ten Bedingungen kommt es zu einer Oberflächenplasmonenreso­ nanz (SPR). Abhängig von den Verhältnissen an der Proben­ seite ändert sich diese SPR. Diese Änderung wird für Auswer­ tung der Probe verwendet.As shown in Fig. 1c, which shows a detail of Fig. 1b, stating it comes to the metal layer 5 to a total reflection of the light. In the metal layer 5 and the adjoining sample, an evanescent field is formed, which excites surface plasmon on the opposite side of the metal layer. The corresponding field course of the surface plasmons is shown in Fig. 1d. Surface plasmon resonance (SPR) occurs under certain conditions. This SPR changes depending on the conditions on the sample side. This change is used to evaluate the sample.

Wie in Fig. 1e dargestellt, kann der Transducer 2 aus meh­ reren übereinanderangeordneten Schichten bestehen. Auf der lichteinkoppelnden Seite ist eine erste dielektrische Schicht 7 angeordnet, die direkt oder wie dargestellt über eine oder mehrere erste Zwischenschichten 7a an der Metall­ schicht 5 angrenzt. In gleicher Weise ist an der Probenseite eine zweite Schicht 8 direkt angrenzend oder durch eine oder mehrere zweite Zwischenschichten 8a getrennt angeordnet.As shown in Fig. 1e, the transducer 2 can consist of a plurality of layers arranged one above the other. On the light-coupling side, a first dielectric layer 7 is arranged, which is directly or as shown via one or more first intermediate layers 7 a adjacent to the metal layer 5 . In the same way, a second layer 8 is arranged directly adjacent to the sample side or separated by one or more second intermediate layers 8 a.

Der Aufbau oder die Oberfläche des erfindungsgemäßen Trans­ ducers ist dergestalt, daß entlang mindestens einer seiner Achsen die Dicke mindestens einer der Schichten variiert. Die übrigen Schichten sind jeweils gleichmäßig dick. Alter nativ oder zusätzlich variiert der Brechungsindex bei minde­ stens einer der genannten Schichten.The structure or surface of the trans according to the invention ducers is such that along at least one of its The thickness of at least one of the layers varies. The remaining layers are equally thick. Age natively or additionally, the refractive index varies at least at least one of the layers mentioned.

Fig. 2a zeigt eine bevorzugte Ausführungsform eines Trans­ ducers gemäß der vorliegenden Erfindung. Bei diesem SPR-Sen­ sor variiert die Dicke der Schicht des Freielektronenmetalls 5 in y-Richtung. In dem Beispiel nimmt die Dicke von links (von der ersten Seite der Prismas) nach rechts (zu der zwei­ ten Seite des Prismas) gesehen linear von 40 auf 50 nm zu. Fig. 2a shows a preferred embodiment of a transducer according to the present invention. In this SPR sensor, the thickness of the layer of free electron metal 5 varies in the y direction. In the example, the thickness increases linearly from 40 to 50 nm from the left (from the first side of the prism) to the right (to the second side of the prism).

Als Freielektronenmetall wird beispielsweise Gold oder Sil­ ber verwendet.Gold or Sil, for example, is used as the free electron metal used over.

Bei einer alternativen Ausführungsform der Erfindung, die in Fig. 2b gezeigt ist, variiert die Dicke einer auf der Pro­ benseite einer Goldschicht 5 befindlichen dünnen Glasschicht 8 in y-Richtung des Transducers. Bei dem Beispiel ändert sich die Dicke linear von 20 auf 100 nm. Die Dicke der Gold­ schicht 5 ist bei diesem Beispiel einheitlich. Alternativ kann die Dicke der Goldschicht ebenfalls variieren.In an alternative embodiment of the invention, which is shown in FIG. 2b, the thickness of a thin glass layer 8 located on the sample side of a gold layer 5 varies in the y-direction of the transducer. In the example, the thickness changes linearly from 20 to 100 nm. The thickness of the gold layer 5 is uniform in this example. Alternatively, the thickness of the gold layer can also vary.

Die Intensität des von der Transduceroberfläche reflektier­ ten Lichtes wird mit einem Detektor 3 gemessen, der so ge­ staltet ist, daß er mindestens in einer Dimension ortsaufge­ löste Messungen gestattet. Der Detektor ist beispielsweise ein Photodiodenarray, das in y-Richtung angeordnet wird. Das resultierende Signal ist eine ortsaufgelöste SPR. Ändern sich die optischen Eigenschaften der an die Goldschicht (Fig. 2a) oder an die Glasschicht (Fig. 2b) angrenzenden Schicht 6, verschiebt sich die SPR wie in Fig. 2c schema­ tisch dargestellt. Die Verschiebung ist beispielsweise ein Maß für die in der angrenzenden Schicht gebundenen Analyt­ atome.The intensity of the light reflected from the transducer surface is measured with a detector 3 , which is so designed that it permits spatially resolved measurements in at least one dimension. The detector is, for example, a photodiode array that is arranged in the y direction. The resulting signal is a spatially resolved SPR. If the optical properties of the layer 6 adjoining the gold layer ( FIG. 2a) or the glass layer ( FIG. 2b) change, the SPR shifts as shown schematically in FIG. 2c. The shift is, for example, a measure of the analyte atoms bound in the adjacent layer.

Fig. 3 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung. Der optische Aufbau entspricht dem Ausführungsbeispiel von Fig. 1b. Die Transducer-Oberfläche ist so gestaltet, daß der Brechungsindex n der Schicht des Freielektronenmetalls 5 oder einer anderen Schicht 7, 8 entlang einer Transducer­ achse, wie im Diagramm dargestellt, zunimmt. Das resultie­ rende Signal ist wie in den Ausführungsbeispielen von Fig. 2a und 2b eine ortsaufgelöste SPR. Eine Kombination der Aus­ führungsbeispiele von Fig. 2a bzw. 2b mit dem von Fig. 3, bei der die optischen Eigenschaften dem Produkt aus Dicke d und Brechungsindex n entsprechen, führt zu einem entspre­ chenden Effekt. Fig. 3 shows a further embodiment of the invention. The optical structure corresponds to the exemplary embodiment in FIG. 1b. The transducer surface is designed so that the refractive index n of the layer of free electron metal 5 or another layer 7 , 8 increases along a transducer axis, as shown in the diagram. The resulting signal is, as in the exemplary embodiments of FIGS. 2a and 2b, a spatially resolved SPR. A combination of the exemplary embodiments of FIGS . 2a and 2b with that of FIG. 3, in which the optical properties correspond to the product of thickness d and refractive index n, leads to a corresponding effect.

In dem Ausführungsbeispiel von Fig. 4 erfolgt die Variation der optischen Eigenschaften d . n der plasmonen-tragenden Schicht 5 oder einer anderen Schicht 7, 8 zyklisch. Das Pro­ dukt n.d gibt die Variation der Dicke d und/oder des Bre­ chungsindex n an, die in y-Richtung des Transducers vorhan­ den ist. Die Amplitude der zyklischen Modifikation der opti­ schen Eigenschaften ist vorzugsweise gerade so groß, daß in einer Periode die komplette SPR überstrichen wird. Diese zyklische Variation kann z. B. entsprechend einer sägezahn­ förmigen Funktion, einer Dreiecks-Funktion, einer Sinusfunk­ tion oder beispielsweise einer Funktion sein, die das Ober­ flächenplasmon auf eine der genannten Funktionen abbildet.In the exemplary embodiment of FIG. 4, the optical properties d are varied. n of the plasmon-bearing layer 5 or another layer 7 , 8 cyclically. The product nd indicates the variation in the thickness d and / or the refractive index n, which is present in the y-direction of the transducer. The amplitude of the cyclic modification of the optical properties is preferably just large enough that the entire SPR is swept in one period. This cyclic variation can e.g. B. corresponding to a sawtooth-shaped function, a triangular function, a sinusoidal function or, for example, a function that maps the surface plasmon to one of the functions mentioned.

Das zugrunde liegende Koordinatensystem ist nicht unbedingt ein rechtwinkliges, wie in Fig. 1 bis 4 angegeben. Es kann beispielsweise auch eine kreisförmiger Transducer ver­ wendet werden - Fig. 5a. Dann ist die entsprechende Koordi­ nate in den obenbeschriebenen Ausführungsbeispielen nicht mehr y sondern der Drehwinkel Φ und die ortsaufgelöste Mes­ sung der Intensität mit Hilfe einer Diodenzeile oder einer Kamera kann durch Detektion mit einer Photodiode und gleich­ zeitige Drehung des kreisförmigen Transducers erfolgen. Ein solcher Aufbau ist in Fig. 5a gezeigt. Die Rotation kann gleichförmig oder auch stufenweise erfolgen. Bei gleichför­ miger Rotation und zum Beispiel einer Oberfläche, die so ge­ staltet ist, daß bei einer vollständigen Drehung das Plasmon gerade auf eine Periode einer Sinusfunktion abgebildet wird, kann das Signal der Photodiode gerade bei der Rotationsfre­ quenz ausgelesen werden. Eine Verschiebung der SPR kann dann beispielsweise als Phasenverschiebung gemessen werden. Vor­ zugsweise wird dazu gleichzeitig mit dem eigentlichen Meß­ signal ein Referenzsignal konstanter Phase aufgenommen und mit Hilfe einer PLL-Schaltung (Phase Locked Loop) ein Ver­ gleich durchgeführt.The underlying coordinate system is not necessarily a rectangular one, as shown in Figs. 1 to 4. For example, a circular transducer can also be used - FIG. 5a. Then the corresponding coordinate in the exemplary embodiments described above is no longer y but the angle of rotation Φ and the spatially resolved measurement of the intensity with the aid of a diode line or a camera can be carried out by detection with a photodiode and simultaneous rotation of the circular transducer. Such a structure is shown in Fig. 5a. The rotation can be uniform or stepwise. With uniform rotation and, for example, a surface that is designed so that the plasmon is mapped onto a period of a sine function during a complete rotation, the signal of the photodiode can be read out precisely at the rotation frequency. A shift in the SPR can then be measured, for example, as a phase shift. Before this, a reference signal of constant phase is recorded simultaneously with the actual measurement signal and a comparison is carried out with the aid of a PLL circuit (phase locked loop).

Wie bereits oben gesagt kann die zweite Dimension der Trans­ ducer-Oberfläche dazu verwendet werden, weitere Informatio­ nen über die zu untersuchende Probe zu liefern. Beispiels­ weise kann entlang der x-Achse (siehe Fig. 1b) oder des Ra­ dius r (siehe Fig. 5b) in einem Affinitätssensor unter­ schiedliche Liganden für verschiedene Analyte oder Liganden unterschiedlicher Affinität für einen oder mehrere Analyte aufgebracht werden. Beispielsweise kann aber auch die Kon­ zentration der Liganden an der Oberfläche entlang der x- Achse oder von r variiert werden. Ebenso kann eine Anzahl verschiedener Probenkanäle, die entsprechend verlaufen (in Fig. 5b in Form von konzentrischen Kreisen), mit verschie­ denen Proben verwendet werden.As already mentioned above, the second dimension of the transducer surface can be used to provide further information about the sample to be examined. For example, along the x-axis (see FIG. 1b) or the radius r (see FIG. 5b), different ligands for different analytes or ligands of different affinity for one or more analytes can be applied in an affinity sensor. For example, the concentration of the ligands on the surface can also be varied along the x-axis or from r. Likewise, a number of different sample channels, which run accordingly (in FIG. 5b in the form of concentric circles), can be used with different samples.

Entsprechend den obigen Ausführung und den dort beschriebe­ nen Verfahren und allgemeinen Ausführungsformen können ins­ besondere sehr stark vereinfachte Affinitätssensoren reali­ siert werden. Insbesondere können völlig neuartige Geräte für die Verwendung als diagnostische Affinitätssensoren re­ alisiert werden. Zwei dieser Geräte werden im folgenden als bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung mit Bezugnahme auf die Fig. 6 und 7 beschrieben.In accordance with the above embodiment and the methods and general embodiments described there, particularly greatly simplified affinity sensors can be implemented. In particular, completely new devices can be implemented for use as diagnostic affinity sensors. Two of these devices are described below as preferred embodiments of the invention with reference to FIGS. 6 and 7.

Das hier beschriebene und in Fig. 6 schematisch gezeigte Gerät basiert auf der Verwendung einer kreisförmigen Trans­ ducer-Oberfläche mit konzentrischen halbkreisförmigen Pro­ benkanälen 10. Als Lichtquelle 1 dient eine Laserdiode oder beispielsweise eine Leuchtdiode, deren spektrale Breite durch Verwendung eines optischen Filters eingeschränkt wird oder irgendeine andere Lichtquelle mit einer spektralen Breite, die klein gegenüber der spektralen Breite des Ober­ flächenplasmons bei konstantem Einfallswinkel des anregenden Lichtes ist oder eine Lichtquelle, die mit einem spektralen Filter, wie einem Monochromator versehen ist. Bei einer Re­ sonanzwellenlänge von ca. 780 nm, einer ca. 50 nm dicken, ebenen Goldschicht als Transducer-Oberfläche und entspre­ chendem Einstrahlungswinkel ist die SPR ca. 100 nm breit (2.FWHM - Full Width Half Minimum). Eine LED in diesem Wel­ lenlängenbereich mit einer spektralen Breite des abgestrahl­ ten Lichtes von ca 15 nm - 30 nm ist bereits klein genug um eine entsprechende Vermessung des Oberflächenplasmons zu er­ möglichen.The device described here and shown schematically in FIG. 6 is based on the use of a circular transducer surface with concentric semicircular sample channels 10 . The light source 1 is a laser diode or, for example, a light-emitting diode, the spectral width of which is restricted by using an optical filter or any other light source with a spectral width that is small compared to the spectral width of the surface plasmon with a constant angle of incidence of the exciting light, or a light source, which is provided with a spectral filter, such as a monochromator. With a resonance wavelength of approx. 780 nm, an approx. 50 nm thick, flat gold layer as transducer surface and the corresponding radiation angle, the SPR is approx. 100 nm wide (2.FWHM - Full Width Half Minimum). An LED in this wavelength range with a spectral width of the emitted light of approx. 15 nm - 30 nm is already small enough to enable a corresponding measurement of the surface plasmon.

Für eine höhere Genauigkeit der Vermessung der SPR wird vor­ zugsweise eine wesentlich schmalbandigere Lichtquelle ver­ wendet. Eine solche Lichtquelle ist eine Laserdiode, die bei der genannten Wellenlänge mit einer spektralen Breite von ca. 1 pm oder weniger leuchtet. Das eingestrahlte Licht wird möglichst parallel aufgebracht. Vorzugsweise ist das Maß für eine tolerierbare Abweichung von der Parallelität die Breite der SPR im Winkelraum bei konstanter Wellenlänge des ein­ fallenden Lichtes. Diese Breite beträgt bei den o. g. Bedin­ gungen ca. 2 Winkelgrad, so daß ein Lichtstrahl einen Kon­ vergenz- bzw. -Divergenzwinkel von ca. 0,5° oder weniger auf­ weisen sollte. Die geforderte Parallelität bezieht sich auf den Einstrahlwinkel in der Reflexionsebene. Dieser paral­ lele, monochromatische Lichtstrahl wird beispielsweise mit Hilfe einer Strahlformungsoptik 11 aus Zylinderlinsen in der Richtung senkrecht zur Reflexionsebene aufgeweitet, so daß ein "Lichtvorhang" entsteht. Der so gestaltete Lichtstrahl wird in ein Zylinderprisma 12 beispielsweise aus BK7-Glas eingekoppelt. Dieses Zylinderprisma ist so angeordnet, daß an seiner Basis eine Scheibe beispielsweise ebenfalls mit einer BK7-Oberfläche als Kopplungsschicht 13 rotierend vorbeistreicht. Zwischen der Basis des Prismas und der ro­ tierenden Scheibe ist eine Schicht zur Brechungsindexanpas­ sung 14 beispielsweise Silikonöl gebracht. Statt einer Flüs­ sigkeit kann beispielsweise auch ein Kissen aus Silikon­ kautschuk zwischen Prisma und rotierender Scheibe zur Bre­ chungsindexanpassung verwendet werden. Auf der Seite, die dem Prisma gegenüberliegend angeordnet ist, trägt die Scheibe eine Schicht eines Freielektronenmetalls 5 bei­ spielsweise Gold und möglicherweise einer oder mehrerer wei­ terer Schichten 7, 8 beispielsweise Glas und Dextran. Diese sind entsprechend der obigen Ausführungen so modifiziert, daß die SPR eine Funktion des Rotationswinkels Φ ist. Ent­ lang des Radius dieser Scheibe sind gegenüber des Prismas Kammern oder Kanäle 10 angeordnet, die verschiedene Proben 6 enthalten. Diese Kanäle können über einen großen Winkelbe­ reich ausgedehnt sein. Sie dienen zunächst der Funktionali­ sierung der Sensoroberfläche, d. h. mit Hilfe einer bestimm­ ten Abfolge chemischer Reaktionen werden Liganden an der Sensoroberfläche immobilisiert. Anschließend können die zu untersuchenden Proben aufgebracht werden. Wie bereits gesagt können die Kanäle über einen großen Bereich des Rotations­ winkels Φ ausgedehnt sein. Sinnvoll ist aber auch eine Ab­ folge von verschiedenen Kammern beispielsweise mit Probe und Pufferlösung. Wobei u. U. die Anordnung des kompletten Systems dergestalt sein kann, daß die eigentliche Intensi­ tätsmessung immer in einem Bereich mit Pufferlösung ge­ schieht, da das SPR-Signal in Affinitätssensoren immer auch abhängig ist, von den optischen Eigenschaften des Mediums, das an die sensitive Oberfläche angrenzt. Das reflektierte Licht wird entlang des Radius r der Rotation ortsaufgelöst detektiert, beispielsweise mit Hilfe eines Photodioden­ arrays, einer CCD-Zeile oder einer Kamera. Die Information über Form und Lage erhält man nun für jeden einzelnen Kanal zeitaufgelöst, entsprechend der Rotation der Transducer- Scheibe. Ist man nur an der Lage der SPR interessiert, ist bei entsprechender Gestaltung der Oberfläche (Ausführungs­ beispiel gemäß Fig. 4) die ausschließliche Bestimmung der Phase eines periodischen SPR-Signals ausreichend. Steht zur Messung genügend Zeit zur Verfügung, ist auch eine schritt­ weise Abtastung der SPR-Signale aus den einzelnen Kanälen denkbar. Auf diese Weise ist die Synergie mit der modernen CD-Player-Technologie umfassend.For a higher accuracy of the measurement of the SPR, a much narrower band light source is preferably used. Such a light source is a laser diode that shines at the wavelength mentioned with a spectral width of approximately 1 pm or less. The incident light is applied as parallel as possible. Preferably, the measure for a tolerable deviation from parallelism is the width of the SPR in the angular space at a constant wavelength of the incident light. This width is approximately 2 degrees of angle in the above conditions, so that a light beam should have a convergence or divergence angle of approximately 0.5 ° or less. The required parallelism relates to the angle of incidence in the reflection plane. This parallel, monochromatic light beam is expanded, for example, with the aid of beam shaping optics 11 from cylindrical lenses in the direction perpendicular to the reflection plane, so that a "light curtain" is created. The light beam designed in this way is coupled into a cylindrical prism 12, for example made of BK7 glass. This cylindrical prism is arranged in such a way that a disc, for example likewise with a BK7 surface as the coupling layer 13 , passes by at its base in rotation. Between the base of the prism and the rotating disc, a layer for refractive index adjustment 14, for example silicone oil, is brought. Instead of a liquid, a cushion made of silicone rubber, for example, can be used between the prism and the rotating disc to adjust the refractive index. On the side that is arranged opposite the prism, the disk carries a layer of a free electron metal 5 in gold, for example, and possibly one or more further layers 7 , 8, for example glass and dextran. These are modified in accordance with the above statements so that the SPR is a function of the angle of rotation Φ. Along the radius of this disc, chambers or channels 10 are arranged opposite the prism, which contain different samples 6 . These channels can be extended over a large Winkelbe range. They first serve to functionalize the sensor surface, ie with the help of a certain sequence of chemical reactions, ligands are immobilized on the sensor surface. The samples to be examined can then be applied. As already mentioned, the channels can be extended over a large range of the rotation angle Φ. A sequence of different chambers, for example with sample and buffer solution, is also useful. Where u. U. The arrangement of the complete system can be such that the actual intensity measurement always takes place in an area with a buffer solution, since the SPR signal in affinity sensors is always dependent on the optical properties of the medium that is adjacent to the sensitive surface . The reflected light is detected with spatial resolution along the radius r of the rotation, for example with the aid of a photodiode array, a CCD line or a camera. The information on shape and position is now obtained for each individual channel in a time-resolved manner, corresponding to the rotation of the transducer disc. If you are only interested in the location of the SPR, the appropriate determination of the surface (execution example according to FIG. 4), the exclusive determination of the phase of a periodic SPR signal is sufficient. If sufficient time is available for the measurement, a step-by-step sampling of the SPR signals from the individual channels is also conceivable. In this way, the synergy with the modern CD player technology is extensive.

Das mit Bezug auf Fig. 6 beschriebene Ausführungsbeispiel eines SPR-Systems eignet sich zur simultanen Bestimmung einer Vielzahl von Analyten und beispielsweise ihrer Konzen­ trationen. Die Zahl der unabhängig ermittelbaren Information hängt lediglich von der Möglichkeit ab, Systeme zur Handha­ bung der Proben mit genügender Packungsdichte zu erzeugen, die Oberfläche mit entsprechender Auflösung modifizieren zu können und eine entsprechende Ortsauflösung für die optische Detektion zur Verfügung zu stellen.The embodiment of an SPR system described with reference to FIG. 6 is suitable for the simultaneous determination of a large number of analytes and, for example, their concentrations. The number of information that can be determined independently depends only on the possibility of generating systems for handling the samples with a sufficient packing density, of being able to modify the surface with an appropriate resolution and of providing a corresponding spatial resolution for optical detection.

In Fig. 7 ist ein alternatives System gezeigt, welches ähn­ lich, wie das aus dem Ausführungsbeispiel von Fig. 6 die notwendige Ortsauflösung für die erfindungsgemäße SPR-Meß­ technik aus der Bewegung des Transducer-Chips oder der Transducer-Scheibe gewinnt. Dieses System zeichnet sich ins­ besondere durch einen einfachen Aufbau aus. Außerdem ist die erforderliche Energie für die Bewegung des Transducers ge­ ring. Zum Betreiben der Lichtquelle 1, des Detektors 3 und der Auswerte- und Anzeigeeinheiten ist ebenfalls eine ge­ ringe Energie erforderlich. Das System kann mit einer Batte­ rie betrieben werden. Vorzugsweise kann die Energie aus der Umsetzung von mechanischer oder aus Lichtenergie gewonnen werden. Dies ermöglicht den netzunabhängigen Betrieb des Ge­ rätes. Es werden nur wenige parallele Kanäle verwendet. Als mögliche Bewegungsform kommt hier neben der Rotation des Transducers 2 insbesondere die lineare Verschiebung des Transducers in Richtung der SPR-Achse in Frage, die den Sta­ tus einer erfolgten Reaktion nach einer bestimmten Zeit - beispielsweise nach Erreichen des Gleichgewichts der ent­ sprechenden Reaktion - abfragt. Ein solches System kann bei­ spielsweise zur Selbstüberwachung von Patienten mit Krank­ heiten verwendet werden, bei denen krisenhafte Komplikatio­ nen durch Überwachen (Monitoren) bestimmter Faktoren bei­ spielsweise im Serum vorhergesagt werden können. Damit kann der Patient entsprechend frühzeitig gegensteuern.In Fig. 7, an alternative system is shown, which Lich similar to that from the embodiment of Fig. 6, the necessary spatial resolution for the SPR measurement technique according to the invention from the movement of the transducer chip or transducer disk. This system is particularly characterized by a simple structure. In addition, the energy required to move the transducer is low. To operate the light source 1 , the detector 3 and the evaluation and display units, ge low energy is also required. The system can be operated with one battery. The energy can preferably be obtained from the conversion of mechanical energy or from light energy. This enables the device to be operated independently of the mains. Only a few parallel channels are used. In addition to the rotation of the transducer 2 , the possible movement form here is in particular the linear displacement of the transducer in the direction of the SPR axis, which queries the status of a reaction after a certain time, for example after the equilibrium of the corresponding reaction has been reached. Such a system can be used, for example, for self-monitoring of patients with diseases in which critical complications can be predicted by monitoring (monitors) certain factors, for example in serum. This enables the patient to take countermeasures at an early stage.

Das System beinhaltet insbesondere einen optischen Aufbau entsprechend dem Ausführungsbeispiel von Fig. 1. Der Trans­ ducer-Chip wird entlang der y-Achse bewegt. Die Bewegung er­ folgt beispielsweise getrieben von einer Feder, die einfach, beispielsweise durch Drehung (Unruhe) oder durch Ausein­ anderziehen oder Zusammendrücken gespannt wird. Beispiels­ weise wird mit der gleichen Bewegung oder einer zweiten Be­ wegung eine weitere Feder gespannt, die die Energie zum Be­ trieb der Lichtquelle, des Detektors, und der elektronischen Auswerte- und Anzeigeeinrichtungen zur Verfügung stellt. Al­ ternativ wird die elektrische Energie zum Betrieb des Detek­ tionssystems mit Hilfe eines photovoltaischen Systems, einer Batterie oder eines Akkumulators zur Ladung über das elek­ trische Netz zur Verfügung gestellt.The system includes, in particular, an optical structure in accordance with the exemplary embodiment in FIG. 1. The transducer chip is moved along the y axis. The movement he follows, for example, driven by a spring that is simply stretched, for example by rotation (restlessness) or by pulling apart or compressing. For example, another spring is tensioned with the same movement or a second movement, which provides the energy for operating the light source, the detector, and the electronic evaluation and display devices. Alternatively, the electrical energy for operating the detection system is made available with the aid of a photovoltaic system, a battery or an accumulator for charging via the electrical network.

Die Messung in verschiedenen Kanälen erfolgt entweder durch Vervielfachung des optischen und/oder des elektrischen Meß­ systems oder durch zeitversetzte Beobachtung der verschie­ denen Kanäle, oder durch Verwendung einer Lichtquelle die entsprechend dem Ausführungsbeispiel von Fig. 6 in einen Lichtvorhang entlang der y-Achse abgebildet wird und dann entweder zeitversetzt mit einem Photodetektor oder simultan: mit Hilfe mehrerer Photodioden, einer Photodiodenzeile, einer CCD-Zeile oder einer angepaßten Anordnung von Photode­ tektoren vermessen wird. Die Modifikation der Oberfläche kann wie in den bisherigen Beispielen vorgeschlagen, be­ stimmten kontinuierlichen Funktionen folgen, aber auch stu­ fenförmig sein. Letztere Oberflächenmodifikation ist insbe­ sondere dann mit großem Nutzen einsetzbar, wenn eine JA/NEIN-Antwort gefordert wird, wie dies häufig der Fall in diagnostischen Systemen ist. Ein Teil der Oberfläche (A) ist so gestaltet, daß im Normalzustand die reflektierte Intensi­ tät minimal (klein) ist, dagegen in einem anderen Teil der Oberfläche (B) die reflektierte Intensität groß ist - A=0, B=1 -. Weicht der Zustand nun stark von der Normalität ab, wird die Intensität bei A groß und bei B klein A=1, B=0. Unter Umständen können auch die Zustände A=0, B=0 und A=1, B=l zur Darstellung von Information genutzt werden.The measurement in different channels is carried out either by multiplying the optical and / or the electrical measuring system or by time-delayed observation of the various channels, or by using a light source which is imaged according to the embodiment of FIG. 6 in a light curtain along the y-axis and then either time-staggered with a photodetector or simultaneously: with the aid of several photodiodes, a photodiode line, a CCD line or an adapted arrangement of photodetectors is measured. The modification of the surface can, as suggested in the previous examples, follow certain continuous functions, but can also be step-shaped. The latter surface modification is particularly useful when a YES / NO answer is required, as is often the case in diagnostic systems. Part of the surface (A) is designed so that in the normal state the reflected intensity is minimal (small), whereas in another part of the surface (B) the reflected intensity is large - A = 0, B = 1 -. If the state now deviates strongly from normality, the intensity becomes large at A and small at B = A = 1, B = 0. Under certain circumstances, the states A = 0, B = 0 and A = 1, B = 1 can also be used to display information.

Die Ausführungsbeispiele gemäß den Fig. 1 bis 7 beschrei­ ben die ortsaufgelöste Messung von SPR beziehungsweise dar­ auf beruhender technischer Geräte. Entsprechend dem bereits oben gesagten können die dazu notwendigen örtlichen Varia­ tionen der Schichten 5, 7 und 8 durch entsprechende reversi­ ble zeitliche Modifikationen ersetzt werden. Möglichkeiten dazu sind insbesondere Brechungsindexvariationen einer oder mehrerer entsprechend gestalteter Schichten 5, 7 und 8 durch Einstrahlung starker Lichtfelder, Einkopplung von Dichte­ fluktuationen oder Temperaturänderungen. Das resultierende SPR-Signal wird entsprechend zeitlich aufgelöst gemessen und seine Form und Lage bei Bestrahlung mit parallelem, mono­ chromatischen Licht bezüglich der Zeitachse bestimmt und als Information in entsprechenden Sensorsystemen verwendet. The exemplary embodiments according to FIGS. 1 to 7 describe the spatially resolved measurement of SPR or, respectively, based on technical devices. In accordance with what has already been said above, the necessary local variations of layers 5 , 7 and 8 can be replaced by corresponding reversible time modifications. Options for this are, in particular, variations in the refractive index of one or more correspondingly designed layers 5 , 7 and 8 due to the irradiation of strong light fields, the coupling of density fluctuations or temperature changes. The resulting SPR signal is measured in a temporally resolved manner and its shape and position when irradiated with parallel, mono-chromatic light is determined with respect to the time axis and used as information in corresponding sensor systems.

BezugszeichenlisteReference list

11

Lichtquelle
Light source

22nd

Transducer
Transducer

33rd

Detektor
detector

44th

Einkoppelndes Medium
Coupling medium

55

Freielektronenmetall
Free electron metal

66

Probe
sample

77

Dielektrische Schicht (lichteinkopplungsseitig)
Dielectric layer (light coupling side)

77

a Zwischenschichten (lichteinkopplungsseitig)
a intermediate layers (light coupling side)

88th

Dielektrische Schicht (probenseitig)
Dielectric layer (sample side)

88th

a Zwischenschichten (probenseitig)
a intermediate layers (sample side)

99

Kreisförmiger Transducer
Circular transducer

1010th

Probenkanäle
Sample channels

1111

Strahlformungsoptik
Beam shaping optics

1212th

Zylinderprisma
Cylindrical prism

1313

Koppelschicht
Coupling layer

1414

Brechungsindex anpassende Schicht
Refractive index matching layer

Claims (40)

1. Oberflächenplasmonenresonanz-Transducer, in dem die Eigenschaften der Oberflächenplasmonenresonanz tragenden Oberfläche (5) und/oder die Eigenschaften mindestens eines benachbarten Bereiches (7, 8) derart ausgebildet und/oder veränderbar sind, daß durch eine räumlich und/oder zeitlich aufgelöste Bestimmung der Intensität der von der Oberfläche reflektierten Strahlung die Ober­ flächenplasmonenresonanz meßbar ist.1. Surface plasmon resonance transducer, in which the properties of the surface plasmon resonance-bearing surface ( 5 ) and / or the properties of at least one adjacent area ( 7 , 8 ) are designed and / or changeable such that the spatial and / or temporally resolved determination of the Intensity of the radiation reflected from the surface, the surface plasmon resonance is measurable. 2. Transducer nach Anspruch 1, wobei der benachbarte Be­ reich in einem Abstand von bis ± 5 µm von der Oberflä­ che, die die Oberflächenplasmonenresonanz trägt, liegt oder daran angrenzt.2. Transducer according to claim 1, wherein the adjacent Be rich at a distance of up to ± 5 µm from the surface surface carrying the plasmon resonance lies or adjacent to it. 3. Transducer nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Material­ eigenschaften der Oberflächenplasmonenresonanz tragenden Oberfläche (5) und/oder des benachbarten Bereiches der­ art veränderbar sind, daß Form und Lage der Oberflächen­ plasmonenresonanz räumlich und/oder zeitlich beein­ flußbar sind.3. Transducer according to claim 1 or 2, wherein the material properties of the surface plasmon resonance-bearing surface ( 5 ) and / or the adjacent area are of the type that the shape and position of the surface plasmon resonance are spatially and / or temporally influenced. 4. Transducer nach einem der - vorstehenden Ansprüche, wobei die Oberflächenplasmonenresonanz tragende Oberfläche eine Metallschicht (5) aufweist und der benachbarte Be­ reich mindestens eine Schicht (7, 8) aufweist.4. Transducer according to one of the preceding claims, wherein the surface plasmon resonance-bearing surface has a metal layer ( 5 ) and the adjacent region has at least one layer ( 7 , 8 ). 5. Transducer nach Anspruch 4, wobei mindestens eine Schicht (7) auf der Lichteinkopplungs-Seite des Transdu­ cers und/oder mindestens eine Schicht (8) auf der Pro­ benseite des Transducers angeordnet ist.5. Transducer according to claim 4, wherein at least one layer ( 7 ) on the light coupling side of the transducer and / or at least one layer ( 8 ) is arranged on the sample side of the transducer. 6. Transducer nach Anspruch 5, wobei zwischen der Metall­ schicht (5) und einer ersten Schicht (7) auf der Licht­ einkopplungs-Seite mindestens eine erste Zwischenschicht (7a) angeordnet ist, und/oder zwischen der Metallschicht (5) und einer zweiten Schicht (8) auf der Probenseite mindestens eine zweite Zwischenschicht (8a) angeordnet ist.6. Transducer according to claim 5, wherein at least a first intermediate layer ( 7 a) is arranged between the metal layer ( 5 ) and a first layer ( 7 ) on the light coupling-in side, and / or between the metal layer ( 5 ) and one second layer (8) is arranged on the sample side at least one second intermediate layer (8 a). 7. Transducer nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Metall­ schicht (5) ein Freielektronenmetall, vorzugsweise Gold oder Silber, aufweist.7. Transducer according to claim 5 or 6, wherein the metal layer ( 5 ) is a free electron metal, preferably gold or silver. 8. Transducer nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die erste oder zweite Schicht (7, 8) und/oder die erste oder zweite Zwischenschicht (7a, 8a) eine SiOx Schicht (0 ≦ x ≦ 2), insbesondere eine Glasschicht ist.8. Transducer according to one of the preceding claims, wherein the first or second layer ( 7 , 8 ) and / or the first or second intermediate layer ( 7 a, 8 a) is a SiOx layer (0 ≦ x ≦ 2), in particular a glass layer . 9. Transducer nach einem der Ansprüche 4 bis 8, wobei min­ destens eine Schicht des Transducers in mindestens einer Richtung einen sich ändernden komplexen Brechungsindex n aufweist.9. Transducer according to one of claims 4 to 8, wherein min at least one layer of the transducer in at least one Direction of a changing complex refractive index n having. 10. Transducer nach einem der Ansprüche 4 bis 9, wobei min­ destens eine Schicht des Transducers eine sich in minde­ stens einer Richtung ändernde Dicke d aufweist.10. Transducer according to one of claims 4 to 9, wherein min at least one layer of the transducer in one has at least one direction changing thickness d. 11. Transducer nach einem der Ansprüche 4 bis 10, wobei die Dicke der Metallschicht (5) in mindestens einer Richtung des Transducers variiert, vorzugsweise in mindestens einem Abschnitt die Dicke in mindestens einer Richtung des Transducers zunimmt, und besonders bevorzugt die Dicke der Metallschicht in mindestens einer Richtung von beispielsweise 40 auf 50 nm linear zunimmt.11. Transducer according to one of claims 4 to 10, wherein the thickness of the metal layer ( 5 ) varies in at least one direction of the transducer, preferably in at least one section the thickness increases in at least one direction of the transducer, and particularly preferably the thickness of the metal layer in linearly increases in at least one direction from, for example, 40 to 50 nm. 12. Transducer nach einem der Ansprüche 4 bis 11, wobei die Dicke einer weiteren Schicht (7, 7a, 8, 8a) in minde­ stens einer Richtung des Transducers variiert, vorzugs­ weise in mindestens einem Abschnitt die Dicke in minde­ stens einer Richtung des Transducers zunimmt und beson­ ders bevorzugt die Dicke der Schicht in mindestens einer Richtung von beispielsweise 20 auf 100 nm linear zu­ nimmt.12. Transducer according to one of claims 4 to 11, wherein the thickness of a further layer ( 7 , 7 a, 8 , 8 a) varies in at least one direction of the transducer, preferably in at least one section the thickness in at least one direction of the transducer increases and particularly preferably the thickness of the layer increases linearly in at least one direction from, for example, 20 to 100 nm. 13. Transducer nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei die variable Dicke der Metallschicht (5) und/oder weiteren Schicht (7, 7a, 8, 8a) durch ortsaufgelöstes Aufbringen von Material, wie Aufsputtern von Gold auf Oberflächen, Bedrucken, gerichtete Eindiffusion von Fremdmaterialien, Ionenimplantation, oder durch photoinduzierte Bindung bereitgestellt wird, und/oder durch gezielte Entfernung von Material von der Oberfläche, wie durch Sputtern, li­ thographische Techniken und/oder Plasmaätzen bereitge­ stellt wird.13. Transducer according to one of claims 10 to 12, wherein the variable thickness of the metal layer ( 5 ) and / or further layer ( 7 , 7 a, 8 , 8 a) by spatially resolved application of material, such as sputtering gold on surfaces, printing , directional diffusion of foreign materials, ion implantation, or by photo-induced binding is provided, and / or by targeted removal of material from the surface, as is provided by sputtering, lithographic techniques and / or plasma etching. 14. Transducer nach einem der Ansprüche 9 bis 13, wobei der Brechungsindex n der Metallschicht (5) und/oder der wei­ teren Schicht (7, 7a, 8, 8a) in mindestens einer Rich­ tung des Transducers variiert, vorzugsweise in minde­ stens einem Abschnitt des Transducers in einer Richtung linear zunimmt.14. Transducer according to one of claims 9 to 13, wherein the refractive index n of the metal layer ( 5 ) and / or the further layer ( 7 , 7 a, 8 , 8 a) varies in at least one direction of the transducer, preferably at least least a portion of the transducer increases linearly in one direction. 15. Transducer nach Anspruch 14, wobei der variable Bre­ chungsindex n mit festen Gradienten durch ortsaufgelö­ stes Einbringen von Material, wie gerichtete Eindiffu­ sion von Fremdmaterialien oder Ionenimplantation bereit­ gestellt wird.15. The transducer of claim 14, wherein the variable Bre index n with fixed gradients by spatially resolved First introduction of material, such as directional diffusion sion of foreign materials or ion implantation ready is provided. 16. Transducer nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Transducer an einer Grenzfläche ein Material auf­ weist, dessen Brechungsindex n durch Einstrahlung eines Lichtfeldes ortsaufgelöst modifiziert werden kann.16. Transducer according to one of the preceding claims, wherein the transducer has a material at an interface points, whose refractive index n by irradiation of a Light field can be modified spatially resolved. 17. Transducer nach Anspruch 16, wobei das Material an der Grenzfläche des Transducers vorzugsweise ein Farbstoff ist. 17. The transducer of claim 16, wherein the material on the Interface of the transducer is preferably a dye is.   18. Transducer nach einem der Ansprüche 4 bis 17, wobei min­ destens eine Schicht (5, 7, 7a, 8, 8a) in mindestens einem Abschnitt des Transducers durch zeitliche Änderung einer äußeren Größe seine Eigenschaften reversibel än­ dert.18. Transducer according to one of claims 4 to 17, wherein at least one layer ( 5 , 7 , 7 a, 8 , 8 a) in at least one section of the transducer reversibly changes its properties by changing the external size over time. 19. Transducer nach Anspruch 18, wobei mindestens eine Schicht (5, 7, 7a, 8, 8a) des Transducers in ihrer Dichte veränderbar ist, vorzugsweise durch ein akusti­ sches Signal die Dichte veränderbar ist, besonders be­ vorzugt die Dichteveränderung in Form einer stehenden akustischen Welle bereitgestellt wird.19. Transducer according to claim 18, wherein at least one layer ( 5 , 7 , 7 a, 8 , 8 a) of the transducer can be changed in its density, preferably the density can be changed by an acoustic signal, particularly preferably the change in density in the form a standing acoustic wave is provided. 20. Transducer nach Anspruch 19, wobei die Schicht (5, 7, 7a, 8, 8a) komprimierbar oder expandierbar ist.20. Transducer according to claim 19, wherein the layer ( 5 , 7 , 7 a, 8 , 8 a) is compressible or expandable. 21. Transducer nach einem der Ansprüche 18 bis 20, wobei mindestens ein Abschnitt einer Schicht (5, 7, 7a, 8, 8a) durch zeitabhängige Temperaturänderung seine Eigenschaf­ ten ändert.21. Transducer according to one of claims 18 to 20, wherein at least a portion of a layer ( 5 , 7 , 7 a, 8 , 8 a) changes its properties by time-dependent temperature change. 22. Transducer nach einem der Ansprüche 18 bis 21, wobei mindestens eine Schicht (5, 7, 7a, 8, 8a) in Abhängig­ keit von einem eingestrahlten Lichtfeld veränderbar ist.22. Transducer according to one of claims 18 to 21, wherein at least one layer ( 5 , 7 , 7 a, 8 , 8 a) is changeable in dependence on an incident light field. 23. Transducer nach einem der Ansprüche 18 bis 22, wobei der Transducer an einer Grenzfläche ein Material aufweist, dessen Brechungsindex n durch Einstrahlung eines Licht­ feldes zeitaufgelöst modifiziert werden kann.23. Transducer according to one of claims 18 to 22, wherein the Transducer has a material at an interface, whose refractive index n is due to the irradiation of light field can be modified in a time-resolved manner. 24. Transducer nach Anspruch 23, wobei das Material an der Grenzfläche des Transducers vorzugsweise ein Farbstoff ist.24. The transducer of claim 23, wherein the material on the Interface of the transducer is preferably a dye is. 25. Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 24, mit minde­ stens einer Schicht (5, 7, 7a, 8, 8a), deren optischen Eigenschaften zyklisch veränderbar sind. 25. Transducer according to one of claims 1 to 24, with at least one layer ( 5 , 7 , 7 a, 8 , 8 a), the optical properties of which can be changed cyclically. 26. Transducer nach Anspruch 25, wobei eine Amplitude der zyklischen Modifikation der optischen Eigenschaften vor­ zugsweise so groß ist, daß in einer Periode eine kom­ plette Oberflächenplasmonenresonanz überstrichen wird.26. The transducer of claim 25, wherein an amplitude of the cyclic modification of the optical properties is preferably so large that a com complete surface plasmon resonance is swept. 27. Transducer nach Anspruch 26, wobei die zyklische Varia­ tion einer sägezahnförmigen Funktion, einer Dreiecks­ funktion, einer Sinusfunktion oder einer Funktion folgt, die das Oberflächenplasmon auf eine der genannten Funk­ tionen abbildet.27. The transducer of claim 26, wherein the cyclic varia tion of a sawtooth function, a triangle function, follows a sine function or a function, which the surface plasmon on one of the radio mentioned maps. 28. Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 27, wobei eine Veränderung der Eigenschaften des Transducers in einer Richtung in einem karthesischen Koordinatensystem er­ folgt, vorzugsweise in Richtung einer Achse y eines rechteckigen Transducers.28. Transducer according to one of claims 1 to 27, wherein a Changing the properties of the transducer in one Direction in a Cartesian coordinate system follows, preferably in the direction of an axis y rectangular transducers. 29. Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 27, wobei eine Veränderung der Eigenschaften des Transducers in einer Richtung in einem Zylinderkoordinatensystem erfolgt, vorzugsweise in Richtung des Drehwinkels eines kreisför­ migen Transducers.29. Transducer according to one of claims 1 to 27, wherein a Changing the properties of the transducer in one Direction in a cylindrical coordinate system, preferably in the direction of the angle of rotation of a circular moderate transducers. 30. Optischer Sensor mit einer Lichtquelle (1); einem Ober­ flächenplasmonenresonanz-Transducer (2) nach mindestens einem der vorstehenden Ansprüche und einem Detektor (3)30. Optical sensor with a light source ( 1 ); a surface plasmon resonance transducer ( 2 ) according to at least one of the preceding claims and a detector ( 3 ) 31. Optischer Sensor nach Anspruch 30, wobei auf der Licht­ einkopplungs-Seite des Transducers ein einkoppelndes Me­ dium (4, 12) angeordnet ist, das vorzugsweise ein drei­ eckförmiges Prisma (4) oder ein Zylinderprisma (12) oder einen Abschnitt eines Prismas aufweist.31. An optical sensor according to claim 30, wherein a coupling-in medium ( 4 , 12 ) is arranged on the light coupling-in side of the transducer, which preferably has a three corner-shaped prism ( 4 ) or a cylindrical prism ( 12 ) or a section of a prism . 32. Optischer Sensor nach Anspruch 31, wobei der Transducer relativ zum Prisma (4, 12) bewegbar ist und vorzugsweise zwischen der Lichteinkopplungs-Seite (13) des Transdu­ cers (2) und dem Prisma (4, 12) ein Mittel zur Anpassung des Brechungsindexes, vorzugsweise ein Immersionsöl (14) angeordnet ist.32. Optical sensor according to claim 31, wherein the transducer is movable relative to the prism ( 4 , 12 ) and preferably between the light coupling side ( 13 ) of the transducer ( 2 ) and the prism ( 4 , 12 ) a means for adjusting the Refractive index, preferably an immersion oil ( 14 ) is arranged. 33. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 30 bis 32, wo­ bei an der Probenseite mindestens ein Probenraum vorge­ sehen ist, der vorzugsweise mehrere Probenkanäle (10) aufweist.33. Optical sensor according to one of claims 30 to 32, where at least one sample space is provided on the sample side, which preferably has a plurality of sample channels ( 10 ). 34. Optischer Sensor nach Anspruch 33, wobei der Transducer (2) kreisförmig ist und mindestens ein Probenkanal (10) konzentrisch angeordnet ist, wobei vorzugsweise sich je­ der Probenkanal über einen- Winkelbereich erstreckt, der zwischen 10° und 360° beträgt.34. Optical sensor according to claim 33, wherein the transducer ( 2 ) is circular and at least one sample channel ( 10 ) is arranged concentrically, preferably each of the sample channel extends over an angular range which is between 10 ° and 360 °. 35. Optischer Sensor nach Anspruch 34, wobei jeder Probenka­ nal (10) verschiedene Kammern aufweist zur Aufnahme von beispielsweise einer Probe oder einer Pufferlösung.35. Optical sensor according to claim 34, wherein each sample channel ( 10 ) has different chambers for receiving, for example, a sample or a buffer solution. 36. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 30 bis 35, wo­ bei die Lichtquelle eine spektrale Breite aufweist, die klein gegenüber der spektralen Breite des Oberflächen­ plasmons bei konstantem Einfallswinkel des anregenden Lichtes ist.36. Optical sensor according to one of claims 30 to 35, where the light source has a spectral width that small compared to the spectral width of the surface plasmons at a constant angle of incidence of the stimulating Is light. 37. Optischer Sensor nach Anspruch 36, wobei die Lichtquelle eine Laserdiode oder Leuchtdiode mit einem spektralen Filter wie ein Monochromator aufweist.37. Optical sensor according to claim 36, wherein the light source a laser diode or light emitting diode with a spectral Has filters like a monochromator. 38. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 30 bis 37, mit einer Strahlformungsoptik (11) vorzugsweise aus Zylin­ derlinsen, die den Lichtstrahl von der Lichtquelle (1) in der Richtung senkrecht zur Reflexionsebene aufweiten und einen parallelen monochromatischen Lichtstrahl bil­ den. 38. Optical sensor according to one of claims 30 to 37, with a beam shaping optics ( 11 ), preferably made of cylindrical lenses, which expand the light beam from the light source ( 1 ) in the direction perpendicular to the reflection plane and form a parallel monochromatic light beam. 39. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 30 bis 38, wo­ bei der Detektor (3) mehrere Photodioden aufweist, vor­ zugsweise in Form einer Photodiodenzeile, eines Photodi­ odenarrays oder eine angepaßten Anordnung von Photode­ tektoren, vorzugsweise eine CCD-Zeile, oder eine Kamera.39. Optical sensor according to one of claims 30 to 38, where in the detector ( 3 ) has a plurality of photodiodes, preferably in the form of a photodiode array, a photodiode array or an adapted arrangement of photodetectors, preferably a CCD line, or a camera . 40. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 30 bis 39, wo­ bei der Transducer (2) mindestens zwei Bereiche (A, B) aufweist, wobei in einem Normalzustand die reflektierte Intensität in einem ersten Bereich (A) klein ist und in einem zweiten Bereich (B) die reflektierte Intensität groß ist und sich beim Abweichen vom Normalzustand die reflektierte Intensität in den Bereichen (A, B) ändert.40. Optical sensor according to one of claims 30 to 39, where the transducer ( 2 ) has at least two areas (A, B), wherein in a normal state the reflected intensity is small in a first area (A) and in a second area (B) the reflected intensity is large and when the deviation from the normal state changes the reflected intensity in the areas (A, B).
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