DE19545821A1 - Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten - Google Patents

Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten

Info

Publication number
DE19545821A1
DE19545821A1 DE19545821A DE19545821A DE19545821A1 DE 19545821 A1 DE19545821 A1 DE 19545821A1 DE 19545821 A DE19545821 A DE 19545821A DE 19545821 A DE19545821 A DE 19545821A DE 19545821 A1 DE19545821 A1 DE 19545821A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
polarizer
light
beam path
generation unit
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19545821A
Other languages
English (en)
Inventor
Friedrich Dipl Ing Luellau
Claus Mayer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19545821A priority Critical patent/DE19545821A1/de
Priority to EP96943051A priority patent/EP0865617B1/de
Priority to PCT/EP1996/005473 priority patent/WO1997022021A1/de
Priority to DE59608027T priority patent/DE59608027D1/de
Priority to CA002239785A priority patent/CA2239785C/en
Priority to JP9521719A priority patent/JP2000501850A/ja
Priority to US09/091,172 priority patent/US6074065A/en
Publication of DE19545821A1 publication Critical patent/DE19545821A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
    • G03F7/7055Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
    • G03F7/70566Polarisation control
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70425Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
    • G03F7/70475Stitching, i.e. connecting image fields to produce a device field, the field occupied by a device such as a memory chip, processor chip, CCD, flat panel display
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
    • G03F7/7055Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
    • G03F7/70575Wavelength control, e.g. control of bandwidth, multiple wavelength, selection of wavelength or matching of optical components to wavelength

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur photomechanischen Herstellung strukturierter Oberflächen, insbesondere zum Belichten von Druckplatten, mit einem verfahrbaren Belichtungskopf, der zumindest eine Lichtquelle, eine Bilderzeugungseinheit und eine Abbildungsoptik umfaßt.
Eine derartige Vorrichtung ist aus der WO 95/22787 bekannt. Mit der bekannten Vorrichtung werden Offset-Druckplatten belichtet, indem die Vorlage auf elektronischem Weg in Teilbilder zerlegt wird und die Teilbilder nacheinander auf einem Flüssigkristallbildschirm so dargestellt und auf die Druckplatte abgebildet werden, daß sich die Abbilder zu einem Gesamtbild der Vorlage vereinigen. Dabei wird der Belichtungskopf von einer Belichtungsstelle zur nächsten verfahren, während gleichzeitig die Darstellung auf dem Flüssigkristallbildschirm von einem Teilbild zum nächsten wechselt. Zur Belichtung der gesamten Druckplatte muß eine große Zahl von Teilbildern belichtet werden. Dabei kann sich die Gesamtbelichtungszeit für die vollständige Belichtung der Druckplatte auf etwa 1 Stunde addieren.
Prinzipiell kann die Belichtungszeit verkürzt werden, indem für die Belichtung höhere Lichtintensitäten verwendet werden. Höhere Lichtintensitäten führen aber bei dem engen Aufbau des Belichtungskopfes zu einer nicht mehr tolerierbaren Wärmebelastung, insbesondere wenn für die erforderliche Polarisierung des in den Flüssigkristallbildschirm fallenden Lichtes eine Polarisationsfolie verwendet wird.
Derartige Polarisationsfilter lassen den einen Teil des einfallenden Lichtes mit der "richtigen" Polarisationsrichtung durch, während der verbleibende Teil mit der "falschen" Polarisationsrichtung absorbiert wird. Bei hohen Lichtintensitäten entsteht daher im Polarisationsfilter eine erhebliche Wärmemenge, die abgeführt werden muß, um eine Zerstörung des Polarisationsfilters zu vermeiden.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten der eingangs genannten Art anzugeben, die mit höheren Lichtintensitäten und kürzeren Gesamtbelichtungszeiten betrieben werden kann.
Die erfindungsgemäße Lösung besteht darin, daß die Bilderzeugungseinheit zumindest einen wesentlichen Anteil der nicht für die Abbildung verwendeten Intensität des einfallenden Lichtes durch Reflexion aus dem Strahlengang herauslenkt. Durch diese Maßnahme wird die Erwärmung im Bereich der Bilderzeugungseinheit reduziert, da hier weniger Absorption stattfindet. Das herausgelenkte Licht wird außerhalb der Bilderzeugungseinheit an einer anderen Stelle absorbiert, wo sich die deponierte Wärme weniger schädlich auswirken kann. Als Folge der Erfindung können höhere Lichtintensitäten für die Belichtung verwendet werden, wodurch sich die Belichtungszeiten verkürzen.
In einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß die Bilderzeugungseinheit als Flüssigkristallbildschirm mit einem im Strahlengang davor angeordneten ersten Polarisator und einem dahinter angeordneten zweiten Polarisator ausgebildet ist und daß zumindest der erste Polarisator nach dem Prinzip der Reflexion im Brewster-Winkel ausgestaltet und angeordnet ist. Mit Vorteil werden in dem für die Funktion des Flüssigkristallbildschirms unbedingt erforderlichen ersten Polarisator etwa die Hälfte der einfallenden Intensität aus dem Strahlengang entfernt. Die erfindungsgemäße Ausgestaltung gewährleistet daher eine geringe thermische Belastung des Flüssigkristallbildschirms und insbesondere des Polarisators, der eine sehr viel höhere Einfallsintensität verträgt. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß bei der erfindungsgemäßen Anordnung auf einen sonst üblichen UV-Filter verzichtet werden kann. Ein solcher UV-Filter läßt bei bekannten Vorrichtungen vorwiegend ultraviolettes Licht auf die Bilderzeugungseinheit fallen, während der für die Belichtung der Druckplatte unwirksame Spektralbereich im UV-Filter absorbiert wird. Dies hat den Zweck, die unwirksamen Lichtanteile von vornherein von der Bilderzeugungseinheit fernzuhalten.
In vorteilhafter Ausgestaltung ist vorgesehen, daß der erste Polarisator aus einem Stapel planparalleler Platten besteht, der im Strahlengang vor dem Flüssigkristallbildschirm unter dem Brewster-Winkel angeordnet ist. Diese Maßnahme gewährleistet eine einfache Anordnung mit praktisch vollständiger Polarisation über einen großen Spektralbereich.
In einer einfachen Ausgestaltung besteht der zweite Polarisator aus einem Polarisationsfilter in Form einer Folie. Im Bereich des zweiten Polarisators fällt der Vorteil eines geringen Bauraums des Polarisationsfilters mehr ins Gewicht als die zusätzliche Wärmeerzeugung durch Absorption, die im übrigen hier wesentlich geringer ist als beim ersten Polarisator.
In einer zweiten vorteilhaften Ausgestaltungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß die Bilderzeugungseinheit als Mikrochip mit rasterförmig angeordneten, elektronisch individuell ansteuerbaren, beweglichen Mikrospiegeln ausgestaltet ist. Bei dieser Ausführungsform der Erfindung wird das Bild direkt durch die Mikrospiegel erzeugt, ohne daß eine Polarisation erforderlich wäre. Der Aufbau des Belichtungskopfes wird dadurch noch einfacher. Fast das gesaite für die Abbildung nicht verwendete Licht wird reflektiert. Eine wärmeerzeugende Absorption wird zumindest im Bereich der Bilderzeugungseinheit fast vollständig vermieden. Ein für diese Ausführungsform geeigneter Mikrochip wird beispielsweise unter der Bezeichnung "Digital Mirror Device (DMD)" von der Firma Texas Instruments hergestellt.
In einer geeigneten Ausgestaltung des Belichtungskopfes ist vorgesehen, daß die Lichtquelle eine Metallhalogenitlampe, einen Reflektor und einen Kollimator umfaßt. Der für die Belichtung allein wirksame UV-Anteil der Metallhalogenitlampe ist hoch, während der nicht nutzbare Spektralbereich eine relativ geringe Intensität aufweist. Daraus ergibt sich eine geringere Wärmebelastung der nachfolgenden Bilderzeugungseinheit. Reflektor und Kollimator ermöglichen die Nutzung eines großen Raumwinkelanteils des von der Lampe abgestrahlten Lichtes, so daß weniger ungenutztes Licht in Wärme umgewandelt wird.
In einer vorteilhaften Ausführungsform ist im Strahlengang zwischen der Lichtquelle und der Bilderzeugungseinheit ein UV-durchlässiger Filter angeordnet. Ein solcher Filter hält weitere Lichtintensität im nicht nutzbaren Spektralbereich zurück, so daß es nicht in die Bilderzeugungseinheit fällt und nicht zur Wärmebelastung der Bilderzeugungseinheit beitragen kann.
Ein UV-durchlässiger Filter absorbiert aber das Licht im nicht durchgelassenen Spektralbereich, wobei die Lichtenergie zwar nicht in der Bilderzeugungseinheit aber im UV-Filter in Wärme verwandelt wird. Zur Behebung dieses Nachteils wird als Alternative zur Weiterbildung der Erfindung vorgeschlagen, daß zwischen der Lichtquelle und der Bilderzeugungseinheit ein UV-durchlässiges optisches Element angeordnet ist, das einen wesentlichen Teil der Lichtintensität im nicht nutzbaren Spektralbereich reflektiert. Mit Vorteil ist dadurch die Wärmeerzeugung im optischen Element reduziert. Das nicht nutzbare, reflektierte Licht kann an anderer Stelle absorbiert werden, wo die dabei erzeugte Wärme nicht mehr stört.
Die Erfindung wird noch verbessert durch die Maßnahme, daß der Belichtungskopf mit einem Kühlgebläse versehen ist. Das Kühlgebläse sorgt mit Vorteil für eine wirkungsvolle Abfuhr der deponierten Wärme.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung
Die Figuren zeigen im einzelnen:
Fig. 1 eine teilweise geschnittene Darstellung eines erfindungsgemäß ausgestalteten Belichtungskopfes in einer ersten Ausführungsform,
Fig. 2 eine Darstellung entsprechend Fig. 1 einer zweiten Ausführungsform der Erfindung.
In den Figuren erkennt man einen Belichtungskopf 1, der mittels einer nicht gezeigten Vorrichtung auf einer Unterlage 2 motorisch verfahrbar angeordnet ist. Der Belichtungskopf 1 besitzt eine Lichtquelle 3, die aus einer Metallhalogenitlampe 4, einem Reflektor 5 und einem Kollimator 6 besteht. Der Kollimator 6 enthält eine nicht gezeigte Linsenoptik, die das für die Belichtung vorgesehene Licht weitgehend parallel ausrichtet. Weiterhin umfaßt der Belichtungskopf 1 eine Bilderzeugungseinheit 7 bzw. 8 und eine Abbildungsoptik 9, mittels derer die in der Bilderzeugungseinheit 7 bzw. 8 erzeugte Bildvorlage auf eine nicht gezeigte Druckplatte auf der Unterlage 2 im verkleinerten Maßstab projiziert und abgebildet werden kann. Für eine bessere Handhabbarkeit ist der Belichtungskopf 1 im wesentlichen liegend über der Unterlage 2 angeordnet. Das für die Belichtung verwendete Licht hat ursprünglich einen Strahlengang mit einer horizontalen optischen Achse 10. Für die Abbildung auf der Unterlage 2 ist eine optische Achse 11 der Abbildungsoptik 9 vertikal ausgerichtet. Für die Umlenkung des Strahlengangs aus der Horizontalen in die Vertikale ist ein Spiegelelement 12 vorgesehen.
In einer ersten Ausführungsform gemäß Fig. 1 besteht die Bilderzeugungseinheit 7 aus einem Flüssigkristallbildschirm 13, einem im Strahlengang davor angeordneten ersten Polarisator 14 und einem im Strahlengang dahinter angeordneten zweiten Polarisator 15. Der erste Polarisator 15 arbeitet nach dem Prinzip der Reflexion im Brewster-Winkel. Er besteht aus einem Stapel planparalleler Platten, der im Strahlengang derart schräg angeordnet und befestigt ist, daß ein Lot 16 auf die Plattenfläche mit der optischen Achse 10 den Brewster-Winkel 17 bildet. Diese Anordnung hat zur Folge, daß im Strahlengang nach dem ersten Polarisator 14 nur noch polarisiertes Licht auf den Flüssigkristallbildschirm 13 fällt. Das vom ersten Polarisator 14 nicht durchgelassene Licht wird für die Belichtung der Druckplatte nicht verwendet. Es wird an den Oberflächen der planparallelen Platten und überwiegend an der ersten Oberfläche 18 reflektiert und fällt im wesentlichen auf eine seitliche Wand 19, wo es im wesentlichen absorbiert wird. Die an der seitlichen Wand 19 entstehende Wärme kann relativ leicht abgeführt werden. Für eine ausreichende Wärmeabfuhr sorgt ein seitlich am Gehäuse des Belichtungskopfes 1 angebrachtes Gebläse 20.
Das vom ersten Polarisator 14 polarisierte Licht tritt durch den Flüssigkristallbildschirm 13 hindurch, der entsprechend der abzubildenden Bildvorlage in bestimmten Flächenbereichen die Polarisationsebene des einfallenden Lichtes mehr oder weniger dreht. Das so modulierte Lichtbündel fällt dann auf den zweiten Polarisator 15, der je nach Drehung der Polarisationsebene in den betroffenen Flächenbereichen ein Hell-Dunkel-Muster erzeugt. Damit ist die Bildvorlage geeignet für die Abbildung über das Spiegelelement 12 und mittels der Abbildungsoptik 9 auf die Druckplatte.
Der zweite Polarisator 15 besteht aus einem gebräuchlichen Polarisationsfilter in Form einer Folie. Zwar tritt bei einer derartigen Polarisationsfolie wieder der Nachteil auf, daß das nicht durchgelassene Licht absorbiert und somit Wärme erzeugt wird, jedoch ist die zu absorbierende Lichtintensität am zweiten Polarisator 15 sehr viel geringer als die am ersten Polarisator 14, so daß die erzeugte Wärmemenge hier noch tolerierbar ist, jedenfalls nicht den Aufwand für die Anordnung eines Stapels planparalleler Platten wie beim ersten Polarisator 14 rechtfertigt.
Im Strahlengang zwischen der Metallhalogenitlampe 4 und dem Flüssigkristallbildschirm 13 könnte mit Vorteil ein UV-durchlässiger Filter oder ein UV-durchlässiges optisches Element angeordnet sein, das einen wesentlichen Teil der Lichtintensität im nicht nutzbaren Spektralbereich aus dem Strahlengang heraustritt und dabei die Wärmebelastung der nachfolgenden optischen Elemente, insbesondere des Flüssigkristallbildschirms 13 und des zweiten Polarisators 15 verringert.
Bei der in Fig. 2 dargestellten zweiten vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung kann das Gehäuse des Belichtungskopfes 1 noch viel kürzer, kompakter und leichter ausgeführt sein als beim ersten Ausführungsbeispiel. Der die optischen Elemente im horizontalen Strahlengang beherbergende Gehäuseteil des Belichtungskopfes 1 enthält nun lediglich die Lichtquelle 3 mit ihren Elementen Metallhalogenitlampe 4, Reflektor 5 und Kollimator 6. Die Bilderzeugungseinheit 8 ist im Spiegelelement 12 untergebracht. Sie besteht aus einem Mikrochip mit rasterförmig angeordneten, elektronisch individuell ansteuerbaren, beweglichen Mikrospiegeln. Die Spiegel können durch elektronische Ansteuerung entweder so ausgerichtet sein, daß sie den Strahlengang des einfallenden Lichtes aus der Horizontalen in die Vertikale und damit in die Abbildungsoptik 9 hineinlenken, oder so ausgerichtet sein, daß das reflektierte Licht gerade seitlich an der Abbildungsoptik 9 vorbeigelenkt wird. Durch individuelles Ausrichtung der Mikrospiegel in bestimmten Flächenbereichen kann eine Bildvorlage erzeugt werden, die mittels der Abbildungsoptik 9 auf die Druckplatte projiziert werden kann. Dabei wird fast das gesamte für die Abbildung nicht verwendete Licht aus dem Strahlengang herausgelenkt.
Bezugszeichenliste
1 Belichtungskopf
2 Unterlage
3 Lichtquelle
4 Metallhalogenitlampe
5 Reflektor
6 Kollisator
7 Bilderzeugungseinheit
8 Bilderzeugungseinheit
9 Abbildungsoptik
10 optische Achse
11 optische Achse
12 Spiegelelement
13 Flüssigkristallbildschirm
14 erster Polarisator
15 zweiter Polarisator
16 Lot
17 Brewster-Winkel
18 erste Oberfläche
19 seitliche Wand
20 Gebläse.

Claims (9)

1. Vorrichtung zur photomechanischen Herstellung strukturierter Oberflächen, insbesondere zum Belichten von Druckplatten, mit einem verfahrbaren Belichtungskopf (1), der zumindest eine Lichtquelle (3), eine Bilderzeugungseinheit (7, 8) und eine Abbildungsoptik (9) umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilderzeugungseinheit (7, 8) zumindest einen wesentlichen Anteil der nicht für die Abbildung verwendeten Intensität des einfallenden Lichtes durch Reflexion aus dem Strahlengang herauslenkt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilderzeugungseinheit (7) als Flüssigkristallbildschirm (13) mit einem im Strahlengang davor angeordneten ersten Polarisator (14) und einem dahinter angeordneten zweiten Polarisator (15) ausgebildet ist und daß zumindest der erste Polarisator (14) nach dem Prinzip der Reflexion im Brewster-Winkel ausgestaltet und angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Polarisator (14) aus einem Stapel planparalleler Platten besteht, der im Strahlengang vor dem Flüssigkristallbildschirm (13) unter dem Brewter-Winkel (17) angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, da­ durch gekennzeichnet, daß der zweite Polarisator (15) aus einem Polarisationsfilter in Form einer Folie besteht.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilderzeugungseinheit (8) als Mikrochip mit rasterförmig angeordneten, elektronisch individuell ansteuerbaren, beweglichen Mikrospiegeln ausgestaltet ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (3) eine Metallhalogenitlampe (4) einen Reflektor (5) und einen Kollimator (6) umfaßt.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang zwischen der Lichtquelle (3) und der Bilderzeugungseinheit (7, 8) ein UV-durchlässiger Filter angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Lichtquelle (3) und der Bilderzeugungseinheit (7, 8) ein UV-durchlässiges optisches Element angeordnet ist, das einen wesentlichen Teil der Lichtintensität im nicht nutzbaren Spektralbereich reflektiert.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Belichtungskopf (1) mit einem Kühlgebläse (20) versehen ist.
DE19545821A 1995-12-08 1995-12-08 Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten Withdrawn DE19545821A1 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19545821A DE19545821A1 (de) 1995-12-08 1995-12-08 Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten
EP96943051A EP0865617B1 (de) 1995-12-08 1996-12-06 Polarisator aus brewsterplatten
PCT/EP1996/005473 WO1997022021A1 (de) 1995-12-08 1996-12-06 Polarisator aus brewsterplatten
DE59608027T DE59608027D1 (de) 1995-12-08 1996-12-06 Polarisator aus brewsterplatten
CA002239785A CA2239785C (en) 1995-12-08 1996-12-06 Polariser made from brewster plates
JP9521719A JP2000501850A (ja) 1995-12-08 1996-12-06 ブリュースタープレートから形成された偏光子
US09/091,172 US6074065A (en) 1995-12-08 1996-12-06 Polariser made from brewster plates

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19545821A DE19545821A1 (de) 1995-12-08 1995-12-08 Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19545821A1 true DE19545821A1 (de) 1997-06-12

Family

ID=7779548

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19545821A Withdrawn DE19545821A1 (de) 1995-12-08 1995-12-08 Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten
DE59608027T Expired - Lifetime DE59608027D1 (de) 1995-12-08 1996-12-06 Polarisator aus brewsterplatten

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59608027T Expired - Lifetime DE59608027D1 (de) 1995-12-08 1996-12-06 Polarisator aus brewsterplatten

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6074065A (de)
EP (1) EP0865617B1 (de)
JP (1) JP2000501850A (de)
CA (1) CA2239785C (de)
DE (2) DE19545821A1 (de)
WO (1) WO1997022021A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0953877A1 (de) * 1998-04-29 1999-11-03 Deltron Computer Produkte GmbH Verfahren zur Herstellung von Siebdruckformen sowie eine Belichtungsvorrichtung hierfür
DE10012017A1 (de) * 2000-03-11 2001-09-13 Basysprint Gmbh Sys Druckind Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Kompensation von optischen Fehlern
US6567205B1 (en) 1998-12-11 2003-05-20 Basys Print Systeme Fuer Die Druckindustrie Exposure device
US6705228B1 (en) 1999-09-17 2004-03-16 Basys Print Gmbh Systeme Fuer Druckindustrie Method for synchronizing positioning and exposure processes

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10031414B4 (de) * 2000-06-28 2004-02-12 Carl Zeiss Jena Gmbh Vorrichtung zur Vereinigung optischer Strahlung
US20030206337A1 (en) * 2002-05-06 2003-11-06 Eastman Kodak Company Exposure apparatus for irradiating a sensitized substrate
EP1754111A1 (de) * 2004-06-10 2007-02-21 Carl Zeiss SMT AG Beleuchtungssystem einer mikrolithographischen projektionsbelichtungsanlage
JP2008535007A (ja) * 2005-04-02 2008-08-28 パンチ グラフィックス プレプレス ジャーマニー ゲーエムベーハー 印刷版の露光装置
US20060238602A1 (en) * 2005-04-26 2006-10-26 Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft Imaging method and apparatus for imaging a printing plate
DE102014105064A1 (de) 2014-04-09 2015-05-21 Carl Zeiss Laser Optics Gmbh Optischer Polarisator sowie optisches System mit einem solchen Polarisator

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3327689C1 (de) * 1983-08-01 1984-12-20 Wilhelm Staub Gmbh, 6078 Neu-Isenburg Gerät zur Belichtung von Leiterplatten
DE4121509A1 (de) * 1990-07-02 1992-01-09 Creo Products Inc Belichtungs- und lichtmodulationssystem
DE4128439A1 (de) * 1991-08-27 1993-03-04 Huf Hans Joachim Dr Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material
FR2693561A1 (fr) * 1992-07-10 1994-01-14 Alphaprime Source de lumière polarisée et rétroprojecteur utilisant cette source.
GB2272277A (en) * 1992-10-19 1994-05-11 Marconi Gec Ltd An optical display backlight
WO1995022787A1 (de) * 1994-02-21 1995-08-24 Luellau Friedrich Verfahren und vorrichtung zur photomechanischen herstellung strukturierter oberflächen, insbesondere zum belichten von offsetdruckplatten

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3439968A (en) * 1965-06-25 1969-04-22 North American Rockwell Infrared radiation brewster's angle polarizer
US3912920A (en) * 1974-02-06 1975-10-14 Josuke Kubota Polarized light illumination device
US4863246A (en) * 1986-08-14 1989-09-05 Optical Coating Laboratory, Inc. Optical system and components for optical disk reader
FR2654844B1 (fr) * 1989-11-21 1993-04-16 Scanera Sc Ste Civile Rech Dispositif de polarisation de la lumiere.
US5751480A (en) * 1991-04-09 1998-05-12 Canon Kabushiki Kaisha Plate-like polarizing element, a polarizing conversion unit provided with the element, and a projector provided with the unit
US5384659A (en) * 1992-04-20 1995-01-24 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Condenser lens, polarizing element, light source apparatus, and projection display apparatus
JPH06138413A (ja) * 1992-10-29 1994-05-20 Canon Inc プレート型偏光分離装置及び該偏光分離装置を用いた偏光照明装置
FR2714489B1 (fr) * 1993-12-27 1996-03-01 Centre Nat Rech Scient Dispositif optique sensible à la polarisation.
JP2915317B2 (ja) * 1995-02-28 1999-07-05 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 導光体ユニット、液晶表示装置及び偏光方法
JP3146998B2 (ja) * 1996-09-12 2001-03-19 ウシオ電機株式会社 液晶表示素子の配向膜光配向用偏光光照射装置
US5973833A (en) * 1997-08-29 1999-10-26 Lightware, Inc. High efficiency polarizing converter

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3327689C1 (de) * 1983-08-01 1984-12-20 Wilhelm Staub Gmbh, 6078 Neu-Isenburg Gerät zur Belichtung von Leiterplatten
DE4121509A1 (de) * 1990-07-02 1992-01-09 Creo Products Inc Belichtungs- und lichtmodulationssystem
DE4128439A1 (de) * 1991-08-27 1993-03-04 Huf Hans Joachim Dr Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material
FR2693561A1 (fr) * 1992-07-10 1994-01-14 Alphaprime Source de lumière polarisée et rétroprojecteur utilisant cette source.
GB2272277A (en) * 1992-10-19 1994-05-11 Marconi Gec Ltd An optical display backlight
WO1995022787A1 (de) * 1994-02-21 1995-08-24 Luellau Friedrich Verfahren und vorrichtung zur photomechanischen herstellung strukturierter oberflächen, insbesondere zum belichten von offsetdruckplatten

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0953877A1 (de) * 1998-04-29 1999-11-03 Deltron Computer Produkte GmbH Verfahren zur Herstellung von Siebdruckformen sowie eine Belichtungsvorrichtung hierfür
US6567205B1 (en) 1998-12-11 2003-05-20 Basys Print Systeme Fuer Die Druckindustrie Exposure device
US6705228B1 (en) 1999-09-17 2004-03-16 Basys Print Gmbh Systeme Fuer Druckindustrie Method for synchronizing positioning and exposure processes
DE10012017A1 (de) * 2000-03-11 2001-09-13 Basysprint Gmbh Sys Druckind Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Kompensation von optischen Fehlern
WO2001069320A2 (de) * 2000-03-11 2001-09-20 basysPrint GmbH Systeme für die Druckindustrie Belichtungsvorrichtung und verfahren zur kompensation von optischen fehlern
WO2001069320A3 (de) * 2000-03-11 2001-12-06 Basysprint Gmbh Sys Druckind Belichtungsvorrichtung und verfahren zur kompensation von optischen fehlern

Also Published As

Publication number Publication date
WO1997022021A1 (de) 1997-06-19
CA2239785A1 (en) 1997-06-19
CA2239785C (en) 2004-07-20
EP0865617B1 (de) 2001-10-24
JP2000501850A (ja) 2000-02-15
DE59608027D1 (de) 2001-11-29
US6074065A (en) 2000-06-13
EP0865617A1 (de) 1998-09-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3343145C2 (de)
DE19545821A1 (de) Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten
EP2046027A1 (de) Anordnung, bei der von einer Lichtquelle aus Licht auf einer Fläche gerichtet wird
DE69923561T2 (de) Flüssigkristallprojektor
DE10034995A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum genauen Positionieren von Linsenrasteranordnungen mit periodischen Strukturen bezüglich zusammengesetzter Bilder
EP0746800A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur photomechanischen herstellung strukturierter oberflächen, insbesondere zum belichten von offsetdruckplatten
EP0905557A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Abbilden von analogen und/oder digitalen Vorlagen auf lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial
DE1052453B (de) Anordnung zur Speicherung und Wiedergabe von codierten digitalen Informationen
EP0950212B1 (de) Verfahren zur ansteuerung einer belichtungsvorrichtung
DE1912257C3 (de) Diaprojektor
DE4004942C2 (de)
DE69733999T2 (de) Beleuchtungssystem und damit versehene abbildevorrichtung
DE102008041801A1 (de) Spektralfilter für die EUV-Mikrolithographie
DE3933062C2 (de)
DE3917225C2 (de) Photographische Kopiervorrichtung
DE3327689C1 (de) Gerät zur Belichtung von Leiterplatten
DE2603556C2 (de) Einrichtung zur Abbildung des Inhalts einer Vorlage auf einer Schreibfläche, insbesondere zur Herstellung einer Druckplatte
DE10118048A1 (de) Katadioptrisches Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Halbleiter-Lithographie
EP0216330B1 (de) Beleuchtungseinrichtung in einem Projektionskopiergerät
DE102006030273A1 (de) Abbilden optischer Bilder auf einen Bildsensor mittels einer faseroptischen Platte bzw. eines Faserkeils
EP1118894B1 (de) Vorrichtung zum Vergrössern und Belichten von digitalen Belichtungsdaten auf lichtempfindliches Fotopapier
WO2001022168A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur wellenlängenabhängigen lichtauskupplung
DE3938938A1 (de) Realbild-auflichtprojektor
DE3215713A1 (de) Einrichtung zum abtasten einer auf einem dia befindlichen abbildung mit einer fernsehkamera
DE1950423A1 (de) Spiegelkondensor

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8130 Withdrawal