DE19511593C2 - Mikrooptische Vorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine mikrooptische Vorrichtung zum Umformen eines von einem Laserdiodenbarren in x-Richtung eines orthogonalen Bezugssystems abgestrahlten ersten Laser­ strahlenbündels, bestehend aus mehreren streifen­ förmigen Einzelstrahlenbündeln mit jeweils gleichem Quer­ schnitt, deren Längsmittelachsen des Querschnitts auf einer einzigen in y-Richtung des Bezugssystems verlaufenden geraden Linie liegen, in ein zweites Laserstrahlenbündel aus parallel nebeneinander angeordneten streifenförmigen Einzelstrahlen­ bündeln mit jeweils gleichem Querschnitt.

Eine solche mikrooptische Vorrichtung ist beispielsweise aus J. R. Hobbs, "Diode pumped solid-state lasers: Offset-plane mirrors transform laserbeam", Laser Focus World, Mai 1994, S.47, bekannt. Die darin beschriebene mikrooptische Vorrich­ tung besteht aus zwei in einem Abstand parallel zueinander angeordneten hochreflektierenden Spiegeln. Die beiden Spiegel sind vertikal und horizontal gegeneinander versetzt. Das in einem Winkel α, mit 0°<α<190°, zur Spiegelflächennormalen einfallende erste Laserstrahlenbündel eines Laserdiodenbar­ rens wird mittels geeigneter mehrfacher Totalreflexion zwi­ schen den beiden Spiegeln in das zweite Laserstrahlenbündel aus parallel nebeneinander angeordneten streifenförmigen Ein­ zellaserstrahlen umgeformt. Eine wesentliche Schwierigkeit dieses Spiegelsystems besteht darin, daß zu einer effektiven Strahlenbündel-Umformung eine hochgenaue Justierung der bei­ den Spiegel zueinander und des Spiegelpaares zum einfallenden ersten Laserstrahlenbündel notwendig ist. Außerdem sind die Reflexionsverluste aufgrund der Mehrfachreflexion innerhalb des Spiegelpaares sehr hoch. Der maximal erzielte Umformwir­ kungsgrad liegt bei etwa 70%.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine mikroop­ tische Vorrichtung der eingangs erwähnten Art zu entwickeln, die einfach zu justieren ist, deren Umformwirkungsgrad zwischen 90% und 100% liegt und die kostengünstig herstellbar ist.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß eine Strahlenparalle­ lisierungsoptik die in z-Richtung des Bezugssystems divergen­ ten streifenförmigen Einzelstrahlenbündel des ersten Laser­ strahlenbündels parallelisiert und daß eine Umlenkspiege­ lanordnung das aus den parallelisierten streifenförmigen Ein­ zelstrahlenbündeln bestehende Laserstrahlenbündel in das zweite Laserstrahlenbündel umformt.

Diese mikrooptische Vorrichtung kann beispielsweise aus einem Halbleitermaterial bestehen, das für die Wellenlänge des vom Laserdiodenfeld abgestrahlten Laserlichtes durchlässig ist. Das Laserstrahlenbündel kann dann im Halbleitermaterial ge­ führt werden, wodurch die Strahlaufweitung der Einzellaser­ strahlen und damit auch der Strahlungsverlust vermindert wer­ den kann. Die Strukturen der Strahlenparallelisierungsoptik und der Umlenkspiegelanordnung können mittels bekannter Ätz­ techniken der Halbleiterprozeßtechnik hergestellt werden. Da­ durch ist eine kostengünstige Produktion der mikrooptischen Vorrichtung gewährleistet.

Die Erfindung wird anhand von vier Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den Fig. 1 bis 6 näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine schematische perspektivische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispieles einer erfindungsgemäßen mikrooptischen Vorrichtung,

Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Ausschnitts ei­ nes Laserdiodenbarrens,

Fig. 3 eine schematische perspektivische Darstellung einer Umlenkspiegelanordnung eines zweiten Ausführungsbei­ spieles einer erfindungsgemäßen mikrooptischen Vor­ richtung,

Fig. 4 eine schematische Darstellung der Strahlenbündel- Umformung mit einer mikrooptischen Vorrichtung gemäß Ausführungsbeispiel eins oder zwei,

Fig. 5 eine schematische perspektivische Darstellung einer Umlenkspiegelanordnung eines dritten Ausführungsbei­ spieles einer erfindungsgemäßen mikrooptischen Vor­ richtung,

Fig. 6 eine schematische perspektivische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispieles einer erfindungsgemä­ ßen mikrooptischen Vorrichtung,

Fig. 7 eine schematische Darstellung der Strahlenbündel- Umformung mit einer mikrooptischen Vorrichtung gemäß Ausführungsbeispiel drei oder vier.

Die im nachfolgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele die­ nen jeweils zur Umformung eines Laserstrahlenbündels 8, das von einem Laserdiodenbarren 6 gemäß Fig. 2 abgestrahlt wird. Der Laserdiodenbarren 6 besteht aus sieben Einzellaserdioden. Die pn-Übergänge der Einzellaserdioden liegen parallel zur x- y-Ebene eines orthogonalen Bezugssystems 5. Jede Einzellaser­ diode sendet ein Einzelstrahlenbündel 9 der Breite Δy aus, der parallel zum pn-Übergang der Einzellaserdiode nur eine sehr schwache und senkrecht zum pn-Übergang eine starke Di­ vergenz aufweist. Im folgenden wird jedoch aus Gründen der Einfachheit angenommen, daß die Einzellaserdioden Einzel­ strahlenbündel 9 aussenden, die nur senkrecht zu den pn- Übergängen der Einzellaserdioden divergent und parallel zu den pn-Übergängen parallel sind.

Das in Fig. 1 schematisch dargestellte erste Ausführungsbei­ spiel einer erfindungsgemäßen mikrooptischen Vorrichtung ist auf einer Bodenplatte 1 aufgebaut. Die Bodenplatte 1 besteht beispielsweise aus einer Mo/Cu-Legierung oder einem anderen gut wärmeleitenden Material, dessen thermischer Ausdehnungs­ koeffizient den thermischen Ausdehnungskoeffizienten der an­ deren Komponenten der mikrooptischen Vorrichtung angepaßt ist. Die Oberseite der Bodenplatte 1 ist durch eine senk­ rechte Stufe 2 in zwei Flächen 3, 4 unterteilt, die parallel zur x-y-Ebene des orthogonalen Bezugssystems 5 liegen. Der Laserdiodenbarren 6 ist auf der höhergelegenen Fläche 3 bei­ spielsweise mittels Löten oder Kleben befestigt, derart, daß die Laserlichtaustrittsfläche 10 des Laserdiodenbarrens 6 bündig mit der senkrechten Fläche der Stufe 2 abschließt. Die Einzelstrahlenbündel 9 werden somit in x-Richtung abge­ strahlt. In Fig. 1 sind die Strahlachsen der beiden randsei­ tigen Einzelstrahlenbündel 9 gestrichelt eingezeichnet.

Eine plankonvexe Zylinderlinse 11 ist auf der tiefergelegenen Fläche 4 befestigt und grenzt mit ihrer gekrümmten Oberfläche an die Laserlichtaustrittsfläche 10 an. Sie kann aber auch in einem geringen Abstand zur Lichtaustrittsfläche 10 angeordnet sein, derart, daß sich die gekrümmte Oberfläche und die Lichtaustrittsfläche 10 gegenüberstehen. Die Zylinderlinse 11 ist beispielsweise aus Glas, Kunststoff oder aus einem für die Wellenlänge des Laserlichtes der Einzellaserdioden durch­ lässigen Halbleitermaterial hergestellt. Halbleitermateriali­ en eignen sich insbesondere aufgrund ihres großen Brechungs­ index für diese Anwendung. Für Lichtwellenlängen λ < 400 nm kann beispielsweise SiC, für λ < 900 nm GaAs und für λ < 1100 nm Si verwendet werden. Die Zylinderlinse 11 parallelisiert die in z-Richtung des Bezugssystems 5 stark divergenten Ein­ zelstrahlenbündel 9. Aus der Zylinderlinse 11 tritt somit ein Laserstrahlenbündel 8, bestehend aus sieben parallelisierten Einzelstrahlenbündeln 12 mit gleichem streifenförmigen Quer­ schnitt aus. Die Querschnitts-Längsmittelachsen der Einzel­ strahlenbündel 12 liegen auf einer einzigen zur y-Achse des Bezugssystems 5 parallelen geraden Linie.

Anstelle der Zylinderlinse 11 kann auch eine diffraktive Op­ tik oder eine Kombination aus einer Zylinderlinse und einer diffraktiven Optik eingesetzt werden.

Auf der Fläche 4 ist in Strahlausbreitungsrichtung (+x-Rich­ tung) nach der Zylinderlinse 11 eine aus sieben Einzelspie­ geln 13 bestehende Spiegelreihe 14 befestigt. Sie ist bei­ spielsweise aus Metall oder aus einem Halbleitermaterial her­ gestellt und die Spiegelflächen sind mit einem reflexions­ steigernden Material wie beispielsweise Aluminium oder SiO₂/Si beispielsweise mittels Aufdampfen oder Sputtern be­ schichtet und/oder poliert. Die Spiegelflächennormalen der Einzelspiegel 13 bilden mit den Strahlachsen der paralleli­ sierten Einzelstrahlenbündel 12 einen Winkel von 45° und ver­ laufen parallel zur x-z-Ebene des Bezugssystems 5. Jeder Ein­ zelspiegel 13 ist gegenüber seinen benachbarten Einzel­ spiegeln 13 in x-Richtung um Δz+ε parallelverschoben, so daß die Spiegelreihe 14 eine stufenförmige Struktur aufweist. Δz ist die Strahlhöhe in z-Richtung und ε ist bei exakt orthogo­ naler Abbildung der Einzelstrahlenbündel 12 der in Fig. 4 angegebene Abstand zwischen den streifenförmigen Einzel­ strahlenbündel 12 nach der Umformung des Laserstrahlenbündels 8 in das Laserstrahlenbündel 17. Die Breite und Länge der Spiegelflächen der Einzelspiegel 13 ist Δy+δ bzw. mindestens Δz/cos45°. Δy ist die Breite eines Einzelstrahlenbündels 9 nach Austritt aus dem Laserdiodenbarren 6 und δ ist der Ab­ stand zwischen zwei Einzelstrahlenbündel 9. Von der Spiegel­ reihe 14 werden die parallelisierten Einzellaserstrahlen 12 um 90° in z-Richtung umgelenkt und gleichzeitig in x-Richtung gegeneinander versetzt, derart, daß keine zwei Einzelstrah­ lenbündel 12 mit ihrer Querschnitts-Längsmittelachse auf ei­ ner gemeinsamen geraden Linie liegen. Über der Spiegelreihe 14 ist eine weitere Spiegelreihe 15 mit sieben Einzelspiegeln 16 angeordnet. Die Spiegelreihe 15 ist beispielsweise genauso hergestellt wie die Spiegelreihe 14. Die Spiegelflächennorma­ len der Einzelspiegel 16 bilden mit den Strahlenachsen der um 90° in z-Richtung umgelenkten Einzelstrahlenbündel 12 einen Winkel von 45° und verlaufen parallel zur y-z-Ebene des Be­ zugssystems 5. Jeder Einzelspiegel 16 ist gegenüber seinen benachbarten Einzelspiegeln 16 in y-Richtung um Δy+δ paral­ lelverschoben, so daß die Spiegelreihe 15 eine stufenförmige Struktur aufweist. Die Breite und Länge der Spiegelflächen der Einzelspiegel 16 beträgt Δz+ε bzw. (Δy+δ)/cos45°. Die Einzelspiegel 13, 16 sind so zueinander angeordnet, daß die Mittelpunkte der Spiegelflächen von jeweils zwei Einzelspie­ geln 13, 16 in z-Richtung genau übereinander liegen. Die Spiegelreihe 15 lenkt die von der Spiegelreihe 14 in z-Rich­ tung umgelenkten Einzelstrahlenbündel 12 um 90° in y-Richtung um und bildet die Einzelstrahlenbündel 12 gemäß Fig. 4 par­ allel nebeneinander ab.

Die in Fig. 3 schematisch dargestellte Umlenkspiegelanord­ nung des zweiten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen mikrooptischen Vorrichtung besteht ebenfalls aus zwei Spie­ gelreihen 18, 21 aus jeweils sieben Einzelspiegel 19, 20. Die Anordnung und Größe der Einzelspiegel 19, 20 sowie die Anord­ nung der restlichen Komponenten der mikrooptischen Vorrich­ tung ist identisch dem ersten Ausführungsbeispiel. Der Unter­ schied zu den Spiegelreihen 14, 15 besteht darin, daß die Einzelstrahlenbündel 12 nach der Zylinderlinse 11 nicht in Luft, sondern in einem für die Wellenlänge des von den Ein­ zellaserdioden abgestrahlten Laserlichtes durchlässigen Medi­ um geführt sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel bilden somit die Grenzflächen zwischen dem lichtdurchlässigen Medium und Luft oder einem anderen angrenzenden Medium die Spiegel­ flächen der Einzelspiegel 19, 20 aus. Die Einzelspiegel 19, 20 sind beispielsweise von Ausnehmungen aus einem einzigen Quader, bestehend aus dem durchlässigen Medium, gebildet. Als Medium kann neben Glas und Kunststoff beispielsweise für eine Lichtwellenlänge λ < 400 nm auch SiC, für λ < 550 nm GaP, für λ < 900 nm GaAs und für λ < 1100 nm Si verwendet werden. Der Vorteil dieser Halbleitermaterialien besteht darin, daß auf­ grund ihres hohen Brechungsindex keine Beschichtung der Spie­ gelflächen der Einzelspiegel 19, 20 erforderlich ist. Bei Verwendung von Glas können die Spiegelflächen zur Verbesse­ rung der Reflexionseigenschaften beispielsweise mit Aluminium oder mit einem anderen geeigneten Material beschichtet wer­ den. Als Beschichtungsverfahren kann Aufdampfen, Sputtern, CVD oder ein anderes aus der Halbleiterprozeßtechnik bekann­ tes Verfahren angewendet werden.

Bei dem Ausführungsbeispiel zwei treten die parallelen Ein­ zelstrahlen 12 durch eine Lichteintrittsfläche 22 in die Spiegelreihe 18 ein und werden an den Einzelspiegeln 19 um 90° in z-Richtung umgelenkt und gleichzeitig in x-Richtung gegeneinander versetzt. Anschließend werden die Einzel­ strahlenbündel 12 von den Einzelspiegeln 20 um 90° in y- Richtung umgelenkt und treten durch eine Lichtaustrittsfläche 23 aus der Spiegelreihe 21 aus.

Fig. 4 zeigt schematisch die Umformung des Laserstrahlenbün­ dels 8 mittels der Umlenkspiegelanordnung gemäß Ausführungs­ beispiel eins oder zwei. Das Laserstrahlenbündel 8 aus sieben parallelisierten Einzelstrahlenbündel 12 wird in ein rechteckiges Laserstrahlenbündel 17 aus sieben im Abstand ε parallel nebeneinander angeordneten parallelisierten Einzel­ strahlenbündel 12 umgeformt.

Eine Vereinfachung der beiden oben beschriebenen Ausführungs­ beispiele eins und zwei kann dadurch erzielt werden, daß die Spiegelreihe 14 bzw. 18 durch einen einzigen größeren Spiegel ersetzt wird. Dieser Spiegel muß so angebracht sein, daß sei­ ne Spiegelflächennormale mit der x-y-Ebene des Bezugssystems 5 einen Winkel von 45° und mit der x-z-Ebene einen Winkel γ < 0° einschließt. Die Breite des schrägen Spiegels ist (Länge des Laserdiodenbarrens 6) _* cosγ und die Höhe des schrägen Spiegels ist mindestens Δz/cos45°. Die Spiegelreihe 15 bzw. 21 bleibt hinsichtlich der Struktur unverändert. Die Breite der Einzelspiegel 16 bzw. 20 ist jedoch (Δy+δ) _* tanγ.

Das dritte Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen mikroop­ tischen Vorrichtung weist anstelle von zwei Spiegelreihen, von denen jede eine 90°-Umlenkung durchführt, eine einzige Spiegelreihe 24 auf. Diese in Fig. 5 dargestellte Spiegel­ reihe 24 besteht aus sieben Einzelspiegeln 25, deren Spiegel­ flächennormalen mit der x-z-Ebene des Bezugssystems 5 einen Winkel von 45° und mit der x-y-Ebene einen Winkel α < 0° auf­ weisen. Die Mittelpunkte der Spiegelflächen der Einzelspiegel 25 liegen auf einer einzigen parallel zur y-Achse des Bezugs­ systems 5 verlaufenden geraden Linie und haben voneinander einen Abstand von Δy+δ. Die Länge der Einzelspiegel 25 ist mindestens Δy/cos45° und die Breite mindestens Δz/cosα. Der Winkel α ist so gewählt, daß jeder parallelisierte Ein­ zellaserstrahl 12 nach der Reflexion am zugehörigen Einzel­ spiegel 25 über den in +y-Richtung nachfolgenden Einzelspie­ gel 25 hinweg geführt ist. Um den Abstand η zwischen den ab­ gebildeten Einzellaserstrahlen 29 so gering wie möglich zu gestalten, ist die Breite der Einzelspiegel 25 und der Winkel α so klein wie möglich zu wählen. Die Mindestgröße des Win­ kels α ist abhängig vom Abstand zwischen den Einzellaserdi­ oden und von der Breite der Einzelspiegel 25.

Das in Fig. 6 schematisch dargestellte vierte Ausführungs­ beispiel einer erfindungsgemäßen mikrooptischen Vorrichtung ist im Prinzip dem dritten Ausführungsbeispiel identisch. Der Unterschied besteht darin, daß die Spiegelreihe 26 mit den Einzelspiegeln 27 so ausgebildet ist, daß die Einzel­ strahlenbündel 12 nicht in Luft, sondern in einem lichtlei­ tenden Medium geführt sind. Das Medium ist für die Wellenlän­ ge des von den Einzellaserdioden ausgestrahlten Laserlichtes durchlässig. Die Spiegelreihe 26 kann beispielsweise aus den bereits im zweiten Ausführungsbeispiel genannten Materialien hergestellt sein. Die Einzelspiegel 27 sind beispielsweise von keilförmigen Ausnehmungen aus einem Quader, bestehend aus dem für das Laserlicht der Einzellaserdioden durchlässigen Medium, gebildet. Die Spiegelflächen sind zur Verbesserung ihrer Reflexionseigenschaften beispielsweise mit Aluminium oder SiO₂/Si beschichtet und/oder poliert. Die Spiegelreihe 26 ist mittels einer Koppelplatte 28, die ebenfalls aus einem für die Wellenlänge des Laserlichtes durchlässigen Material besteht, an die Zylinderlinse 11 gekoppelt. Die Spiegelreihe 26 und die Koppelplatte 28 können aber auch aus einem einzi­ gen Teil bestehen.

Fig. 7 zeigt schematisch die Umformung des Laserstrahlenbün­ dels 8 mittels der Umlenkspiegelanordnung gemäß Ausführungs­ beispiel drei oder vier. Das Laserstrahlenbündel 8 aus sieben parallelisierten streifenförmigen Einzelstrahlenbündel 12 wird in ein parallelogrammförmiges Laserstrahlenbündel 30 aus sieben im Abstand η parallel nebeneinander angeordneten par­ allelisierten streifenförmigen Einzelstrahlenbündel 29 umge­ formt.

An dieser Stelle sei nochmals darauf hingewiesen, daß die Einzelstrahlenbündel 9 zum pn-Übergang der Einzelstrahlen nicht, wie oben angenommen, exakt parallel sondern schwach divergent sind. Die Spiegelabmessungen müssen daher entspre­ chend angepaßt werden. Die oben angegebenen Mindestmaße ver­ ändern sich zu größeren Werten hin. Das gleiche gilt, wenn die Einzelstrahlenbündel 12 nicht exakt parallelisiert son­ dern schwach divergent sind. Für die Berechnung sind dann im­ mer die Werte von Δy und Δz an den Spiegelflächen derjenigen Spiegel maßgebend, die in Strahlrichtung am weitesten von der Lichtaustrittsfläche 10 entfernt sind.

Die Führung der Einzelstrahlenbündel 9 in einem optischen Me­ dium hat den Vorteil, daß die Aufweitung der Einzel­ strahlenbündel 9 vermieden werden kann. In vorteilhafter Wei­ se kann bei den Ausführungsbeispielen zwei und vier die Lichtaustrittsfläche 10 der Zylinderlinse 11 direkt an die Lichteintrittsfläche 22 bzw. 29 der Spiegelreihe 18 bzw. der Koppelplatte 28 angrenzen. Dadurch kann in der mikrooptischen Vorrichtung die Zahl der optischen Grenzflächen, die Reflexi­ onsverluste verursachen, minimiert werden. Denkbar ist auch, daß die Spiegelreihen bzw. -reihe und die Zylinderlinse aus einem Teil gefertigt sind.

Die oben beschriebenen Spiegelanordnungen und die Zylinder­ linse zeichnen sich in vorteilhafter Weise dadurch aus, daß sie mittels kostengünstiger Verfahren hergestellt werden kön­ nen.

Plankonvexe Zylinderlinsen aus Halbleitermaterialien sind beispielsweise auf einem Wafer mittels bekannter Ätzverfahren herstellbar. Der Wafer wird dann in Einzellinsen geeigneter Länge und Breite aufgetrennt.

Die Spiegelreihen können beispielsweise mit Hilfe von in der Halbleiterprozeßtechnik bekannten Ätzverfahren aus Si, GaP, GaAs, SiC, Metall oder Glas hergestellt werden. Genauso kön­ nen aber auch Spritz-, Preß- und Gießverfahren für Kunst­ stoff, Glas oder Metall eingesetzt werden. Zur Herstellung der Formen kann z. B. das sogenannte LIGA-Verfahren verwendet werden. Die Spiegelstrukturen können auch mittels mechani­ scher Verfahren wie beispielsweise das Mikropräzisions-Dia­ mantdrehverfahren hergestellt werden. Auch eine Aneinander­ reihung von strukturierten Glasscheiben durch anodisches Bon­ den, Löten oder Kleben ist möglich. Bei Kunststoffen kann die Spiegelstruktur durch mechanische Bearbeitung oder als Form­ spritzteil hergestellt werden.

Claims (8)

1. Mikrooptische Vorrichtung zum Umformen eines von einem La­ serdiodenbarren (6) in x-Richtung eines orthogonalen Be­ zugssystems (5) abgestrahlten ersten Laserstrahlenbündels (8), bestehend aus mehreren streifenförmigen Ein­ zelstrahlenbündeln (9) mit jeweils gleichem Querschnitt, deren Längsmittelachsen des Querschnitts auf einer einzigen in y- Richtung des Bezugssystems (5) verlaufenden geraden Linie liegen, in ein zweites Laserstrahlenbündel aus parallel ne­ beneinander angeordneten streifenförmigen Einzelstrahlenbün­ deln (12) mit jeweils gleichem Querschnitt, gekennzeichnet durch eine Strahlenparallelisierungsoptik (11), die die in z- Richtung des Bezugssystems (5) divergenten streifenförmigen Einzelstrahlenbündel (9) des ersten Laserstrahlenbündels (8) parallelisiert, und durch eine Umlenkspiegelanordnung (14, 15), die das aus den parallelisierten streifenförmigen Ein­ zelstrahlenbündeln bestehende Laserstrahlenbündel in das zweite Laserstrahlenbündel (17) umformt.

2. Mikrooptische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strahlenparallelisierungsoptik eine Zylin­ derlinse (11) aufweist.

3. Mikrooptische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strahlenparallelisierungsoptik eine Beu­ gungsoptik aufweist.

4. Mikrooptische Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strahlenparallelisierungsoptik zusätzlich eine Beugungsoptik aufweist.

5. Mikrooptische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkspiegelanordnung ei­ ne erste und eine zweite Spiegelreihe (14, 15) aufweist, daß die erste Spiegelreihe (14) die parallelisierten streifenför­ migen Einzelstrahlenbündel (12) des ersten Laserstrahlenbün­ dels (8) aus der x-Richtung ablenkt und gleichzeitig in x- Richtung gegeneinander versetzt, derart, daß die Längsmitte­ lachsen der parallelisierten streifenförmigen Einzelstrahlen­ bündel (12) auf in einem Abstand zueinander parallel verlau­ fenden Geraden liegen, und daß die zweite Spiegelreihe (15) die gegeneinander versetzten parallelisierten streifenförmi­ gen Einzelstrahlenbündel (12) parallel nebeneinander abbil­ det.

6. Mikrooptische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkspiegelanordnung ei­ ne einzige Spiegelreihe (24) aufweist, die die paralleli­ sierten streifenförmigen Einzelstrahlenbündel (12) des er­ sten Laserstrahlenbündels (8) aus der x-Richtung ablenkt, in z-Richtung gegeneinander versetzt und parallel nebeneinander abbildet.

7. Mikrooptische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenparallelisie­ rungsoptik und die Umlenkspiegelanordnung aus einem Halblei­ termaterial bestehen, das für die Wellenlänge des vom Laser­ diodenbarren abgestrahlten Laserlichtes durchlässig ist, und daß die Einzelstrahlenbündel im Inneren des Halbleitermateri­ als geführt sind.

8. Verfahren zur Herstellung einer mikrooptischen Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strukturen der Strahlparallelisierungsoptik und der Umlenkspiegelanord­ nung mittels bekannter Ätztechniken der Halbleiterprozeßtech­ nik hergestellt werden.