DE112004000676T5

DE112004000676T5 - Prüfvorrichtung

Info

Publication number: DE112004000676T5
Application number: DE112004000676T
Authority: DE
Inventors: Kenichi Fujisaki
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2003-04-16
Filing date: 2004-03-24
Publication date: 2007-09-27
Also published as: JP2004317317A; CN1774641A; WO2004092755A1; TW200506403A; KR20050121726A; KR100840814B1; TWI317816B; CN100480719C; JP4241157B2; US7337381B2; US20060026482A1

Abstract

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist:
einen Mustergenerator zum Erzeugen eines Adressensignals und eines Prüfsignals, das zu der geprüften Vorrichtung zu liefern ist, sowie eines Signals für einen erwarteten Wert, der von der geprüften Vorrichtung, zu der das Prüfsignal geliefert wurde, auszugeben ist;
einen logischen Komparator zum Vergleichen eines von der geprüften Vorrichtung entsprechend dem Prüfsignal ausgegebenen Ausgangswertes mit dem Signal für den erwarteten Wert und zum Erzeugen eines Ausfallsignals, wenn das Ausgangssignal nicht mit dem Signal für den erwarteten Wert übereinstimmt; und
einen Fehleranalysespeicher zum Speichern des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallssignals in einem Adressenbereich, der durch das von dem Mustergenerator erzeugte Adressensignal bestimmt ist; wobei
der Fehleranalysespeicher einen ersten Speicherabschnitt hat zum Speichern eines Ausfalladressenwertes, der ein Wert des von dem Mustergenerator erzeugten Adressensignals ist, und eines Ausfalldatenwertes, der ein Wert des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallsignals ist, aufeinander folgend...

Description

Technologisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die Japanische Patentanmeldung Nr. 2003-112124, die am 16. April 2003 eingereicht wurde. Für die benannten Staaten, die eine Einbeziehung von Dokumenten zulassen, wird der in der folgenden Anmeldung beschriebene Inhalt in die vorliegende Anmeldung als Teil von deren Beschreibung einbezogen.
Stand der Technik
Eine Speicherprüfvorrichtung liefert ein Adressensignal und ein von einem Mustergenerator erzeugtes Prüfsignal zu einem geprüften Speicher und schreibt es in die diesen ein. Sie vergleicht dann das aus dem geprüften Speicher ausgelesene Prüfsignal mit einem durch den Mustergenerator entsprechend der Prüfvorrichtung erzeugten Signal für einen erwarteten Wert und speichert das Vergleichsergebnis in einem Speicher für Fehleranalyse. Danach analysiert die Speicherprüfvorrichtung das in dem Speicher für Fehleranalyse gespeicherte Vergleichsergebnis, um festzustellen, ob der geprüfte Speicher fehlerfrei ist.
Mit der in letzter Zeit stattfindenden Zunahme der Geschwindigkeit der Arbeitsfrequenz von MPUen nimmt auch die Arbeitsgeschwindigkeit eines geprüften Speichers wie eines DRAM ebenfalls zu. Doch ist der Speicher für Fehleranalyse, der in der herkömmlichen Speicherprüfvorrichtung verwendet wird, aus SRAMn zusammengesetzt, deren Verbesserung in Bezug auf die Speicherkapazität im Vergleich zu dem DRAM langsam ist. Daher wird der Speicher für Fehleranalyse mit der gleichen Arbeitsgeschwindigkeit und der Speicherkapazität wie denjenigen des geprüften Speichers realisiert durch Zusammensetzen des Speichers für Fehleranalyse aus mehreren SRAMn in der Weise, dass diese verschachtelt arbeiten.
Jedoch nimmt die Arbeitsgeschwindigkeit des geprüften Speichers wie eines DRAM noch immer kontinuierlich zu, und es ist eine sehr große Anzahl von SRAMn erforderlich, um die gleiche Arbeitsgeschwindigkeit wie die des geprüften Speichers durch den verschachtelten Betrieb der mehreren SRAMn zu realisieren.
Wenn beispielsweise eine Prüfung eines geprüften Speichers mit einer Arbeitsfrequenz von 125 MHz durch den verschachtelten Betrieb von vier Wegen durch Verwendung von vier SRAMn realisiert wurde, müssen 32 SRAMn verwendet werden und ein Verschachtelungsbetrieb von 32 Wegen muss durchgeführt werden, um eine Prüfung eines geprüften Speichers mit einer Arbeitsfrequenz von 1 GHz zu realisieren. Darüber hinaus sind, da die Speicherkapazität eines SRAM im Allgemeinen 1/16 bis 1/8 der Speicherkapazität eines DRAM ist, zumindest 256 SRAM erforderlich, um die Prüfung des geprüften Speichers mit einer Arbeitsfrequenz von 1 GHz zu realisieren.
Weiterhin ist eine allgemeine Praxis, die Prüfkosten zu verringern, indem die Prüfungen mehrerer geprüfter Speicher gleichzeitig durch die Speicherprüfvorrichtung durchgeführt werden, und die gleichzeitige Prüfung von 128 geprüften Speichern wird in großem Maße durchgeführt. Wenn demgemäß 256 SRAM zum Prüfen eines geprüften Speichers erforderlich sind, sind 32768 SRAM erforderlich, um 128 geprüfte Speicher gleichzeitig zu prüfen. Daher bestand das Problem, dass die Speicherprüfvorrichtung durch den Speicher für Fehleranalyse und seine peripheren Schaltungen eine sehr große und kostenaufwendige Vorrichtung wird.
Demgemäß ist es eine Aufgabe der Erfindung, eine Prüfvorrichtung vorzusehen, die in der Lage ist, das vorgenannte Problem zu lösen. Diese Aufgabe kann durch die Kombination von in den unabhängigen Ansprüchen der Erfindung beschriebenen Merkmalen gelöst werden. Hiervon abhängige Ansprüche spezifizieren bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
Um die vorgenannte Aufgabe zu lösen, hat gemäß einem Aspekt der Erfindung eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung einen Mustergenerator zum Erzeugen eines Adressensignals und eines Prüfsignals, das der geprüften Vorrichtung zuzuführen ist, und eines Signals für einen erwarteten Wert, der von der geprüften Vorrichtung, der das Prüfsignal zugeführt wurde, auszugeben ist, einen logischen Komparator zum Vergleichen eines von der geprüften Vorrichtung entsprechend dem Prüfsignal ausgegebenen Ausgangswertes mit dem Signal für den erwarteten Wert und zum Erzeugen eines Ausfallsignals, wenn das Ausgangssignal nicht mit dem Signal für den erwarteten Wert übereinstimmt, und einen Speicher für Fehleranalyse zum Speichern des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallsignals in einem Adressenbereich, der durch das von dem Mustergenerator erzeugte Adressensignal bestimmt ist. Der Speicher für Fehleranalyse hat einen ersten Speicherabschnitt zum Speichern eines Ausfalladressenwertes, der ein Wert des von dem Mustergenerator erzeugten Adressensignals ist, und eines Ausfalldatenwertes, der ein Wert des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallsignals ist, aufeinander folgend in verschiedenen Adressenbereichen als ein Satz von Daten, und einen zweiten Speicherabschnitt zum Lesen des Satzes aus dem Ausfalladressenwert und dem Ausfalldatenwert aus dem ersten Speicherabschnitt, um den Ausfalldatenwert in dem durch den Ausfalladressenwert bestimmten Adressenbereich zu speichern.
Der Speicher für Fehleranalyse kann mehrere erste Speicherabschnitte aufweisen. Die mehreren ersten Speicherabschnitte können den Ausfalladressenwert, der ein Wert des von dem Mustergenerator erzeugten Adressensignals ist, und den Ausfalldatenwert, der ein Wert des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallsignals ist, aufeinander folgend in verschiedenen Adressenbereichen als ein Satz von Daten durch Verschachtelungsoperationen speichern.
Der zweite Speicherabschnitt kann in dem durch den aus dem ersten Speicherabschnitt gelesenen Ausfalladressenwert bestimmten Adressenbereich gehaltene Daten lesen und kann die ODER-Funktion der Daten und des aus dem ersten Speicherabschnitt gelesenen Ausfalldatenwertes in dem Adressenbereich speichern, der durch den aus dem Speicherabschnitt gelesenen Ausfalladressenwert bestimmt ist.
Der Speicher für Fehleranalyse kann auch einen Datenzählabschnitt aufweisen zum Zählen einer gespeicherten Anzahl, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte ist, oder einer gelesenen Anzahl, die eine Anzahl der gelesenen und durch den zweiten Speicherabschnitt von dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte ist, einen Datenanzahl-Halteabschnitt zum Halten der gespeicherten Anzahl, die von dem Datenzählabschnitt gezählt wurde, und einem Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt zum Vergleichen der gespeicherten Anzahl, die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt gehalten wird, mit der gelesenen Anzahl, die von dem Datenzählabschnitt gezählt wurde, nachdem der Datenanzahl-Halteabschnitt die gespeicherte Anzahl hält und der Datenzählabschnitt initialisiert ist, und wenn die gespeicherte Anzahl mit der gelesenen Anzahl übereinstimmt, Erzeugen eines Stoppsignals zum Anhalten des Vorgangs des zweiten Speicherabschnitts zum Lesen des Ausfalldatenwertes aus dem ersten Speicherabschnitt.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin aufweisen: einen Datenzählabschnitt zum Zählen einer gespeicherten Anzahl, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherab schnitt gespeicherten Ausfalldatenwert ist, einen Datenanzahl-Halteabschnitt zum Halten einer erforderlichen Speicheranzahl, die eine Anzahl der Ausfalldatenwerte ist, die in dem ersten Speicherabschnitt zu speichern sind, und einen Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt zum Vergleichen der gespeicherten Anzahl, die von dem Datenzählabschnitt gezählt wurde, mit der erforderlichen Speicheranzahl, die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt gehalten wird, und wenn die gespeicherte Anzahl mit der erforderlichen Speicheranzahl übereinstimmt, zum Erzeugen eines Stoppsignals zum Anhalten des Vorgangs des ersten Speicherabschnitts zum Speichern des Ausfalldatenwertes, und wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung in einem Zustand durchgeführt wird, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt die erforderliche Speicheranzahl hält, die größer als eine speicherbare Anzahl ist, die eine Anzahl der Ausfalldatenwerte ist, die in dem ersten Speicherabschnitt speicherbar sind, speichert der erste Speicherabschnitt die Ausfalldatenwerte, die erhalten wurden, nachdem die speicherbare Anzahl überschritten wurde, durch Überschreiben zu den Ausfalldatenwerten, die erhalten und gespeichert wurden, bevor die speicherbare Anzahl überschritten wurde, nachdem die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl gespeichert wurde, und der zweite Speicherabschnitt liest und speichert die Ausfalldatenwerte, die in dem ersten Speicherabschnitt gespeichert sind, und wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung wieder in einem Zustand durchgeführt wird, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt eine Anzahl hält, die geringer als die speicherbare Anzahl ist, als die erforderliche Speicheranzahl, speichert der erste Speicherabschnitt die Ausfalldatenwerte der erforderlichen Speicheranzahl weiter und der zweite Speicherabschnitt liest und speichert die in dem ers ten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte weiter.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin aufweisen: einen ersten Datenzählabschnitt zum Zählen einer erzeugten Anzahl, die eine Anzahl der bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung erzeugten Ausfalldatenwerte ist, einen Berechnungsabschnitt für eine Anzahl von Malen der Prüfung zum Berechnen einer Anzahl von Malen von Prüfungen, die für den zweiten Speicherabschnitt erforderlich sind, zum Speichern sämtlicher bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung erzeugter Ausfalldatenwerte, durch Teilen der erzeugten Anzahl, die von dem ersten Datenzählabschnitt gezählt wurde, durch eine speicherbare Anzahl, die eine Anzahl der Ausfalldatenwerte, die in dem ersten Speicherabschnitt speicherbar sind, ist, einen Datenanzahl-Halteabschnitt zum Halten einer erforderlichen Speicheranzahl, die eine Anzahl der Ausfalldatenwerte ist, die in dem ersten Speicherabschnitt zu speichern sind, einen zweiten Datenzählabschnitt zum Zählen einer gespeicherten Anzahl, die eine Anzahl der Ausfalldatenwerte ist, die in dem ersten Speicherabschnitt gespeichert sind, und einen Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt zum Vergleichen der erforderlichen Speicheranzahl, die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt gehalten wird, mit der gespeicherten Anzahl, die von dem zweiten Datenzählabschnitt gezählt wurde, und wenn die erforderliche Speicheranzahl mit der gespeicherten Anzahl übereinstimmt, zum Erzeugen eines Stoppsignals zum Anhalten des Vorgangs des ersten Speicherabschnitts zum Speichern des Auswahldatenwertes, und, wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung in einem Zustand durchgeführt wird, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt die speicherbare Anzahl als die erforderliche Speicheranzahl hält, speichert der erste Speicherabschnitt die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl und der zweite Speicherabschnitt liest und speichert die in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte, und wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung wieder in einem Zustand durchgeführt wird, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt das Doppelte der speicherbaren Anzahl als die erforderliche Speicheranzahl hält, speichert der erste Speicherabschnitt durch Überschreiben der Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl weiter, nach dem Speichern der Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl, und der zweite Speicherabschnitt liest und speichert die in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte, und dann liest und speichert der zweite Speicherabschnitt wiederholt die in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte, um sämtliche Ausfalldatenwerte, die bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung erzeugt wurden, während die Prüfung der geprüften Vorrichtung wiederholt durchgeführt wird, bis eine Anzahl erreicht wird, die durch Multiplizieren der speicherbaren Anzahl mit der Anzahl von Malen von Prüfungen erhalten wurde, indem die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt gehaltene speicherbare Anzahl durch jede speicherbare Anzahl erhöht wird.
Der zweite Speicherabschnitt kann parallel mit der Operation des ersten Speicherabschnitts, die aufeinander folgend die Auswahldatenwerte speichert, initialisiert werden.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin eine Analysevorrichtung enthalten, die den in dem zweiten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwert analysiert, während der erste Speicherabschnitt aufeinander folgend die Ausfalldatenwerte speichert.
Es ist festzustellen, dass die vorstehend beschriebene Zusammenfassung der Erfindung nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der Erfindung beschreibt. Die Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorstehend beschriebenen Merkmale sein.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt eine beispielhafte Struktur einer Prüfvorrichtung 10.
2 zeigte eine erste beispielhafte Struktur eines Speichers für Fehleranalyse.
3 zeigt eine zweite beispielhafte Struktur des Speichers für Fehleranalyse.
4 zeigt eine erste beispielhafte Struktur eines Adressenerzeugungsabschnitts 202.
5 zeigt eine zweite beispielhafte Struktur des Adressenerzeugungsabschnitts 202.
BESTE ART ZUM AUSFÜHREN DER ERFINDUNG
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage von bevorzugten Ausführungsbeispielen beschrieben, die den Bereich der Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in den Ausführungsbeispielen beschrieben werden, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
1 zeigt eine beispielhafte Struktur einer Prüfvorrichtung 10 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die Prüfvorrichtung 10 hat einen Zeitgenerator 100, einen Mustergenerator 102, eine Wellenform-Formungsvorrichtung 104, einen logischen Komparator 106, einen Ausfallanalysespeicher 108 und eine Analysevorrichtung 110. Die Prüfvorrichtung 10 führt eine Prüfung durch, indem sie ein Prüfsignal an eine geprüfte Vorrichtung 20 anlegt. Die geprüfte Vorrichtung 20 ist ein zu prüfender Speicher wie beispielsweise ein DRAM.
Der Mustergenerator 102 erzeugt ein Adressensignal sowie ein Prüfsignal, das ein Datensignal und ein Steuersignal enthält, das der geprüften Vorrichtung 20 zuzuführen ist, entsprechend dem von dem Zeitgenerator 100 erzeugten Bezugstakt. Der Mustergenerator 102 erzeugt auch ein Signal für einen erwarteten Wert, der von der geprüften Vorrichtung 20 auszugeben ist, zu der das Prüfsignal geführt wurde, entsprechend dem zu dieser geführten Prüfsignal. Während der Mustergenerator 102 das Adressensignal und das Prüfsignal zu der Wellenform-Formungsvorrichtung 104 liefert, liefert er auch das Adressensignal zu dem Fehleranalysespeicher 108 und das Signal für den erwarteten Wert zu dem logischen Komparator 106. Die Wellenform-Formungsvorrichtung 104 formt das Adressensignal und das Prüfsignal, die von dem Mustergenerator 102 empfangen wurden, und liefert sie zu der geprüften Vorrichtung 20.
Der logische Komparator 106 vergleicht ein von der geprüften Vorrichtung 20 entsprechend dem. von der Wellenform-Formungsvorrichtung 104 zugeführten Prüfsignal ausgegebenes Ausgangssignal und das von dem Mustergenerator 102 empfangene Signal für den erwarteten Wert, um zu beurteilen, ob die geprüfte Vorrichtung 20 fehlerfrei ist. Dann erzeugt der logische Komparator 106 ein Ausfallsignal, wenn das von der geprüften Vorrichtung 20 ausgegebene Ausgangssignal nicht mit dem von dem Mustergenerator 102 empfangenen Signal für den erwarteten Wert übereinstimmt. Der logische Komparator 106 liefert das Ausfallsignal zu dem Fehleranalysespeicher 108. Bei Empfang des Adressensignals von dem Mustergenerator 102 speichert der Fehleranalysespeicher 108 das von dem logischen Komparator 106 erzeugte Ausfallsignal in einem durch das Adressensignal bestimmten Adressenbereich.
Die Analysevorrichtung 110 ist beispielsweise eine Arbeitsstation und liest das in dem Fehleranalysespeicher 108 gespeicherte Ausfallsignal nach der Beendigung der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20, um eine fehlerhafte Speicherzelle zu identifizieren, eine Verteilung von fehlerhaften Speicherzellen zu finden und eine Ursache für die Fehlerhaftigkeit zu analysieren. Dann führt sie das analysierte Ergebnis zu einem Speicherherstellungsprozess zurück, um die Ausbeute zu verbessern.
2 zeigt eine erste beispielhafte Struktur des Fehleranalysespeichers 108 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Der Fehleranalysespeicher 108 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat eine Adressenformatierungsvorrichtung 200, einen Adressenerzeugungsabschnitt 202, eine Schreibsteuervorrichtung 204, einen ersten Speicherabschnitt 206 und einen zweiten Speicherabschnitt 208.
Die Adressenformatierungsvorrichtung 200 empfängt das Adressensignal von dem Mustergenerator 102 und führt es zu dem ersten Speicherabschnitt 206. Das Adressensignal enthält Reihen- und Spaltenadressen. Wenn die Schreibsteuervorrichtung 204 das Ausfallsignal von dem logischen Komparator 106 empfängt, gibt sie einen INC-Befehl zu dem Adressenerzeugungsabschnitt 202 und einen Schreibbefehl zu dem ersten Speicherabschnitt 206 aus. Der Adressenerzeugungsabschnitt 202 liefert die Adresse zu dem ersten Speicherabschnitt 206, während die Adresse entsprechend dem INC-Befehl von der Schreibsteuervorrichtung 204 inkrementiert wird.
Der erste Speicherabschnitt 206 ist ein Speicher zum vorübergehenden Halten des Ausfallsignals während der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 und speichert einen Ausfalladressenwert, der ein Wert des von dem Mustergenerator 102 erzeugten Adressensignals ist, und einen Ausfalldatenwert, der ein Wert des von dem logischen Komparator 106 erzeugten Ausfallsignals ist, aufeinander folgend in verschiedenen Adressenbereichen als ein Satz von Daten auf der Grundlage der von dem Adressenerzeugungsabschnitt 202 erzeugten Adresse. Die Arbeitsgeschwindigkeit des ersten Speicherabschnitts 206, z.B. die Geschwindigkeit zum Speichern von Daten, ist vorzugsweise gleich der Arbeitsgeschwindigkeit der geprüften Vorrichtung 20, beispielsweise deren Geschwindigkeit zum Speichern von Daten. Eine Speicherkapazität des ersten Speicherabschnitts 206 kann kleiner als eine Speicherkapazität der geprüften Vorrichtung 20 sein.
Der zweite Speicherabschnitt 208 ist ein Speicher wie ein SRAM zum Auslesen und Halten des Ausfallsignals von dem ersten Speicherabschnitt 206 nach dem Prüfen der geprüften Vorrichtung 20. Er liest den Satz aus dem Ausfalladressenwert und dem Ausfalldatenwert aus dem ersten Speicherabschnitt 206 und speichert den Ausfalldatenwert in einem durch den Ausfalladressenwert bestimmten Adressenbereich. Genauer gesagt, der zweite Speicherabschnitt 208 liest in den durch den aus dem ersten Speicherabschnitt 206 ausgelesenen Ausfalladressenwert bestimmten Adressenbereich gehaltene Daten aus und speichert die ODER-Funktion der Daten und des aus dem ersten Speicherabschnitt 206 gelesenen Ausfalldatenwertes in den durch den aus dem ersten Speicherabschnitt 206 ausgelesenen Ausfalladressenwert bestimmten Adressenbereich. D.h., der zweite Speicherabschnitt 208 schreibt den Ausfalldatenwert durch Operationen des Lesens, Modifizierens und Schreibens.
Die Arbeitsgeschwindigkeit des zweiten Speicherabschnitts 208 kann langsamer als die Arbeitsgeschwindigkeit der geprüften Vorrichtung 20 sein. Darüber hinaus kann die Arbeitsgeschwindigkeit des zweiten Speicherabschnitts 208 langsamer als die Arbeitsgeschwindigkeit des ersten Speicherabschnitts 206 sein. Eine Speicherkapazität des zweiten Speicherabschnitts 208 ist vorzugsweise größer als die Speicherkapazität des ersten Speicherabschnitts 206 und gleich der Speicherkapazität der geprüften Vorrichtung 20.
Die Prüfvorrichtung 100 kann wirksam betrieben werden, indem der Fehleranalysespeicher 108 so konfiguriert ist durch den ersten Speicherabschnitt 206 zum aufeinander folgenden Speichern der Ausfalladressenwerte und der Ausfalldatenwerte folgend den Prüfungen und dem zweiten Speicherabschnitt 208 zum Speichern der Ausfalldatenwerte durch Auslesen aus dem ersten Speicherabschnitt 206 nach Beendigung der Prüfung. D.h., parallel zu der Operation des ersten Speicherabschnitts 206, bei der aufeinander folgend die Ausfalldatenwerte gespeichert werden, kann der zweite Speicherabschnitt 208 initialisiert werden. Darüber hinaus kann parallel zu der Operation des ersten Speicherabschnitts 206, bei der aufeinander folgend die Ausfalldatenwerte gespeichert werden, die Analysevorrichtung 110 die Ausfalldatenwerte aus dem zweiten Speicherabschnitt 208 auslesen und diese analysieren. Weiterhin kann, da der zweite Speicherabschnitt 208 die Ausfalldatenwerte in demselben Zustand mit dem herkömmlichen Fehleranalysespeicher speichert, die Analysevorrichtung 110 die geprüfte Vorrichtung 20 analysieren, indem dieselbe Software und andere mit den herkömmlichen verwendet werden.
3 zeigt eine zweite beispielhafte Struktur des Fehleranalysespeichers 108 nach dem Ausführungsbeispiel. Der Fehleranalysespeicher nach diesem Beispiel hat die Adressenformatierungsvorrichtung 200, mehrere Adressenerzeugungsabschnitte 202a, und 202b, die Schreibsteuervorrichtung 204, mehrere erste Speicherabschnitte 206a, und 206b, den zweiten Speicherabschnitt 208 und den Multiplexer 210. Die Struktur und die Arbeitsweise des Fehleranalysespeichers 108 nach diesem Beispiel sind dieselben wie die Struktur und die Arbeitsweise des Fehleranalysespeichers 108 bei dem in 2 gezeigten ersten Beispiel mit der Ausnahme der nachfolgend erläuterten, so dass ihre Erläuterung teilweise weggelassen wird. Es ist festzustellen, dass die Adressenerzeugungsabschnitte 202a und 202b dieselbe Funktion wie der Adressenerzeugungsabschnitt 202 haben und die ersten Speicherabschnitte 206a und 206b dieselbe Funktion wie der erste Speicherabschnitt 206 haben.
Die Adressenformatierungsvorrichtung 200 empfängt das Adressensignals von dem Mustergenerator 102 und liefert es zu den ersten Speicherabschnitten 206a und 206b. Wenn die Schreibsteuervorrichtung 104 das Ausfallsignal von dem logischen Komparator 106 empfängt, gibt sie einen INC-Befehl zu den Adressenerzeugungs abschnitten 202a und 202b, einen Schreibbefehl zu dem ersten Speicherabschnitt 206a oder 206b und einen Auswahlbefehl zu dem Multiplexer 210 aus. Entsprechend dem INC-Befehl von der Schreibsteuervorrichtung 204 zählt der Adressenerzeugungsabschnitt 202a Adressen und gibt diese aus, damit sie zu dem ersten Speicherabschnitt 206a geführt werden. Entsprechend dem INC-Befehl von der Schreibsteuervorrichtung 204 zählt der Adressenerzeugungsabschnitt 202b auch Adressen und gibt diese aus, damit sie zu dem ersten Speicherabschnitt 206a geführt werden.
Die mehreren ersten Speicherabschnitte 206a und 206b speichern die Ausfalladressenwerte und Ausfalldatenwerte aufeinander folgend in verschiedenen Adressenbereichen auf der Grundlage der von den Adressenerzeugungsabschnitten 202a und 202b erzeugten Adressen als Sätze von Daten durch die Verschachtelungsoperation. Genauer gesagt, die mehreren ersten Speicherabschnitte 206a und 206b speichern die Ausfalladressenwerte und die Ausfalldatenwerte aufeinander folgend auf der Grundlage der Steuerung durch die Schreibsteuervorrichtung 204. Entsprechend dem Auswahlbefehl der Schreibsteuervorrichtung 204 liest der Multiplexer 210 den Satz aus dem Ausfalladressenwert und dem Ausfalldatenwert aus dem ersten Speicherabschnitt 206a oder 206b und führt sie zu dem zweiten Speicherabschnitt 208.
Bei einem anderen Beispiel hält der erste Speicherabschnitt 206a die Ausfalladressenwerte und die Ausfalldatenwerte zuerst aufeinander folgen. Dann steuert, wenn eine verbleibende Speichergröße des ersten Speicherabschnitts 206 unter einen vorbestimmten Pegel fällt, die Schreibsteuervorrichtung 204 den ersten Speicherabschnitt 206b so, dass er die Ausfallad ressenwerte und Ausfalldatenwerte anstelle des ersten Speicherabschnitts 206a hält, und dann hält der erste Speicherabschnitt 206b aufeinander folgend die Ausfalladressenwerte und Ausfalldatenwerte. Der zweite Speicherabschnitt 208 kann die Daten aus dem ersten Speicherabschnitt 206a lesen und sie speichern, während der Schreibvorgang von dem ersten Speicherabschnitt 206a zu dem ersten Speicherabschnitt 206b verschoben wird, und der erste Speicherabschnitt 206b speichert die Ausfalladressenwerte und Ausfalldatenwerte. Hierdurch wird ermöglicht, dass die zum Speichern von Daten aus den ersten Speicherabschnitten 206a und 206b in dem zweiten Speicherabschnitt 208 benötigte Zeit nach der Beendigung der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 verkürzt wird.
4 zeigt eine erste beispielhafte Struktur des Adressenerzeugungsabschnitts 202 nach dem Ausführungsbeispiel. Der Adressenerzeugungsabschnitt 202 nach diesem Beispiel hat einen Datenzählabschnitt 300, einen Datenanzahl-Halteabschnitt 302 und einen Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304. Der Datenzählabschnitt 300 bestimmt Adressen in dem ersten Speicherabschnitt 206, um die Ausfalldatenwerte in den ersten Speicherabschnitt 206 zu schreiben, während er eine Anzahl von gespeicherten Werten zählt, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeicherten Ausfalldatenwerte ist. Dann empfängt nach der Beendigung der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 der Datenanzahl-Halteabschnitt 302 die von dem Datenzählabschnitt 300 während der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 gezählte gespeicherte Anzahl und hält diese.
Als Nächstes bestimmt der Datenzählabschnitt 300, nachdem er initialisiert ist, die Adressen in dem ersten Speicherabschnitt 206, um zu bewirken, dass der erste Speicherabschnitt 206 die Ausfalldatenwerte ausgibt, während eine Anzahl von Ausfalldatenwerten gezählt wird, die von dem zweiten Speicherabschnitt 208 gelesen und in diesem gespeichert wurden, wenn der zweite Speicherabschnitt 208 die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gehaltenen Ausfalldatenwerte liest und hält. Der Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 vergleicht die gespeicherte Anzahl, die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt 300 gehalten wird, mit einer Anzahl von gelesenen Werten, die von dem Datenzählabschnitt 300 gezählt werden. Dann erzeugt, wenn die gespeicherte Anzahl mit der gelesenen Anzahl übereinstimmt, der Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 ein Stoppsignal zum Anhalten des Prozesses des zweiten Speicherabschnitts 208 zum Lesen des Ausfalldatenwertes aus dem ersten Speicherabschnitt 206 und liefert ihn zu dem Datenzählabschnitt 300.
Bei Empfang des von dem Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 erzeugten Stoppsignals hält der Datenzählabschnitt 300 das Zählen der gelesenen Anzahl an, d.h., das Zählen der Adressen in dem ersten Speicherabschnitt 206. Er hält dann die Operation des zweiten Speicherabschnitts 208 zum Lesen der Ausfalldatenwerte aus dem ersten Speicherabschnitt 206 an. Demgemäß kann der zweite Speicherabschnitt 208 nur die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeicherten Ausfalldatenwerte lesen und schreiben, und er kann zusätzliche Lese- und Schreibvorgänge weglassen, wodurch die Zeit verkürzt, die zum Speichern von Daten aus den ersten Speicherabschnitten 206a und 206 in den zweiten Speicherabschnitt 208 benötigt wird.
Darüber hinaus kann bei einem anderen Beispiel der Datenanzahl-Halteabschnitt 302 eine erforderliche Speicheranzahl halten, die eine Anzahl von in dem ersten Speicherabschnitt 206 zu speichernden Ausfalldatenwerten ist. Dann bestimmt der Datenzählabschnitt 300 Adressen in dem ersten Speicherabschnitt 206, um die Ausfalldatenwerte in den ersten Speicherabschnitt 206 zu schreiben, während die gespeicherte Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeicherten Ausfalldatenwerte gezählt wird. Der Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 vergleicht die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt 300 gehaltene erforderliche Speicheranzahl mit der von dem Datenzählabschnitt 300 gezählten gespeicherten Anzahl. Dann erzeugt, wenn die erforderliche Speicheranzahl mit der gespeicherten Anzahl übereinstimmt, der Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 das Stoppsignal, um den Vorgang des ersten Speicherabschnitts 206 zum Schreiben des Ausfalldatenwertes anzuhalten, und führt diesen zu dem Datenzählabschnitt 300. Bei Empfang des von dem Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 erzeugten Stoppsignals hält der Datenzählabschnitt 300 das Zählen der gespeicherten Anzahl an, d.h., das Zählen von Adressen, mit Bezug auf den ersten Speicherabschnitt 206. Er hält den Vorgang des ersten Speicherabschnitts 206 zum Schreiben des Ausfalldatenwertes an.
Die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 wird in einem Zustand durchgeführt, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt 302 die erforderliche Speicheranzahl hält, die größer ist als eine speicherbare Anzahl, die eine Anzahl von Ausfalldatenwerten ist, die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeichert werden können. Hierdurch speichert der erste Speicherabschnitt 206, nachdem die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl gespeichert wurden, die Ausfalldatenwerte, die nach dem Überschreiten der speicherbaren Anzahl erhalten wurden, durch Überschreiben der Ausfalldatenwerte, die vor dem Überschreiten der speicherbaren Anzahl erhalten und gespeichert wurden. Dann liest nach Beendigung der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 der zweite Speicherabschnitt 208 die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeicherten Ausfalldatenwerte und speichert diese.
Hier ist, da die überschriebenen Ausfalldatenwerte in den ersten Speicherabschnitt 206 gespeichert sind, der zweite Speicherabschnitt 208 nicht in der Lage, den Teil der Ausfalldatenwerte zu erhalten, die vor dem Überschreiben in den ersten Speicherabschnitt 206 gespeichert wurden. Dann wird die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 wieder in einem Zustand durchgeführt, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt 302 eine Anzahl unterhalb der speicherbaren Anzahl und oberhalb der Anzahl der überschriebenen Ausfalldatenwerte als eine erforderliche mögliche Anzahl hält. Hierdurch speichert der erste Speicherabschnitt 206 weiter Ausfalldatenwerte der erforderlichen Speicheranzahl. Dann liest nach der Beendigung der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 der zweite Speicherabschnitt 208 wieder die in dem ersten Speicherabschnitt 206 weiter gespeicherten Ausfalldatenwerte und speichert diese. Ein derartiges Verfahren ermöglicht es, mehr Daten als diejenigen der Ausfalldatenwerte, die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeichert werden können, leicht zu erhalten.
5 zeigt eine zweite beispielhafte Struktur des Adressenerzeugungsabschnitts 202 nach dem Ausführungsbeispiel. Der Adressenerzeugungsabschnitt 202 nach diesem Beispiel hat Datenzählabschnitt 300a und 300b, den Datenanzahl-Halteabschnitt 302 und den Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304.
Der Datenzählabschnitt 300a zählt eine erzeugte Anzahl, die eine Anzahl von bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 erzeugten Ausfalldatenwerte ist, und liefert sie zu der Analysevorrichtung 110. Die Analysevorrichtung 110 ist ein Beispiel für einen Prüfanzahl-Berechnungsabschnitt nach der Erfindung und berechnet eine Anzahl von Malen der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20, die erforderlich ist, um alle bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 erzeugten Ausfalldatenwerte in dem zweiten Speicherabschnitt 208 zu speichern, indem die erzeugte Anzahl, die von dem Datenzählabschnitt 300a gezählt wurde, durch die speicherbare Anzahl, die die Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt 206 speicherbaren Ausfalldatenwerte ist, geteilt wird.
Die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 wird in einem Zustand durchgeführt, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt 302 die speicherbare Anzahl hält, die die Anzahl der Ausfalldatenwerte ist, die in dem ersten Speicherabschnitt 206 als eine erforderliche Speicheranzahl speicherbar ist. Der Datenzählabschnitt 300b bestimmt die Adressen in dem ersten Speicherabschnitt 206, um die Ausfalldatenwerte in den ersten Speicherabschnitt 206 zu schreiben, während die gespeicherte Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeicherten Ausfalldatenwerte gezählt wird. Der Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 vergleicht die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt 302 gehaltene erforderliche Speicheranzahl mit der von dem Datenzählabschnitt 300b gezählten gespeicherten Anzahl. Dann gibt, wenn die erforderliche Speicheranzahl mit der gespeicherten Anzahl übereinstimmt, der Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 ein Stoppsignal zum Anhalten des Vorgangs des ersten Speicherabschnitts 206 zum Schreiben des Ausfalldatenwerts aus und liefert ihn zu dem Datenzählabschnitt 300b. Bei Empfang des von dem Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt 304 erzeugten Stoppsignals hält der Datenzählabschnitt 300b das Zählen der gespeicherten Anzahl an, d.h., das Zählen von Adressen in dem ersten Speicherabschnitt 206. Er hält das Schreiben des Ausfalldatenwertes durch den ersten Speicherabschnitt 206 an. Durch die vorbeschriebenen Operationen speichert der erste Speicherabschnitt 206 die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl. Dann liest, nachdem die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 beendet ist, der zweite Speicherabschnitt 208 die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl, die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeichert sind, aus und speichert sie.
Als Nächstes wird die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 in einem Zustand durchgeführt, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt 302 das Doppelte der speicherbaren Anzahl hält, die die Anzahl von in dem ersten Speicherabschnitt 206 speicherbaren Ausfalldatenwerten ist, als eine erforderliche Speicheranzahl. Hierdurch überschreibt, nachdem die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl gespeichert wurden, der erste Speicherabschnitt 206 die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl weiter und speichert diese. Dann liest, nachdem die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 beendet ist, der zweite Speicherabschnitt 208 die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl, die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeichert sind, und speichert diese.
Hiernach liest und speichert der zweite Speicherabschnitt 208 wiederholt die in dem zweiten Speicherabschnitt 208 gespeicherten Ausfalldatenwerte durch jede speicherbare Anzahl, während wiederholt die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 durchgeführt wird, bis eine Anzahl erreicht wird, die erhalten wurde durch Multiplizieren der speicherbaren Anzahl mit der Anzahl von Malen von Prüfungen, die berechnet wurde durch die Analysevorrichtung 110 durch Erhöhen der erforderlichen Speicheranzahl, die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt 302 gehalten wird, um jede speicherbare Anzahl. Dann speichert der zweite Speicherabschnitt 208 sämtliche bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 erzeugten Ausfalldatenwerte. Ein derartiges Verfahren ermöglicht, sämtliche bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 erzeugten Ausfalldatenwerte zu erhalten, selbst wenn die Ausfalldatenwerte, die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeichert werden können, klein sind.
Obgleich der zweite Speicherabschnitt 208 wiederholt die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeicherten Ausfalldatenwerte um jede speicherbare Anzahl liest und speichert, während die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 wiederholt durchgeführt wird, indem die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt 302 gehaltene erforderliche Speicheranzahl um jede speicherbare Anzahl bei diesem Beispiel erhöht wird, kann bei einem anderen Beispiel der zweite Speicherabschnitt 208 wiederholt die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeicherten Ausfalldatenwerte um jede speicherbare Anzahl lesen und speichern, während die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 wiederholt durchgeführt wird, durch Erhöhen der in dem Datenanzahl-Halteabschnitt 302 gehaltenen erforderlichen Speicheranzahl um jede Anzahl, die kleiner als die speicherbare Anzahl ist. Darüber hinaus kann der zweite Speicherabschnitt 208 wiederholt die in den ersten Speicherabschnitt 206 gespeicherten Ausfalldatenwerte um jede speicherbare Anzahl lesen und speichern, während wiederholt die Prüfung der geprüften Vorrichtung 20 durchgeführt wird, durch Erhöhen der erforderlichen Speicheranzahl, die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt 302 gehalten wird, während die zu erhöhende Anzahl geändert wird.
Bei der Prüfvorrichtung 10 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann, da der erste Speicherabschnitt 206 die Ausfalladressenwerte und Ausfalldatenwerte aufeinander folgend als einen Satz von Daten speichert und die Speicherkapazität effektiv und aktiv verwendet, die Anzahl der ersten Speicherabschnitte 206 verringert werden. Darüber hinaus kann, da der Satz aus den Ausfalladressenwerten und den Ausfalldatenwerten, die in dem ersten Speicherabschnitt 206 gespeichert sind, in dem zweiten Speicherabschnitt 208 entwickelt wird und die Ausfalldaten werden in demselben Zustand mit dem herkömmlichen Fehleranalysespeicher gespeichert werden, die Analysevorrichtung 110 die geprüfte Vorrichtung 20 analysieren durch Verwendung derselben Software und anderen mit den herkömmlichen.
Obgleich die Erfindung im Wege beispielhafter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann, ohne den Geist und den Bereich der Erfindung zu verlassen. Es ist anhand der Definition der angefügten Ansprüche offensichtlich, dass die Ausführungsbeispiele mit derartigen Modifikationen auch zu dem Bereich der Erfindung gehören.
GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, ist die Erfindung in der Lage, eine Prüfvorrichtung zu liefern, die die Prüfung der geprüften Vor richtung 20, deren Arbeitsgeschwindigkeit hoch ist, mit einem geringen Umfang und niedrigen Kosten realisieren kann.
Zusammenfassung:
Die Prüfvorrichtung nach der Erfindung hat einen Mustergenerator zum Erzeugen eines Adressensignals und eines zu einer zu prüfenden Vorrichtung zu liefernden Prüfsignals sowie eines Signals für einen erwarteten Wert, der von der geprüften Vorrichtung, zu der das Prüfsignal geliefert wurde, auszugeben ist, einen logischen Komparator zum Vergleichen eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangswertes mit dem Signal für den erwarteten Wert und zum Erzeugen eines Ausfallsignals, wenn diese nicht übereinstimmt, und einen Fehleranalysespeicher zum Speichern des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallssignals. Der Fehleranalysespeicher hat einen ersten Speicherabschnitt zum Speichern eines Ausfalladressenwertes, der ein Wert des von dem Mustergenerator erzeugten Adressensignals ist, und eines Ausfalldatenwertes, der ein Wert des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallsignals ist, aufeinander folgend als ein Satz von Daten, und einen zweiten Speicherabschnitt zum Lesen des Satzes aus dem Ausfalladressenwert und dem Ausfalldatenwert aus dem ersten Speicherabschnitt, um den Ausfalldatenwert an der durch den Ausfalladressenwert bestimmten Adresse zu speichern.

Claims

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen Mustergenerator zum Erzeugen eines Adressensignals und eines Prüfsignals, das zu der geprüften Vorrichtung zu liefern ist, sowie eines Signals für einen erwarteten Wert, der von der geprüften Vorrichtung, zu der das Prüfsignal geliefert wurde, auszugeben ist; einen logischen Komparator zum Vergleichen eines von der geprüften Vorrichtung entsprechend dem Prüfsignal ausgegebenen Ausgangswertes mit dem Signal für den erwarteten Wert und zum Erzeugen eines Ausfallsignals, wenn das Ausgangssignal nicht mit dem Signal für den erwarteten Wert übereinstimmt; und einen Fehleranalysespeicher zum Speichern des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallssignals in einem Adressenbereich, der durch das von dem Mustergenerator erzeugte Adressensignal bestimmt ist; wobei der Fehleranalysespeicher einen ersten Speicherabschnitt hat zum Speichern eines Ausfalladressenwertes, der ein Wert des von dem Mustergenerator erzeugten Adressensignals ist, und eines Ausfalldatenwertes, der ein Wert des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallsignals ist, aufeinander folgend in verschiedenen Adressenbereichen als ein Satz von Daten; und einen zweiten Speicherabschnitt zum Lesen des Satzes aus dem Ausfalladressenwert und dem Aus falldatenwert aus dem ersten Speicherabschnitt, um den Ausfalldatenwert in einen durch den Ausfalladressenwert bestimmten Adressenbereich zu speichern.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Fehleranalysespeicher mehrere erste Speicherabschnitte hat; und die mehreren ersten Speicherabschnitte den Ausfalladressenwert, der ein Wert des von dem Mustergenerator erzeugten Adressensignals ist, und den Ausfalldatenwert, der ein Wert des von dem logischen Komparator erzeugten Ausfallsignals ist, aufeinander folgend in verschiedenen Adressenbereichen als ein Satz von Daten durch Verschachtelungsvorgänge speichern.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der zweite Speicherabschnitt in den durch den aus dem ersten Speicherabschnitt gelesenen Ausfalladressenwert bestimmten Adressenbereich gehaltene Daten liest und die ODER-Funktion dieser Daten und des aus dem ersten Speicherabschnitt ausgelesenen Ausfalldatenwertes in dem Adressenbereich speichert, der durch den aus dem ersten Speicherabschnitt ausgelesenen Ausfalladressenwert bestimmt ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Fehleranalysespeicher einen Datenzählabschnitt hat zum Zählen einer gespeicherten Anzahl, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Anzahl der Ausfalldatenwerte ist, oder einer gelesenen Anzahl, die eine Anzahl der von dem zweiten Speicherabschnitt aus dem ersten Speicherabschnitt gelesenen und gespeicherten Ausfalldatenwerte ist; einen Datenanzahl-Halteabschnitt zum Halten der von dem Datenzählabschnitt gezählten gespeicherten Anzahl; und einen Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt zum Vergleichen der von dem Datenanzahl-Halteabschnitt gehaltenen gespeicherten Anzahl mit der gelesenen Anzahl, die von dem Datenzählabschnitt gezählt wurde, nachdem der Datenanzahl-Halteabschnitt die gespeicherte Anzahl hält und der Datenzählabschnitt initialisiert ist, und wenn die gespeicherte Anzahl mit der gelesenen Anzahl übereinstimmt, Erzeugen eines Stoppsignals zum Anhalten des Prozesses des zweiten Speicherabschnitts zum Lesen des Ausfalldatenwertes aus dem ersten Speicherabschnitt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, welche weiterhin aufweist: einen Datenzählabschnitt zum Zählen einer gespeicherten Anzahl, die eine Anzahl der in den ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte ist; einen Datenanzahl-Halteabschnitt zum Halten einer erforderlichen Speicheranzahl, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt zu speichernden Ausfalldatenwerte ist; und einen Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt zum Vergleichen der gespeicherten Anzahl, die von dem Datenzählabschnitt gezählt wurde, mit der erforderlichen Speicheranzahl, die von dem Datenanzahl-Halteabschnitt gehalten wird, und wenn die gespeicherte Anzahl mit der erforderlichen Speicheranzahl übereinstimmt, zum Erzeugen eines Stoppsignals zum Anhalten des Prozesses des ersten Speicherabschnitts zum Speichern des Ausfalldatenwertes; und wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung in einem Zustand durchgeführt wird, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt die erforderliche Speicheranzahl hält, die größer als eine speicherbare Anzahl ist, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt speicherbaren Ausfalldatenwerte ist; der erste Speicherabschnitt die Ausfalldatenwerte speichert, die erhalten wurden, nachdem die speicherbare Anzahl überschritten wurde, durch Überschreiben der Ausfalldatenwerte, die erhalten und gespeichert wurden, bevor die speicherbare Anzahl überschritten wurde, nach dem Speichern der Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl; und der zweite Speicherabschnitt die in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte liest und speichert; und danach, wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung wieder in einem Zustand durchgeführt wird, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt eine Anzahl, die geringer als die speicherbare Anzahl ist, als die erforderliche Speicheranzahl hält; der erste Speicherabschnitt die Ausfalldatenwerte der erforderlichen Speicheranzahl weiter speichert; und der zweite Speicherabschnitt die in dem ersten Speicherabschnitt weiter gespeicherten Ausfalldatenwerte liest und speichert.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, welche weiterhin aufweist: einen ersten Datenzählabschnitt zum Zählen einer erzeugten Anzahl, die eine Anzahl der bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung erzeugten Ausfalldatenwerte ist; einen Berechnungsabschnitt für eine Anzahl von Malen der Prüfung zum Berechnen einer Anzahl von Malen von Prüfungen, die für den zweiten Speicherabschnitt erforderlich sind, um alle bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung erzeugten Ausfalldatenwerte zu speichern, durch Teilen der von dem ersten Datenzählabschnitt gezählten erzeugten Anzahl mit einer speicherbaren Anzahl, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt speicherbaren Ausfalldatenwerte ist; einen Datenhalteabschnitt zum Halten einer erforderlichen Speicheranzahl, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt zu speichernden Ausfalldatenwerte ist; einen zweiten Datenzählabschnitt zum Zählen einer gespeicherten Anzahl, die eine Anzahl der in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte ist; und einen Stoppsignal-Erzeugungsabschnitt zum Vergleichen der von dem Datenanzahl-Halteabschnitt gehaltenen erforderlichen Speicheranzahl mit der von dem zweiten Datenzählabschnitt gezählten gespeicherten Anzahl, und wenn die erforderliche Speicheranzahl mit der gespeicherten Anzahl übereinstimmt, zum Erzeugen eines Stoppsignals zum Anhalten des Vorgangs des ersten Speicherabschnitts zum Speichern des Ausfalldatenwertes; und wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung in einem Zustand durchgeführt wird, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt die speicherbare Anzahl als die erforderliche Speicherzahl hält; der erste Speicherabschnitt die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl speichert; und der zweite Speicherabschnitt die in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte liest und speichert; und danach, wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung wieder in einem Zustand durchgeführt wird, in welchem der Datenanzahl-Halteabschnitt das Doppelte der speicherbaren Anzahl als die erforderliche Speicherzahl hält; der erste Speicherabschnitt durch Überschreiben der Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl weiter speichert, nachdem die Ausfalldatenwerte der speicherbaren Anzahl gespeichert wurden; und der zweite Speicherabschnitt die in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte liest und speichert; und dann der zweite Speicherabschnitt wiederholt die in dem ersten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte liest und speichert, um alle bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung erzeugten Ausfalldatenwerte zu speichern, während wiederholt die Prüfung der geprüften Vorrichtung durchgeführt wird, bis eine Anzahl erreicht wird, die durch Multiplizieren der speicherbaren Anzahl mit der Anzahl von Malen von Prüfungen erhalten wurde, durch Erhöhen der von dem Datenanzahl-Halteabschnitt gehaltenen speicherbaren Anzahl um jede speicherbare Anzahl.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der zweite Speicherabschnitt parallel zu dem Vorgang des ersten Speicherabschnitts, bei dem aufeinander folgend die Ausfalldatenwerte gespeichert werden, initialisiert wird.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Analysevorrichtung, die die in dem zweiten Speicherabschnitt gespeicherten Ausfalldatenwerte liest und analysiert, während der erste Speicherabschnitt die Ausfalldatenwerte aufeinander folgend speichert.