DE102007010712B4 - Process for making an EPD screen with an OTFT control matrix - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Herstellung eines elektrophoretischen Bildschirms (EPD) mit einer Steuermatrix aus organischen Dünnfilmtransistoren (OTFT), umfassend die Schritte: (i) Bereitstellen eines EPD-Moduls (10) mit einer Vielzahl von EPD-Einheiten (14), die auf einem gemeinsamen Substrat (12) angeordnet sind und je eine kapazitiv im optischen Verhalten schaltbare Zelle umfassen; (ii) Auftragen von Pixelelektroden (21) auf dem EPD-Modul (10), wobei jede Pixelelektrode (21) so ausgelegt und auf dem EPD-Modul (10) angeordnet ist, dass beim Anlegen einer Spannung das optische Verhalten ein oder mehrerer Zellen der EPD-Einheiten (14) beeinflussbar ist; und (iii) Erstellen der OTFT-Steuermatrix (20) durch direktes Auftragen von OTFT-Funktionsschichten auf der die Pixelelektroden (21) tragenden Seite des EPD-Moduls (10).A method of manufacturing an electrophoretic screen (EPD) with a control matrix of organic thin film transistors (OTFT), comprising the steps: (i) providing an EPD module (10) with a plurality of EPD units (14), which are on a common substrate (12) are arranged and each comprise a cell which can be switched capacitively in optical behavior; (ii) applying pixel electrodes (21) to the EPD module (10), each pixel electrode (21) being designed and arranged on the EPD module (10) in such a way that when a voltage is applied, the optical behavior of one or more cells the EPD units (14) can be influenced; and (iii) creating the OTFT control matrix (20) by directly applying OTFT functional layers on the side of the EPD module (10) carrying the pixel electrodes (21).

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektrophoretischen Bildschirms (EPD) mit einer OTFT-Steuermatrix.The invention relates to a method for producing an electrophoretic display screen (EPD) with an OTFT control matrix.

Technologischer Hintergrund und Stand der TechnikTechnological background and state of the art

Elektrophoretische Bildschirme (EPD: Electrophoretic Display) stellen einen neuen reflektiven Bildschirmtyp dar, dessen Bildgebungsmechanismus im Wesentlichen auf der wechselnden Anordnung geladener farbiger Partikel oder Flüssigkeiten in einer Dispersion oder einem mehrphasigen System durch Anlegen eines elektrischen Feldes beruht. Kommerzielle Beispiele umfassen Partikel-Systeme der Firmen E-Ink und Sipix, „Liquid Powder” der Firma Bridgestone und „Electrowetting” der Firma Liqua Vista. Die EPDs werden alle kapazitiv angesteuert, d. h. sie enthalten eine kapazitiv im optischen Verhalten schaltbare Zelle. Zur kapazitiven Schaltung ist jeder dieser Zellen eine Pixelelektrode zugeordnet. Beim Anlegen einer Spannung an die Pixelelektrode ist so das optische Verhalten ein oder mehrerer Zellen beeinflussbar. Zur Illustration der Funktionsweise wird im Folgenden auf ein EPD mit einem Partikel-System näher eingegangen. Die Erfindung betrifft jedoch allgemein alle kapazitiv schaltbaren EPDs und ist nicht auf die nachfolgend erläuterte Ausführungsform beschränkt.Electrophoretic displays (EPDs) represent a new type of reflective screen whose imaging mechanism relies essentially on the alternating arrangement of charged colored particles or liquids in a dispersion or multi-phase system by applying an electric field. Commercial examples include particle systems from E-Ink and Sipix, "Liquid Powder" from Bridgestone, and "Electrowetting" from Liqua Vista. The EPDs are all capacitively driven, i. H. they contain a capacitive switchable in optical behavior cell. For capacitive switching, each of these cells is assigned a pixel electrode. When applying a voltage to the pixel electrode so the optical behavior of one or more cells can be influenced. To illustrate the mode of operation, an EPD with a particle system is described in more detail below. However, the invention generally relates to all capacitively switchable EPDs and is not limited to the embodiment explained below.

Ein EPD beinhaltet eine Vielzahl einzelner EPD-Einheiten, die in einfachster Ausführung zumindest jeweils eine Zelle umfassen, die mit der Dispersion aus den geladenen Teilchen und einem geeigneten Lösungsmittel befüllt ist. Zur Schaltung ist jeder Zelle zumindest eine Pixelelektrode zugeordnet, die so ausgelegt und angeordnet ist, dass beim Anlegen einer Spannung eine Ausrichtung der geladenen Partikel in Feldrichtung erfolgt. Der Schaltmechanismus ist demnach kapazitiv und die Partikel wandern in Gegenwart eines elektromagnetischen Feldes in Richtung der Pixelelektrode und lagern sich dort an. Die gebildete Schicht ist nun so beschaffen, dass sie nicht mehr für Licht transparent ist, während die Dispersion mit frei verteilten Partikeln eine Transmission von Licht zulässt. Die relativ robust realisierbare Technologie erlaubt die Herstellung hochgradig flexibler Bildschirme, beispielsweise in Form elektronischer Zeitungen, eignet sich aber auch als bildgebende Komponente in einer Vielzahl elektronischer Produkte, wie beispielsweise Laptops oder Mobilfunkgeräten.An EPD comprises a multiplicity of individual EPD units, which in the simplest form comprise at least one cell in each case, which is filled with the dispersion of the charged particles and a suitable solvent. For the purpose of the circuit, each cell is assigned at least one pixel electrode which is designed and arranged such that when the voltage is applied, the charged particles are aligned in the field direction. The switching mechanism is therefore capacitive and the particles migrate in the presence of an electromagnetic field in the direction of the pixel electrode and are deposited there. The layer formed is now such that it is no longer transparent to light, while the dispersion with freely distributed particles allows a transmission of light. The relatively robustly realizable technology allows the production of highly flexible screens, for example in the form of electronic newspapers, but is also suitable as an imaging component in a variety of electronic products, such as laptops or mobile devices.

Im EPD sind eine Vielzahl von EPD-Einheiten auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet. Dieses Bauteil des EPDs wird nachfolgend auch als EPD-Modul bezeichnet. Auf dem EPD-Modul werden die Pixelelektroden aufgetragen. Zur Steuerung der Aktivität der Vielzahl der EPD-Einheiten des EPD-Moduls bedarf es der Bereitstellung einer komplexen Steuerschaltung.In the EPD, a plurality of EPD units are arranged on a common substrate. This component of the EPD is also referred to below as the EPD module. The pixel electrodes are applied to the EPD module. Controlling the activity of the plurality of EPD units of the EPD module requires the provision of a complex control circuit.

Bei kleinen EPDs kann die Steuerung über eine sogenannte Passivmatrix (PM: Passive Matrix) erfolgen: Ein bestimmtes Pixel wird durch das Anlegen einer Spannung an eine Zeile und Spalte angesteuert, wofür zwei Leitungen notwendig sind. Für große Displays ist diese Methode jedoch nicht ausreichend; zur Steuerung muss eine Aktivmatrix (AM: Active Matrix) eingesetzt werden, bei der jeder Bildpunkt (Pixel) einzeln über zumindest einen eigenen Transistor adressiert wird. Jeder einzelne Bildpunkt besitzt demnach einen aktiven Verstärker, beispielsweise in Form eines Dünnschichttransistors (TFT: Thin Film Transistor). Der jedem Bildpunkt zugeordnete Verstärker hat zwei wichtige Funktionen. Zum einen sinkt die Steuerspannung eines Bildpunktes mit Zunahme der verwendeten Zeilen- und Spaltenanzahl einer Pixelmatrix. Daher sind passive Matrizen in der Größe begrenzt. Ein Verstärker jedoch kann diese Spannung auf den zum Schalten der Zelle benötigten Wert erhöhen. Zum anderen führen die stetige Erhöhung der Spalten- und Zeilenzahlen und die Verringerung der Bildpunktgrößen zu einer Erhöhung der parasitären Kapazitäten eines Bildpunktes. Um die oft nötige hohe Bildwechselfrequenz zu erreichen, darf die Kapazität jedoch keine Verringerung der Umschaltgeschwindigkeit hervorrufen. Ein lokaler Verstärker mit separater Stromversorgungsleitung kann mit kurzen, starken Stromimpulsen die schnelle Umschaltung garantieren.In the case of small EPDs, the control can take place via a so-called passive matrix (PM): A specific pixel is activated by applying a voltage to a row and column, which requires two lines. However, this method is not sufficient for large displays; To control an active matrix (AM: Active Matrix) must be used, in which each pixel (pixel) is addressed individually via at least one own transistor. Each individual pixel therefore has an active amplifier, for example in the form of a thin-film transistor (TFT). The amplifier assigned to each pixel has two important functions. On the one hand, the control voltage of a pixel decreases as the number of rows and columns used in a pixel matrix increases. Therefore, passive matrices are limited in size. However, an amplifier can increase this voltage to the value needed to switch the cell. On the other hand, the continuous increase in the number of columns and lines and the reduction in pixel sizes lead to an increase in the parasitic capacitances of a pixel. However, in order to achieve the often required high frame rate, the capacitance must not cause a reduction in the switching speed. A local amplifier with separate power supply line can guarantee fast switching with short, strong current pulses.

Organische Dünnfilmtransistoren (OTFT: OrganicThin Film Transistor) sind seit der Entdeckung und Entwicklung organischer Halbleitermaterialien zunehmend in den Fokus der Entwicklung miniaturisierter elektronischer Bauelemente gerückt. In seiner einfachsten Ausformung umfasst ein OTFT eine leitfähige Gate-Elektrode, die mit einem dünnen dielektrischen Film bedeckt ist an den sich eine Schicht aus dem aktiven organischen Halbleitermaterial anschließt. Als Halbleitermaterialien werden in der Regel kleinere Moleküle und Oligomere, wie Pentacene und Polythiophene eingesetzt. Die Halbleiterschicht hat eine Dicke von wenigen 10 nm und wird seitlich von den Source- und Drain-Elektroden begrenzt. In der Längserstreckung misst die Halbleiterschicht wenige 100 nm. Das organische Halbleitermaterial liegt idealerweise in monokristalliner Form vor, jedoch können auch polykristalline oder amorphe Filme auf Grund ihrer wesentlich kostengünstigeren Herstellungsweise Einsatz finden.Organic thin-film transistors (OTFT: OrganicThin Film Transistor) have increasingly become the focus of the development of miniaturized electronic devices since the discovery and development of organic semiconductor materials. In its simplest form, an OTFT comprises a conductive gate electrode which is covered with a thin dielectric film which is followed by a layer of the active organic semiconductor material. Smaller molecules and oligomers, such as pentacenes and polythiophenes, are generally used as semiconductor materials. The semiconductor layer has a thickness of a few 10 nm and is bounded laterally by the source and drain electrodes. In the longitudinal direction, the semiconductor layer measures a few 100 nm. The organic semiconductor material is ideally present in monocrystalline form, but also polycrystalline or amorphous films can be used due to their much cheaper production.

Die Herstellung von OTFTs lässt sich sehr kostengünstig realisieren, z. B. in Anlehnung an die bereits bestehenden Technologien zur Herstellung von Kunststoff-Mikrostrukturen, wie insbesondere dem Tintenstrahldruckverfahren (inkjetprinting). Der zur Herstellung von OTFTs in der Praxis bedeutendste Ansatz zur Herstellung der organischen Halbleiterschicht dürfte der Tintenstrahldruck sein, bei dem ein aus dem organischen Halbleitermaterial bestehendes oder diese enthaltene Tinte selektiv in einem bestimmten Bereich des Substrates aufgebracht wird. Auf das EPD-Modul werden erfindungsgemäß die Pixelelektroden sowie die weiteren OTFT-Schichten aufgetragen. Im Stand der Technik werden ein EPD-Modul und das OTFT-Modul inklusive Pixelelektroden laminiert. In US 6 312 304 B1 befindet sich zwischen dem EPD-Modul und dem OTFT-Modul eine separate Schaltungsschicht.The production of OTFTs can be realized very inexpensively, for. B. based on the existing technologies for the production of plastic microstructures, such as in particular the inkjet printing process (inkjet printing). The one for the production of OTFTs in practice The most important approach for producing the organic semiconductor layer is believed to be inkjet printing, in which an ink consisting of or consisting of the organic semiconductor material is selectively deposited in a certain area of the substrate. The pixel electrodes and the further OTFT layers are applied to the EPD module according to the invention. In the prior art, an EPD module and the OTFT module including pixel electrodes are laminated. In US 6 312 304 B1 There is a separate circuit layer between the EPD module and the OTFT module.

EPD-Module sind mittlerweile kommerziell von verschiedenen Herstellern erhältlich. Die EPD-Module müssen zur Herstellung des einsatzbereiten EPDs mit Pixelelektroden und mit einer geeigneten Steuermatrix, insbesondere eben einer OTFT-Steuermatrix, versehen werden. Dazu wird im Stand der Technik ein OTFT-Modul verwendet, das mit dem EPD-Modul mit aufgetragenen Pixelelektroden über einen Laminierungsprozess verbunden wird. Das OTFT-Modul beinhaltet eine Vielzahl von OTFT-Einheiten, die auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet sind. Die beiden Module müssen beim Laminieren so zueinander ausgerichtet werden, dass die gewünschte elektrische Konnektivität zwischen den Pixelelektroden und damit der Vielzahl von EPD-Einheiten und den die Aktivität steuernden OTFT-Einheiten erstellt wird. Dies erfordert in der Regel Strukturen, die ein korrektes Ausrichten der Module zueinander unterstützen. Die Erstellung solcher Strukturen als auch der Prozess des Ausrichtens der beiden Module verursacht Kosten und stellt eine Fehlerquelle dar, die den Ausschuss erhöhen kann.EPD modules are now commercially available from several manufacturers. The EPD modules must be provided with pixel electrodes and with a suitable control matrix, in particular just an OTFT control matrix, to produce the ready-to-use EPD. For this purpose, an OTFT module is used in the prior art, which is connected to the EPD module with applied pixel electrodes via a lamination process. The OTFT module includes a plurality of OTFT units arranged on a common substrate. The two modules must be aligned in lamination so that the desired electrical connectivity between the pixel electrodes and thus the plurality of EPD units and the activity controlling OTFT units is created. This usually requires structures that support correct alignment of the modules to each other. The creation of such structures as well as the process of aligning the two modules incurs costs and presents a source of error that can increase rejects.

Bei der Herstellung der OTFT-Steuermatrix auf einer gesonderten Substratfolie entstehen weitere Nachteile: 1) Es gibt immer einige Temperaturschritte im Prozess, die zu einer unkontrollierbaren Verformung und Ausdehnung der Substratfolie führen. Diese leicht verformte Folie lässt sich dann nur ungenau mit dem EPD-Modul kombinieren, d. h. Ausbeute, Qualität und Reproduzierbarkeit des Fertigungsprozesses sind verringert. 2) Beim Laminieren der beiden Module (EPD-Modul und OTFT-Modul) wird zusätzlich Druck benötigt. Dieser Druck kann die empfindlichen Transistoren beschädigen.Further disadvantages arise in the production of the OTFT control matrix on a separate substrate film: 1) There are always a few temperature steps in the process which lead to an uncontrollable deformation and expansion of the substrate film. This slightly deformed film can then be inaccurately combined with the EPD module, d. H. The yield, quality and reproducibility of the manufacturing process are reduced. 2) When laminating the two modules (EPD module and OTFT module) additional pressure is required. This pressure can damage the sensitive transistors.

Ferner beinhaltet das Laminieren in der Regel auch das Auftragen eines Haftvermittlers zwischen den Modulen sowie eine in der Regel thermische Behandlung zum Aushärten des Haftvermittlers. Zum einen sind die Maßnahmen wiederum mit Kosten für Materialen und Prozessführung verbunden und eine weitere potentielle den Ausschuss erhöhende Fehlerquelle. Zum anderen sind gerade die organischen Halbleiterschichten des OTFTs temperaturempfindlich und können durch die thermische Behandlung in ihrer Funktionalität beschränkt sein.Furthermore, the lamination usually also includes the application of an adhesion promoter between the modules as well as a generally thermal treatment for curing the adhesion promoter. On the one hand, the measures are in turn associated with costs for materials and litigation, and another potential source of error that increases rejects. On the other hand, it is precisely the organic semiconductor layers of the OTFT that are temperature-sensitive and can be limited in their functionality by the thermal treatment.

US 6 778 312 B2 beschriebt eine Fertigungsverfahren, bei dem auf dem Substrat Pixelelektroden aufgebracht und Bohrungen geätzt werden. Anschließend wird der Dünnfilmtransistor direkt auf der Schaltung erstellt. Dann wird ein weiteres transparentes Substrat mit transparenter Elektrode aufgesetzt und in den entstehenden Zwischenraum die elektrophoretische Dispersion gefüllt. US Pat. No. 6,778,312 B2 describes a manufacturing process in which applied to the substrate pixel electrodes and holes are etched. Subsequently, the thin film transistor is created directly on the circuit. Then, another transparent substrate is placed with a transparent electrode and filled in the resulting gap, the electrophoretic dispersion.

Es besteht demnach ein Bedarf nach Alternativen, die die genannten Nachteile des bisherigen Fertigungsverfahrens überwinden.There is therefore a need for alternatives that overcome the disadvantages of the previous manufacturing process.

Zusammenfassung der ErfindungSummary of the invention

Die Erfindung betrifft eine Verfahren zur Herstellung eines elektrophoretischen Bildschirms (EPD) mit einer OTFT-Steuermatrix. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst die Schritte:

  • (i) Bereitstellen eines EPD-Moduls mit einer Vielzahl von EPD-Einheiten, die auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet sind und je eine kapazitiv im optischen Verhalten schaltbare Zelle umfassen;
  • (ii) Auftragen von Pixelelektroden auf dem EPD-Modul, wobei jede Pixelelektrode so ausgelegt und auf dem EPD-Modul angeordnet ist, dass beim Anlegen einer Spannung das optische Verhalten ein oder mehrerer Zellen der EPD-Einheiten beeinflussbar ist; und
  • (iii) Erstellen der OTFT-Steuermatrix durch direktes Auftragen von OTFT-Funktionsschichten auf der die Pixelelektroden tragenden Seite des EPD-Moduls.
The invention relates to a method for producing an electrophoretic display screen (EPD) with an OTFT control matrix. The method according to the invention comprises the steps:
  • (I) providing an EPD module with a plurality of EPD units, which are arranged on a common substrate and each comprise a capacitive in the optical behavior switchable cell;
  • (ii) applying pixel electrodes on the EPD module, each pixel electrode being arranged and arranged on the EPD module such that upon application of a voltage, the optical behavior of one or more cells of the EPD units can be influenced; and
  • (iii) Create the OTFT control matrix by directly applying OTFT functional layers to the EPD module's side carrying the pixel electrodes.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zu Grunde, dass mit der genannten Verfahrensführung ein Verzicht auf die herkömmliche Laminierung von EPD-Modul und OTFT-Modul möglich ist und damit auch die damit geschilderten Nachteile des herkömmlichen Verfahrens vermieden werden können. Das Verfahren geht zunächst von einem konventionellen EPD-Modul aus, das quasi das Substrat für die OTFT-Steuermatrix bildet. Auf dem kommerziell erhältlichen EPD-Modul werden in einem an sich bekannten Zwischenschritt die Pixelelektroden aufgebracht. Die OTFT-Steuermatrix wird anschließend in an sich bekannter Verfahrensweise schrittweise, also Schicht für Schicht, direkt auf dem EPD-Modul erstellt. Dabei werden die für die OTFT-Steuermatrix notwendigen Kontakte zwischen den OTFT-Transistoren und den Pixelelektroden hergestellt. Auf die herkömmliche Ausrichtung der Module und die dafür notwendigen Mittel sowie den Prozess des Laminierens mit seinen thermischen Teilschritten und der Auftragung einer Haftvermittlerschicht kann nach der erfindungsgemäßen Verfahrensführung verzichtet werden. Dadurch kann die Fertigung wesentlich vereinfacht und der Ausschuss minimiert werden.The invention is based on the finding that with the mentioned process management a waiver of the conventional lamination of EPD module and OTFT module is possible and thus the disadvantages of the conventional method thus described can be avoided. The method initially starts with a conventional EPD module, which forms the substrate for the OTFT control matrix. On the commercially available EPD module, the pixel electrodes are applied in an intermediate step known per se. The OTFT control matrix is then created in a manner known per se step by step, ie layer by layer, directly on the EPD module. In doing so, the contacts necessary for the OTFT control matrix between the OTFT transistors and the pixel electrodes are produced. On the conventional orientation of the modules and the necessary means and the process of lamination with its thermal substeps and the application of a primer layer can be dispensed with according to the method of the invention. As a result, the production can be significantly simplified and the waste can be minimized.

Vorzugsweise umfasst der Schritt (iii) des Erstellens der OTFT-Steuermatrix das Auftragen von OTFT-Funktionsschichten, wie einer Drain-Elektrode, Source-Elektrode, Gate-Elektrode oder organischen Halbleiterschicht mittels Fotolithographie oder Tintenstrahldruck (inkjetcoating). Der Einsatz dieser Beschichtungsverfahren bietet sich insbesondere bei großflächigen EPDs an, bei denen eine große Anzahl an Schaltelementen der OTFT-Steuermatrix erstellt werden muss. Preferably, the step (iii) of creating the OTFT control matrix comprises applying OTFT functional layers such as a drain, source, gate or organic semiconductor layer by photolithography or inkjet coating. The use of these coating methods is particularly suitable for large area EPDs, where a large number of switching elements of the OTFT control matrix has to be created.

Ein weiterer Aspekt der Erfindung liegt in der Bereitstellung eines EPDs mit einer OTFT-Steuermatrix, das mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens erhalten oder erhältlich ist. Das EPD unterscheidet sich von denen herkömmlicher Ausführung schon dadurch, dass für die OTFT-Steuermatrix kein gesondertes Substrat notwendig ist und zudem auch auf eine Haftvermittlerschicht im konventionellen doppelmodularen Aufbau verzichtet werden kann. Mit anderen Worten, es können sehr viel geringere Schichtdicken realisiert werden, die in der Regel auch eine erhöhte Flexibilität des EPDs gewähren.Another aspect of the invention is to provide an EPD having an OTFT control matrix obtained or obtainable by the method of the invention. The EPD already differs from those of the conventional design in that no separate substrate is necessary for the OTFT control matrix and, moreover, it is also possible to dispense with an adhesion promoter layer in the conventional double-modular structure. In other words, much smaller layer thicknesses can be realized, which as a rule also provide increased flexibility of the EPD.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und den dazugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in more detail with reference to embodiments and the accompanying drawings. Show it:

1 eine stark vereinfachte Schnittansicht zur Illustration des Aufbaus eines erfindungsgemäßen elektrophoretischen Bildschirms (EPD); 1 a highly simplified sectional view illustrating the construction of an electrophoretic display (EPD) according to the invention;

2 und 3 zwei schematische Schnittansichten durch einen EPD mit top gate beziehungsweise bottom gate Architektur. 2 and 3 two schematic sectional views through an EPD with top gate or bottom gate architecture.

Detaillierte Beschreibung der ErfindungDetailed description of the invention

Der 1 ist eine stark vereinfachende Schnittansicht des Aufbaus eines erfindungsgemäßen elektrophoretischen Bildschirms (EPD) zu Zwecken der Illustration zu entnehmen. Das EPD beinhaltet ein EPD-Modul 10, welches wiederum ein Substrat 12, eine Gegenelektrode 13, eine EPD-Einheit 14 und eine Schutzschicht 15 umfasst. Jede EPD-Einheit 14 enthält eine Zelle, die mit einer Dispersion geladener Partikel in einem Lösungsmittel befüllt ist. Die Gegenelektrode 13 wird benötigt, um ein elektrisches Feld überhaupt aufbauen zu können und wird üblicherweise auf Masse oder ein konstantes Potential gelegt. Weiterhin ist jeder Zelle zumindest eine Pixelelektrode zugeordnet, die so ausgelegt und angeordnet ist, dass beim Anlegen einer Spannung eine Ausrichtung der geladenen Partikel in Feldrichtung erfolgt. In der Regel wird die Pixelelektrode vom Bildschirmhersteller auf der Schutzschicht 15 aufgebracht und ist, da sie je nach gewünschter Bildschirmauflösung in den Dimensionen unterschiedlich auszulegen ist, aus Gründen der Vereinfachung nicht näher dargestellt. Alle genannten Funktionselemente der EPD-Einheit 14 sowie alle weiteren, in einer solchen EPD-Einheit 14 üblicherweise vorhandenen Bauelemente sind der Übersichtlichkeit halber in der Graphik weggelassen. Da auch die Funktionsweise des EPD-Moduls 10 bekannt ist, wird zudem auf eine ausführliche Darstellung der Vorgänge der Bilderzeugung verzichtet. Für die Zwecke der Erfindung beachtlich ist lediglich, dass jeder EPD-Einheit 14 des EPD-Moduls 10 wenigstens eine in oben genannter Weise schaltbare Pixelelektrode zugeordnet ist, deren Aktivität zu steuern ist. Zu diesem Zweck ist auf der die Pixelelektroden tragenden Seite des EPD-Moduls 10 eine OTFT-Steuermatrix 20 angeordnet.Of the 1 is a highly simplified sectional view of the structure of an electrophoretic display panel (EPD) according to the invention for purposes of illustration. The EPD includes an EPD module 10 , which in turn is a substrate 12 , a counter electrode 13 , an EPD unit 14 and a protective layer 15 includes. Each EPD unit 14 contains a cell filled with a dispersion of charged particles in a solvent. The counter electrode 13 is needed to build an electric field at all and is usually grounded or at a constant potential. Furthermore, each cell is assigned at least one pixel electrode, which is designed and arranged such that, when a voltage is applied, the charged particles are aligned in the field direction. In general, the pixel electrode from the screen manufacturer on the protective layer 15 applied and, since it is interpreted differently depending on the desired screen resolution in the dimensions, not shown in detail for the sake of simplicity. All mentioned functional elements of the EPD unit 14 as well as all others, in such an EPD unit 14 Usually existing components are omitted for clarity in the graph. As well as the functioning of the EPD module 10 is known, is also dispensed with a detailed representation of the processes of image formation. For the purposes of the invention is remarkable only that each EPD unit 14 of the EPD module 10 associated with at least one switchable in the above-mentioned manner pixel electrode whose activity is to be controlled. For this purpose, on the side of the EPD module carrying the pixel electrodes 10 an OTFT control matrix 20 arranged.

Die OTFT-Steuermatrix 20 besteht aus einer Vielzahl von OTFT-Einheiten, die jeweils ein oder mehrere OTFT-Transistoren beinhalten. Ein OTFT-Transistor weist, wie bereits zuvor ausgeführt, einen schichtartigen Aufbau auf, der Funktionselemente wie eine Drain-, Source- und Gate-Elektrode sowie eine organische Halbleiterschicht zwingend umfasst. Jede OTFT-Einheit ist nun einer oder gegebenenfalls mehreren EPD-Einheiten 14 zugeordnet, d. h. ein oder mehrere OTFT-Transistoren einer OTFT-Einheit sind für die Steuerung der Aktivität einer oder mehrerer EPD-Einheiten 14 zuständig. Dazu steht mindestens eine Source- oder Drain-Elektrode eines OTFT-Transistors der OTFT-Einheit in elektrischem Kontakt mit einer Pixelelektrode. Diese Pixelelektrode kann sich durchaus über mehrere EPD-Einheiten 14 oder aber auch nur über einen Teil einer EPD-Einheit 14 erstrecken. Die Bildschirmauflösung bestimmt die Größe der Pixelelektrode. Auch auf die graphische Darstellung der die OTFT-Steuermatrix 20 beinhaltenden Bauelemente wurde aus Gründen der Übersichtlichkeit verzichtet. Der prinzipielle Aufbau einer OTFT-Steuermatrix 20 ist bekannt, so dass zudem auf eine ausführliche Darstellung der Funktionselemente, deren Herstellung und eine Darstellung der Arbeitsweise verzichtet wird. Den 2 und 3 sind zwei schematische Schnittansichten durch einen EPD mit top gate beziehungsweise bottom gate Architektur zu entnehmen. Bauelementen gleicher Funktion sind in den Figuren jeweils die gleichen Bezugszeichen zugewiesen. Die Ausschnitte der 2 und 3 zeigen je nur ein Pixel eines EPD. Die Gegenelektrode wird im Gegensatz zur Pixelelektrode nicht strukturiert und erstreckt sich über das gesamte EPD-Modul.The OTFT control matrix 20 consists of a plurality of OTFT units, each containing one or more OTFT transistors. As already explained above, an OTFT transistor has a layered structure which necessarily comprises functional elements such as a drain, source and gate electrode and an organic semiconductor layer. Each OTFT unit is now one or possibly several EPD units 14 associated, ie, one or more OTFT transistors of an OTFT unit are for the control of the activity of one or more EPD units 14 responsible. For this purpose, at least one source or drain electrode of an OTFT transistor of the OTFT unit is in electrical contact with a pixel electrode. This pixel electrode may well have multiple EPD units 14 or only part of an EPD unit 14 extend. The screen resolution determines the size of the pixel electrode. Also on the graphical representation of the OTFT control matrix 20 including components was omitted for reasons of clarity. The basic structure of an OTFT control matrix 20 is known, so that in addition to a detailed presentation of the functional elements, their production and a representation of the operation is omitted. The 2 and 3 show two schematic sectional views through an EPD with top gate or bottom gate architecture. Components having the same function are assigned the same reference numerals in the figures. The excerpts of the 2 and 3 show only one pixel of an EPD. Unlike the pixel electrode, the counter electrode is not structured and extends over the entire EPD module.

2 zeigt eine schematische Schnittansicht durch ein EPD mit einer OTFT-Steuermatrix 20, wobei die in der OTFT-Steuermatrix 20 vorhandenen OTFT-Transistoren eine in Bezug auf das EPD-Modul 10 top gate Architektur aufweisen. In dem dargestellten Ausschnitt wird das EPD-Modul 10 von einer Pixelelektrode 21 bedeckt. Die Pixelelektrode 21 kann mittels Fotolithographie, Tintenstrahldrucktechnik und anderen kommerziellen Drucktechnologien, wie Siebdruck aufgetragen werden. 2 shows a schematic sectional view through an EPD with an OTFT control matrix 20 , where in the OTFT control matrix 20 existing OTFT transistors with respect to the EPD module 10 have top gate architecture. In the section shown, the EPD module 10 from a pixel electrode 21 covered. The pixel electrode 21 can be applied by photolithography, ink jet printing and other commercial printing technologies such as screen printing.

Zur Erstellung der OTFT-Steuermatrix 20 kann wie folgt vorgegangen werden: Mittels Tintenstrahldruck wird zunächst eine Isolatorschicht 22 auf der Pixelelektrode 21 aufgetragen. In einem anschließenden Prozessschritt wird durch selektives Ätzen ein Durchbruch in der Isolatorschicht 22 erstellt, der durch Tintenstrahldruck mit einem elektrisch leitfähigen Material zur Herstellung einer die Pixelelektrode 21 kontaktierenden Drain-Elektrode 24 befüllt wird. Parallel hierzu wird eine Source-Elektrode 26 geformt Zwischen der Source- und Drain-Elektrode 24, 26 wird anschließend eine organische Halbleiterschicht 28 eingebracht, vorzugsweise ebenfalls mit Tintenstrahldruck. Die entstandene Struktur wird von einer weiteren Isolatorschicht 30 überdeckt. Dann wird eine Gate-Elektrode 32 aufgetragen, wiederum vorzugsweise mittels Tintenstrahldruck, und diese schließlich mit einer geeigneten Schutzschicht 34 verkapselt. Die Isolatorschicht 22 wird bevorzugt mit Tintenstrahldruck hergestellt, so dass auf das Ätzen verzichtet werden kann. Alternativ wird die Isolatorschicht 22 fotolithografisch strukturiert. Die Source-Drain-Elektroden 24, 26 sowie die Durchkontaktierung werden bevorzugt mittels Tintenstrahldruck hergestellt und in einem Prozessdurchlauf hergestellt. Sie können alternativ aber auch durch Fotolithografie strukturiert werden.To create the OTFT control matrix 20 can proceed as follows: By means of inkjet printing is first an insulator layer 22 on the pixel electrode 21 applied. In a subsequent process step, selective etching causes a breakdown in the insulator layer 22 created by inkjet printing with an electrically conductive material to produce a the pixel electrode 21 contacting drain electrode 24 is filled. Parallel to this is a source electrode 26 formed between the source and drain electrodes 24 . 26 then becomes an organic semiconductor layer 28 introduced, preferably also with ink jet printing. The resulting structure is characterized by a further insulator layer 30 covered. Then a gate electrode 32 applied, again preferably by ink jet printing, and this finally with a suitable protective layer 34 encapsulated. The insulator layer 22 is preferably prepared by ink jet printing, so that can be dispensed with the etching. Alternatively, the insulator layer 22 structured by photolithography. The source-drain electrodes 24 . 26 as well as the via are preferably produced by means of ink jet printing and produced in a process run. Alternatively, they can be structured by photolithography.

3 zeigt eine schematische Schnittansicht durch ein EPD mit einer OTFT-Steuermatrix 20, wobei die in der OTFT-Steuermatrix 20 vorhandenen OTFT-Transistoren eine in Bezug auf das EPD-Modul 10 bottom gate Architektur aufweisen. Alle OTFT-Funktionsschichten können in analoger Weise, wie für 2 ausgeführt, erstellt werden. 3 shows a schematic sectional view through an EPD with an OTFT control matrix 20 , where in the OTFT control matrix 20 existing OTFT transistors with respect to the EPD module 10 have bottom gate architecture. All OTFT functional layers can be used in an analogous way as for 2 executed to be created.

Durch den Einsatz von Fotolithografie kann eine höhere Bildschirmauflösung erzielt werden als beim Einsatz der Tintenstrahltechnik. Für hochauflösende Bildschirme würde man bevorzugt alle Prozesse mittels Fotolithografie durchführen (soweit es das EPD-Modul erlaubt), um dann die Halbleiterschicht 28 zu drucken. Bei der Variante nach 2 kann dann auch die Gate-Elektrode 32 gedruckt werden.Through the use of photolithography, a higher screen resolution can be achieved than with the use of inkjet technology. For high-resolution screens, it would be preferable to perform all processes by means of photolithography (as far as the EPD module allows) and then the semiconductor layer 28 to print. In the variant after 2 can then also the gate electrode 32 to be printed.

Das Substrat 12 des EPD-Moduls 10 kann aus Glas oder Kunststoff geformt sein. Insbesondere kann das Substrat aus Polyethylenterephthalat (PET), Polyethylennaphthalat (PEN), Polyethersulfon (PES), aromatischen Polyester und Polyimiden (PI) bestehen.The substrate 12 of the EPD module 10 can be made of glass or plastic. In particular, the substrate may consist of polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethersulfone (PES), aromatic polyesters and polyimides (PI).

Die Pixelelektrode 21 als auch die Elektroden 24, 26, 32 der OTFT-Steuermatrix 20 können aus einem herkömmlich für Elektroden verwendeten Material gefertigt werden. Einsatz finden kann zum Beispiel Chrom, Aluminium, Tantal, Molybdän, Kupfer, Silber, Gold, Palladium, Iridium, Nickel und Kobalt sowie deren Legierungen. Vorzugsweise werden ein Teil der Elektroden oder alle Elektroden aus einem transparenten Material geformt, wie beispielsweise Indium/Zinn-Oxid (ITO). Die Pixelelektrode 21 sollte vorzugsweise aus einem reflektierenden Material bestehen, wie zum Beispiel aus Al und Ag. Nur die Gegenelektrode 13 im EPD-Modul 10 muss transparent sein.The pixel electrode 21 as well as the electrodes 24 . 26 . 32 the OTFT control matrix 20 can be made from a material conventionally used for electrodes. For example, chromium, aluminum, tantalum, molybdenum, copper, silver, gold, palladium, iridium, nickel and cobalt and their alloys can be used. Preferably, a portion of the electrodes or all electrodes are formed of a transparent material, such as indium / tin oxide (ITO). The pixel electrode 21 should preferably be made of a reflective material, such as Al and Ag. Only the counter electrode 13 in the EPD module 10 must be transparent.

Die organische Halbleiterschicht 28 kann beispielsweise aus Polymeren, wie Poly(3-alkylthiophen), Poly(3-hexylthiophen) (P3HT), Poly(3-octylthiophen), Poly(2,5-thienylenvinylen) (PTV) oder Poly(paraphenylenvinylen) (PPV) bestehen. Ebenso ist der Einsatz molekularer organischer Halbleitermaterialen, wie Anthracen, Pentacen, Hexacen oder Tetracen, denkbar. Weiterhin sind funktionalisierte und lösliche Pentacene-Materialien, wie Triisopropylsilyl (TIPS) und Trimethylsilyl (TMS) Derivate, anwendbar.The organic semiconductor layer 28 may for example consist of polymers such as poly (3-alkylthiophene), poly (3-hexylthiophene) (P3HT), poly (3-octylthiophene), poly (2,5-thienylenevinylene) (PTV) or poly (paraphenylenevinylene) (PPV) , Likewise, the use of molecular organic semiconductor materials, such as anthracene, pentacene, hexacene or tetracene, conceivable. Furthermore, functionalized and soluble pentacene materials, such as triisopropylsilyl (TIPS) and trimethylsilyl (TMS) derivatives, are applicable.

Für die Isolatorschichten 22, 30 können organische Materialien, wie beispielsweise Polyolefine, Polyacrylate, Polyimide, Polystyrole und Polyisobutylene, Einsatz finden. Auch anorganische Materialien, wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Aluminiumoxid, Tantaloxid und dergleichen, können verwendet werden.For the insulator layers 22 . 30 For example, organic materials such as polyolefins, polyacrylates, polyimides, polystyrenes, and polyisobutylenes can be used. Also, inorganic materials such as silicon dioxide, silicon nitride, alumina, tantalum oxide and the like can be used.

Claims (2)

Verfahren zur Herstellung eines elektrophoretischen Bildschirms (EPD) mit einer Steuermatrix aus organischen Dünnfilmtransistoren (OTFT), umfassend die Schritte: (i) Bereitstellen eines EPD-Moduls (10) mit einer Vielzahl von EPD-Einheiten (14), die auf einem gemeinsamen Substrat (12) angeordnet sind und je eine kapazitiv im optischen Verhalten schaltbare Zelle umfassen; (ii) Auftragen von Pixelelektroden (21) auf dem EPD-Modul (10), wobei jede Pixelelektrode (21) so ausgelegt und auf dem EPD-Modul (10) angeordnet ist, dass beim Anlegen einer Spannung das optische Verhalten ein oder mehrerer Zellen der EPD-Einheiten (14) beeinflussbar ist; und (iii) Erstellen der OTFT-Steuermatrix (20) durch direktes Auftragen von OTFT-Funktionsschichten auf der die Pixelelektroden (21) tragenden Seite des EPD-Moduls (10).Method for producing an electrophoretic display screen (EPD) with a control matrix of organic thin-film transistors (OTFT), comprising the steps: (i) providing an EPD module ( 10 ) with a plurality of EPD units ( 14 ) on a common substrate ( 12 ) are arranged and each comprise a capacitive in the optical behavior switchable cell; (ii) applying pixel electrodes ( 21 ) on the EPD module ( 10 ), each pixel electrode ( 21 ) and designed on the EPD module ( 10 ) is arranged such that upon application of a voltage, the optical behavior of one or more cells of the EPD units ( 14 ) can be influenced; and (iii) creating the OTFT control matrix ( 20 ) by direct application of OTFT functional layers on which the pixel electrodes ( 21 ) supporting side of the EPD module ( 10 ). Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt (iii) des Erstellens der OTFT-Steuermatrix (20) das Auftragen von OTFT-Funktionsschichten, wie einer Drain-Elektrode (24), Source-Elektrode (26), Gate-Elektrode 32 oder organischen Halbleiterschicht (28), mittels Fotolithographie oder Tintenstrahldruck (inkjetcoating) umfasst.Method according to Claim 1, in which the step (iii) of creating the OTFT control matrix ( 20 ) the application of OTFT functional layers, such as a drain electrode ( 24 ), Source electrode ( 26 ), Gate electrode 32 or organic Semiconductor layer ( 28 ), by photolithography or ink jet printing.
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