DE102005054704A1 - Producing amorphous carbon layer of controlled thrombogenicity, by deposition in magnetron sputtering plant to give thrombocyte enriching or repelling layer depending on surface energy - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine thrombozytenabweisende Schicht auf einem Substrat, ein Verfahren zu ihrer Herstellung und ein medizinisches Instrument oder Implantat, auf das eine derartige Schicht aufgebracht ist.The The invention relates to a platelet-repellent layer on a Substrate, a process for its preparation and a medical Instrument or implant to which applied such a layer is.
Unmittelbar nach dem erfolgten Kontakt eines Medizinischen Instruments oder Implantats mit Blut wird an dessen Oberfläche eine Schicht aus Proteinen aus dem Blutplasma adsorbiert, die nachfolgend insbesondere mit der Aktivierung des Gerinnung- und Komplementsystems des Bluts, mit inflammatorischen Reaktionen und mit Zellanhaftungen assoziiert wird.immediate after the contact of a medical instrument or Implant with blood becomes on its surface a layer of proteins adsorbed from the blood plasma, the following in particular with the activation of the coagulation and Complement system of the blood, with inflammatory reactions and associated with cell attachment.
Aus der Anlagerung der Adsorptionsproteine HMWK (High Molecular Weight Kiniogen) oder Albumin resultiert eine reduzierte Adhäsion und Aktivierung von Blutzellen (Thrombozyten, Monozyten, Granulozyten). Die Gewebeantwort auf ein Substrat, die ausschlaggebend für die Frage und Dauer dessen Einsatzes (Langzeit-Stabilität und Biokompatibilität) ist, hängt nicht nur von dessen Oberfläche, sondern auch von der entstandenen Schicht adsorbierter Proteine ab. Für die Zusammensetzung dieser Proteinschicht sind das Substrat und die Beschaffenheit seiner Oberfläche verantwortlich.Out the addition of adsorption proteins HMWK (High Molecular Weight Kiniogen) or albumin results in reduced adhesion and Activation of blood cells (platelets, monocytes, granulocytes). The Tissue response to a substrate that is crucial to the question and duration of its use (long-term stability and biocompatibility), does not hang only from its surface, but also from the resulting layer of adsorbed proteins from. For the composition of this protein layer are the substrate and the nature of its surface responsible.
Das Maß der Thrombozytenabweisung bzw. -anlagerung (Thrombogenität) auf einer Oberfläche eines medizinischen Instruments oder eines Implantats stellt eines der wichtigsten Kriterien zur Beurteilung der Biokompatibilität dar. Die Freisetzung von thrombogenen Substanzen kann eine massive Gerinnungsstörung (Hyperkoagulabilität), d. h. eine vermehrte Gerinnbarkeit des Blutes bis hin zu thrombotischen Verschlüssen verursachen. Allein in Deutschland sterben jährlich rund 30000 Menschen an den Folgen einer Lungenembolie.The Measure of Platelet rejection or accumulation (thrombogenicity) on one surface a medical instrument or an implant provides one the most important criteria for assessing biocompatibility Release of thrombogenic substances may cause a massive coagulation disorder (hypercoagulability), d. H. an increased coagulability of the blood up to thrombotic closures cause. In Germany alone, around 30,000 people die each year at the consequences of a pulmonary embolism.
Aus P. Yang, N. Huang, Y.X. Leng, J.Y. Chen, R.K.Y. Fu, S.C.H. Kwok, Y. Leng und P.K. Chu, Activation of platelets adhered on amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) films synthesized by plasma immersion ion implantation-deposition (PIII-D), Biomaterials 24 (2003), S. 2821-2829, ist ein Verfahren zur Herstellung von amorphen Kohlenstoffschichten mittels PIII-D (Plasma immersion ion implantation and deposition) bekannt.Out P. Yang, N. Huang, Y.X. Leng, J.Y. Chen, R.K.Y. Fu, S.C.H. Kwok, Y. Leng and P.K. Chu, Activation of platelets adhered to amorphous hydrogenated carbon (a-C: H) films synthesized by plasma immersion ion implantation deposition (PIII-D), Biomaterials 24 (2003), p. 2821-2829, is a process for producing amorphous carbon films using PIII-D (plasma immersion ion implantation and deposition) known.
S.C.H. Kwok, J. Wang und P.K. Chu stellen in Surface energy, wettability, and blood compatibility of phosphorus doped diamond-like carbon films, Diamond, Relat, Mater. 14 (2005), S. 78-85, ein Verfahren zur Herstellung von mit Phosphor dotierten amorphen Kohlenstoffschichten mittels PIII-D vor.S.C.H. Kwok, J. Wang and P.K. Chu pose in Surface energy, wettability, and blood compatibility of phosphorus doped diamond-like carbon film, Diamond, Relat, Mater. 14 (2005), pp. 78-85, a method for producing phosphorous-doped amorphous carbon layers by means of PIII-D.
Aus T. Saito, T. Hasebe, S. Yohena, Y. Matsuoka, A. Kamijo, K. Takahashi und T. Suzuki, Antithrombogenicity of fluorinated diamond-like carbon films, Diamond. Relat. Mater. 14 (2005), S. 1116-1119, ist ein Verfahren zur Herstellung von mit Fluor dotierten amorphen Kohlenstoffschichten mittels chemischer Abscheidung aus der Dampfphase (Chemical Vapor Deposition, CVD) mit C2H2 und C2F6 bekannt.T. Saito, T. Hasebe, S. Yohena, Y. Matsuoka, A. Kamijo, K. Takahashi, and T. Suzuki, Antithrombogenicity of Fluorinated Diamond-Like Carbon Films, Diamond. Relat. Mater. 14 (2005), p. 1116-1119, a method for the production of fluorine-doped amorphous carbon layers by means of chemical vapor deposition (CVD) with C 2 H 2 and C 2 F 6 is known.
T.I.T. Okpalugo, A.A. Ogwu, P.D. Maguire und J.A.D. McLaughlin zeigen in Platelet adhesion on silicon modified hydrogenated amorphous carbon films, Biomaterials 25 (2004), S. 239-245, ein Verfahren zur Herstellung von mit Silizium dotierten amorphen Kohlenstoffschichten mittels plasmaverstärkter chemischer Abscheidung aus der Dampfphase (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD).T.I.T. Okpalugo, A.A. Ogwu, P.D. Maguire and J.A.D. McLaughlin show in Platelet adhesion on silicon modified hydrogenated amorphous carbon films, Biomaterials 25 (2004), pp. 239-245, a process for the preparation of silicon-doped amorphous carbon layers by means of plasma enhanced chemical vapor deposition (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD).
M.I. Jones, I.R. McColl, D.M. Grant, K.G. Parker und T.L. Parker offenbaren in Protein adsorption and platelet attachment and acivation on TiN, TiC and DLC coatings on titanium for cardiovascular applicatons, J. Biomed. Mater. Res. 52 (2000), S. 413-21, ein Verfahren zur Herstellung von amorphen Kohlen stoffschichten mittels Ionenplattieren (Ion-plating) mit Acetylen.M. I. Jones, I.R. McColl, D.M. Grant, K.G. Parker and T.L. Parker reveal in protein adsorption and platelet attachment and activation on TiN, TiC and DLC coatings on titanium for cardiovascular applicatons, J. Biomed. Mater. Res. 52 (2000), pp. 413-21, a method of preparation of amorphous carbon layers by ion plating with acetylene.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine thrombozytenabweisende Schicht auf einem Substrat, ein Verfahren zu ihrer Herstellung und ein medizinisches Instrument oder Implantat, auf das eine derartige Schicht aufgebracht ist, anzugeben.task The invention is a platelet-repellent layer on a Substrate, a process for its preparation and a medical Instrument or implant to which applied such a layer is to indicate.
Diese Aufgabe wird gelöst im Hinblick auf die Schicht durch die Merkmale des Anspruchs 1, im Hinblick auf das Verfahren durch die Schritte des Anspruchs 8 und im Hinblick auf das medizinische Instrument oder Implantat durch den Anspruch 12. Die Unteransprüche geben jeweils vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.These Task is solved with regard to the layer by the features of claim 1, with regard to the method by the steps of claim 8 and with regard to the medical instrument or implant the claim 12. The dependent claims give each advantageous embodiments of the invention.
Die erfindungsgemäße Schicht ist auf einem Substrat aufgebracht. Hierfür eignen sich alle Materialien, die intra- oder extrakorporal im direkten Kontakt mit Gewebe stehen können. Hierzu zählen Metalle oder Legierungen, bevorzugt Ti, Ti6A14V, NiTi, TiAl, Gold, legierte oder unlegierte (Edel-)Stähle. Weiterhin eignen sich glasartige oder keramische Substrate wie z.B. Glaskohlenstoff (Sigradur-G, Sigradur-K), SiC, Si3N4, AlO2 oder ZrO2. Aufgrund der geringen Verfahrenstemperatur von 50°C bis 200°C sind auch Substrate aus Kunststoffen (Polymeren), insbesondere Teflon (PTFE), Polyetheretherketon (PEEK), Polymethylmethacrylat (PMMA), Acryinitrilmethylmethacrylat (AMMA), Polyamid (PA), Polyimid (PI), Polycarbonat (PC), Polyvinylchlorid (PVC), Polypropylen (PP), Polyurethan (PU) oder Polyethylen (PE) geeignet. Das Substrat selbst kann fest oder lösbar mit einer weiteren Unterlage verbunden sein.The layer according to the invention is applied to a substrate. All materials which can be in direct or extracorporeal contact with tissue are suitable for this purpose. These include metals or alloys, preferably Ti, Ti6A14V, NiTi, TiAl, gold, alloyed or unalloyed (noble) steels. Also suitable are glassy or ceramic substrates such as glassy carbon (Sigradur-G, Sigradur-K), SiC, Si 3 N 4 , AlO 2 or ZrO 2 . Due to the low process temperature of 50 ° C to 200 ° C are also substrates of plastics (polymers), in particular Teflon (PTFE), polyetheretherketone (PEEK), polymethylmethacrylate (PMMA), Acryinitrilmethylmethacrylat (AMMA), polyamide (PA), polyimide (PI ), Polycarbonate (PC), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), polyurethane (PU) or polyethylene (PE). The substrate itself may be fixed or detachably connected to another pad.
Die erfindungsgemäße Schicht besteht aus einer amorphen Kohlenstoffschicht, deren Oberflächenenergie oberhalb eines Schwellenwerts von 34,4 mN/m liegt, wobei die Oberflächenenergie einen Wert bis einschließlich 47,7 mN/m annehmen kann.The inventive layer consists of an amorphous carbon layer whose surface energy above a threshold of 34.4 mN / m, the surface energy a value up to and including 47.7 mN / m.
Der polare Anteil der Oberflächenenergie beträgt hierbei von 5 mN/m bis 8,9 mN/m. Sämtliche Werte für die Oberflächenenergie, die in diesem Dokument angegeben sind, wurden nach dem Verfahren von D.K. Owens, R.C. Wendt, J. Appl. Polym. Sci. (1969), S. 1741-1747, bestimmt.Of the polar fraction of the surface energy is here from 5 mN / m to 8.9 mN / m. All values for the surface energy, that are specified in this document were after the procedure from D.K. Owens, R.C. Wendt, J. Appl. Polym. Sci. (1969), p. 1741-1747, certainly.
Die
vorliegende Erfindung macht Gebrauch von dem von den Erfindern aufgefundenen
und in der
Im
Zusammenhang mit der Aufdeckung dieses Sachverhalts steht die Position
der G-Bande eines Raman-Spektrums im sichtbaren Bereich (Anregungswellenlänge von
514,5 nm), die in
Die erfindungsgemäße Schicht weist eine Schichtdicke von 50 nm bis 10 μm, bevorzugt von 100 nm bis 5 μm, besonders bevorzugt von 500 nm bis 2 μm auf.The inventive layer has a layer thickness of 50 nm to 10 .mu.m, preferably from 100 nm to 5 μm, especially preferably from 500 nm to 2 μm on.
In einer bevorzugten Ausgestaltung besitzt die erfindungsgemäße Schicht einen Gehalt an Wasserstoff von höchstens 5 Atom%, der mittels Kernreaktionsanalyse (Nuclear Reaction Analysis, NRA) bestimmt werden kann. Damit gilt diese Schicht quasi als wasserstofffrei.In a preferred embodiment has the inventive layer a content of hydrogen of at most 5 atomic%, by means of Nuclear Reaction Analysis (NRA) can. Thus, this layer is virtually as hydrogen-free.
Die Härte der erfindungsgemäßen Schicht beträgt von 5 GPa bis 40 GPa. Der mit Elektronenenergieverlustspektroskopie (Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS) bestimmte sp3-Bindungsanteil der erfindungsgemäßen Schicht nimmt einen Wert im Bereich von 0% bis 30% an.The hardness of the layer according to the invention is from 5 GPa to 40 GPa. The Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS) specific sp 3 bond fraction of the layer of the present invention assumes a value in the range of 0% to 30%.
Die Rauhigkeit der erfindungsgemäßen Schicht beträgt bei der Betrachtung des arithmetischen Mittenrauhwerts Ra von 3 nm bis 23 nm, der Glättungstiefe Rp von 16 nm bis 200 nm, des quadratischen Mittenrauhwerts Rq von 6 nm bis 27 nm, der Differenz Rt zwischen der höchsten Spitze zur tiefsten Riefe von 29 nm bis 170 nm und der gemittelten Rauhtiefe Rz(ISO) von 20 nm bis 190 nm.The roughness of the film of the present invention when viewed from the average roughness R a from 3 nm to 23 nm, the smoothing depth R p of 16 nm to 200 nm, the root mean square R q of 6 nm to 27 nm, the difference R t between the highest peak to the deepest groove from 29 nm to 170 nm and the average roughness R z (ISO) from 20 nm to 190 nm.
Der (advancing) Benetzungswinkel der erfindungsgemäßen Schicht für H2Odest nimmt einen Wert von 65° bis 77° sowie für Formamid von 50° bis 59° an.The (advancing) wetting angle of the layer according to the invention for H 2 O dest assumes a value of 65 ° to 77 ° and for formamide from 50 ° to 59 °.
In einer besonderen Ausgestaltung weist die erfindungsgemäße Schicht eine Adhärenz von Thrombozyten von höchstens 2000 Plättchen (Thrombozyten) pro mm2, bevorzugt von höchstens 1000 Plättchen (Thrombozyten) pro mm2 auf.In a particular embodiment, the layer according to the invention has an adherence of platelets of at most 2000 platelets (platelets) per mm 2 , preferably of at most 1000 platelets (platelets) per mm 2 .
Die vorliegende Erfindung betrifft weiterhin medizinische Instrumente oder Implantate, die als Substrat dienen und jeweils zumindest teilweise mit mindestens einer oder mehreren erfindungsgemäßen Schichten beschichtet sind. Dazu gehören Kurz- oder Langzeit-Implantate, insbesondere Stents, Knochenanker, Venenfilter, Gefäßclips, Aneurysmenstents, koronare oder venöse Klappen und Klappensysteme, Zahnregulierdrähte oder mechanische Bypassverbindungen. Ebenso eignen sich medizinische Instrumente für die offene oder die minimalinvasive Chirurgie wie z.B. Scheren, Zangen, Retraktoren, Skalpelle, Nadeln, Biopsie-Instrumente, Katheter oder Nadelhalter als Substrat.The The present invention further relates to medical instruments or implants that serve as a substrate and in each case at least partially are coated with at least one or more layers according to the invention. This includes Short or long-term implants, in particular stents, bone anchors, vein filters, vascular clips, Aneurysm stents, coronary or venous valves and valve systems, Zahnregulierdrähte or mechanical bypass connections. Also suitable are medical Instruments for open or minimally invasive surgery, e.g. scissors, Forceps, retractors, scalpels, needles, biopsy instruments, catheters or needle holder as a substrate.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer thrombozytenabweisenden Schicht auf einem Substrat erfolgt gemäß den folgenden Schritten a) bis d):
- a) Vorbehandeln des Substrats,
- b) Positionieren des Substrats in einer Prozesskammer,
- c) Plasmaätzen des Substrats und
- d) Beschichten des Substrats.
- a) pretreatment of the substrate,
- b) positioning the substrate in a process chamber,
- c) plasma etching of the substrate and
- d) coating the substrate.
Das bereitgestellte Substrat wird zunächst gemäß Schritt a) einer Vorbehandlung unterzogen. Das Substrat wird hierbei geschliffen und poliert, um eine möglichst homogene Oberfläche zu erzeugen, und gereinigt. Insbesondere sollen im Lichtmikroskop weder Materialanhäufungen, die durch unterschiedlich harte Komponenten z. B. in Legierungen gebildet werden, noch eine Bildung von Poren, eine Oberflächenschädigung oder Riefen durch herausgelöste Komponenten erkennbar sein.The provided substrate is first according to step a) a pretreatment subjected. The substrate is here ground and polished to one possible homogeneous surface to produce and purified. In particular, should in the light microscope neither material accumulation, which by different hard components z. In alloys be formed, nor a formation of pores, surface damage or Scored by liberated Components are recognizable.
Nach der Vorbehandlung wird das Substrat gemäß Schritt b) in eine Prozesskammer einer Magnetronsputteranlage eingebracht und in der Prozesskammer für die nachfolgenden Verfahrensschritte ausgerichtet (positioniert). Anschließend erfolgt eine Evakuierung der Prozesskammer. Die Evakuierung wird vorzugsweise so lange durchgeführt, bis die Prozesskammer (Rezipient) nur noch einen Restgasdruck von 1·10–4 Pa bis 4·10–4 Pa aufweist.After the pretreatment, the substrate is introduced according to step b) into a process chamber of a magnetron sputtering system and aligned (positioned) in the process chamber for the subsequent process steps. Subsequently, an evacuation of the process chamber. The evacuation is preferably carried out until the process chamber (recipient) has only a residual gas pressure of 1 × 10 -4 Pa to 4 × 10 -4 Pa.
In der Prozesskammer wird das Substrat zunächst gemäß Schritt c) einem Plasmaätzverfahren unterworfen. Als Arbeitsgas dient vorzugsweise Argon bei einem Argon-Partialdruck von 0,2 Pa bis 2,0 Pa.In In the process chamber, the substrate is first subjected to a plasma etching process in accordance with step c) subjected. The working gas used is preferably argon at an argon partial pressure from 0.2 Pa to 2.0 Pa.
Schließlich erfolgt gemäß Schritt d) das Abscheiden der amorphen Kohlenstoffschicht aus einem Graphit-Traget auf das vorbehandelte, positionierte und plasmageätzte Substrat. Hierzu wird ein Argon-Partialdruck von 0,2 Pa bis 2,0 Pa und eine Sputterleistung pro Flächeneinheit 7,92 bis 15,58 W/cm2 eingestellt.Finally, according to step d), the deposition of the amorphous carbon layer from a graphite support onto the pretreated, positioned and plasma-etched substrate takes place. For this purpose, an argon partial pressure of 0.2 Pa to 2.0 Pa and a sputtering power per unit area of 7.92 to 15.58 W / cm 2 are set.
Das Beschichtungsverfahren wird vorzugsweise bei einer Temperatur von 50°C bis 200°C, besonders bevorzugt von 70°C bis 150°C, durchgeführt. Das auf diese Weise mit einer amorphen Kohlenstoffschicht versehene Substrat kann nach erfolgtem Druckausgleich und Abkühlen auf höchstens 60°C, vorzugsweise auf Raumtemperatur, der Beschichtungsanlage entnommen werden.The Coating process is preferably carried out at a temperature of 50 ° C to 200 ° C, particularly preferred from 70 ° C up to 150 ° C, carried out. The thus provided with an amorphous carbon layer Substrate can after pressure equalization and cooling on at the most 60 ° C, preferably to room temperature, the coating system are removed.
Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt es, verschiedene Geometrien, sowohl in zwei Dimensionen (planar) als auch in drei Dimensionen (räumlich) zu beschichten.The inventive method allows different geometries, both in two dimensions (planar) as well as in three dimensions (spatially) to coat.
Die Erfindung wird im Folgenden an Hand von Ausführungsbeispielen mit Hilfe der Abbildungen näher erläutert. Es zeigen:The Invention will be described below with reference to exemplary embodiments with the aid the pictures explained in more detail. It demonstrate:
In
Die Raman-Spektren wurden mit einem kommerziellen Raman-Spektrometer bei einer Anregungswellenlänge von 514,5 nm (Argon-Ionen-Laser) aufgezeichnet, Vor der Messung erfolgte eine Kalibrierung an einem Silizium-Wafer mit gut definierter Oberfläche, der eine einzige diskrete Bande bei 520 cm–1 besitzt. Die Proben wurden vor der Messung mit Isopropanol gesäubert. Die aufgenommenen Spektren wurden unter Verwendung einer linearen Grundlinie mit zwei Gauss-Peaks angepasst, dabei wurden die Parameter Bandenhöhe, -breite und -position während der iterativen Anpassung nicht fixiert. Die Kurvenanpassung konvergierte nach ca. 10 Iterationsstufen.The Raman spectra were recorded with a commercial Raman spectrometer at 514.5 nm excitation wavelength (argon ion laser). Prior to measurement, calibration was performed on a silicon wafer with a well-defined surface, which contributed a single discrete band 520 cm -1 . The samples were cleaned with isopropanol prior to measurement. The recorded spectra were recorded under Ver Adjusted to a linear baseline with two Gaussian peaks, the parameters band height, width, and position were not fixed during iterative fitting. The curve fitting converged after about 10 iterations.
Vorbehandeln der SubstratePretreatment of the substrates
Die eingesetzten Substrate aus Silizium, dem Hartmetall WC-Co, den Edelstählen Ti6A14V und einem chromhaltigen Edelstahl mit Beimengungen von Mn (Werkstoffnummer: 1.4034, X46Cr13) wurden je nach Art und Qualität der Oberfläche des Materials einer aufwändigen Prozedur des Schleifens und Polierens unterzogen.The used substrates made of silicon, the carbide WC-Co, the stainless steels Ti6A14V and a chromium-containing stainless steel with admixtures of Mn (material number: 1.4034, X46Cr13) were depending on the type and quality of the surface of the Materials of a complex Subjected to the procedure of grinding and polishing.
Die Rauhigkeit (Ra) der Substrate nach dem Schleifen und Polieren betrug: The roughness (Ra) of the substrates after grinding and polishing was:
Die Substrate wurden vor der Beschichtung jeweils für 15 Minuten in einem Ultraschallbad in Aceton und anschließend in Isopropanol gereinigt. Danach wurden die Substrate mit destilliertem Wasser abgespült. Die Substrate wurden nur mit Latexhandschuhen angefasst, um das Übertragen von Schmutzpartikeln und Fett durch die Haut zu verhindern.The Substrates were each placed in an ultrasonic bath for 15 minutes prior to coating in acetone and then purified in isopropanol. Thereafter, the substrates were with distilled Rinsed off water. The Substrates were only handled with latex gloves to transfer from dirt particles and grease through the skin.
Positionieren der Substrate in der ProzesskammerPositioning the substrates in the process chamber
Anschließend erfolgte die Positionierung der Substrate in der Prozesskammer einer Beschichtungsanlage (Magnetron-Sputter-Anlage). Die Evakuierung des Rezipienten wurde bis zu einem Restgasdruck von 2·10–4 Pa durchgeführt.Subsequently, the positioning of the substrates in the process chamber of a coating system (magnetron sputtering system) was carried out. The evacuation of the recipient was carried out to a residual gas pressure of 2 × 10 -4 Pa.
Plasmaätzen der Substrate Vor der eigentlichen Beschichtung wurden die Substrate in einem Plasmaätzverfahren gereinigt. Hierbei kamen zwei Verfahren zur Anwendung:
- 1.) HF (Hochfrequenz) Plasmaätzprozess bei 500 W. Als Arbeitsgas diente Argon, der Druck im Rezipienten betrug 0,6 Pa. Die Parameter wurden über eine Zeit von 20 Min. konstant gehalten.
- 2.) DC-Glowing-Glimmentladung im DC-Feld (direct current) bei einer Gleichspannung (DC-Spannung) von 500 bis 800 V. Als Arbeitsgas wurde ebenfalls Argon eingesetzt, der Druck im Rezipienten betrug auch hier 0,6 Pa. Die genannten Parameter wurden über eine Zeit von 15 bis 90 Minuten konstant gehalten.
- 1.) HF (high frequency) plasma etching process at 500 W. Argon was used as working gas, the pressure in the recipient was 0.6 Pa. The parameters were kept constant over a period of 20 min.
- 2.) DC glowing glow discharge in the DC field (direct current) at a DC voltage of 500 to 800 V. Argon was also used as the working gas, the pressure in the recipient was also 0.6 Pa. The parameters mentioned were kept constant over a period of 15 to 90 minutes.
Während der beschriebenen Verfahren wurden von der Substratoberfläche ca. 100 nm der Adsorbate bzw. des Substrates abgetragen und sowohl bei X46Cr13 als auch bei Ti6A14V ein Ra-Wert von 6 nm erzielt.During the described method were from the substrate surface about 100 nm of the adsorbates or the substrate removed and both at X46Cr13 as well as Ti6A14V achieved a Ra value of 6 nm.
Beschichten der SubstrateCoating the substrates
Die amorphen Kohlenstoffschichten wurden mittels Magnetronzerstäubung (magnetron sputtering) eines oder mehrerer Graphittargets in reiner Argon-Atmospähre bei 0,2 bis 2,0 Pa auf die so vorbehandelten und plasmageätzten Substrate bei Temperaturen bis 150°C abgeschieden. Es wurden sowohl Rundkathoden mit einem Durchmesser von 75 und 150 mm, als auch Rechteckkathoden mit Abmessungen von 135 × 465 mm oder 134 × 496 mm eingesetzt. Der Abstand zwischen Target und Substrat betrug je nach Beschichtungsanlage zwischen 50 und 150 mm. Für Kathoden mit einem Durchmesser von 75 mm wurden Sputterleistungen von 50 bis 500 W, für einen Durchmesser von 150 mm von 100 bis 1000 W und für die Rechteckkathoden von 1500 bis 6000 W gefahren. Die Leistungsdichte (Sputterleistung pro Flächeneinheit) lag demnach insgesamt zwischen 0,57 und 13,58 W/cm2, wobei eine Leistungsdichte von mindestens 7,92 W/cm2 erforderlich war, um eine erfindungsgemäße thrombozytenabweisende Schicht zu erhalten.The amorphous carbon layers were deposited by magnetron sputtering of one or more graphite targets in pure argon atmosphere at 0.2 to 2.0 Pa on the thus pretreated and plasma-etched substrates at temperatures up to 150 ° C. Both round cathodes with a diameter of 75 and 150 mm, as well as rectangular cathodes with dimensions of 135 × 465 mm or 134 × 496 mm were used. The distance between target and substrate was between 50 and 150 mm, depending on the coating system. For cathodes with a diameter of 75 mm sputtering powers of 50 to 500 W, for a diameter of 150 mm from 100 to 1000 W and for the rectangular cathodes from 1500 to 6000 W were driven. Accordingly, the power density (sputtering power per unit area) was generally between 0.57 and 13.58 W / cm 2 , whereby a power density of at least 7.92 W / cm 2 was required to obtain a platelet-repellent layer of the present invention.
Die Schichten wurden mit HF-Substratvorspannungen von 0 V bis –200 V abgeschieden, wobei diese im Bereich bis –200 V die Leistungsdichte nicht signifikant beeinflusst. Der Wert des Druckes hat nur bei niedrigen Leistungsdichten den Effekt, die Oberflächenenergie über den Schwellenwert von 34,4 mN/m zu heben.The Layers were deposited with RF substrate bias voltages from 0V to -200V, these are in the range to -200 V does not significantly affect the power density. The value of Pressure only has the effect at low power densities, the surface energy over the Threshold of 34.4 mN / m.
Claims (12)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE200510054704 DE102005054704A1 (en) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | Producing amorphous carbon layer of controlled thrombogenicity, by deposition in magnetron sputtering plant to give thrombocyte enriching or repelling layer depending on surface energy |
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