DE10143730A1

DE10143730A1 - Verfahren zum Einstellen eines Frequenzcharakteristikums eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp und Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp

Info

Publication number: DE10143730A1
Application number: DE10143730A
Authority: DE
Inventors: Michio Kadota; Yasunori Takakuwa; Seigo Hayashi; Junya Ago; Hideya Horiuchi; Mamoru Ikeura
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-09-06
Filing date: 2001-09-06
Publication date: 2002-07-25
Anticipated expiration: 2021-09-07
Also published as: DE10143730B4; KR20050078658A; US20040261250A1; CN1343044A; KR100658306B1; KR20020020205A; CN1166056C; US7194793B2; JP2002158554A; CN100388624C; US20020050040A1; JP3797155B2; KR100635763B1; CN1545205A

Abstract

Ein Verfahren zum Einstellen eines Frequenzcharakteristikums eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp umfaßt den Schritt des Erhaltens eines Frequenzcharakteristikums eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp, das ein piezoelektrisches Substrat aufweist. Das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp weist ein Paar von Kanten des piezoelektrischen Substrats auf, die einen vorbestimmten Abstand zwischen denselben definieren. Ferner wird das piezoelektrische Substrat an mindestens einer eines Paars von Positionen geschnitten, die einen Abstand definieren, der kleiner ist als der vorbestimmte Abstand, wenn ein schließliches Frequenzcharakteristikum des Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp höher sein soll als das erhaltene Frequenzcharakteristikum. Das piezoelektrische Substrat wird an mindestens einer eines Paars von Positionen geschnitten, die einen Abstand definieren, der größer ist als der vorbestimmte Abstand, wenn ein schließliches Frequenzcharakteristikum des Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp niedriger sein soll als das erhaltene Frequenzcharakteristikum.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Erzeugen eines Oberflächenwellenbauelements vom Kanten reflexionstyp zur Verwendung in einem Bandpaßfilter, einem Sperrfilter oder einer anderen geeigneten Vorrichtung, so wie auf ein Verfahren zum Einstellen einer Resonanzfrequenz eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp.

Wie beispielsweise in den ungeprüften japanischen Patentan meldungen Nr. 5-183376 und Nr. 5-145370 offenbart ist, wur den bereits verschiedene Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp, die eine Oberflächenwelle vom SH-Typ (SH = shear horizontal = Scher-Horizontal), wie zum Bei spiel eine BGS-Welle verwenden, vorgeschlagen.

Bei einem Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexions typ ist ein Interdigitalwandler auf einem piezoelektrischen Substrat, das zwei gegenüberliegende Kanten aufweist, ange ordnet. Eine Mehrzahl von Elektrodenfingern in dem Interdi gitalwandler erstreckt sich in der parallel zu den Kanten verlaufenden Richtung. Eine angeregte akustische Oberflä chenwelle wird zwischen den beiden gegenüberliegenden Kan ten reflektiert, es tritt eine stehende Welle auf, und das Resonanzcharakteristikum, das auf der stehenden Welle ba siert, wird verwendet.

Da das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp keinen Reflektor erfordert, ermöglicht es eine Miniaturi sierung eines Oberflächenwellenbauelements.

Für die Herstellung des oben beschriebenen Oberflächenwel lenbauelements vom Kantenreflexionstyp wird ein Wafer ange fertigt, der aus einem piezoelektrischen Material besteht. Daraufhin wird eine Mehrzahl von Interdigitalwandlern auf dem Wafer gebildet. Als nächstes wird der Wafer geschnit ten, es werden zwei gegenüberliegende Kanten desselben ge bildet, und aus dem einzelnen Wafer wird eine Mehrzahl von Oberflächenwellenbauelementen vom Kantenreflexionstyp aus geschnitten.

Bei dem Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp können gewünschte Resonanz- und Filtercharakteristika nicht erreicht werden, wenn die beiden gegenüberliegenden Kanten nicht korrekt gebildet sind. Beim Bilden von Kanten unter Verwendung eines Interdigitalwandlers vom Einzelelektroden typ wurde also jede der Kanten zuvor an der Position, die um λ/2 oder ein ganzzahliges Vielfaches von λ/2 nach au ßen in der Ausbreitungsrichtung einer akustischen Oberflä chenwelle von der Mitte des Elektrodenfingers, der zu jedem der äußersten Elektrodenfinger benachbart ist, beabstandet ist, ausgeschnitten. Beim Bilden von Kanten unter Verwen dung eines Interdigitalwandlers vom Doppelelektrodentyp, der ein Paar von Elektrodenfingerabschnitten umfaßt, wurde andererseits jede der Kante an der Position ausgeschnit ten, die um ein ganzzahliges Vielfaches von λ/2 in der Ausbreitungsrichtung einer akustischen Oberflächenwelle nach außen von der Mitte zwischen dem Paar von Elektroden fingerabschnitten des Elektrodenfingers beabstandet ist, der zu jedem der Elektrodenfinger, die an den äußersten Seiten des Interdigitalwandlers in der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle angeordnet sind, benachbart ist.

Bei einem tatsächlichen Herstellungsprozeß wird eine Mehr zahl von Oberflächenwellenbauelementen vom Kantenreflexi onstyp aus einem Wafer geschnitten. Bei der Massenprodukti on von Oberflächenwellenbauelementen vom Kantenreflexions typ wurden ferner Interdigitalwandler auf jedem einer Mehr zahl von Wafern auf dieselbe Weise gebildet, und die Mehr zahl von Wafern wurde von oben geschnitten.

Auch wenn eine Mehrzahl von Wafern angefertigt wird, sowie eine Mehrzahl von Interdigitalwandlern auf dieselbe Weise gebildet wird, und Kanten durch Schneiden mit hoher Genau igkeit gebildet werden, tritt jedoch insofern ein Problem auf, als die Frequenzcharakteristika unter den zahlreichen erhaltenen Oberflächenwellenbauelementen vom Kantenreflexi onstyp variieren. Das liegt daran, daß die piezoelektri schen Charakteristika von Wafer zu Wafer variieren.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfah ren zum Einstellen eines Frequenzcharakteristikums eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp und ein Verfahren zum Erzeugen eines Oberflächenwellenbauele ments vom Kantenreflexionstyp zu schaffen, so daß das er haltene Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp verbesserte Eigenschaften aufweist.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß ein Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp mindestens einen Interdigitalwandler umfaßt und eine Ober flächenwelle vom SH-Typ verwendet.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 oder ein Verfahren gemäß Anspruch 8 gelöst.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauele ments vom Kantenreflexionstyp schaffen, um Variationen bei den Frequenzcharakteristika unter den hergestellten Ober flächenwellenbauelementen vom Kantenreflexionstyp auszu schalten und zu ermöglichen, daß ein gewünschtes Frequenz charakteristikum realisiert wird.

Das Verfahren zum Einstellen eines Frequenzcharakteristi kums eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexi onstyp gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vor liegenden Erfindung umfaßt den Schritt des Bestimmens eines Frequenzcharakteristikums eines Oberflächenwellenbauele ments vom Kantenreflexionstyp, das ein piezoelektrisches Substrat aufweist. Das Oberflächenwellenbauelement vom Kan tenreflexionstyp weist ein Paar Kanten des piezoelektri schen Substrats auf, die einen vorbestimmten Abstand zwi schen denselben definieren. Das piezoelektrische Substrat wird an mindestens einem Paar Positionen geschnitten, die einen Abstand definieren, der kleiner ist als der vorbe stimmte Abstand, wenn ein schließliches Frequenzcharakteri stikum des Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexi onstyp höher sein soll als das vorbestimmte Frequenzcharak teristikum, und wird an mindestens einer eines Paars von Positionen geschnitten, die einen Abstand definieren, der größer ist als der vorbestimmte Abstand, wenn ein schließ liches Frequenzcharakteristikum des Oberflächenwellenbau elements vom Kantenreflexionstyp niedriger sein soll als das vorbestimmte Frequenzcharakteristikum.

Die Positionen, an denen das piezoelektrische Substrat bei dem Schritt des Schneidens des piezoelektrischen Substrats geschnitten wird, sind von Positionen der Kanten, die den vorbestimmten Abstand in dem Frequenzcharakteristikum- Bestimmungsschritt definieren, vorzugsweise um ca. λ/8 oder weniger und stärker bevorzugt um ca. λ/16 verschoben, wobei λ die Wellenlänge einer Oberflächenwelle vom SH-Typ ist, die bei dem Oberflächenwellenbauelement vom Kantenre flexionstyp anzuregen ist.

Das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp kann einen Interdigitalwandler vom Einzelelektrodentyp um fassen. In diesem Fall sind die Positionen der Kanten, die den vorbestimmten Abstand definieren, vorzugsweise an unge fähren Mitten von Elektroden positioniert.

Alternativ dazu kann das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp einen Interdigitalwandler vom Doppel elektrodentyp umfassen. In diesem Fall ist jede der Posi tionen der Kanten, die den vorbestimmten Abstand definie ren, an einer ungefähren Mitte eines Paars von Elektrodenfingern, die eine Doppelelektrode bilden, positioniert.

Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung umfaßt das Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp, das mindestens einen Interdigitalwandler umfaßt und eine Oberflächenwelle vom SH-Typ verwendet, folgende Schritte: Bilden einer Mehrzahl von Interdigitalwandlern auf einem piezoelektrischen Substrat; Schneiden des piezoelektrischen Substrats und Erzeugen eines Referenz- Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp, das mindestens einen der Interdigitalwandler und ein Paar Kan ten des piezoelektrischen Substrats umfaßt, wobei das Paar Kanten einen vorbestimmten Abstand zwischen denselben defi niert; Messen eines Frequenzcharakteristikums der Referenz- Oberflächenwelle vom Kantenreflexionstyp; Bestimmen von Po sitionen eines Paars Kanten, die jedes von verbleibenden Oberflächenwellenbauelementen vom Kantenreflexionstyp auf der Basis des gemessenen Frequenzcharakteristikums definie ren; und Schneiden des piezoelektrischen Substrats an den bestimmten Positionen, um die verbleibenden Oberflächenwel lenbauelemente vom Kantenreflexionstyp zu erzeugen.

Bei dem Positionsbestimmungsschritt wird ein Abstand zwi schen dem Paar Kanten der verbleibenden Oberflächenwellen bauelemente vom Kantenreflexionstyp vorzugsweise kürzer ausgeführt als der vorbestimmte Abstand, wenn ein schließ liches Frequenzcharakteristikum der verbleibenden Oberflä chenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp höher sein soll als das gemessene Frequenzcharakteristikum, und ein Abstand zwischen dem Paar Kanten der verbleibenden Oberflä chenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp wird vorzugs weise größer ausgeführt als der vorbestimmte Abstand, wenn ein schließliches Frequenzcharakteristikum der verbleiben den Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp niedriger sein soll als das gemessene Frequenzcharakteri stikum.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht, die ein Oberflächen wellenbauelement vom Kantenreflexionstyp gemäß ei nem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vor liegenden Erfindung zeigt;

Fig. 2 ein Diagramm, das die Beziehung zwischen dem Be trag, um den die durch Schneiden geformte Kante von der vorgesehenen Position verschoben ist, und dem Verhältnis des Abweichungsbetrags Δf der gemesse nen Resonanzfrequenz von der Zielresonanzfrequenz f bezüglich der Zielresonanzfrequenz f bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel zeigt;

Fig. 3 ein Diagramm, das Frequenzcharakteristika zeigt, wenn die Positionen der Kante bei dem ersten bevor zugten Ausführungsbeispiel die vorgesehene Position von -λ/4, die vorgesehene Position von -λ/8 und die vorgesehene Position von -λ/16 sind;

Fig. 4 eine schematische Draufsicht, die die Elektroden konfiguration eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp gemäß einem zweiten bevor zugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin dung zeigt;

Fig. 5 eine teilweise vergrößerte Draufsicht, die die Schneideposition, bei der eine Kante gebildet wird, bei dem Oberflächenwellenbauelement vom Kantenre flexionstyp gemäß einem zweiten bevorzugten Ausfüh rungsbeispiel, das in Fig. 4 gezeigt ist, zeigt;

Fig. 6 ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Posi tion der durch Schneiden gebildeten Kante und dem Verhältnis des Abweichungsbetrags Δf der gemesse nen Mittenfrequenz von der Zielmittenfrequenz f₀ bezüglich der Zielmittenfrequenz f₀ bei dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 7 ein Diagramm, das Frequenzcharakteristika zeigt, wenn die Positionen der Kante bei dem zweiten be vorzugten Ausführungsbeispiel die vorgesehene Posi tion von -λ/4, die vorgesehene Position von -λ/8 und die vorgesehene Position von -λ/16 der vorlie genden Erfindung sind;

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht, die ein Oberflächen wellenfilter eines transversal gekoppelten Typs, das Interdigitalwandler vom Einzelelektrodentyp um faßt, als Beispiel eines Oberflächenwellenbauele ments, auf das bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung angewandt werden, zeigt;

Fig. 9 eine schematische Draufsicht, die ein Oberflächen wellenfilter eines transversal gekoppelten Typs, das Interdigitalwandler vom Doppelelektrodentyp um faßt, als Beispiel eines Oberflächenwellenbauele ments, auf das bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung angewandt werden, zeigt;

Fig. 10 ein Diagramm, das Variationen bezüglich der Fre quenzcharakteristika bei dem Resonatorfilter eines transversal gekoppelten Typs, das Interdigitalwand ler vom Einzelelektrodentyp umfaßt, zeigt, wenn die Position der Kante variiert wird;

Fig. 11 eine perspektivische Ansicht, die ein Oberflächen wellenfilter eines longitudinal gekoppelten Typs, das Interdigitalwandler vom Einzelelektrodentyp um faßt, als weiteres Beispiel eines Oberflächenwel lenbauelements, auf das bevorzugte Ausführungsbei spiele der vorliegenden Erfindung angewandt werden, zeigt;

Fig. 12 eine schematische Draufsicht, die die Elektroden konfiguration eines Oberflächenwellenfilters eines longitudinal gekoppelten Typs, das Interdigital wandler vom Doppelelektrodentyp umfaßt, als weite res Beispiel eines Oberflächenwellenbauelements, auf das bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorlie genden Erfindung angewandt werden, zeigt;

Fig. 13 eine Draufsicht, die ein Abzweigfilter, das Inter digitalwandler vom Einzelelektrodentyp umfaßt, als weiteres Beispiel eines Oberflächenwellenbauele ments eines Endoberflächenreflexionstyps, auf das bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung angewandt werden, zeigt; und

Fig. 14 eine Draufsicht, die ein Abzweigfilter, das Inter digitalwandler vom Doppelelektrodentyp umfaßt, als weiteres Beispiel eines Oberflächenwellenbauele ments vom Endoberflächenreflexionstyp, auf das be vorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Er findung angewandt werden, zeigt.

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vor liegenden Erfindung zeigt. Das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp 1 gemäß diesem bevorzugten Ausfüh rungsbeispiel ist vorzugsweise ein Oberflächenwellenbauele ment vom Kantenreflexionstyp, das eine BGS-Welle als eine Oberflächenwelle vom SH-Typ verwendet.

Das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp 1 weist ein piezoelektrisches Substrat 2 auf, das eine im we sentlichen rechtwinklige Plattenform aufweist. Das piezo elektrische Substrat 2 ist vorzugsweise aus einem piezo elektrischen Einkristall, wie beispielsweise LiNbO₃, LiTaO₃, oder aus einer piezoelektrischen Keramik, wie zum Beispiel einer Keramik auf der Basis von Bleititanatzirkonat (PZT), hergestellt. Wenn das piezoelektrische Substrat 2 eine pie zoelektrische Keramik ist, ist das piezoelektrische Sub strat 2 einem Polarisierungsprozeß in der Richtung des in Fig. 1 gezeigten Pfeils P unterworfen. Das piezoelektrische Substrat 2 weist Endoberflächen 2a und 2b auf, die im we sentlichen parallel zueinander sind.

Auf der oberen Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 2 ist ein Interdigitalwandler 3 angeordnet. Der Interdigital wandler 3 weist ein Paar kammförmige Elektroden 4 und 5 auf, die vorzugsweise aus einem geeigneten metallischen Ma terial, beispielsweise Al, hergestellt sind. Die kammförmi gen Elektroden 4 und 5 weisen eine Mehrzahl von Elektroden fingern 4a und 4b bzw. 5a bis 5c auf. Bei dem Interdigital wandler 3 beträgt die Breite jedes der Elektrodenfinger 5a und 5c, die an den äußersten Seiten in der Ausbreitungs richtung einer Oberflächenwelle angeordnet sind, vorzugs weise ca. λ/8. Hier bezeichnet λ eine Wellenlänge einer angeregten Oberflächenwelle.

Die Breite jedes der verbleibenden Elektrodenfinger 4a, 4b und 5b beträgt vorzugsweise ca. λ/4. Der Zwischenraum zwi schen den Elektrodenfingern beträgt vorzugsweise ca. λ/4.

Ein Abstand zwischen der Endoberfläche 2a und 2b beträgt vorzugsweise ca. λ/2 × N, wobei λ eine Wellenlänge einer Oberflächenwelle ist, die durch den Interdigitalwandler 3 anzuregen ist, und N eine Ganzzahl ist, die größer als eins ist, so daß die angeregte Welle eine stehende Welle zwi schen den Endoberflächen 2a und 2b wird.

Bei dem Herstellungsverfahren für das Oberflächenwellenbau element vom Kantenreflexionstyp 1 gemäß diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird zunächst ein Wafer zum Bilden des piezoelektrischen Substrats 2 angefertigt. Im einzelnen wird ein großer Wafer, der aus dem oben beschriebenen pie zoelektrischen Einkristall oder der oben beschriebenen pie zoelektrischen Keramik aufgebaut ist, angefertigt, und eine Mehrzahl von Interdigitalwandlern 3 wird auf dem Wafer an geordnet, um eine Mehrzahl von Oberflächenwellenbauelemen ten vom Kantenreflexionstyp 1 zu konfigurieren.

Als nächstes werden die Endoberflächen 2a und 2b durch Schneiden des Wafers der Dicke nach gebildet, und somit wird das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexions typ 1 ausgeschnitten. In dem Fall wird der Abstand zwischen den Endoberflächen 2a und 2b auf einen vorgesehenen Wert eingestellt, so daß das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp 1 vorgesehene Charakteristika aufweist, die eine Resonanzfrequenz umfassen.

Wie oben beschrieben ist, können sich die piezoelektrischen Charakteristika jedoch von Wafer zu Wafer unterscheiden, und wenn zahlreiche Oberflächenwellenbauelemente vom Kan tenreflexionstyp 1 aus einer Mehrzahl von Wafern erhalten werden, können die Resonanzcharakteristika unter diesen Oberflächenwellenbauelementen vom Kantenreflexionstyp folg lich variieren.

Dementsprechend wird bei diesem bevorzugten Ausführungsbei spiel zunächst ein Paar Kanten 2a und 2b durch Ausschneiden aus einem Wafer an den vorgesehenen Positionen gebildet, wodurch die beiden gegenüberliegenden Kanten eines einzel nen Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp gebildet werden, und das Frequenzcharakteristikum, beson ders eine Resonanzfrequenz des Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp 1, bei dem die Kanten gebildet sind, wird gemessen. Somit wird angenommen, daß andere Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp, die aus dem verbleibenden Abschnitt des Wafers auszuschneiden sind, durch Ausschneiden aus einem Wafer bei den vorgesehe nen Positionen dieselben gemessenen Frequenzcharakteristika aufweisen. Wenn das so gemessene Frequenzcharakteristikum von einem gewünschten abweicht, werden die Schneidepositio nen der beiden gegenüberliegenden Kanten geändert, um die Abweichung zu korrigieren, und daraufhin werden zwei gege nüberliegende Kanten jedes der Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp, die an dem verbleibenden Abschnitt des Wafers konfiguriert sind, durch Schneiden gebildet.

Im einzelnen wird eine Einstellung der Frequenz durch Ein stellen der Bildungsposition der Kanten, d. h. eines Ab stands zwischen den Kanten, durchgeführt. Herkömmlicherwei se wird die tatsächliche Position der Kanten 2a und 2b als identisch mit der vorgesehenen Position der Kanten 2a und 2b, die einen Abstand von ca. λ/2 × N ergeben, bestimmt. Im Gegensatz dazu sind bei bevorzugten Ausführungsbeispie len der vorliegenden Erfindung die tatsächlichen Positionen der Kanten 2a und 2b an der Innenseite oder Außenseite der vorgesehenen Position in der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle eingestellt, so daß der Abstand zwischen den tatsächlichen Kanten 2a und 2b entweder größer oder kleiner als die vorgesehene Position der Kanten 2a und 2b, die einen Abstand von ca. λ/2 × N ergeben, sein kann, wo durch eine Resonanzfrequenz eingestellt wird.

Dies kann unter Bezugnahme auf die relative Position bezüg lich der Position eines nächstinneren Elektrodenfingers, der zu dem äußersten Elektrodenfinger benachbart ist, er klärt werden. Im einzelnen wurde jede der Positionen 2a und 2b herkömmlicherweise bei Positionen eingestellt, die um λ/2 nach außen in die Ausbreitungsrichtung einer akusti schen Oberflächenwelle von der Mitte jedes der Elektroden finger 4a und 4b, die zu den äußersten Elektrodenfingern 5a und 5c benachbart sind, beabstandet sind. Im Gegensatz dazu wird bei diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel jede der beiden gegenüberliegenden Kanten durch Schneiden an einer Position an der Innenseite oder Außenseite der vorgesehenen Position gebildet, welche die Position ist, die um ca. λ/2 von der Mitte jedes der Elektrodenfinger 4a und 4b nach au ßen in die Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle beabstandet ist.

Fig. 2 zeigt die Variation bezüglich der Resonanzfrequenz des Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp 1, wenn die Kante 2b bei Positionen gebildet wird, die bei ei nem Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp 1, das fünfzehn Paare Elektroden bzw. achtzig Paare Elektroden aufweist, von der vorgesehenen Position, die um ca. λ/2 von der Mitte des Elektrodenfingers 4b beabstandet ist, nach außen verschoben sind. Die in Fig. 2 gezeigten Ergeb nisse werden aus den Experimenten erhalten, bei denen fünf zehn Paare und achtzig Paare Elektrodenfinger bei dem Ober flächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp 1 auf einem aus PZT hergestellten piezoelektrischen Substrat angeordnet sind, und bei denen λ ca. 58 µm beträgt. Es ist zu beach ten, daß sich der Begriff "Paar" auf einen Elektrodenfin ger, der zu der kammförmigen Elektrode 4 gehört, und einen Elektrodenfinger, der zu der kammförmigen Elektrode 5 ge hört, die zueinander benachbart sind, bezog.

Die vertikale Achse in Fig. 2 stellt das Verhältnis Δf/f des Abweichungsbetrags Δf = f₁ - f der gemessenen Reso nanzfrequenz f₁ von der Zielresonanzfrequenz f bezüglich der Zielresonanzfrequenz f dar. Die "0" auf der horizonta len Achse stellt die vorgesehene Position, die um λ/2 von der Mitte des Elektrodenfingers 4b nach außen in die Aus breitungsrichtung einer Oberflächenwelle beabstandet ist, dar. "Die Kantenposition" auf der horizontalen Achse be zieht sich auf eine Kantenbildungsposition, wenn die vorge sehene Position an dem Ursprung (d. h. 0) eingestellt ist. Hier bedeutet die "+"'-Richtung von der vorgesehenen Positi on 0, daß eine Kante außerhalb der vorgesehenen Position in der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle gebildet wird.

Es ist zu beachten, daß Fig. 2 die Ergebnisse angibt, die erhalten werden, wenn sowohl die Kante 2a als auch die Kan te 2b mit demselben Verschiebungsbetrag und in derselben Richtung gebildet werden. Es ist vorzuziehen, daß sowohl die Kante 2a als auch die Kante 2b mit demselben Verschie bungsbetrag und in derselben Richtung gebildet werden, so daß das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp bezüglich einer Mittellinie, die im wesentlichen parallel zu Elektrodenfingern der Interdigitallinien ist, symme trisch ist. Es ist jedoch möglich, eine Resonanzfrequenz nur durch Verschieben von entweder der Kante 2a oder der Kante 2b von der jeweiligen vorgesehenen Position zu ver schieben.

Durch Verschieben der Bildungsposition jeder der Kanten 2a und 2b von der vorgesehenen Position weicht die Resonanz frequenz ab, wie aus Fig. 2 hervorgeht. Insbesondere wird anerkannt, daß die Frequenz so eingestellt wird, daß die Resonanzfrequenz niedriger wird, wenn jede der Kanten durch Schneiden des piezoelektrischen Substrats außerhalb der vorgesehenen Position gebildet wird, so daß der Abstand zwischen den Kanten 2a und 2b größer wird als der vorgese hene Wert von ca. λ/2 × N, und daß die Frequenz so einge stellt wird, daß die Resonanzfrequenz höher wird, wenn jede der Kanten innerhalb der vorgesehenen Position in der Aus breitungsrichtung einer Oberflächenwelle positioniert wird, so daß der Abstand zwischen den Kanten 2a und 2b kleiner wird als der vorgesehene Wert von ca. λ/2 × N.

Auf diese Weise kann die Resonanzfrequenz durch Schneiden an einer Position, die von der vorgesehenen Position nach außen oder nach innen entlang der Ausbreitungsrichtung ei ner Oberflächenwelle verschoben ist, eingestellt werden.

Dementsprechend wird gemäß bevorzugten Ausführungsbeispie len der vorliegenden Erfindung zunächst eine Kalibrierung, welche die Frequenzverschiebung bezüglich einer positions bezogenen Verschiebung von der vorgesehenen Position der Kanten, beispielsweise Fig. 2, anzeigt, durch ein Experi ment erhalten. Daraufhin werden ein Referenz- Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp, das ein Paar Kanten 2a und 2b aufweist, die durch Ausschneiden aus einem Wafer an den vorgesehenen Positionen gebildet sind, und eine Resonanzfrequenz des Referenz- Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp gemes sen.

Daraufhin wird eine Abweichung der gemessenen Resonanzfre quenz von einer vorgesehenen Resonanzfrequenz errechnet, und ein Positionsverschiebungsbetrag und die Richtung der Verschiebung werden aus der Kalibrierung auf der Basis des Unterschieds erhalten, so daß der Unterschied aufgehoben wird. Auf diese Weise kann zuverlässig ein Oberflächenwel lenbauelement vom Kantenreflexionstyp, das eine beabsich tigte Resonanzfrequenz aufweist, erreicht werden.

Es ist zu beachten, daß, wenn die Bildungsposition jeder der Kanten 2a und 2b zu stark von der vorgesehenen Position nach außen oder nach innen verschoben wird, nicht nur das Impedanzverhältnis des Resonanzcharakteristikums abnimmt, sondern daß auch eine unerwünschte Störreaktion bezüglich des Frequenzcharakteristikums auftritt. Das in Fig. 3 durch den Pfeil P1 bezeichnete Charakteristikum zeigt das Fre quenzcharakteristikum, das vorliegt, wenn jede der Kanten 2a und 2b an der Position, die von der vorgesehenen Positi on um ca. λ/4 nach innen entlang der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle verschoben ist, gebildet wird. Wenn jede der Kanten bei einer Position gebildet wird, die über den Bereich von ca. ±λ/8 hinaus von der vorgesehenen Posi tion nach innen verschoben ist, tritt bezüglich des Fre quenzcharakteristikums eine bedeutende Störreaktion auf, die in der Figur durch den Pfeil X angezeigt ist. Wenn jede der Kanten andererseits bei einer Position gebildet wird, die über den Bereich von ca. ±λ/8 hinaus von der vorgese henen Position nach außen verschoben ist, unterscheidet sich die Resonanzfrequenz von dem oben beschriebenen Fall, jedoch ist der Pegel der Störreaktion gleich demselben.

Der Pfeil P2 in Fig. 3 zeigt das Frequenzcharakteristikum an, das vorliegt, wenn die Bildungsposition jeder der Kan ten in dem Bereich der vorgesehenen Positionen von ca. ±λ/8 liegt, beispielsweise an der vorgesehenen Position von ca. -λ/8. Man kann sehen, daß die Störreaktion, die bei dem in Fig. 3 gezeigten P1 durch "X" gekennzeichnet ist, beträchtlich verringert wurde.

Es wird daher anerkannt, daß die Störreaktion durch Bilden jeder der Kanten an einer Position in dem Bereich der vor gesehenen Position von ca. ±λ/8 effektiv unterdrückt wer den kann, und daß die Resonanzfrequenz ohne weiteres und auf zuverlässige Weise eingestellt werden kann, wie aus Fig. 2 deutlich wird.

Es ist stärker vorzuziehen, daß jede der Kanten 2a und 2b in dem Bereich der vorgesehenen Position von ca. ±λ/16 ge bildet wird. Der Pfeil P3 in Fig. 3 zeigt das Frequenzcha rakteristikum an, das vorliegt, wenn jede der Kanten 2a und 2b an der Position der vorgesehenen Positionen von ca. -λ/16 gebildet wird. Wie man aus dem Vergleich mit dem durch den Pfeil P2 in Fig. 3 angezeigten Charakteristikum ersehen kann, ist die oben beschriebene Störreaktion bei dem durch den Pfeil P3 angezeigten Charakteristikum effek tiver unterdrückt.

Das in Fig. 1 gezeigte Oberflächenwellenbauelement vom Kan tenreflexionstyp 1 ist ein Anwendungsbeispiel eines Ober flächenwellenresonators, der einen Interdigitalwandler 3 vom Einzelelektrodentyp umfaßt. Die vorliegende Erfindung kann jedoch auch auf ein Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelements angewandt werden, das einen Interdigitalwandler vom Doppelelektrodentyp umfaßt, der ein Paar Elektrodenfingerabschnitte aufweist.

Fig. 4 ist eine schematische Draufsicht, die die Elektro denkonfiguration eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp 11, das einen Interdigitalwandler 12 vom Doppelelektrodentyp aufweist, gemäß einem zweiten be vorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.

Der Interdigitalwandler 12 weist eine Mehrzahl von Elektro denfingern auf. Jeder der Elektrodenfinger weist eine Dop pelelektrodenkonfiguration (oder eine Konfiguration gespal tener Elektroden) auf, bei der ein Paar Elektrodenfingerab schnitte vorgesehen ist. Beispielsweise sind die Elektro denfinger 13 und 14 des Interdigitalwandlers 12 in Fig. 4 so konfiguriert, daß Elektrodenfingerabschnitte 13a und 13b bzw. 14a und 14b Paare definieren.

Bei diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die Positi on, die um ca. λ/2 nach außen in die Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle von der Mitte der Elektrode 13, d. h. der Mitte der Elektrodenfingerabschnitte 13a und 13b, die zu dem äußersten Elektrodenfinger 14 benachbart sind, in der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle beabstandet ist, als eine vorgesehene Position eingestellt, und eine Kante wird durch Schneiden an einer Position in dem Bereich von ca. ±λ/8 von der vorgesehenen Position gebildet.

Fig. 5 ist eine vergrößerte Teilschnittdraufsicht, die den Abschnitt zeigt, bei dem eine Kante außerhalb der Elektro denfinger 13 und 14 des in Fig. 4 gezeigten Interdigital wandlers 12 in der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächen welle zu bilden ist.

Im einzelnen ist der Interdigitalwandler 12 derart konfigu riert, daß der Elektrodenfinger 13 desselben ein Paar Elek trodenfingerabschnitte 13a und 13b aufweist, und daß der äußerste Elektrodenfinger 14 desselben ein Paar Elektroden fingerabschnitte 14a und 14b aufweist. Wenn ein Schneide versuch zum Bilden des Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp 11 aus einem Wafer versucht wird, wird die Position (Position C), die um ca. λ/2 nach außen in der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle von der Mitte der Elektrode 13, d. h. der Mitte der Elektrodenfin gerabschnitte 13a und 13b in der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle beabstandet ist, auf eine vorgesehene Po sition eingestellt, und durch Schneiden an einer Position an der Innenseite oder Außenseite der vorgesehenen Position wird eine Kante gebildet. Wenn ein Schneiden an einer der durch A bis F angezeigten Positionen durchgeführt wird, be steht die Möglichkeit, daß der Elektrodenfingerabschnitt 14b in dem äußersten Elektrodenfinger 14 abgeschnitten wird.

Fig. 6 zeigt die Variation bezüglich der Resonanzfrequenz, die vorliegt, wenn jede der Kanten auf die oben beschriebe ne Weise gebildet wird, und die Position derselben bei dem Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp 1 von der vorgesehenen Position, die einen Abstand von ca. λ/2 × N ergibt, verschoben ist. Die in Fig. 6 gezeigten Ergebnis se werden aus dem Experimenten erhalten, bei denen ein In terdigitalwandler 12 fünfzehn, vierunddreißig bzw. achtzig Paare Elektrodenfinger aufweist, die auf einem aus PZT ge bildeten piezoelektrischen Substrat angeordnet sind, und bei denen λ ca. 36 µm beträgt.

Die vertikale Achse in Fig. 6 stellt das Verhältnis des Ab weichungsbetrags Δf = f₂ - f₀ der gemessenen Resonanzfre quenz f₂ von der Zielresonanzfrequenz f₀ bezüglich der Zielresonanzfrequenz f₀ dar, und die horizontale Achse stellt die Position der Endoberfläche dar. Die "0" auf der horizontalen Achse bedeutet, daß die Kante an der vorgese henen Position (Position C) positioniert ist, welche um ca. λ/2 von der Mitte der Elektrodenfingerabschnitte 13a und 13b nach außen in die Ausbreitungsrichtung einer Oberflä chenwelle beabstandet ist.

Wie aus Fig. 6 ersichtlich ist, variieren die Resonanzfre quenzen bei dem Reflektor vom Kantenreflexionstyp, der den Interdigitalwandler 12 vom Doppelelektrodentyp umfaßt, auf dieselbe Weise wie bei dem ersten bevorzugten Ausführungs beispiel, indem die Position jeder der Kanten verschoben wird.

Bei dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel tritt fer ner eine bedeutende Störreaktion bezüglich des Frequenzcha rakteristikums auf, wenn jede der Kanten an einer Position gebildet wird, die zu stark von der vorgesehenen Position nach außen oder nach innen verschoben ist.

Das durch den Pfeil Q1 in Fig. 7 angezeigte Charakteristi kum zeigt das Frequenzcharakteristikum, das vorliegt, wenn jede der Kanten an der Position gebildet ist, die von der vorgesehenen Position um ca. -λ/4 entlang der Ausbrei tungsrichtung einer Oberflächenwelle verschoben ist. Wie durch den Pfeil Y in der Figur angezeigt ist, wird eine be deutende Störreaktion beobachtet.

Das durch den Pfeil Q2 in Fig. 7 angezeigte Charakteristi kum zeigt das Frequenzcharakteristikum an, das vorliegt, wenn jede der Kanten an der Position angeordnet ist, die von der vorgesehenen Position um ca. -λ/8 verschoben ist. Man kann sehen, daß die oben beschriebene Störreaktion in hohem Maße unterdrückt wurde.

Ferner zeigt das durch den Pfeil Q3 in Fig. 7 angedeutete Charakteristikum das Frequenzcharakteristikum, das vor liegt, wenn jede der Kanten an der Position angeordnet ist, die von den vorgesehenen Positionen um ca. -λ/16 verscho ben ist. Es wird erkannt, daß die oben beschriebene Större aktion effektiver unterdrückt wird, wenn die Position jeder der Kanten in dem Bereich von ca. ±λ/16 von der vorgesehe nen Position entfernt liegt.

Deshalb ist es bei dem zweiten bevorzugten Ausführungsbei spiel ferner bestätigt, daß durch Bilden jeder der Kanten an einer Position in dem Bereich von ca. ±λ/8 von der vor gesehenen Position, stärker bevorzugt in dem Bereich von ca. ±λ/16 von derselben, ein überlegenes Frequenzcharakte ristikum mit einer geringen Störreaktion erreicht werden kann.

Bei dem ersten bzw. dem zweiten bevorzugten Ausführungsbei spiel wurden Beschreibungen des Beispiels des Oberflächen wellenresonators, der einen Interdigitalwandler vom Einzel elektrodentyp verwendet, und desjenigen des Oberflächenwel lenresonators, der einen Interdigitalwandler vom Doppel elektrodentyp verwendet, angegeben. Jedoch kann die vorlie gende Erfindung auf ein Verfahren zum Herstellen verschie dener Oberflächenwellenbauelemente angewandt werden, die Wandler vom Einzelelektrodentyp und vom Doppelelektrodentyp umfassen. Fig. 8 bis 14 zeigen weitere Beispiele von Ober flächenwellenbauelementen, auf die bevorzugte Ausführungs beispiele der vorliegenden Erfindung angewandt werden.

In Fig. 8 und 9 veranschaulichte Oberflächenwellenbauele mente vom Kantenreflexionstyp 21 und 31 sind Oberflächen wellenfilter vom Kantenreflexionstyp und vom transversal gekoppelten Typ, die zwei Interdigitalwandler 22 bzw. 23 vom Einzelelektrodentyp und zwei Interdigitalwandler 32 bzw. 33 vom Doppelelektrodentyp aufweisen.

Fig. 10 veranschaulicht charakteristische Beispiele eines Resonatorfilters vom transversal gekoppelten Typ, das ein vorzugsweise aus PZT hergestelltes piezoelektrisches Sub strat verwendet, das in Fig. 9 gezeigt ist. In Fig. 10 gibt C ein Charakteristikum an, das vorliegt, wenn jede der Kan ten an der vorgesehenen Position gebildet wird, und D, E, F und G geben Charakteristika an, die vorliegen, wenn jede der Kanten an den Positionen gebildet wird, die außerhalb der vorgesehenen Position um ca. λ/32, λ/16, λ/8 bzw. λ/4 verschoben sind. Wie man sehen kann, kann die Mittenfre quenz durch Variieren der Kantenbildungsposition einge stellt werden. Bezüglich der Filtercharakteristika stellt man fest, daß der Einfügungsverlust sehr gering und die Störreaktion sehr groß ist, wenn jede der Kanten an der Po sition gebildet wird, die außerhalb der vorgesehenen Posi tion um ca. λ/4 verschoben ist. Wenn die Kantenbildungspo sition um ca. λ/8 außerhalb der vorgesehenen Position ver schoben ist, weisen diese Filtercharakteristika mäßige Er gebnisse auf, und wenn die Bildungsposition um ca. λ/16 außerhalb der vorgesehenen Position verschoben ist, weisen die Filtercharakteristika überlegene Resultate auf. Obwohl Fig. 10 die Ergebnisse des Falles zeigt, bei dem die Kan tenbildungsposition außerhalb der vorgesehenen Position verschoben ist, ermöglicht das Verschieben der Kantenbil dungsposition innerhalb der vorgesehenen Position, daß die Mittenfrequenz eingestellt wird, um zu einer höheren Fre quenz hin verschoben zu werden. In diesem Fall weisen der Einfügungsverlust und die Störreaktion dieselben Werte auf wie in dem Fall, bei dem die Kantenbildungsposition außer halb der vorgesehenen Position verschoben wird. Ein Resona torfilter eines longitudinal gekoppelten Typs, das im fol genden beschrieben wird, zeigt ähnliche Ergebnisse.

Ein in Fig. 11 gezeigtes Oberflächenwellenbauelement 41 ist ein Oberflächenwellenfilter eines longitudinal gekoppelten Typs, bei dem Interdigitalwandler 43 und 44 vom Einzelelek trodentyp auf einem piezoelektrischen Substrat 42 entlang der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle angeordnet sind.

Ein in Fig. 12 gezeigtes Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp 51 ist ein Oberflächenwellenfilter vom longitudinal gekoppelten Typ, das Interdigitalwandler 52 und 53 vom Doppelelektrodentyp aufweist.

Die in Fig. 13 und 14 gezeigten Oberflächenwellenbauelemen te vom Kantenreflexionstyp 61 und 71 sind Abzweigfilter, die Interdigitalwandler vom Einzelelektrodentyp bzw. Inter digitalwandler vom Doppelelektrodentyp aufweisen.

Das Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauele ments vom Kantenreflexionstyp gemäß bevorzugten Ausfüh rungsbeispielen der vorliegenden Erfindung kann allgemein auf die Produktion diverser Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp neben den verschiedenen in Fig. 8 bis 14 gezeigten Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenre flexionstyp, wie oben beschrieben, angewandt werden.

Auch wenn die Abweichung des Frequenzcharakteristikums auf grund von Wafern eingetreten ist, kann ein Oberflächenwel lenbauelement vom Kantenreflexionstyp, das ein beabsichtig tes Frequenzcharakteristikum aufweist, bei dem Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelements vom Kan tenreflexionstyp gemäß verschiedenen bevorzugten Ausfüh rungsbeispielen der vorliegenden Erfindung ohne weiteres durch Messen des Charakteristikums des Oberflächenwellen bauelements vom Kantenreflexionstyp, das zunächst auf dem identischen Wafer gebildet wurde, und durch Einstellen der Kantenbildungsposition bei den verbleibenden Oberflächen wellenbauelementen vom Kantenreflexionstyp auf dem identi schen Wafer in Abhängigkeit von der Abweichung des erhalte nen Charakteristikums von dem Zielcharakteristikum erhalten werden, wie aus dem Vorstehenden offensichtlich ist.

Bei dem ersten Aspekt bevorzugter Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung wird jede der beiden gegenüberlie genden Kanten durch Schneiden des Piezoelektrikums an einer Position gebildet, die in dem Bereich von ca. +λ/8 von der vorgesehenen Position entfernt liegt, und dadurch wird die Frequenz so eingestellt, daß sie niedriger wird. Anderer seits wird bei dem zweiten Aspekt bevorzugter Ausführungs beispiele der vorliegenden Erfindung jede der beiden gege nüberliegenden Kanten durch Schneiden des Piezoelektrikums an einer Position gebildet, die innerhalb der vorgesehenen Position liegt, zum Beispiel in dem Bereich von ca. -λ/8 von der vorgesehenen Position entfernt, und dadurch wird die Frequenz so eingestellt, daß sie höher wird.

Bei dem ersten oder zweiten Aspekt bevorzugter Ausführungs beispiele der vorliegenden Erfindung, insbesondere, wenn jede der Kanten durch Schneiden an einer Position in dem Bereich der vorgesehenen Position von ca. +λ/16 oder der vorgesehenen Position von ca. -λ/16 gebildet wird, wird die unerwünschte Störreaktion noch stärker unterdrückt, wo durch ein überlegenes Resonanzcharakteristikum oder Filter charakteristikum erreicht wird.

Bei dem dritten und vierten Aspekt bevorzugter Ausführungs beispiele der vorliegenden Erfindung wird, nachdem der In terdigitalwandler auf dem piezoelektrischen Substrat gebil det wurde, die Position, die um ca. λ/2 nach außen in der Ausbreitungsrichtung einer Oberflächenwelle von der Mitte des Elektrodenfingers, der zu jedem der äußersten Elektro denfinger benachbart ist, beabstandet ist, auf eine vorge sehene Position eingestellt, und jede der beiden gegenüber liegenden Kanten wird durch Schneiden an einer Position in dem Bereich der vorgesehenen Position von ca. +λ/8 oder der vorgesehenen Position von ca. -λ/8 gebildet. Daher kann die unerwünschte Störreaktion effektiv unterdrückt werden, wodurch ein überlegenes Resonanzcharakteristikum oder Filtercharakteristikum erreicht wird. Wenn zudem jede der Kanten durch Schneiden an einer Position in dem Bereich der vorgesehenen Position von ca. +λ/8 oder der vorgesehe nen Position von ca. -λ/8 gebildet wird, kann die Reso nanzfrequenz oder die Mittenfrequenz ohne weiteres einge stellt werden, um niedriger oder höher zu werden, indem die Position jeder der Kanten eingestellt wird.

Bei dem dritten oder vierten Aspekt bevorzugter Ausfüh rungsbeispiele der vorliegenden Erfindung kann die uner wünschte Störreaktion effektiver unterdrückt werden, wenn jede der Kanten vorzugsweise durch Schneiden in dem Bereich der vorgesehenen Position von ca. +λ/16 oder der vorgese henen Position von ca. -λ/16 gebildet wird.

Claims

1. Verfahren zum Einstellen eines Frequenzcharakteristi kums eines Oberflächenwellenbauelements vom Kantenre flexionstyp (1), wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
Bestimmen eines Frequenzcharakteristikums eines Ober flächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp, das ein piezoelektrisches Substrat (2) aufweist, wobei das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexions typ ein Paar Kanten des piezoelektrischen Substrats aufweist, die einen vorbestimmten Abstand zwischen denselben definieren; und
Schneiden des piezoelektrischen Substrats an minde stens einer eines Paars von Positionen, die einen Ab stand definieren, der kleiner ist als der vorbestimmte Abstand, wenn ein schließliches Frequenzcharakteristi kum des Oberflächenwellenbauelements vom Kantenrefle xionstyp höher sein soll als das erhaltene Frequenz charakteristikum, und Schneiden des piezoelektrischen Substrats an mindestens einer eines Paars von Positio nen, die einen Abstand definieren, der größer ist als der vorbestimmte Abstand, wenn ein schließliches Fre quenzcharakteristikum des Oberflächenwellenbauelements vom Kantenreflexionstyp niedriger sein soll als das erhaltene Frequenzcharakteristikum.

2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die Positionen, an denen das piezoelektrische Substrat (2) in dem Schritt des Schneidens des piezoelektrischen Substrats von Po sitionen der Kanten, die den vorbestimmten Abstand in dem Schritt des Erhaltens des Frequenzcharakteristi kums definieren, um ca. λ/8 oder weniger verschoben werden, wobei λ die Wellenlänge einer Oberflächenwel le vom Scher-Horizontal-Typ ist, die bei dem Oberflä chenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp anzuregen ist.

3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem die Posi tionen, an denen das piezoelektrische Substrat (2) in dem Schritt des Schneidens des piezoelektrischen Sub strats von Positionen der Kanten, die den vorbestimm ten Abstand in dem Schritt des Erhaltens des Frequenz charakteristikums definieren, um ca. λ/16 oder weni ger verschoben werden, wobei λ die Wellenlänge einer Oberflächenwelle vom Scher-Horizontal-Typ ist, die bei dem Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexions typ anzuregen ist.

4. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexions typ einen Interdigitalwandler (3) vom Einzelelektro dentyp aufweist.

5. Verfahren gemäß Anspruch 4, bei dem die Positionen der Kanten, die den vorbestimmten Abstand definieren, bei ungefähren Mitten von Elektroden (4, 5) angeordnet sind.

6. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexions typ einen Interdigitalwandler (3) vom Doppelelektro dentyp aufweist.

7. Verfahren gemäß Anspruch 6, bei dem jede der Positio nen der Kanten, die den vorbestimmten Abstand definie ren, bei einer ungefähren Mitte eines Paars von Elek trodenfingern (4a, 4b, 5a-5c), die eine Doppelelektrode bilden, angeordnet ist.

8. Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbau elements vom Kantenreflexionstyp (1), das mindestens einen Interdigitalwandler (3) umfaßt und eine Oberflä chenwelle vom Scher-Horizontal-Typ verwendet, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
Bilden einer Mehrzahl von Interdigitalwandlern auf ei nem piezoelektrischen Substrat (2);
Schneiden des piezoelektrischen Substrats und Erzeugen eines Referenz-Oberflächenwellenbauelements vom Kan tenreflexionstyp, das mindestens einen der Interdigi talwandler und ein Paar Kanten des piezoelektrischen Substrats umfaßt, wobei das Paar Kanten einen vorbe stimmten Abstand zwischen denselben definiert;
Messen eines Frequenzcharakteristikums der Referenz- Oberflächenwelle vom Kantenreflexionstyp;
Bestimmen von Positionen eines Paars Kanten, die jedes von verbleibenden Oberflächenwellenbauelementen vom Kantenreflexionstyp definieren, auf der Basis des ge messenen Frequenzcharakteristikums; und
Schneiden des piezoelektrischen Substrats an den be stimmten Positionen, um die verbleibenden Oberflächen wellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp zu erzeugen.

9. Verfahren gemäß Anspruch 8, bei dem bei dem Positions bestimmungsschritt ein Abstand zwischen dem Paar Kan ten der verbleibenden Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp kleiner ist als der vorbestimmte Abstand, wenn ein schließliches Frequenzcharakteristi kum der verbleibenden Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp höher sein soll als das gemessene Frequenzcharakteristikum, und ein Abstand zwischen dem Paar Kanten der verbleibenden Oberflächenwellenbauele mente vom Kantenreflexionstyp größer ist als der vor bestimmte Abstand, wenn ein schließliches Frequenzcha rakteristikum der verbleibenden Oberflächenwellenbau elemente vom Kantenreflexionstyp niedriger sein soll als das gemessene Frequenzcharakteristikum.

10. Verfahren gemäß Anspruch 9, bei dem die Positionen von Kanten der verbleibenden Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp von Positionen der Referenz kanten der Referenz-Oberflächenwellenbauelemente vom Kantenreflexionstyp um ca. λ/8 oder weniger verscho ben werden, wobei λ eine Wellenlänge einer Oberflä chenwelle vom Scher-Horizontal-Typ ist, die bei dem verbleibenden Oberflächenwellenbauelement vom Kanten reflexionstyp anzuregen ist.

11. Verfahren gemäß Anspruch 9 oder 10, bei dem die Posi tionen von Kanten der verbleibenden Oberflächenwellen bauelemente von Kantenreflexionstyp von Positionen der Referenzkanten der Referenz-Oberflächenwellen bauelemente vom Kantenreflexionstyp um ca. λ/16 oder weniger verschoben werden, wobei λ eine Wellenlänge einer Oberflächenwelle vom Scher-Horizontal-Typ ist, die bei dem verbleibenden Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexionstyp anzuregen ist.

12. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 11, bei dem das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexions typ einen Interdigitalwandler (3) vom Einzelelektro dentyp aufweist.

13. Verfahren gemäß Anspruch 12, bei dem die Positionen der Kanten, die den vorbestimmten Abstand definieren, bei ungefähren Mitten von Elektroden (4, 5) angeordnet sind.

14. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 13, bei dem das Oberflächenwellenbauelement vom Kantenreflexions typ einen Interdigitalwandler (3) vom Doppelelektro dentyp aufweist.

15. Verfahren zum Erzeugen eines Oberflächenwellenbauele ments vom Kantenreflexionstyp (1) gemäß Anspruch 14, bei dem jede der Positionen der Kanten, die den vorbe stimmten Abstand definieren, bei einer ungefähren Mit te eines Paars von Elektrodenfingern (4a, 4b, 5a-5c), die eine Doppelelektrode bilden, angeordnet ist.