CN1645386A - 搬送情况提示系统及方法 - Google Patents

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CN1645386A
CN1645386A CNA2005100026657A CN200510002665A CN1645386A CN 1645386 A CN1645386 A CN 1645386A CN A2005100026657 A CNA2005100026657 A CN A2005100026657A CN 200510002665 A CN200510002665 A CN 200510002665A CN 1645386 A CN1645386 A CN 1645386A
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China
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CNA2005100026657A
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山岸孝
加藤一二三
三浦拓马
小泽克敏
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Seiko Epson Corp
Omron Corp
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Wild Island Semiconductor Corp
Seiko Epson Corp
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    • G06QINFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00Administration; Management
    • G06Q10/08Logistics, e.g. warehousing, loading or distribution; Inventory or stock management

Abstract

本发明公开了搬送情况提示系统及方法,该搬送情况提示系统所涉及的服务器(100)包括:通信部(110),该通信部(110)从事件检测装置接收事件信息的同时,该事件检测装置检测在不同场所设置的多个临时存积装置中发生的多种事件,并向PC发送搬送负荷显示信息;存储表示组的情况的组情况数据(142)和表示临时存积装置的情况的存积情况数据(144)的存储部(140);根据事件信息更新组情况数据(142)和存积情况数据(144)的更新部(130);以及根据组情况数据(142)和存积情况数据(144),生成用于向用户提示组的搬送情况的搬送负荷显示信息的信息生成部(120)。

Description

搬送情况提示系统及方法
技术领域
本发明涉及搬送情况提示系统及方法。
背景技术
为了提高物流效率,管理系统需要实时监控物流设备的搬送情况和负荷情况等,该物流设备包括自动存储物品的自动仓库和在自动仓库间搬送物品的自动搬送台车等的装卸设备。
为了能够实时监控,管理系统需要通过网络从各机器上取得工作情况等的数据并加以分析。
例如特开2001-297140号公报披露,管理系统通过网络将多个物流系统连接到网络服务器上,从而记录各物流系统中的库存和出入库情况、以及物流的进展和错误的发生情况等管理事项。
发明内容
如上所述,现有的管理系统因为只能够监控搬送情况和工作情况,所以不能掌握搬送的负荷情况。
此外,现有的管理系统只能提示当时的搬送情况。因此,例如组(ロット)滞留在自动仓库里时,用户既不能掌握因为什么原因组滞留,又难以采取相应的对策。
而且,现有的管理系统不能预测搬送负荷。因此,例如,在由于制造对象发生变化从而制造流程发生改变时,难以预测哪里需要什么程度的搬送负荷。
本发明鉴于以上技术问题,其目的在于提供一种可以向用户提示搬送负荷情况的搬送情况提示系统及方法。
为解决上述技术问题,本发明所涉及的搬送情况提示系统,对位于不同场所的多个临时存积装置之间进行搬送的组的搬送情况进行提示,其特征在于包括:事件检测装置,其对在所述临时存积装置间发生的组的搬送所涉及的多种事件进行检测;存储装置,其存储表示各组搬送情况的组情况数据;更新装置,其根据所述事件检测装置检测出的事件,更新所述组情况数据;以及情况提示装置,其根据所述组情况数据向用户提示表示组的搬送负荷情况的图像,其中,所述组情况数据包括表示以组为单位的事件变化的数据,所述情况提示装置根据表示所述事件变化的数据,判断组处于搬送中和搬送等待中的哪一个状态,并将特定时间中的对象组的状态表示成图像,作为表示所述搬送负荷情况的图像。
此外,本发明所涉及的搬送情况提示方法,其特征在于:检测在位于不同场所的,搬送、存积组的多个临时存积装置间搬送组所涉及的多种事件,根据检测出的数据,更新组情况数据,所述组情况数据包括表示以组为单位的事件变化的数据,根据表示所述事件变化的数据,判断组处于搬送中、搬送等待中的哪个状态,并将特定时间中对象组的状态表示成图像,作为表示搬送负荷情况的图像。
根据本发明,搬送情况提示系统等检测出临时存积装置中的事件,能够根据表示该事件变化的数据判断组的搬送状态。因此,搬送情况提示系统等能够向用户提示实际的搬送负荷情况。
在本发明的搬送情况提示系统中,所述多种事件包括:存积装置间搬送中事件,表示组从指定的临时存积装置向不同的临时存积装置搬送;组到达事件,表示组已从不同的临时存积装置到达指定的临时存积装置;处理装置搬送事件,表示组从所述临时存积装置向组的处理装置搬送;以及处理完成事件,表示组已从所述处理装置到达所述临时存积装置,所述存储装置,存储存积情况数据,所述存积情况数据表示在所述多个临时存积装置中的组的存积情况,所述更新装置,根据所述事件检测装置检测出的事件,更新所述存积情况数据,所述情况提示装置,根据表示所述事件变化的数据和所述存积情况数据,判断组处于等待搬送方的临时存积装置有空的状态的受理中、所述搬送中、所述搬送等待中的哪个状态,并将所述搬送负荷情况表示成图像。
此外,在所述搬送情况提示方法中,所述多种事件包括:存积装置间搬送中事件,表示组从指定的临时存积装置向不同的临时存积装置搬送;组到达事件,表示组已从不同的临时存积装置到达指定的临时存积装置;处理装置搬送事件,表示组从所述临时存积装置向组的处理装置搬送;以及处理完成事件,表示组已从所述处理装置到达所述临时存积装置,并且根据检测出的事件,更新存积情况数据,所述存积情况数据表示所述多个临时存积装置中的组的存积情况,并可以根据表示所述事件变化的数据和所述存积情况数据,判断组处于等待搬送方的临时存积装置有空的状态的受理中、所述搬送中、所述搬送等待中的哪个状态,并将所述搬送负荷情况表示成图像。
根据本发明,搬送情况提示系统等能够根据存积情况数据将搬送负荷情况表示成图像,向用户提示更加详细的搬送负荷情况。更具体地说,搬送情况提示系统等例如当组滞留在临时存积装置中时,能够向用户提示是因为等待搬送方的临时存积装置有空而滞留,还是只不过处于搬送等待中。据此,用户可以根据搬送负荷情况做出更优的对策。
此外,在所述搬送情况提示系统中,所述存储装置存储阶段数据,所述阶段数据表示对各组执行的处理阶段,所述情况提示装置可以根据所述阶段数据,预测所述搬送负荷情况,并向用户提示。
在所述搬送情况提示方法中,可以根据表示对各组执行的处理阶段的阶段数据,预测所述搬送负荷情况,并向用户提示。
根据本发明,因为搬送情况提示系统等能够把握组的搬送等待等状态和该组的处理阶段,所以即使处理阶段发生变化,也能够预测搬送的负荷情况,并向用户提示。
在所述搬送情况提示系统中,所述情况提示装置根据全部的组数和处于搬送中的组数的比例,计算搬送负荷指数,所述情况提示装置,可以将所述搬送负荷指数表示成图像,作为表示所述搬送负荷情况的图像。
而且,在所述搬送情况提示方法中,可以根据全部的组数和处于搬送中的组数的比例,计算搬送负荷指数,将所述搬送负荷指数表示成图像,作为表示所述搬送负荷情况的图像。
根据本发明,因为搬送情况提示系统等能够将搬送负荷指数表示成图像,所以,既可以以时间段为单位表示搬送负荷指数的变化,也可以在搬送负荷指数超过预定值时发出警告。
附图说明
图1是本实施方式中的一例所涉及的系统整体的概况图。
图2是本实施方式中的一例所涉及的搬送负荷情况的图像。
图3是本实施方式中的一例所涉及的服务器的功能框图。
图4是本实施方式中的一例所涉及的组情况数据的数据结构的模式图。
图5是本实施方式中的一例所涉及的存积情况数据的数据结构的模式图。
图6是本实施方式中的一例所涉及的阶段数据的数据结构的模式图。
图7是本实施方式中的一例所涉及的事件数据的数据结构的模式图。
图8是本实施方式中的一例所涉及的检测装置的功能框图。
图9是本实施方式中的一例所涉及的搬送负荷显示的处理程序的流程图。
具体实施方式
以下,以将本发明应用于半导体制造工厂中提示组搬送情况的搬送情况提示系统为例,参照附图加以详细说明。另外,以下说明的实施例并不是对权利要求记载的本发明内容的任何限定。而且,以下实施例所示的全部组成未必是本发明必须的组成要件。
系统整体的说明
图1是本实施方式的一例所涉及的系统整体的概况图。
本系统包括:临时存积组的临时存积装置500;从临时存积装置500接受组并对该组进行预定处理的处理装置600;以及对在临时存积装置500间发生的组的搬送所涉及的四类事件E1-E4进行检测的检测装置400。
这里,所说的组是处理单位的一种,例如在半导体制造工厂中,集中同种的晶片作为组对待。而且,事件E1是表示组从不同的临时存积装置到达临时存积装置500的组到达事件。事件E2是表示组从临时存积装置500向组的处理装置600搬送的处理装置搬送事件。事件E3是表示组从处理装置600到达临时存积装置500的处理完成事件。事件E4是表示组从临时存积装置500向不同的临时存积装置搬送的存积装置间搬送中事件。
此外,本系统还包括:服务器100,该服务器100通过网络300接收由检测装置400检测的事件所涉及的信息,并生成搬送负荷显示信息;以及PC 200,该PC 200从服务器100接收搬送负荷显示信息,并显示搬送情况。
实际上,存在多个检测装置400、临时存积装置500和处理装置600。而且,假定自动搬送台车在临时存积装置500间进行组搬送,搬送起重机在临时存积装置500和处理装置600间进行组搬送。这种情况下,检测装置400通过检测诸如自动搬送台车和搬送起重机的工作,能够检测上述事件E1-E4。而且,在本实施例中,服务器100、PC 200和检测装置400具有搬送情况提示系统的功能。
下面对PC 200所显示的搬送负荷情况的图像进行说明。
图2是表示本实施方式的一例所涉及的搬送负荷情况的图像。
在图2所示的图像中,组数以工厂整体的搬送中、搬送等待、受理中的各状态加以区分,并且以三十分钟为一个时间序列。这里的受理中是指组正在等待搬送方的临时存积装置有空的状态。而且,在该图像中,搬送负荷指数的变化是以三十分钟为一个时间序列表示的。虽然图2的时间序列的单位是以三十分钟表示的,但这个单位可以是由服务器设定的任意的时间单位。
这样,根据本实施例中的搬送情况提示系统,能够向用户提供实际的搬送情况和搬送负荷。
接着,对用于实现这种功能的服务器100的功能框图进行说明。
图3是本实施方式的一例所涉及的服务器100的功能框图。
服务器100的构成包括:收发检测装置400和PC 200信息的通信部110;生成搬送负荷显示信息的信息生成部120;存储各种数据的存储部140;以及更新存储部140内数据的更新部130。
此外,存储部140存储以下数据:表示组的搬送情况等的组情况数据142;表示临时存积装置500中组的存积情况的存积情况数据144;表示组的处理阶段顺序的阶段数据146;以及表示由检测装置400检测的事件的事件数据148。
更新部130根据事件数据148更新组情况数据142和存积情况数据144。
信息生成部120作为情况提示装置的一部分发挥作用,该情况提示装置根据组情况数据142和存积情况数据144,利用图像(图像和声音都可以)向用户提示组的搬送情况。而且,PC 200的显示器也作为情况提示装置的一部分发挥作用。
接着对组情况数据142、存积情况数据144、阶段数据146和事件数据148的数据结构进行说明。
图4是本实施方式的一例所涉及的组情况数据142的数据结构的模式图。
组情况数据142是依次存储事件的数据,该事件以检测装置400检测的组为单位。
组情况数据142的项目例如有:用于识别组的“组ID”,表示组作为处理对象所处于的阶段类别的“阶段类别”,表示组的搬送情况的“情况”,表示组的现在位置的“现在位置”,表示发生的最新事件的“最新事件”,表示在最新事件的前面紧挨着发生的事件的“前事件”,表示最新事件的发生时间的“事件发生时间”等。此外,作为“情况”例如有“搬送中”“搬送等待”“受理中”等。
例如,在图4所示的例子中,“组ID”为“L001”的组,其“阶段类别”为“R001”、“情况”为“搬送中”、“现在位置”为临时存积装置500之一的“ST1”、“最新事件”为“E4”、“前事件”为“E3”、“事件发生时间”为2003年10月10日10点10分10秒。
这样,组情况数据142包括表示以组为单位的事件发生变化的数据(“最新事件”和“前事件”)。此外,组情况数据142的“情况”根据事件的变化而被决定。
通过利用组情况数据142,服务器100能够把握各组的搬送情况等。
图5是本实施方式的一例所涉及的存积情况数据144的数据结构的模式图。
存积情况数据144是表示多个临时存积装置500中的组的存积情况的数据。
存积情况数据144的项目例如有:用于识别临时存积装置500的“存积装置ID”,表示存积在临时存积装置500中的组数的“存积组数”,表示可以存积在临时存积装置500中的组数的最大值的“可存积组数”,表示临时存积装置500的存积组数的警告值的“假想可存积组数”,表示由与临时存积装置500联合的处理装置600进行的处理的“处理”等。
例如,在图5所示的例子中,“存积装置ID”为“ST1”的临时存积装置500,其“存积组数”为“5”、“可存积组数”为“9”、“假想可存积组数”为“7”、“处理”为“洗净”。
通过利用存积情况数据144,服务器100可以把握临时存积装置500中的组的存积情况等。
接着对阶段数据146的数据结构进行说明。
图6是本实施方式的一例所涉及的阶段数据146的数据结构的模式图。
阶段数据146是表示对各组所进行的处理阶段的数据。
阶段数据146的项目例如有:表示组的处理阶段类别的“阶段类别”,表示处理阶段的执行顺序的“阶段顺序”等。
例如,在图6所示的例子中,当“阶段类别”为“R001”时,对组进行洗净和光处理。
通过利用阶段数据146,服务器100既能够把握各组的处理顺序,又能够预测搬送负荷。
下面,对事件数据148的数据结构进行说明。
图7是本实施方式的一例所涉及的事件数据148的数据结构的模式图。
事件数据148是依次存储由检测装置400检测的事件所涉及的信息的数据。
事件数据148的事项例如有:“事件发生时间”、“组ID”、“现在位置”、“最新事件”等。
通过利用事件数据148,服务器100能够把握被检测装置400检测的所有的事件。
接着,对检测装置400的功能块进行说明。
图8是本实施方式的一例所涉及的检测装置400的功能框图。
检测装置400包括:检测在临时存积装置500中发生的事件E1-E4的事件检测部420;向服务器100传送表示检测事件的内容和时间的事件信息的通信部410;以及计时部430。
对硬件的说明
作为上述服务器100和检测装置400的各部,且用于安装在计算机上的硬件,可以应用诸如以下的部件。
例如使用局域网卡作为通信部110、410,使用CPU等作为信息生成部120、更新部130和事件检测部420,使用HDD等作为存储部140,使用系统计时器等作为计时部430,并且,这些可以安装在计算机上。
此外,这些部件,既可以利用电路以硬件的形式安装在计算机上,又可以利用程序以软件的形式安装在计算机上。
而且,信息存储介质190存储用于使计算机发挥作为信息生成部120等功能的程序,从该信息存储介质190上读取程序,并将具有信息生成部120等功能的程序安装在计算机上。
作为这种信息存储介质190可以采用诸如CD-ROM、DVD-ROM、ROM、RAM、HDD等,其程序的读取方式既可以是接触式,又可以是非接触式。
此外,代替信息存储介质190,通过将用于实现上述各功能的程序等通过传输线路从主机装置等上下载下来,将具有上述的各功能的程序安装在计算机上。
处理流程的说明
下面,对使用这些各部的表示搬送负荷的处理程序进行说明。
图9是本实施方式的一例所涉及的搬送负荷显示的处理程序的流程图。
检测装置400的事件检测部420根据组的自动搬送台车的工作和组的搬送起重机的工作等检测事件E1-E4。而且,事件检测部420生成事件信息,该事件信息包括组的识别信息、表示发生的事件的事件类别信息、事件检测对象的临时存积装置500的识别信息和由计时部430显示的时间信息。通信部410将该事件信息向服务器100传送。
通信部110接受该事件信息,更新部130根据该事件信息,更新事件数据148(步骤S1)。更具体地说,更新部130根据被事件信息所包含的组的识别信息,输入“组ID”,根据被事件信息所包含的事件类别信息,输入“最新事件”,根据被事件信息所包含的临时存积装置500的识别信息,输入“现在位置”,根据被事件信息所包含的时间信息,输入“事件发生时间”。这样,将被检测装置400检测出的事件所涉及的信息依次输入事件数据148。
而且,更新部130在特定的计时(例如每隔一定时间、特定的时刻、事件数据148更新时等)内,根据事件数据148,更新组情况数据142和存积情况数据144(步骤S2)。
更具体地说,当成为对象的组发生新的事件时,更新部130将组情况数据142的该组的“最新事件”拷贝到“前事件”,将事件数据148的“现在位置”拷贝到组情况数据142的“现在位置”,将事件数据148的“最新事件”拷贝到组情况数据142的“最新事件”,将事件数据148的“事件发生时间”拷贝到组情况数据142的“事件发生时间”。
而且,更新部130根据组情况数据142的“前事件”和“最新事件”判断搬送情况,更新事件数据148的“情况”。例如,“前事件”为“E3”、“最新事件”为“E4”时,“情况”显示为“搬送中”,“前事件”为“E1”、“最新事件”为“E2”时,“情况”显示为“搬送等待”,“前事件”为“E2”、“最新事件”为“E3”时,“情况”显示为“受理中”。
此外,更新部130根据事件数据148,当判断成为对象的组事件E 1发生时,也就是说,新的组存入临时存积装置500中时,使存积情况数据144的“存积组数”增加1。而且,更新部130根据事件数据148,当判断成为对象的组E4发生时,也就是说,组从临时存积装置500出库时,使存积情况数据144的“存积组数”减1。
这样,因为存积情况数据144处于最新状态,所以存积情况数据144的“存积组数”为“假想可存积组数”时,信息生成部120生成用于限制向临时存积装置500入库的控制信息,通过通信部110将该控制信息传送给搬送台车等,能够控制组向临时存积装置500入库。不过,由于“假想可存积组数”和“可存积组数”不同,即使“存积组数”为“假想可存积组数”时,紧急组也可以成为控制向临时存积装置500入库对象的例外。
接着,对用户进行搬送负荷显示的情况进行说明,
PC 200根据用户的操作,生成搬送负荷显示要求信息,将该搬送负荷显示要求信息向服务器100传送。
而且,信息生成部120判断搬送负荷显示要求信息是否被通信部110接受(步骤S3)。
而且,当有搬送负荷显示要求时,信息生成部120根据组情况数据142生成搬送负荷显示信息,通信部110向PC 200传送该搬送负荷显示信息。PC 200根据该搬送负荷显示信息,表示成图2所示的搬送负荷情况的图像(步骤S4)。
更具体地说,信息生成部120参照组情况数据142的“情况”和“事件发生时间”,计算预定时间中的每个情况的组数。而且,信息生成部120根据整体的组数和“搬送中”的组数计算搬送负荷指数。而且,作为搬送负荷指数可以是诸如整体组数除以“搬送中”组数的值等。
信息生成部120通过进行这种计算,可以生成表示成图2所示的搬送负荷情况的图像。
服务器100、PC 200和检测装置400反复执行步骤S1-S4的处理直到组搬送结束(组搬送结束是步骤S5)。
以上所述,根据本实施方式,服务器100检测临时存积装置500中组的搬送所涉及的多种事件,根据表示该事件变化的组情况数据142,可以判断组的搬送状态。据此,服务器100能够向用户提示实际的搬送负荷情况。
例如,现有的系统,只能根据当时的事件掌握搬送情况,所以,不能判断图1所示的事件E4,是从事件E1变化为事件E4的,还是从事件E3变化为事件E4的。
反之,因为本实施方式的服务器100能够根据事件的变化掌握搬送情况,所以能够更详细地把握搬送情况,更确切地向用户提示搬送负荷情况。
根据本实施方式,服务器100根据存积情况数据144将搬送负荷情况表示为图像,能够更详细地向用户提示搬送负荷情况。更具体地说,在组滞留在临时存积装置500中时,服务器100能够向用户提示该滞留是为了等待搬送方的临时存积装置500有空,还是只不过处于搬送等待中。据此,用户能够根据搬送负荷情况做出适当处理。
此外,根据本实施方式,服务器100通过利用阶段数据146能够把握搬送等待等的组状态和该组的处理阶段,所以即使在例如处理阶段改变时也能够预测搬送负荷情况,并向用户提示。
而且,根据本实施方式,因为能够将搬送负荷指数表示成显示图2所示的图像,所以既能表示例如每个时间段的搬送负荷指数的变化,又能在搬送负荷指数超过预定值时发出警告。
变形例
上面对应用本发明的优选实施例进行了说明,但本发明的应用不限于此。
例如,信息生成部120可以将搬送负荷情况转化生成不是工厂整体的搬送负荷信息,而是以处理区为单位或装置为单位表示的搬送负荷信息。而且信息生成部120可以生成图像信息,不仅表示搬送负荷,还表示自动搬送台车等的工作效率、搬送时间、搬送次数、搬送组的详细内容(产量、试制等)、临时存积装置500的库存情况等。
此外,当表示搬送负荷的搬送负荷指数超过预定值时,信息生成部120生成控制信息,用于警告或强制装置停止。
而且,本发明不仅应用于半导体制造工厂,还可以应用于进行搬送的各种系统。此外,除使用上述自动搬送台车和搬送起重机以外,也可以在本发明上使用带式传输机等的搬送设备,这也很有效。
而且,可以使一个装置具备上述的服务器100、PC 200、检测装置400的功能,也可以分散成多个装置安装。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的权利要求范围之内。

Claims (8)

1.一种搬送情况提示系统,向用户提示组在位于不同场所的多个临时存积装置之间搬送的搬送情况,其特征在于包括:
事件检测装置,其对在所述临时存积装置间发生的组的搬送所涉及的多种事件进行检测;
存储装置,其存储表示各组搬送情况的组情况数据;
更新装置,其根据所述事件检测装置检测出的事件,更新所述组情况数据;以及
情况提示装置,其根据所述组情况数据向用户提示表示组的搬送负荷情况的图像,
其中,所述组情况数据包括表示以组为单位的事件变化的数据,
所述情况提示装置根据表示所述事件变化的数据,判断组处于搬送中和搬送等待中的哪一个状态,并将特定时间中的对象组的状态表示成图像,作为表示所述搬送负荷情况的图像。
2.根据权利要求1所述的搬送情况提示系统,其特征在于:
所述多种事件包括:存积装置间搬送中事件,表示组从指定的临时存积装置向不同的临时存积装置搬送;组到达事件,表示组已从不同的临时存积装置到达指定的临时存积装置;处理装置搬送事件,表示组从所述临时存积装置向组的处理装置搬送;以及处理完成事件,表示组已从所述处理装置到达所述临时存积装置,
所述存储装置,存储存积情况数据,所述存积情况数据表示组在所述多个临时存积装置中的存积情况,
所述更新装置,根据所述事件检测装置检测出的事件,更新所述存积情况数据,
所述情况提示装置,根据表示所述事件变化的数据和所述存积情况数据,判断组处于等待搬送方的临时存积装置有空的受理中、所述搬送中、所述搬送等待中的哪个状态,并将所述搬送负荷情况表示成图像。
3.根据权利要求1所述的搬送情况提示系统,其特征在于:
所述存储装置存储阶段数据,所述阶段数据表示对各组执行的处理阶段,
所述情况提示装置根据所述阶段数据,预测所述搬送负荷情况,并向用户提示。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送情况提示系统,其特征在于:
所述情况提示装置根据全部的组数和处于搬送中的组数的比例,计算搬送负荷指数,
所述情况提示装置,将所述搬送负荷指数表示成图像,作为表示所述搬送负荷情况的图像。
5.一种搬送情况提示方法,其特征在于:
检测组在位于不同场所的,搬送、存积组的多个临时存积装置间搬送所涉及的多种事件,
根据检测出的数据,更新组情况数据,所述组情况数据包括表示以组为单位的事件变化的数据,
根据表示所述事件变化的数据,判断组处于搬送中、搬送等待中的哪个状态,并将特定时间中对象组的状态表示成图像,作为表示搬送负荷情况的图像。
6.根据权利要求5所述的搬送情况提示方法,其特征在于:
所述多种事件包括:存积装置间搬送中事件,表示组从指定的临时存积装置向不同的临时存积装置搬送;组到达事件,表示组已从不同的临时存积装置到达指定的临时存积装置;处理装置搬送事件,表示组从所述临时存积装置向组的处理装置搬送;以及处理完成事件,表示组已从所述处理装置到达所述临时存积装置,
根据检测出的事件,更新存积情况数据,所述存积情况数据表示组在所述多个临时存积装置中的存积情况,
根据表示所述事件变化的数据和所述存积情况数据,判断组处于等待搬送方的临时存积装置有空的受理中、所述搬送中、所述搬送等待中的哪个状态,并将所述搬送负荷情况表示成图像。
7.根据权利要求5所述的搬送情况提示方法,其特征在于:
根据表示对各组执行的处理阶段的阶段数据,预测所述搬送负荷情况,并向用户提示。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的搬送情况提示方法,其特征在于:
根据全部的组数和处于搬送中的组数的比例,计算搬送负荷指数,
将所述搬送负荷指数表示成图像,作为表示所述搬送负荷情况的图像。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7426421B2 (en) * 2005-12-28 2008-09-16 Taiwan Semicondcutor Manufacturing Co., Ltd. Methods and systems for transport system (TS) integration
JP2009087138A (ja) * 2007-10-01 2009-04-23 Elpida Memory Inc 搬送システム、搬送車管理装置、および搬送制御方法
JP5454554B2 (ja) * 2011-11-11 2014-03-26 株式会社デンソー 搬送システムおよびその制御方法
US8684383B1 (en) 2012-11-15 2014-04-01 Raymond Mullins Adjustable suspension system and method for suspending a vehicle

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5838566A (en) * 1996-12-10 1998-11-17 Advanced Micro Devices System and method for managing empty carriers in an automated material handling system
JPH1159829A (ja) * 1997-08-08 1999-03-02 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
JP3319993B2 (ja) * 1997-09-10 2002-09-03 東京エレクトロン株式会社 被処理体のデッドロック判定方法、被処理体のデッドロック回避方法及び処理装置
US6128588A (en) * 1997-10-01 2000-10-03 Sony Corporation Integrated wafer fab time standard (machine tact) database
US6122566A (en) * 1998-03-03 2000-09-19 Applied Materials Inc. Method and apparatus for sequencing wafers in a multiple chamber, semiconductor wafer processing system
JPH11330197A (ja) * 1998-05-15 1999-11-30 Hitachi Ltd 搬送制御方法とその装置
US6662076B1 (en) * 1999-02-10 2003-12-09 Advanced Micro Devices, Inc. Management of move requests from a factory system to an automated material handling system
JP3625150B2 (ja) * 1999-04-23 2005-03-02 村田機械株式会社 自動倉庫システム
DE19952195A1 (de) * 1999-10-29 2001-05-17 Infineon Technologies Ag Anlage zur Bearbeitung von Wafern
JP2001217299A (ja) * 2000-02-04 2001-08-10 Nec Corp 半導体搬送設備の特殊ロット搬送制御システム及び方法と装置並びに記録媒体
JP2001297140A (ja) 2000-04-12 2001-10-26 Murata Mach Ltd 物流システムネットワーク
JP4128339B2 (ja) * 2001-03-05 2008-07-30 株式会社日立製作所 試料処理装置用プロセスモニタ及び試料の製造方法
JP4506050B2 (ja) * 2001-07-25 2010-07-21 東京エレクトロン株式会社 処理システム及び被処理体の管理方法
JP2003124286A (ja) * 2001-10-18 2003-04-25 Mitsubishi Electric Corp 工程間搬送システムおよび工程間搬送方法
US6821082B2 (en) * 2001-10-30 2004-11-23 Freescale Semiconductor, Inc. Wafer management system and methods for managing wafers
US6975921B2 (en) * 2001-11-09 2005-12-13 Asm International Nv Graphical representation of a wafer processing process
US7158850B2 (en) * 2002-06-14 2007-01-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Wireless wafer carrier identification and enterprise data synchronization
US7487099B2 (en) * 2002-09-10 2009-02-03 International Business Machines Corporation Method, system, and storage medium for resolving transport errors relating to automated material handling system transaction
US6931303B2 (en) * 2003-10-02 2005-08-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Integrated transport system
US7076326B2 (en) * 2003-10-06 2006-07-11 Intel Corporation Proactive staging for distributed material handling
US7720557B2 (en) * 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
TWI316044B (en) * 2004-02-28 2009-10-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for material control system interface

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