CN1386220B - 多协议环境中的自动工具管理 - Google Patents

多协议环境中的自动工具管理 Download PDF

Info

Publication number
CN1386220B
CN1386220B CN018023037A CN01802303A CN1386220B CN 1386220 B CN1386220 B CN 1386220B CN 018023037 A CN018023037 A CN 018023037A CN 01802303 A CN01802303 A CN 01802303A CN 1386220 B CN1386220 B CN 1386220B
Authority
CN
China
Prior art keywords
instrument
client applications
data
message
device model
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN018023037A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1386220A (zh
Inventor
雷蒙德·W·艾丽斯
马克·T·彭德里顿
查尔斯·M·贝利斯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Biya Intellectual Property Co.,Ltd.
Asyst Technologies Inc
Original Assignee
Domain Logix Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Domain Logix Corp filed Critical Domain Logix Corp
Publication of CN1386220A publication Critical patent/CN1386220A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1386220B publication Critical patent/CN1386220B/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4185—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the network communication
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31174—Load, use different protocols, formats, emulators for different systems
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31175—Message comprises identification of sender, receiver, command and parameter
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31186—TCP-IP internet protocol
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31196—SOAP, describes available services and how to call them remotely
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31422—Upload, download programs, parameters from, to station to, from server
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/32—Operator till task planning
    • G05B2219/32126—Hyperlink, access to program modules and to hardware modules in www, web server, browser
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/34—Director, elements to supervisory
    • G05B2219/34038—Web, http, ftp, internet, intranet server
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Abstract

用户向对应的应用程序接口单元发出与面向对象的应用间通信协议一致的消息。该消息可以为在所选工具上执行特定操作的请求。对应的应用程序接口单元抽取消息的内容，该消息包含所请求的操作需要的数据以及表示该工具的对象的指针。设备模型获得一个值，其中该值与有关某个工具的消息中请求的特定信息有关，或者是一个通知用户事件发生的通告。设备模型向适当用户传送该值。

Description

多协议环境中的自动工具管理
本发明涉及以下共同拥有的共同未决美国专利申请：
临时申请序号60/216,819，申请日期2000年7月7日，并且申请依据35U.S.C.119(e)的最早申请日权利；以及
申请序号09/496,009，“基于Web的工具管理装置和方法”(代理审查号21183-P001US)，申请日期2000年2月1日，本申请为该申请的继续部分。
本发明涉及生产工艺，更确切地说，涉及提供一种在多协议环境中控制生产设备的机制。
现代生产设备依赖高度自动化的工具实现生产工艺。例如，半导体制造(“fab”)设备安装高度自动化的成套工具生产半导体片。通过一组软件方法调停过程控制和监控，其中调用软件方法实现加工和监控。控制和监控软件在工具服务器上运行，以点对点方式，经由许多端口将工具服务器连接到工具，各端口连接工具服务器和特定工具。作为选择，工具服务器中的工具可以驻留在局域网(LAN)上。为了控制生产工艺，用户必须能够通过驻留在LAN上的用户系统，或者通过与工具服务器通信，与工具服务器通信。特别地，在现有范围内，为控制和监控工具状态而远程访问工具服务器，需要开发在提供远程访问的各种平台上实现的专用代码。然而，现代数据处理系统通常提供各种各样的先前存在的软件应用程序，如浏览器和电子表格软件，这些软件包括面向对象的应用间或进程(过程)间通信的功能。这些功能有助于跨越不同平台和软件环境的进程间通信。因此，需要一种使接口连接应用软件适应生产设备的系统和方法，其中接口连接应用软件使用各种各样的面向对象的过程间通信协议。另外，此类接口连接系统和方法应适应传统工具控制、监控应用以及实施安全策略。
在某些实施方式中，通过推动使用各种各样的面向对象的进程间通信协议的生产设备在不同平台和软件环境中的进程间通信，至少部分解决上述问题。
在一种实施方式中，用于自动工具管理的过程包括以下步骤，使用应用程序的用户以各种方式，如广域网(WAN)、局域网(LAN)等，根据面向对应的应用间协议，或(等效的对象到对象协议)，如组件对象模型(COM)、JavaTM远程方法调用(RMI)、公用对象请求代理体系结构(CORBA)、简单对象访问协议(SOAP)或诸如超文本传输协议(HTTP)之类的网络传输协议，发出消息。该消息可以为执行特定操作的请求，如，从工具中抽取特定信息，将与工具对象有关的变量或参数设置为某个特定值。与工具有关的对象可以定义工具的状态。
由相应的应用程序接口单元接收该消息。可以配置应用程序接口单元以连接诸如OBEM之类的设备模型和用户。也可以进一步配置应用程序接口单元以抽取所接收的消息的内容，接收的消息包括所请求的操作需要的数据。该消息可以包括设备模型中对象的指针，其中设备模型表示要在其上执行操作的工具。应用程序接口单元可以调用消息中的指针指向的对象的方法，并向该方法传送组成消息内容的数据。该方法可以提供远程对象访问，而远程对象访问允许执行远程诊断和修修理。
设备模型可以获得与消息中所请求的操作和数据有关的数值.亦即，可以将该数值与某个工具的消息中请求的特定信息联系起来，如，温度、压力、状态或通知用户发生事件(警报解除)的通告.设备模型可以根据用户应用提供的地址向正确用户传送该数值.
以上概括介绍了本发明的特征和技术优势，目的是更好地理解本发明的详细说明书。以下说明构成本发明之权利要求主题的本发明的附加特征和优点。
通过连同附图考虑以下详细说明书，将更好地理解本发明，其中附图为：
图1表示根据本发明配置的系统的一种实施方式；
图2表示本发明的工具服务器的一种实施方式；
图3表示为在多协议环境中提供自动工具管理而配置的本发明的程序的软件体系结构的一种实施方式；
图4表示根据本发明配置的设备模型的统一建模语言(UML)图；
图5表示根据本发明配置的典型设备模型的图形用户界面(GUI)；
图6表示根据本发明配置的另一种典型GUI的一部分；
图7是一个流程图，表示通过设备模型从工具中检索信息和/或向工具发出服务请求的方法；
图8是一个流程图，表示用于工具访问控制的方法；以及
图9表示本发明的安全封装器体系结构的一种实施方式。
在以下说明中，阐述了大量的特定细节以便全面理解本发明。例如，提到了特殊的消息格式和应用间通信协议，然而，一般技术人员理解，可以在没有此类特定细节的情况下实现本发明。在其他实例中，以框图形式表示熟知电路，以防止在不必要的细节中混淆本发明。
以下参照附图，其中并未按比例表示所有元件，并且在所有附图中用相同的参考号数表示相同或相似元件。
图1表示本发明的系统100的一种实施方式，配置系统100以便提供允许一个或多个用户101A-C通过工具服务器102与一个或多个工具103A-C进行通信的机制。将用户101A-C共同或单独称为用户101。将工具103A-C共同或单独称为工具103。请注意，系统100可以包括任意数目的用户101和工具103，并且图1是说明性的。另外请注意，用户101和工具服务器102之间的连接以及工具服务器102和工具103之间的连接，可以为任意介质类型，如，无线、有线。此外请注意，用户101可以为任何设备类型的用户，该设备能够连接到工具服务器102，从而能够与工具103进行通信，设备类型如，无线、个人数字助理(PDA)、蜂窝电话、个人计算机、工作站、因特网装置。
可以配置工具服务器102，以便从工具103中抽取特定信息，如温度.通过经由工具服务器向工具发送请求消息，可以获得信息，工具也可以经由工具服务器返回信息，作为恢复消息.此外，工具也可以经由工具服务器向用户发送通知.例如，通知消息可以提醒用户工具中预先选择的条件出现.可以根据特定通信协议格式化消息内容.例如，在半导体制造工具中，通信协议可以为SEMI通信标准(SECS)，特别是SECS-II(SECS是由国际半导体设备暨材料协会(SEMI)颁布的SEMI设备标准公布的).(一般技术人员理解，本发明并不限于半导体制造行业，本发明的原理适用于其他制造领域内的工具自动系统，如汽车工业，并且此类实施方式同样属于本发明的实质和范围.)根据本发明的原理(以下说明)，用户101能够控制工具103，并且能够从工具103中抽取特定信息，其方法是，从各种各样的应用程序中向工具服务器102发送消息，其中应用程序如，电子表格、浏览器或使用面向对象的应用间通信协议的工具控制传统应用程序，应用间通信协议如组件对象模型(COM)、JavaTM远程方法调用(RMI)、公用对象请求代理体系结构(CORBA)、简单对象访问协议(SOAP)或诸如超文本传输协议(HTTP)之类的网络传输协议。(请注意，正如一般技术人员理解的那样，此类协议可以是分层的，例如，SOAP定义用于以XML文档格式封装消息的应用间消息传递协议，而根据HTTP传送XML文档。)消息可以为一个抽取特定信息的请求，如抽取温度、状态、压力，或者为一个服务请求，如启动/停止某一个或某几个工具103的工具操作，工具103为半导体制造设备中使用的设备。例如，用户101可以发出一个消息，请求特定燃烧室的温度，其中特定燃烧室表示生产工艺，即半导体工艺中的工具103。图5详细说明用户101经由工具服务器102获取工具103的信息。以下详细说明工具服务器102。
现在参照图2，该图表示本发明之工具服务器102的一种实施方式。参照图2，工具服务器102包括一个中央处理器(CPU)210，通过系统总线212连接CPU 210和各种其他组件。操作系统240在CPU 210上运行，控制并协调图2所示的各种组件的功能。应用程序250，例如，图5所示的用一个或多个工具103进行通信控制和数据管理的程序，图7所示的为访问工具服务器102的用户101提供安全性的程序，与操作系统240一起运行，操作系统240实现由应用程序250执行的各种功能。将只读存储器(ROM)216连接到系统总线212，ROM 216包括一个基本输入/输出系统(BIOS)，后者控制工具服务器102的某些基本功能。同时，将随机访问存储器(RAM)214、磁盘适配器218和通信适配器234连接到系统总线212。请注意，将包括操作系统240和应用程序250的软件组件加载到RAM 214中，后者为计算机系统的主存储器。磁盘适配器218可以为小型计算机系统接口(SCSI)适配器，该适配器与诸如磁盘驱动器之类的磁盘机220通信。请注意，可以将图5所示的从一个或多个工具103中检索信息的本发明的程序，存储到磁盘机220中，然后在启动或需要时，由操作系统从磁盘机中检索该应用程序，并加载到RAM中。另外请注意，可以将图7所示的为访问工具服务器102的用户101提供安全性的本发明的程序，存储到磁盘机220中，然后在启动或需要时，由操作系统从磁盘机中检索该应用程序，并加载到RAM中。
通信适配器234互连总线212与外部网络，外部网络使得工具服务器102通过诸如以太网、令牌环、ARCnet之类的局域网(LAN)或诸如因特网之类的广域网(WAN)，与其他此类系统通信。
本发明的实现方式包括计算机系统和计算机程序产品，其中对计算机系统进行编程以执行本文所述的方法。根据计算机系统实现，将执行该方法的指令集驻留在按上述方式配置的一个或多个计算机系统的随机访问存储器214中。当工具服务器102需要时，也可以以计算机程序产品的形式将该指令集存储到另一台设备中，如，磁盘驱动器220(包括诸如光盘或软盘之类的可更换存储器，以供磁盘驱动器220最后使用)。另外，也可以在另一台计算机中存储该计算机程序产品，并且在需要时，通过网络或诸如因特网之类的外部网络传送到用户的工作站。熟练技术人员可以理解，物理存储的指令集以物理方式改变存储该指令集的介质，从而该介质携带有计算机可读的信息。以上改变可以是电气、磁性、化学或某些其他物理改变。
图3表示本发明的程序的软件体系结构300的一种实施方式，按图5所示方式配置本发明的程序，以便从一个或多个工具103中检索信息.软件体系结构300可以包括一个或多个应用程序接口单元301A-C，设备模型302，以及一个或多个工具接口单元303A-C.将应用程序接口单元301A-C共同或单独称为应用程序接口单元310.将工具接口单元303A-C共同或单独称为工具接口单元303.请注意，软件体系结构300可以包括许多应用程序接口单元301和工具接口单元303，并且图3是说明性的.
可以配置应用程序接口单元301，以连接应用模型302和用户101。可以配置设备模型302，以提供工具103的逻辑表示，从而允许用户101与工具103通信。亦即，设备模型302可以提供工具103与物理设备的逻辑映射，其中工具是由物理设备组成的。工具供应商可以将设备分解设备模型的对象，以便将物理设备映射为诸如设备模型302之类的设备模型的对象的特性。一种设备模型为SEMI颁布的面向对象的设备模型(OBEM)，该设备模型作为SEMI临时说明书SEMI E98-1000，这里引用作为参考。请注意，可以与本发明一起使用其他设备模型，并且一般技术人员了解此类实施方式属于本发明的实质和范围。图4说明用于实例化设备模型302的模型模式。以下结合图5说明一种典型的设备模型。
图4表示可与本发明一起使用的设备模型模式402的统一建模语言(UML)。设备对象模型模式402可以是一个面向对象的模型，后者包括许多对象。根据面向对象的软件体系结构，对象可由子对象组成，子对象可以继承超对象的属性和方法。设备模型模式402可包括一个集合层404，和一个接口继承层406。集合层404中的对象可以为具体对象，而继承层406中的对象可以为抽象对象，抽象对象定义具体对象的属性和方法。(当使用JavaTM编程语言实现本发明时，继承层406中的抽象对象可以为接口。)
集合层404包括用户对象408。设备对象410可以包含(利用开菱形表示)零个或多个设备模块对象412(利用圆圈表示)。另外，设备对象410可以包含零个或多个设备子系统对象414，和设备I/O设备对象416。设备模块对象412本身可以包含零个或多个设备模块对象412，设备子系统对象414和设备I/O设备416。同样，设备子系统对象414可以包含零个或多个设备子系统对象414和零个或多个设备I/O设备416。集合层406可以表示从上层至底层的对象类型的递减复杂性。
现在参照图5，该图表示根据图4所示模式的典型设备模型502的图形用户界面(GUI)500。模型502表示可与本发明一起使用的设备模型，并且一般技术人员可以理解，工具模型可以具有与本实施方式的生产设备相对应的不同数目和类型的对象。
在GUI 500中，以分层方式表示模型502，模型502包括一个根节点。在典型模型502中，设备对象506是一个注入器(implanter)。GUI 500的窗格508表示与设备对象504有关的一组属性510以及对应值512。请注意，集合508中的一个属性为objType(514)，具有值“Equipment(设备)”(516)。另一个属性为objID(518)，具有值“implanter(注入器)”(520)。通过选择设备对象506(通过“突出显示”模型502中的对象标识符“implanter”)，在GUI 500中显示说明属性集510和属性值152的窗格508。一般技术人员熟知选择GUI中的对象的方法，如“鼠标单击”。
在模型502中，设备模块对象522是一个离子注入器，并且是设备对象506的一个子对象。通过按照连同设备对象506说明的方式，选择设备模块对象522，也可以显示设备模块对象的属性列表以及与属性相对应的有关值(在图5中未示出)。
模型502中的其他对象包括子系统对象524和设备I/O对象526。子系统对象524(终端站)是离子注入器(设备模块对象522)的一个子对象，I/O对象526(法拉第坩埚(Faraday cup))是子系统对象524的一个子对象。
根据面向对象的软件原理，诸如模型502之类的设备模型的对象是类的实例，类包括数据以及处理数据的方法。(上文中讨论的属性集为此类数据的例子。)因此，一个对象为包含数据以及处理该数据之代码的数据结构。具体而言，设备模型的对象包括用于返回特定对象的子对象的方法，其中设备模型是生产设备的逻辑表示。换句话说，正如数据处理技术中的一般技术人员熟知的那样，通过按照展开目录和文件的层次的方式，展开模型502的层次，访问设备模型的用户可以浏览该模型。这样，用户的客户应用程序获得模型对象的指针。然后，用户的客户应用程序使用这些指针向该工具或其组件发送消息，以便通过调停与该工具或其组件之逻辑表示相对应的对象，向该工具请求数据或服务。以下与图7一起说明上述消息传递。
图6表示本发明之实施方式中使用的另一种典型GUI 600的一部分。可以与用户的客户电子表格应用程序一起使用GUI 600。单元格602A-C包括注入器对象(单元604)的属性集。在单元格606A-C中显示对应值。请注意，单元格602A所示的属性ObjType的值为单元格606A中显示的值“equipment(设备)”，属性ObjID的值与设备对象506(图5)的值“implanter”相对应。请注意，单元格602A-C中的属性集以及单元格606A-C中的值反映图5中的属性集510中的属性和值集合512。
另外，GUI 600包括控制按钮608。通过选择控制按钮608，如用户利用“鼠标单击”或进行其他类似操作，可以从电子表格应用程序中发起一个请求消息，例如，通过设备对象模型从工具中请求所选的属性值，其中通过使用诸如COM之类的预定的面向对象的进程间通信协议，将该消息传递给设备模型。
现在参照图7，该图以流程图的形式，表示通过设备模型在诸如图1所示的工具103之类的工具之间传递消息的方法。
再次参照图3，可以配置应用程序接口单元301，以在某个用户101和工具103之间传递消息。可以配置各应用程序接口单元301，以便通过用户应用程序从用户101接收消息，或传统的本机消息，如SECS消息，其中用户应用程序按照一种或多种面向对象的应用间协议，如COM、RMI、CORBA、SOAP、HTTP进行通信。另外，可以配置各应用程序接口单元301，以便以特定方式，如WAN、LAN或工厂系统，从用户101中接收消息。例如，可以配置应用程序接口单元301A，以便在LAN上以诸如COM、RMI、CORBA、SOAP和XML之类的协议从用户101A接收消息。可以配置应用程序接口单元301B，以便在工厂系统网络或其他通信链路上，以诸如SECS之类的协议，经由诸如MES之类的传统应用程序，从用户101B接收消息。可以配置应用程序接口单元301C，以便通过WAN或因特网，以诸如HTTP请求之类的协议，从用户101C传递消息，或者接收按照HTML或XML文档之类的文档封装的消息。在题目为“基于Web的工具管理装置和方法”，申请序号为09/496,009的共同未决共同拥有的美国专利，详细说明了可以在此类应用程序接口单元中使用的方法和装置，这里全文引用作为参考。
图7是一个流程图，表示本发明之方法700的一种实施方式，方法700用于经由设备模型302(如OBEMTM)，检索一个或多个工具103的信息，如温度、压力，和/或向一个或多个工具103发出服务请求，如控制消息。如上所述，工具服务器102中的软件可以包含构成设备模型(如，OBEM)的软件体系结构，设备模型实现诸如图1所示工具103之类的工具的逻辑表示。
在步骤702中，用户101(如某个用户101之一101C)可以向特定应用程序接口单元(如应用程序接口单元301A)发出一个消息，从特定工具103请求消息，如温度、压力、状态，和/或向特定工具103发出一个服务请求，如控制消息.可以利用多任务或多处理环境中的线程，将该消息与特定用户101联系起来.
在步骤704中，由对应的应用程序接口单元301接收该消息。如上所述，用户101通过使用应用程序访问特定应用程序接口单元301，其中应用程序以各种方式，如WAN、LAN，根据面向对象的应用间通信协议或(等效的对象到对象协议)，如COM、RMI、CORBA、SOAP和HTTP等，传递消息。例如，可以配置应用程序接口单元301A，以便通过LAN根据诸如COM、RMI、CORBA、SOAP和HTTP之类的协议，从用户101A接收消息。可以配置应用程序接口单元301B，以便通过工厂系统网络根据诸如SECS之类的本机协议，从用户101B接收消息。可以配置应用程序接口单元301C，以便通过WAN或因特网根据诸如HTTP之类的协议，从用户101C接收消息。
如上所述，为了方便跨越不同数据处理平台的工具和用户之间的通信，可以通过面向进程间的通信或数据交换协议，交换消息，其中数据处理平台在工具和用户之间使用各种各样的应用消息，利用设备模型调停上述应用消息。例如，协议包括CORBA、RMI、COM和SOAP。另外，应用程序可以使用诸如SECS之类的本机通信协议，或HTTP请求或XML/HTML页面中的消息。
在步骤706中，在步骤704中接收消息的应用程序接口单元301抽取接收到的消息的内容，例如，所请求的操作需要的数据。如上所述，所接收的消息的内容可以为一个或多个工具103的特定信息的请求，如温度、压力、状态；或者为设置特定参数的请求，如控制调整点；抑或为请求通知，如请求改变某个参数的值。该消息包含设备模型中该对象的指针以及所影响的特定变量或参数，其中设备模型表示要在其上执行操作的工具103或其组件。
如果该请求既不是一个获取数据或设置数据的请求，也不是一个通知请求，则下面讨论的步骤710、741和763进入“否”分支，方法700通过适当的工具接口在步骤708中处理该请求，如，诸如启动或停止该工具之类的服务请求。
否则，如果该请求为获取数据请求、设置数据请求或通知请求，则所执行的操作依赖于工具103或其组件的特性。
如下所述，工具103可以称为在步骤706中请求的数据的同步源，可变同步源，和/或异步源。同步源表示向请求特定信息(如温度、压力、状态)的用户101提供值的工具。可变同步源表示可由用户101设置的工具103设置。设置表示用户101将特定工具103关联的特定变量或参数设置为特定值。异步源表示事件发生时(如，值改变时)通知用户101的特定工具103。可以配置工具接口单元303，以便连续监视有关工具103事件发生的时间。当事件发生时，工具接口单元303通知设备模型302事件发生。接着，配置设备模型302，以便根据指向用户101的指针，调用相应方法通知感兴趣的用户101。
在步骤712中，该方法确定在步骤708中确定的对象之参数是否具有异步源，其中异步源提供的值为当前值.如果该对象之参数具有异步源，其中该异步源提供的值为当前值，则从本地对象中检索当前值，步骤713，然后将该值传送到适当的应用程序接口，步骤728.在步骤730中，可以配置适当的应用程序接口单元301，以便根据适当协议，将收到的数据值并入到用户101的返回消息中.在步骤732中，根据用户的客户应用程序以前提供的地址，将该消息传送到适当用户101.
参照步骤710，如果特定工具103并不提供具有最新有效数据的异步源，则在步骤734中判定特定工具103是否提供同步源。如果特定工具103提供同步源，则在步骤736中，适当的工具接口单元303可以从特定工具103中检索数据值。可以启动适当的工具接口单元303，以便根据设备模型302的本机通信协议(如SECS)，利用设备模型302的方法检索数据值。接着，适当的工具接口单元303在步骤728中将该数据值传送到设备模型302。在步骤728中，按照上文中的方式将该值传递给用户。
如果特定工具103不是同步源，则确定特定工具103是否提供异步源，但该异步源没有最新的有效数据，步骤737。假如这样的话，则请求失败，步骤739，并且按上述方式，在步骤728-739中向用户返回失败响应。
否则，步骤737经由“否”分支进入到步骤740，以便从本机对象中检索数据值。可以按上述方式，在步骤728-732中向用户传递该值。
回到步骤710，如果该请求不是一个数据数据，则在步骤741中，确定该请求是否是一个修改数据元素的请求。假如这样的话，所执行的操作取决于工具103的特性。在步骤751中，按上述方式确定该工具是否提供支持受影响的参数的可变同步源。假如这样的话，步骤753通过适当的工具接口设置该参数。在完成此操作后，正如随后连同步骤765一起说明的那样，当设置受影响的参数时，步骤755通知请求通知的所有用户。然后按照上述方式，在步骤728-732中向用户返回该请求。
回到步骤751，如果确定该工具不提供正在讨论的属性的可变同步源，则在步骤757中确定该工具是否提供该属性的同步或异步支持。假如这样的话，请求失败，步骤759，并按照上述方式，在步骤728-732中向用户返回此状态。
回到步骤757，如果确定该工具不提供正在通论的属性的同步或异步支持，则步骤761将本地对象的属性设置为请求的值，步骤755，通知用户属性改变，然后按照上述方式，执行后继步骤。
回到步骤741，如果确定该请求不是一个获取数据值的请求，则步骤763确定该请求是否是一个诸如属性改变之类的事件发生时的通知请求。假如这样的话，则步骤765存储提出请求的用户的引用，以及与该引用有关的对象和参数。然后按照上述方式，在步骤728-732中向用户返回该请求的应答。
图8是一个流程图，表示根据本发明之实施方式的工具访问控制方法800。亦即，方法800用于控制用户或用户类对特定工具采取的操作。
在步骤802中，从用户(如图1所示的用户101A-C之一)接收请求消息。该消息可以请求有关工具或工具组件的数据，或请求工具的服务，其中该消息按上述方式访问工具或组件。
正如图9中用户对象950所示的那样，在步骤803中，方法800可以创建有关特定用户101(如用户101A)的对象。对象950可以包含有关用户(如用户101A)的标识符。
图9表示根据本发明之原理的安全封装器体系结构900.软件体系结构900可以在封装层901中包括一个或多个安全封装对象911A-E，安全封装对象分别与根对象912A、设备对象912B、模块对象912C、子系统对象912D和I/O对象912E有关，后者按上述方式逻辑表示工具单元.安全封装对象911A-E可以共同或单独表示安全封装对象911.以下详细说明安全封装对象911.请注意，软件体系结构900可以包括许多安全封装器911，并且众多安全封装器911可以与设备模型302的特定层次结构上的多个对象有关.例如，软件体系结构900可以包括许多与设备对象912B有关的安全封装器911.以下连同图9一起说明图8.
回到图8，在步骤804中，访问包含访问控制信息的配置文件。特别地，配置文件可以包括有关用户组或各用户的访问控制信息，其中用户组包括与用户对象950(图9)相对应的用户。另外，也可以将工具本身或其组件视为一个用户，并且用户对象950相当于此类工具或组件。响应与用户对象950有关的用户相对应的访问信息，生成封装层901(图9)。
在步骤806-816中，利用方法800生成诸如封装层901(图9)之类的安全封装层。在步骤806-816中，可以递归生成安全封装层901。所创建的与设备模型对象相对应的安全封装对象，取决于所访问的设备对象的设备模型层次结构的深度。换句话说，根据用户的请求消息，按需创建安全封装器。在步骤806中，创建一个封装对象，如安全封装对象911A-E之一。在步骤808中，在步骤806创建的安全封装对象中，存储相应设备模型对象(如对象912A-912E之一)的指针。另外，在步骤810中，在安全封装对象中，存储工具对象模型访问的相应特定用户和工具或工具组件。在步骤812中，确定当前的设备模型对象是否对应于发出过量请求的对象。不然的话，在步骤814中，过程800转到当前设备模型对象的子对象，然后返回到步骤806，以创建子对象的安全封装对象。换句话说，步骤806-814展开设备模型层次结构，直至在步骤816中达到发出访问请求的对象。在步骤816中，向用户(亦即发出访问请求的用户的客户应用程序)返回对应封装对象的指针。在步骤818中，根据在步骤810中在该对象中存储的访问规则，确定该用户能否访问该数据或请求与所接收的消息相对应的服务。假如这样的话，则在步骤820中，安全封装对象调用对应设备模型对象中的方法，以执行所请求的操作。否则，拒绝访问，步骤822。
回到步骤805，如果正在访问的设备模型对象的安全封装器存在，则在步骤807中，返回封装对象的指针，并且在步骤818中，向该方法传送安全封装对象的指针，以便执行所请求设备对象的特定操作。在步骤820中，根据相应的安全封装对象中存储的访问控制信息，确定是否允许访问。如果允许特定操作的访问，则调用该设备模型对象的相对应方法，步骤822，否则，拒绝访问，步骤824。
这样，诸如图9所示的安全封装对象911A-911E之类的安全封装对象，作为“过滤器”控制对工具或其组件的访问。请注意，可以根据配置列表中的控制信息，构造诸如图9所示的封装层901之类的附加安全封装层，以提供附加“过滤处理”。一般技术人员可以理解，按照上述方式构造的第二安全封装层可以包括与图9所示的对象911A-911E类似的安全封装对象，其中存储第一层中对应安全封装对象的指针。这样，逐次过滤特定设备模型对象的访问请求，正如连同步骤820说明的那样，该访问请求向该方法传送第二层中安全封装对象的指针，接着，正如连同步骤820说明的那样，在允许访问后，该方法传送第一安全封装层中的对应安全封装对象中包含的指针，然后，由该方法传送的指针指向的第一层中对应安全封装对象，根据其中包含的访问控制信息，确定安全性许可，当允许访问时，向调用的该工具的设备对象方法传送其指针。
尽管连同不同实施方式说明了本发明的方法、计算机程序产品和系统，但是本发明并不限于本文阐述的特定形式，相反，本发明意在覆盖附属权利要求书定义的本发明之实质和范围内的所有选择、更改和等价物.请注意，标题仅用于组织目的，而并不限制说明书或权利要求书的范围.

Claims (28)

1.一种自动工具管理方法，包括以下步骤：
客户应用程序在选择的协议中接收消息，其中所述消息包括在一个工具上执行一个操作的请求，所述消息标识所述工具的设备模型中的一个对象，所述设备模型包括所述工具的一个逻辑表示；
响应所述消息，调用所述对象的方法；以及
向所述客户应用程序传送一个返回值，其中所述返回值与所述操作有关。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述消息还包括数据，并且所述调用步骤向所述方法传送所述数据。
3.如权利要求1所述的方法，其中如果所述请求包括对数据的请求并且如果所述工具是所述数据的一个异步源，则该方法还包括以下步骤：
如果存在有效信息对应于所述数据，则根据所述有效信息生成所述返回值；
如果不存在有效信息对应于所述数据，则根据所述设备模型的数据库生成所述返回值；
将所述返回值并入给所述客户应用程序的返回消息中；以及
根据所述客户应用程序提供的地址，在所述选择的协议中向所述客户应用程序传送所述返回消息。
4.如权利要求1所述的方法，其中如果所述请求包括对数据的请求并且如果所述工具是所述数据的一个同步源，则该方法还包括以下步骤：
从所述工具中检索信息；
根据所述信息生成所述返回值；
将所述返回值并入给所述客户应用程序的返回消息中；以及
根据所述客户应用程序提供的地址，在所述选择的协议中向所述客户应用程序传送所述返回消息。
5.如权利要求1所述的方法，其中如果所述请求包括对数据的请求并且如果所述工具不是所述数据的异步源和所述数据的同步源中的一个，则该方法还包括以下步骤：
根据所述设备模型的数据库生成所述返回值；
将所述返回值并入给所述客户应用程序的返回消息中；以及
根据所述客户应用程序提供的地址，在所述选择的协议中向所述客户应用程序传送所述返回消息。
6.如权利要求1所述的方法，其中所述协议包括从以下协议中选择的协议：组件对象模型(COM)、远程方法调用(RMI)、CORBA、简单对象访问协议(SOAP)、SECS、GEM、超文本标注语言(HTML)、扩展标注语言(XML)。
7.如权利要求1所述的方法，其中调用所述对象的所述方法，以远程访问所述工具，并以电子方式诊断所述工具。
8.如权利要求2所述的方法，其中所述消息中的所述数据是通知数据。
9.如权利要求1所述的方法，还包括以下步骤：
生成安全封装层，其中所述安全封装层提供所述设备模型的保护层；以及
在所述安全封装层中创建一个安全封装对象，其中在所述安全封装对象中存储对应设备模型对象的指针。
10.如权利要求9所述的方法，其中如果所述对应设备模型对象是与所述请求相对应的所述对象，则向所述客户应用程序传送所述对应安全封装对象的指针。
11.如权利要求10所述的方法，还包括以下步骤：
根据所述对应安全封装对象中存储的访问规则，确定能否在所述工具上执行所述所选操作。
12.如权利要求11所述的方法，其中如果能够在所述工具上执行所述所选操作，则该方法还包括以下步骤：
利用所述对应安全封装对象调用一个方法，以执行所述所选操作。
13.如权利要求1所述的方法，其中所述接收消息的步骤和所述传送返回值的步骤由应用程序接口单元执行，所述应用程序接口单元将所述客户应用程序与所述设备模型相接。
14.如权利要求4所述的方法，其中所述从所述工具中检索信息的步骤由工具接口单元执行，所述工具接口单元将所述工具与所述设备模型相接。
15.一种用于自动工具管理的系统，包括：
一个工具，能够执行一个操作；
第一计算机系统，运行一个客户应用程序；以及
第二计算机系统，可操作的耦合到所述工具和所述第一计算机系统上，用于：所述客户应用程序在选择的协议中接收消息，其中所述消息包括在所述工具上执行一个操作的请求，所述消息标识所述工具的设备模型中的一个对象，其中所述设备模型包括所述工具的一个逻辑表示；响应所述消息，调用所述对象的方法；以及向所述客户应用程序传送一个返回值，其中所述返回值与所述操作有关。
16.如权利要求15所述的系统，其中所述消息还包括数据，并且所述第二计算机系统还在所述调用过程中向所述方法传送所述数据。
17.如权利要求15所述的系统，其中如果所述请求包括对数据的请求并且如果所述工具是所述数据的一个异步源，则所述第二计算机系统还执行以下操作：
如果存在有效信息对应于所述数据，则根据所述有效信息生成所述返回值；
如果不存在有效信息对应于所述数据，则根据所述设备模型的数据库生成所述返回值；
将所述返回值并入给所述客户应用程序的返回消息中；以及
根据所述客户应用程序提供的地址，在所述选择的协议中向所述客户应用程序传送所述返回消息。
18.如权利要求15所述的系统，其中如果所述请求包括对数据的请求并且如果所述工具是所述数据的一个同步源，则所述第二计算机系统还执行以下操作：
从所述工具中检索信息；
根据所述信息生成所述返回值；
将所述返回值并入给所述客户应用程序的返回消息中；以及
根据所述客户应用程序提供的地址，在所述选择的协议中向所述客户应用程序传送所述返回消息。
19.如权利要求15所述的系统，其中如果所述请求包括对数据的请求并且如果所述工具不是所述数据的异步源和所述数据的同步源中的一个，则所述第二计算机系统还执行以下操作：
根据所述设备模型的数据库生成所述返回值；
将所述返回值并入给所述客户应用程序的返回消息中；以及
根据所述客户应用程序提供的地址，在所述选择的协议中向所述客户应用程序传送所述返回消息。
20.如权利要求15所述的系统，其中所述协议包括从以下协议中选择的协议：组件对象模型(COM)、远程计算机程序产品调用(RMI)、CORBA、简单对象访问协议(SOAP)、SECS、GEM、超文本标注语言(HTML)、扩展标注语言(XML)。
21.如权利要求15所述的系统，其中调用所述对象的所述方法，以远程访问所述工具，并以电子方式诊断所述工具。
22.如权利要求16所述的系统，其中所述消息中的所述数据是通知数据。
23.如权利要求15所述的系统，其中所述第二计算机系统还执行以下操作：
生成安全封装层，其中所述安全封装层提供所述设备模型的保护层；以及
在所述安全封装层中创建一个安全封装对象，其中在所述安全封装对象中存储对应设备模型对象的指针。
24.如权利要求23所述的系统，其中如果所述对应设备模型对象是与所述请求相对应的所述对象，则向所述客户应用程序传送所述对应安全封装对象的指针。
25.如权利要求24所述的系统，其中所述第二计算机系统还执行以下操作：
根据所述对应安全封装对象中存储的访问规则，确定能否在所述工具上执行所述所选操作。
26.如权利要求25所述的系统，其中如果能够在所述工具上执行所述所选操作，则所述第二计算机系统还执行以下操作：
利用所述对应安全封装对象调用一个方法，以便执行所述所选操作。
27.如权利要求15所述的系统，其中所述接收消息的步骤和所述传送返回值的步骤由应用程序接口单元执行，所述应用程序接口单元将所述客户应用程序与所述设备模型相接。
28.如权利要求18所述的系统，其中所述从所述工具中检索信息的步骤由工具接口单元执行，所述工具接口单元将所述工具与所述设备模型相接。
CN018023037A 2000-07-07 2001-07-06 多协议环境中的自动工具管理 Expired - Lifetime CN1386220B (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US21681900P 2000-07-07 2000-07-07
US60/216,819 2000-07-07
US09/899,833 US7403984B2 (en) 2000-02-01 2001-07-05 Automated tool management in a multi-protocol environment
US09/899,833 2001-07-05
PCT/US2001/021318 WO2002005043A2 (en) 2000-07-07 2001-07-06 Automated tool management in a multi-protocol environment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1386220A CN1386220A (zh) 2002-12-18
CN1386220B true CN1386220B (zh) 2010-05-05

Family

ID=26911367

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN018023037A Expired - Lifetime CN1386220B (zh) 2000-07-07 2001-07-06 多协议环境中的自动工具管理

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7403984B2 (zh)
EP (1) EP1299780B1 (zh)
KR (1) KR100798565B1 (zh)
CN (1) CN1386220B (zh)
AT (1) ATE310979T1 (zh)
AU (1) AU2001271852A1 (zh)
CA (1) CA2383968A1 (zh)
DE (1) DE60115240T2 (zh)
MX (1) MXPA02002445A (zh)
WO (1) WO2002005043A2 (zh)

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7873428B2 (en) * 2005-04-15 2011-01-18 PEER Intellectual Property, Inc. Automated job management
US8028049B1 (en) 2000-02-01 2011-09-27 Peer Intellectual Property Inc. Apparatus and method for web-based tool management
US9785140B2 (en) 2000-02-01 2017-10-10 Peer Intellectual Property Inc. Multi-protocol multi-client equipment server
US7403984B2 (en) 2000-02-01 2008-07-22 Asyst Technologies, Inc. Automated tool management in a multi-protocol environment
US7117239B1 (en) 2000-07-28 2006-10-03 Axeda Corporation Reporting the state of an apparatus to a remote computer
US6757714B1 (en) * 2000-07-28 2004-06-29 Axeda Systems Operating Company, Inc. Reporting the state of an apparatus to a remote computer
US6711731B2 (en) * 2000-08-23 2004-03-23 Pri Automation, Inc. Web based tool control in a semiconductor fabrication facility
US8108543B2 (en) * 2000-09-22 2012-01-31 Axeda Corporation Retrieving data from a server
US7185014B1 (en) * 2000-09-22 2007-02-27 Axeda Corporation Retrieving data from a server
US7194544B2 (en) * 2000-12-14 2007-03-20 Borland Software Corporation Method and system for dynamic protocol selection among object-handled specified protocols
US7756963B2 (en) * 2001-07-05 2010-07-13 PEER Intellectual Property, Inc. Automated tool management in a multi-protocol environment
US6819960B1 (en) 2001-08-13 2004-11-16 Rockwell Software Inc. Industrial controller automation interface
US20030055593A1 (en) * 2001-09-18 2003-03-20 Schlotzhauer Ed O. Method for user variation of a measurement process
GB0127552D0 (en) * 2001-11-16 2002-01-09 Abb Ab Analysing events
US7254601B2 (en) 2001-12-20 2007-08-07 Questra Corporation Method and apparatus for managing intelligent assets in a distributed environment
US7024459B2 (en) * 2002-02-28 2006-04-04 Microsoft Corporation Scalable notification delivery service
WO2003089995A2 (en) * 2002-04-15 2003-10-30 Invensys Systems, Inc. Methods and apparatus for process, factory-floor, environmental, computer aided manufacturing-based or other control system with real-time data distribution
US7178149B2 (en) 2002-04-17 2007-02-13 Axeda Corporation XML scripting of soap commands
CN1317868C (zh) * 2002-05-28 2007-05-23 中兴通讯股份有限公司 一种基于类模板管理器的通讯报文处理设备和方法
FR2841999B1 (fr) * 2002-07-05 2004-09-10 Thales Sa Systeme de mise en reseau oriente objet d'equipements aeronautiques embarques
US7966418B2 (en) 2003-02-21 2011-06-21 Axeda Corporation Establishing a virtual tunnel between two computer programs
US7006882B2 (en) * 2003-05-06 2006-02-28 Macronix International Co., Ltd. Machine control system
US7596803B1 (en) * 2004-07-12 2009-09-29 Advanced Micro Devices, Inc. Method and system for generating access policies
WO2006036815A2 (en) * 2004-09-22 2006-04-06 Xyratex Technology Limited Xml/soap interprocess intercontroller communication
WO2006083789A2 (en) * 2005-02-02 2006-08-10 Asyst Technologies, Inc. Multi-protocol multi-client equipment server
US8677319B2 (en) * 2006-07-25 2014-03-18 International Business Machines Corporation Computer method and system for composite state management of software change requests
JP2008078630A (ja) * 2006-08-24 2008-04-03 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理システム
US8370479B2 (en) 2006-10-03 2013-02-05 Axeda Acquisition Corporation System and method for dynamically grouping devices based on present device conditions
US8065397B2 (en) * 2006-12-26 2011-11-22 Axeda Acquisition Corporation Managing configurations of distributed devices
US8478861B2 (en) 2007-07-06 2013-07-02 Axeda Acquisition Corp. Managing distributed devices with limited connectivity
AU2008354378A1 (en) 2008-04-11 2009-10-15 Gvbb Holdings S.A.R.L. Method for automated television production
US9141105B2 (en) * 2008-07-23 2015-09-22 Hurco Companies, Inc. Method and apparatus for monitoring or controlling a machine tool system
US20130166424A1 (en) * 2011-12-27 2013-06-27 Infosys Limited System and method for system integration
US20130310950A1 (en) * 2012-05-15 2013-11-21 Precision Machinery Research & Development Center Method of simultaneously connecting controllers of different branded manufacturing machines
CN103607340B (zh) * 2013-10-23 2017-05-17 上海华力微电子有限公司 Secs/gem消息交换设备和方法
US10210722B2 (en) * 2015-06-15 2019-02-19 Immersion Corporation Haptic notification communication system
US10380883B2 (en) * 2015-06-16 2019-08-13 Milwaukee Electric Tool Corporation Power tool profile sharing and permissions
CN106557030B (zh) * 2015-09-25 2019-08-20 华为技术有限公司 基于实体的操作指示方法及装置
CN105373021B (zh) * 2015-11-13 2018-01-26 苏州博众精工科技有限公司 智能制造接口程序系统的控制方法
EP3673336A1 (en) * 2017-10-26 2020-07-01 Siemens Aktiengesellschaft Building and tracking of an automation engineering environment
US11928228B2 (en) * 2020-09-25 2024-03-12 EMC IP Holding Company LLC Facilitating an object protocol based access of data within a multiprotocol environment

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5453933A (en) * 1993-09-08 1995-09-26 Hurco Companies, Inc. CNC control system
US5826040A (en) * 1992-03-24 1998-10-20 Texas Instruments Incorporated Method and system for production planning

Family Cites Families (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0162670B1 (en) * 1984-05-19 1991-01-02 British Aerospace Public Limited Company Industrial processing and manufacturing systems
US5291416A (en) * 1991-03-08 1994-03-01 Software Algoritms Incorporated Event feedback for numerically controlled machine tool and network implementation thereof
JP2926282B2 (ja) * 1991-06-06 1999-07-28 株式会社日立製作所 空気調和機及びその運転制御プログラムを記録した媒体
US5719761A (en) 1993-01-15 1998-02-17 Alaris Medical Systems, Inc. Configuration control system for configuring multiple biomedical devices
IT1268517B1 (it) 1993-04-15 1997-03-04 Zeltron Spa Sistema per la gestione di carichi elettrici domestici
AU2759595A (en) 1994-06-14 1996-01-05 Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) A method and system for manipulating intelligent representations of real equipment within a graphical computer system
US5432702A (en) * 1994-06-17 1995-07-11 Advanced Micro Devices Inc. Bar code recipe selection system using workstation controllers
US5592600A (en) * 1994-09-27 1997-01-07 International Business Machines Corporation Animated display showing execution of object-oriented programs
GB2301746B (en) * 1995-06-02 1999-09-08 Dsc Communications Remote control of wireless telecommunications systems
GB2301754B (en) * 1995-06-02 1999-12-29 Dsc Communications A protocol converter for a telecommunications system
US5696893A (en) 1995-06-07 1997-12-09 Xerox Corporation System for generically describing and scheduling operation of modular printing machine
EP0895681A1 (en) * 1996-02-22 1999-02-10 DSC Telecom L.P. A control system for a telecommunications system
EP0882341A1 (en) * 1996-02-22 1998-12-09 DSC Telecom L.P. A control system for a telecommunications system
US5961588A (en) * 1996-02-22 1999-10-05 Alcatel Usa Sourcing, L.P. Handling of commands passed between the server and client stations of a telecommunications system
US5805442A (en) * 1996-05-30 1998-09-08 Control Technology Corporation Distributed interface architecture for programmable industrial control systems
US6681145B1 (en) * 1996-06-06 2004-01-20 The Boeing Company Method for improving the accuracy of machines
TWI249760B (en) 1996-07-31 2006-02-21 Canon Kk Remote maintenance system
US6016516A (en) * 1996-08-07 2000-01-18 Fuji Xerox Co. Ltd. Remote procedure processing device used by at least two linked computer systems
US6418214B1 (en) * 1996-09-25 2002-07-09 British Telecommunications Public Limited Company Network-based conference system
US5847957A (en) * 1997-06-16 1998-12-08 Base Ten Systems, Inc. Web access for a manufacturing execution system
US5987135A (en) * 1997-07-25 1999-11-16 Prc Inc. System and method for controlling and monitoring remote distributed processing system
DE69818494T2 (de) * 1997-10-13 2004-07-01 Rosemount Inc., Eden Prairie Übertragungsmethode für Feldvorrichtungen in industriellen Prozessen
US6470227B1 (en) * 1997-12-02 2002-10-22 Murali D. Rangachari Method and apparatus for automating a microelectric manufacturing process
US6418352B1 (en) * 1997-12-12 2002-07-09 Brooks Automation Gmbh Integrated material management module
US6167451A (en) * 1998-01-20 2000-12-26 Netscape Communications Corporation Multiple push protocol unifying system
US6535779B1 (en) * 1998-03-06 2003-03-18 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for endpoint control and plasma monitoring
US6832120B1 (en) * 1998-05-15 2004-12-14 Tridium, Inc. System and methods for object-oriented control of diverse electromechanical systems using a computer network
US6201996B1 (en) * 1998-05-29 2001-03-13 Control Technology Corporationa Object-oriented programmable industrial controller with distributed interface architecture
US6553403B1 (en) * 1998-06-03 2003-04-22 International Business Machines Corporation System, method and computer program product for monitoring in a distributed computing environment
US6437692B1 (en) * 1998-06-22 2002-08-20 Statsignal Systems, Inc. System and method for monitoring and controlling remote devices
US6615091B1 (en) * 1998-06-26 2003-09-02 Eveready Battery Company, Inc. Control system and method therefor
US6349341B1 (en) * 1998-07-30 2002-02-19 Advanced Micro Devices, Inc. Method and system for providing inter-tier application control in a multi-tiered computing environment
JP2000059459A (ja) * 1998-08-11 2000-02-25 Canon Inc データ通信装置、データ通信システム、データ通信方法、及び記憶媒体
US6198480B1 (en) * 1998-10-07 2001-03-06 Wonderware Corporation Object-oriented tag browser
AU1843300A (en) * 1998-12-11 2000-06-26 Microsoft Corporation Accelerating a distributed component architecture over a network using a modified rpc communication
US6463352B1 (en) * 1999-01-21 2002-10-08 Amada Cutting Technologies, Inc. System for management of cutting machines
US6658571B1 (en) * 1999-02-09 2003-12-02 Secure Computing Corporation Security framework for dynamically wrapping software applications executing in a computing system
US6549199B1 (en) * 1999-03-19 2003-04-15 Corel Inc. System and method for adjusting a graphical object
US6944584B1 (en) * 1999-04-16 2005-09-13 Brooks Automation, Inc. System and method for control and simulation
US6549937B1 (en) * 1999-07-21 2003-04-15 Microsoft Corporation System and method for multi-protocol communication in a computer network
US6421682B1 (en) * 1999-07-26 2002-07-16 Microsoft Corporation Catalog management system architecture having data table objects and logic table objects
US7069101B1 (en) * 1999-07-29 2006-06-27 Applied Materials, Inc. Computer integrated manufacturing techniques
US6332163B1 (en) * 1999-09-01 2001-12-18 Accenture, Llp Method for providing communication services over a computer network system
US6618425B1 (en) * 1999-11-17 2003-09-09 Cymer, Inc. Virtual laser operator
US6640151B1 (en) * 1999-12-22 2003-10-28 Applied Materials, Inc. Multi-tool control system, method and medium
US7403984B2 (en) 2000-02-01 2008-07-22 Asyst Technologies, Inc. Automated tool management in a multi-protocol environment
US8028049B1 (en) 2000-02-01 2011-09-27 Peer Intellectual Property Inc. Apparatus and method for web-based tool management
US6826439B1 (en) * 2000-05-23 2004-11-30 Advanced Micro Devices, Inc. Broadband distribution of SECS-II data
US7031783B2 (en) * 2001-06-29 2006-04-18 Agilent Technologies, Inc. Virtualized generic equipment model data and control router for factory automation
US6842660B2 (en) * 2001-10-31 2005-01-11 Brooks Automation, Inc. Device and method for communicating data in a process control system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5826040A (en) * 1992-03-24 1998-10-20 Texas Instruments Incorporated Method and system for production planning
US5453933A (en) * 1993-09-08 1995-09-26 Hurco Companies, Inc. CNC control system

Also Published As

Publication number Publication date
KR100798565B1 (ko) 2008-01-28
WO2002005043A3 (en) 2002-05-30
DE60115240D1 (de) 2005-12-29
EP1299780A2 (en) 2003-04-09
WO2002005043A2 (en) 2002-01-17
EP1299780B1 (en) 2005-11-23
AU2001271852A1 (en) 2002-01-21
US20020026514A1 (en) 2002-02-28
DE60115240T2 (de) 2006-08-03
KR20020055579A (ko) 2002-07-09
ATE310979T1 (de) 2005-12-15
CN1386220A (zh) 2002-12-18
CA2383968A1 (en) 2002-01-17
MXPA02002445A (es) 2004-09-10
US7403984B2 (en) 2008-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1386220B (zh) 多协议环境中的自动工具管理
US7779089B2 (en) Method and system for remote configuration of process data access servers
AU2001292809B2 (en) An extensible manufacturing/process control information portal server
EP1277123B1 (en) Device interfaces for networking a computer and an embedded device
US8185871B2 (en) System for configuring a process control environment
US7617277B2 (en) Internet object based remote operation of an industrial controller
US6098116A (en) Process control system including a method and apparatus for automatically sensing the connection of devices to a network
CN107077128B (zh) 控制工业设施中的现实世界对象
AU2001292809A1 (en) An extensible manufacturing/process control information portal server
AU2001292691A1 (en) A method and system for remote configuration of process data access servers
JP2011040095A (ja) ＭＯＤＢＵＳデバイスネットワーク及びＦｉｅｌｄｂｕｓデバイスネットワークとともに使用するためのインターフェイスモジュール
CN101151865B (zh) 多协议多客户端设备服务器
US7756963B2 (en) Automated tool management in a multi-protocol environment
KR101757259B1 (ko) Ｃｉｍ 기반 실시간 데이터 교환을 위한 통합관리 시스템
JP4806513B2 (ja) 複数プロトコル環境における自動ツール管理
US20080319554A1 (en) Real World Object Control In Connected Systems

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: BIYA INTELLECTUAL PROPERTY CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: ASYST TECHNOLOGIES, INC

Effective date: 20100826

Owner name: ASYST TECHNOLOGIES, INC

Free format text: FORMER OWNER: DOMAIN LOGIX CORP.

Effective date: 20100826

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: CALIFORNIA, U.S.A. TO: CANADA OTTAWA

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20100826

Address after: Ottawa, Canada

Patentee after: Biya Intellectual Property Co.,Ltd.

Address before: American California

Patentee before: ASYST TECHNOLOGIES, Inc.

Effective date of registration: 20100826

Address after: American California

Patentee after: ASYST TECHNOLOGIES, Inc.

Address before: California, USA

Patentee before: Domain Logix Corp.

CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20100505