CN1322167A - 刚性基片上复制光成形表面结构的方法和设备 - Google Patents

刚性基片上复制光成形表面结构的方法和设备 Download PDF

Info

Publication number
CN1322167A
CN1322167A CN99811830A CN99811830A CN1322167A CN 1322167 A CN1322167 A CN 1322167A CN 99811830 A CN99811830 A CN 99811830A CN 99811830 A CN99811830 A CN 99811830A CN 1322167 A CN1322167 A CN 1322167A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure roller
platform
submodule
substrate
described pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN99811830A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1165418C (zh
Inventor
阿倍斯·霍锡尼
坎·S·李
加金德拉·D·萨文特
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Luminit LLC
Original Assignee
Physical Optics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Physical Optics Corp filed Critical Physical Optics Corp
Publication of CN1322167A publication Critical patent/CN1322167A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1165418C publication Critical patent/CN1165418C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/02Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
    • B29C35/08Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
    • B29C35/10Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation for articles of indefinite length
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C39/00Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor
    • B29C39/14Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor for making articles of indefinite length
    • B29C39/148Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor for making articles of indefinite length characterised by the shape of the surface
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/02Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
    • B29C59/04Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing using rollers or endless belts
    • B29C59/046Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing using rollers or endless belts for layered or coated substantially flat surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/02Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
    • B29C35/08Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
    • B29C35/0805Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
    • B29C2035/0827Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation using UV radiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2063/00Use of EP, i.e. epoxy resins or derivatives thereof, as moulding material

Abstract

一种用于在较硬基片(ST)上复制光成形表面结构于层压表面上的方法和设备。尤其是将基片(ST)安置在平台(24)上之后,在基片和子模(SU)之间涂布一层环氧树脂以构成叠层结构,该叠层结构在平台(24)和压辊(26)的外表面之间所形成的夹缝中自动加压,从而将表面结构复制在环氧树脂上。然后固化环氧,将子模(SO)从基片(ST)上分离下来,使该表面上保存具有光成形表面结构的层压结构,子模卷在压辊上,压辊在平台(24)作往复直线运动时压辊(26)转动。

Description

刚性基片上复制光成形表面结构的方法和设备
本发明是涉及层压组件的制造领域。尤其是涉及一种在刚性基片上用光成形复制表面结构来制造层压光学组件的方法。本发明还涉及一种实现这种方法的设备。
已有技术有多种在基片上复制光学组件以获得特定表面特性的最终产品的方法,最终产品包括视屏和单色器(homogenizer),都是在其至少一个表面上以光成形表面结构为特征的。这些产品是按下列工艺制成:(1)利用相干光在光敏介质上产生一表面结构;(2)处理该介质;(3)在环氧树脂中复制该表面结构。由于在各个处理过程中光敏介质有收缩现象,所以在生产具有特定光学特性的光学产品时至少需要一层子模,通常还顺次需要若干层子模。在最后阶段,将一块可重复使用的含有特定表面结构的子模压在涂有液态环氧树脂的基片上。液态环氧树脂固化后,再将子模从基片和固化了的环氧层上除去。根据不同的应用,基片可以是包含有一层柔性薄膜,或者是有一层厚的像聚碳酸脂、玻璃或丙烯类物质那样的较为刚性的基片。本发明就是涉及在这类刚性基片上复制表面结构的技术。
在此以前,在刚性基片上复制表面结构不是用手工方式处理就是用半自动方式处理而这两种处理方式都存在着各种缺点和不足。
手工处理方式包括四个步骤,第一,将基片放在硬的平面上,在基片上涂布一层环氧树脂。然后将柔性塑料子模放到基片顶面上;使环氧树脂层夹在基片和子模之间而形成夹层结构;子模上具有特定表面结构的这一面是朝向基片的。然后,将覆有氯丁橡胶或橡胶的滚轴滚压该夹层结构,而使该夹层结构因滚轴和平面相交而成的“线一到一面”接触而受到压力。这种压力致使特定的表面结构复制到环氧树脂层上。然后通过紫外线曝光使环氧固化而形成复有子模的层压基片。最后在层压基片上将子模剥离。
手工复制过程是非常费时费工的,每小时一般只能生产五至十个,这与所复制表面的复杂程度有关,而且在加压过程中很难掌握所加压力的均匀性。这就会出问题,因为不均匀的加压会导致其最终产品不一致。要是在子模放到基片上之前,基片上的环氧树脂层涂得不均匀而后再施压,则这些问题就更为复杂了。
半自动加工方式是采用公知的层压机将基片、环氧树脂和子模叠层加压、层压机包括第一和第二夹辊,互成反向传动以拉动叠层结构在第一和第二夹辊之间的夹缝中通过而成形。第一夹辊是由直流电机之类传动的,而第二夹辊则由第一夹辊上的主动轮通过齿轮啮合带动第二夹辊上的从动轮而传动的,叠压基片就被拖入夹缝而被加压。然后,操作人员(1)将加压后的叠层结构接受紫外曝光使环氧固化而成层压基片,(2)和在手工加工方式中一样,将子模从层压基片上用手工剥离下来。
虽然半自动加工方式比手工方式要略微快些,但这并不必然会生产出较高质量的产品,因为首先,叠层结构是在夹缝中按线一线方式受压而不同于手工方式中的线一面方式受压,所以操作人员通过夹缝送料时,叠层结构会绕夹缝辊轴而摇摆,由此而使加压不均匀。其次,由于两个夹辊之间通过齿轮啮合而有游隙存在而导致两个夹辊之间产生速度偏差。这种速度偏差使送压的叠层结构两表面之间在送压过程中产生滑移,从而使最终产品降级。此外在加压进程中多余的环氧树脂往往溢出叠层结构;必须在子模剥离基片之前抹去。液态环氧树脂还可能在将受压叠层结构送去紫外光源的过程中渗入基片和子模之间而使产品受损。
需要有一种机器可以:(1)摆脱手工复制加工的费工和低效率,(2)以子模和基片之间的均匀加压和以追求无滑移或少滑移而求得高质量的产品。
本发明的首要目的是提供一种在较硬的基片上使基片、子模和环氧树脂夹层以自动加压方式快速可靠地自动复制成形表面结构的方法。
根据本发明的第一方面,该目的可用下列步骤来达到:首先将一叠层的结构放在由压辊的外表和平台之间所构成的夹缝之中,该叠层结构包括:(1)放在平台上的一块较硬基片,(2)一块子模,并将其上具有光成形表面结构的那一面朝向平面,(3)一层涂布在基片和子模之间的环氧树脂。该方法还包括将夹缝中的叠层结构自动加压以压环氧层上复制出表面结构。其他步骤包括固化环氧树脂和从基片上分离子模以保存一个在其表面上具有光成形表面结构的基片和环氧树脂层压结构。
为了提高速度和实现自动化,涂布环氧,固化环氧和剥离子模步骤最好是自动完成。
加压步骤最好包括在平台相对于压辊移动时压辊绕一非移动轴而转动。
本发明的另一目的是提供一种满足本发明首要目的的方法,防止在基片和子模在加压过程中滑移。
该目的是由辊轴和平台之间的相对运动至少是按辊轴外表面的线速度实际上等于平台的线速度来实现的。这种相对关系最好包括:由平台通过子模传给辊轴的移动驱动力作用使得子模逐步地从辊轴上解脱下来并在夹缝中向基片施压而形成叠层结构。
为了便于将子模从层压基片上自动剥离下来,平台最好由有进行程和回复行程构成往复运动,使平台只是在前进行程中驱动辊轴转动,分离步骤包括:在平台的回复行程中驱动辊轴按卷绕方向旋转逐步(1)将子模从层压结构上剥离下来,(2)将子模卷回到辊轴上去。
本发明的第二个主要目的是提供一种复制机,该机能将成形在子模表面上的光成形表面结构自动复制在较硬的层压基片面上。
根据本发明的另一方面,该目的由提供一种包含有一平台、一压辊和一传动装置的复制机来达到。该平台具有一通常平坦的支承面,并且至少可按并行于支承面延展的方向移动。压辊有一外表面,该外表面和平台的支承面分开而在此两者之间构成一夹缝。压辊是装在一个压辊同轴方向延伸又与相对平台位于横向支承轴上。在压辊的外表面上可以安置与之相贴合的子模,子模的一个外表面上具有表面结构,该表面朝向辊轴之外。驱动平台和压辊的传动装置可以使平台沿夹缝移动时,压辊的旋转速度至少使压辊外表面的线速度实际上等于平台的线速度,由此而将基片和子模在夹缝中加压。
为了提高效率,复制机还包括一环氧树脂自动涂布机设在压辊的上游位置,以及一环氧树脂自动固化器设置在压辊的下游位置。
本发明的另一目的,是提供一种复制机以满足第二个主要目的,使加压过程中辊轴速度和平台速度之间的关系不致于在其中产生滑移。
该目的是将压辊和平台按如下设置方式来达到:即:子模的第一端可与辊轴相固定而子模的第二端可与平台相固定,子模至少一部分卷绕在压辊的外表面上。传动装置最好还包括一回绕驱动装置,在平台的回复行程中该装置驱动压辊将子模回绕在压辊的外表面上。该回绕驱动装置最好包括:(1)一转筒,(2)由转筒传动而旋转的小齿轮,和(3)一个与小齿轮啮合并安装在辊轴传动轴上的从动齿轮。
本发明的其他目的、特点和优点都将结合附图在下面的叙述中加以阐明。显然在表达本发明优选实施例时的叙述只是一种说明而决不是一种限定。在本发明的范畴之内还会有很多变化和改进但都不会脱离其精神实质而本发明都将包含这些改进。
本发明的优选实施例已在下列附图中画出,其中相同数字的图注代表了相同的部件:
图1为根据本发明优选实施例所构成的复制机的透视图;
图2为图1所示复制机的顶视图;
图3为复制机的垂直视图;
图4为沿着图1中复制机4-4线的垂直剖视图;
图5为复制机的垂直后视图;
图6为复制机中包含有压辊轴组件这一部分的右侧局部垂直视图;
图7为沿着图2中复制机7-7线的侧面垂直剖视图;
图8为沿着图2中复制机8-8线的侧面垂直剖视图;
图9为复制机压辊轴部分的局部放大视图;
图10为复制机的部分分解透视图;
图11-14为阐明复制机顺序动作的系列垂直侧视图。
本发明优选实施例的详细叙述如下:(一)概述
本发明提供了一种简单,快速而可靠的将光成形表面结构复制到较硬基片的层压表面上去的方法和装置。尤其是将基片装在平台上,将一层环氧树脂涂布在基片和子模之间以成叠层结构之后,该叠层结构是在平台转动的压辊之间的夹缝中自动加压,从而将表面结构复制到环氧树脂上的。待环氧树脂固化后,子模即从基片上分离下来,并在该基片上留下一层具有光成形表面结构的层压结构。子模最好是卷绕在压辊上,在平台作直线往复运动时,压辊转动并在夹缝中将叠层结构加压。为了防止基片和子模之间的滑移,最好是因平台移动而将子模用作传动带以驱动辊轴旋转。这样在加压过程中压辊的旋转速度就和平台的移动速度一致了。复制机也能在加压过程之后自动固化环氧树脂,然后自动从基片上分离子模。(二)复制机的结构
参照图1-4和10,可见一个能如上面(一)中所描述的工作的复制机20,该复制机20包括:一个机架22上面安装有:(1)一移动平台24,(2)一压辊组件26,(3)一环氧树脂涂布器组件28,安装在压辊组件26的上游;和(4)一环氧固化器30,安装在压辊组件26的下游,机架22包括一水平上支承面32,多个垂直支撑34,多个横撑36和竖撑38,各种功能结构都由微机40和手动控制键42实现,手动控制键42都装在控制箱44上,该控制箱44则装在可相对机架22摇出的摇臂46上,设置在复制机20所指定的一边。在图示的实施例中,平台24处在水平面上,而压辊组件36,环氧涂布器组件28和环氧固化器30安装在该平台24上。在下的叙述都是按此最佳实施例而言的,但是平台的倾斜或倒向安置以及其他部件作相应取向安置显然都是可能的。
现对复制机20的每个主要部件依次描述如下。
平台24的目的就是传送装在其上的基片ST、使之通过环氧涂布器28,压辊组件26和环氧固化器30,并协同这些装置进行相关的运作。平台24可包括任何能够精确控制其直线移动且具有较为平坦表面的结构,在图示的实施例中,平台24包括一矩形厚板装在机架22的上支承面32上。平台24具有一呈水平平面的平端面50。在平台24的纵向后端部设有一横向的夹条52,以便将子模SU的第一端夹住如图11-14所示。
如图4-5所示,装在支承面32上的平台24可沿着这上面一对横向相对而纵向沿伸着的导辊54作纵向运动。每一条导轨54包括一普通工字型条58,装在支承面32上,型条58上两侧开有滑槽60。一对纵向隔开通常呈倒U形的刚性竖腿62和64固定在平台24底下的两侧。每一对竖腿62和64上都有向内的凸缘66扣在相关的滑槽60中以便可以在相联的导轨54上滑动。
平台24是受线性传动机构56驱动而在导轨54上移动的。该线性传动机构56可以包括任何与平台24和上支承面32相互耦合,并且可在微机40和/或人工控制键42操纵下的精确的控制速度,驱动平台24相对于上支承面32作纵向移动。优选的线性驱动器就是一螺旋丝杠传动机构,它包括一可逆直流电机68,一螺旋丝杠70和一丝母72,电机68安装在上支承面32的前端,丝母72是固定在平台24底面的后端位置,丝杠70则从电机68处伸出,穿过丝母72一直延伸到它终端的轴承73上。轴承73固定在上支承面32上以滚动支承丝杠70的终端。电机驱动丝杠70在丝母72中转动,促使丝母72并带动整个平台24沿丝杠方向作纵向移动。
压辊组件26包括其主要部件:(1)压辊74和(2)回绕装置76,压辊74处在平台24之上,其中相互隔开,并在该两者之间形成一夹缝N。另外,压辊74与平台24耦合,使压辊74的转速和平台24的移动速度相关,从而至少保持着压辊74外表面的线速度实际上等于平台24的线速度。在图中的优选实施例中这种关系之所以能获得,部分是得益于子模SU(下面将详细描述),部分则得益于回绕装置76。
压辊74和回绕装置76都安装在支架组件78上,该支架组件78是处在上支承面32的中部、平台24左右两侧,且固定在机架22的上支承面32上。支架78包括一对侧支板80,一前拉杆82和一后桥板84。侧支板80是垂直设置在平台24的侧翼处,并其高端处在平台24之上方。侧支板80的前面用前挂杆82拉紧,其后面则用后桥板84固定,这两者都是在侧支板80的顶部横向跨达平台24的上方。
参照图1、2、9和10,压辊74包括:(1)一刚性金属转鼓86和(2)可压缩材料层88,设置在转鼓86外周至少一部分表面上。转鼓86装在一对支轴90上。每一根支轴90都用淬火钢制成并由转鼓86的相应两端轴向伸出。柔性材料所成的可压层88最好是用天然或合成橡胶比如具有硬度为65-70丢洛(Duro)硅酮树脂。在转鼓86的外周面上有一轴向延伸的夹条92,位于材料层88的缝隙之中。该夹条92用于将子模SU的第二端固定在压辊74上,参见图9。
每一个支轴90可在转鼓86转向端部附近的轴承块94中转动,各轴承块94是依次浮动着支承在侧支板80中开着的滑道96中,如图6-8和10所示。尤其是,各个轴承块94都可用一个补偿机构作或上或下偏置调整,以便在整定时垂直调节压辊74的位置,和/或在加压过程中调节压辊74加到叠层结构上的压力。两个补偿机构都包括弹簧98和一个线性调节器100,若干个弹簧98都放在滑道96中,下面顶住侧支板80的上表面向上延伸到上面顶住轴承块94的下表面,这样使轴承块94向上偏置。所有弹簧98集合而成的偏置力正好和压辊74加上轴承块94的重量相匹配,线性调节器100可使用任何由微机40和/或手工控制键42控制的机构加力于轴承块94向下顶住弹簧98的作用力,从而来调整复制机运作时加压叠层结构上的压力。图示的优选直线调节器100包括一双向作用的压缸,其中有(1)一缸体102,用跨在垂直滑道96顶部的横梁104固定住,和(2)一导杆106,顶住轴承块94。
回绕装置76的目的是驱动压辊74旋转,将子模SU在平台24的回复行程中卷绕在压辊74上,同时还确保子模SU的张力以维持压辊74和平台24之间达到预定的速度关系。在图示和实施例中,回绕装置76是一对气动回转空气促动器110,分别安装在压辊组件26的两端,每个空气促动器110的输出与小齿轮112相耦合。每个小齿轮112又和固定在转鼓支轴90上的从动轮114相啮合。因此在微机40和/或手动控制键42的控制下促使空气促动器110动作而驱动小齿轮112转动从而拖动齿轮114和压辊74转动。有一个小齿轮112可用按钮116手动操作以便为整定等目的可手动操纵压辊74旋转。两个小齿轮和与之相联的回转空气促动器110还可以用气缸111在下列工作位置和后撤位置两个位置之间作如图1、2和8中箭头118所示的方向移动:(1)工作位置如图所示,小齿轮112是和从动轮114相啮合的;(2)后撤位置,小齿轮112是从动轮114处后撤而分开以便允许直接手动操纵压辊74旋转。最后,可选用一个从动轮114作制动,使操作人员可在如图所示的位置锁定压辊74以便操作夹条92,制动器最好来用双向气缸120的型式,该气缸120具有:(1)一个装在支框122上的气缸;(2)一条装有制动靴124的推杆。制动靴124可以由手动控制键42中的一个键控制其气缸的伸和缩以使其是否制压从动轮114的齿牙。
环氧树脂涂面器28不是复制机20所必备的,但却是有利于整个过程的自动化。环氧涂布器28可来用任何型式的可涂布液态环氧E的装置,用以在子模SU和基片ST之间涂布上一层均匀的液态环氧层,然后才可将此叠层结构送入夹缝N中加压。在如图示的优选实施例中,环氧涂布器28是装在压辊支架组件78上正处在压辊74的上游。如图8、10所示,图中环氧涂布器28包括一支条130,横贯在平台24上方,一喷排132装在支条130上,以及至少有一个、最好有几个环氧供管134。喷排132和基片ST的宽度相当或接近并具有向下的喷缝(未画出)。喷排132上有几个(图中实施例为3个)入口以输入环氧,从适当的环氧源(图中未画出)中通过供管134向这几个入口供给环氧树脂E的速率是由微机40控制。为了在复制机20不工作时,让环氧涂布器28从它的工作位置处退出,所以将支条130的另一端装在比如以向气缸那样的涂布用线性促动器136上。以便使支条130可相对平台24升起或落下。
固化器30可以包括任何在平台24往复运动时能够固化环氧树脂的固化装置,多数环氧树脂能在紫外线(UV)照射下固化,所以固化器30最好包括紫外设备。现参照图1-7和10,该设备包括一快门140,一紫外光源142,和一紫外光源的可调支架,紫外支源142可包括任何现行的紫外发生器,故在此不必详述。紫外光源的周围和上面最好用一个罩或外壳143包起来。
快门140包括一片金属板放在压辊支架组件78的后桥板84的下面。快门140由双向气缸146在微机40和/或手动控制键42控制下可相对于后桥板84上而其导杆则与快门140相连。气缸146可以伸缩以便在启闭两个位置之间升降快门140:(1)开启(升起快门)位置:快门底部适当离开平台24;和(2)闭合(降下快门)位置:快门底部紧靠平台24,将射向平台24的光线在邻近夹缝N处挡住。
支架144用于调整紫外光源142使光线直接射向夹缝N下游的平台24上的曝光点。在这一点上,光线在曝光点上的温度和位置可以通过适当调节支架144改变紫外光源的位置和方向来调整。参照图4和10,支架144包括:(1)支板150位于上支承面32的上面横向跨过平台24,和(2)一对横向分开的垂直延伸的支柱152,支板150是通过一对悬臂154以悬挂方式装在支柱152上的,如图10所示,在垂直支柱152之间的横杆156上还斜装着一对固定紫外光源的固条158,它们横向分开并可从支柱152处向着支板150上下伸展。为了改变在平台24上曝光点的位置,可以在垂直支柱152上用升降横杆156的方式来调节固条158的倾斜度。因为垂直支柱152上有很多装配横杆156所用的安装孔160,从这些垂直布置的安装孔160中选择一组即能完成上述倾斜度的调整。紫外光源142是装在可以在倾斜的固条158上滑动的U型滑板162上,从而实现紫外光源和曝光点之间距离的调整,继而即可改变曝光点处的曝光强度。(三)复制机的运作
操作人员将复制机设定以后,整个复制过程即可自动完成,包括将子模SU上的表面结构55复制到环氧固化层E和基片ST组成的层压结构中。
子模SU最好采用可重复使用的子模,它可以用诸如聚乙烯之类的柔性聚碳酸脂片制成,子模的表面上具有感兴趣的光成形表面结构SS(图12-14)。子模SU可以按任何适当的加工方式来制备。例如,当最终产品是典型的视屏,单色器时,可以用干涉光将表面结构SS生成在光敏介质上,处理该光敏介质,并在一系列子模上复制该表面结构,每一项在光敏介质上生成表面结构所来用的视角是比模板的视角略小一些。子模的复制过程重复进行直到具有所需视角的子模完成为止。用这种方式制造子模可见于美国专利申请No.09/052,586(1998.3.31申请,在此列出作为参考)。子模ST可以采用任何光学器件中应用的较硬材料。基片则可采用诸如玻璃板,丙稀类物质或聚碳酸脂类物质如聚脂等。环氧树脂采用可以涂在基片上而后被紫外光源固化的任何液态环氧树脂。
复制机20在运作之前的准备工作是:(1)将子模SU的一个端部用夹条92夹在压辊74上然后将子模SU以180°卷绕在压辊74的硅酮树脂材料层88上,并再将子模SU的另一端用夹条2夹在平台24上。现在假定子模SU是处在如图11所示的位置,其中子模是分别固定在平台24和压辊74上,而且子模还绕在压辊74上。在如图的实施例中硅酮树脂层88下压辊74的直径大约是10英寸、长度为11.5英寸,所以压辊74上可以安放的子模SU大约为30英寸和11.5英寸宽。操作人员然后将基片ST放在平台24的表面50上,并完成操作准备将基片ST放在平台24的表面50上,并完成操作准备工作,如图11。
然后操作人员就可按如下方法开始复制在微机40中输入适当命令以向电机68供电驱动平台24向右运动如图12中箭头178所示。平台的移动速度与诸多因素有关,包括所复制表面结构的视角和/或复杂程度,以及环氧E的固化速率。
当平台24移动时,涂布气缸136被促动而将环氧涂布器28放落到工作位置,环氧涂布器28从夹缝28从夹缝N的最上游处在基片ST上涂布起一层均匀的环氧层。平台24的移动使子模SU从压辊74上解脱下来,而且又驱动压辊74按图12中箭头180的方向旋转。从动轮114的转动带动小齿轮112作如箭头182所示的方向反向旋转。在这种旋转过程中也促使转促动器110可以旋转一满周360°。子模在这个过程中是被用作压辊74的驱动皮带,从而使压辊74的速度自动地依赖于平台24的速度,于是压辊74的外周面的线速度就和平台24通过夹缝N的线速度相匹配了。其结果是子模SU和作为叠层结构的基片ST之间不会存在滑移,而包括基片ST、环氧E和子模SU的叠层结构则在夹缝N中得到了加压。在此加压过程中,通过压辊74的线性接触加到叠层结构上的压力的典型范围是每英寸20-40磅,该数值可由适当促动线性调节器100加以调整。
一旦平台24移到受压后的叠层结构的下游端越过夹缝N之后,双向气缸146受微机40控制而促动将快门140提起,叠层结构中的环氧树脂E即因紫外光立即向夹缝N中透出的受压叠层结构曝光而开始固化。下列这些过程包括:在基片ST上涂布环氧树脂E;从压辊74上使子模SU解脱下来;将子模SU压在环氧树脂E上形成受压结构;以及在该受压层结构中固化环氧树脂E都是在平台24的前进行程中连续完成的。在如图12所示的这一刻,整个子模SU已经近乎完全压在子模SU上产生一平面层压结构,其中子模SU上的光成形表面结构已复制在环氧树脂E上,而且其中的环氧树脂E亦已至少部分固化了。
然后,电机68即反向驱动平台24,使之按图13中箭头184的方向移动而实现回复行程。在该行程中层压结构再次接受紫外曝光以完成环氧树脂E的固化。从而保存一个被子模SU所复盖的基片/环氧叠层。同时,回转空气促动器110受促动而驱动压辊74和小齿轮112分别按图13中箭头186和188的方向移动。压辊的转动将子模SU从基片/环氧叠层上剥离下来而且逐步地将子模回卷在压辊74上去。在回复行程的终点,快门140关闭,平台电机68和回转促动器110的电源切断使平台24和压辊74停留在如图14所示的位置上。涂布用线性促动器136则自动回复到它后退的位置。包含有所需光成型表面结构SS在其表面上的基片/固化环氧叠层光学产品即可由操作人员取出,然后再在平台24上放入一片新的基片ST,命令微机40重复这个过程。
从启动平台移动进入前进行程到回复行程后终止平台移动,整个复制过程一般不超过20秒,一小时的生产效率可达到100片。这个效率要比目前公知的每小时5到10片就大大改善了。而且产品的质量又大大改进了,因为:(1)夹缝N中均匀的线一面接触给出叠层结构上具有均匀的压力;和(2)平台24速度和压辊74速度之间的相互关系保证了子模SU和基片ST之间不存在滑移。
在本发明的精神实质范畴还会有很多的变化和改进,这些变化的范围在所附的各权利要求中是显而易见的。

Claims (29)

1.一种复制光成形表面结构的方法,其特征在于包括:
(1)将一叠层结构放在由压辊的外表面和平台之间所形成的夹缝之中,所述的叠层结构包括:(a)一较硬基片放在平台上,(b)一块子模,并将其上具有所述表面结构的表面朝向平台,和(c)一层涂布在所述基片和所述子模之间的环氧树脂层;
(2)在所述的夹缝中自动将所述的叠层结构加压以将所述的表面结构复制在所述的环氧树脂层上;
(3)固化所述的环氧树脂层;和
(4)从所述的基片上分离所述的子模以保存一个在其表面上具有所述表面结构的基片/环氧树脂层压结构。
2.一种如权利要求1所述的方法,其特征在于其中所述的叠层结构是叠层和加压是同时进行的。
3.一种如权利要求1所述的方法,其特征在于其中的加压步骤包括:在平台相对于压辊而移动时,压辊绕一非移动轴而转动。
4.一种如权利要求3所述的方法,其特征在于其中还包括:在加压的步骤中,所述压辊和所述平台之间的相对运动至少是按所述压辊的所述外表面的线速度实际上等于所述平台的线速度。
5.一种如权利要求4所述的方法,其特征在于其中的子模包括一柔性薄片,所述子模的一端是固定在所说的压辊上,和所述子模的另一端则固定在所述平台上,其中相关的步骤还包括:由所述平台通过所述子模传给所述压辊的移动驱动力应作用成所述子模逐步地从所述压辊上解脱下来,并在所述夹缝中向所述基片施压而形成所述叠层结构。
6.一种如权利要求5所述的方法,其特征在于其中所述的平台是由前进行程和回复行程构成往复运动,使所述平台只是在所述的前进行程中驱动所述压辊转动,和其中所述的分离步骤包括:在所述平台的复制行程中驱动所述压辊按卷绕方向转动逐步(1)将所述子模从所述层压结构上剥离下来和(2)将所述子模卷回到所述压辊上去。
7.一种如权利要求4所述的方法,其特征在于其中形成所述叠层结构的初始步骤包括:在即将进入加压步骤之前在所述基片上自动涂布一层环氧树脂,该涂布步骤是由设在所述压辊上游处离开所述平台有一间隙的环氧涂布器完成。
8.一种如权利要求1所述的方法,其特征在于固化步骤包括所述叠层结构在紫外线下曝光。
9.一种如权利要求1所述的方法,其特征在于其中的固化步骤是和所述的加压步骤联机完成的,即当有一部分所述的叠层结构正在所述夹缝中受压的时候,另一部所述的叠层结构已经处在固化步骤之中了。
10.一种复制光成形表面结构的方法,其特征在于包括:
(1)将一较硬基片支承在平台上;
(2)将一较柔性的子模至少一部分卷绕在压辊的外表面上,所述辊的所述外表面与所述平台分开而在此两者间形成一夹缝,在所述子模的一个表面上具有所述的表面结构,该表面朝向具有所述的表面结构,该表面朝向所述压辊之外;
(3)在所述子模和所述基片之间涂布一层环氧树脂;
(4)将所述子模从所述压辊上解脱下来,并将所述子模、所述环氧层和所述基片在所述夹缝中加压,以便在所述环氧层上复制所述表面结构而形成一叠层结构,解脱和加压步骤包括驱动所述平台,超过所述的压辊,带动压辊在这一旋转速度下旋转,即至少使所述压辊的所述表面的线速度实际上等于所述平台的线速度。
(5)固化所述的环氧树脂层;和
(6)从所述的基片上分离所述的子模,以保存一个在其表面上具有所述表面结构的基片/环氧树脂层压结构。
11.一种如权利要求10所述的方法,其特征在于,其中所述子模的一端是固定在所述的压辊上和所述的子模的另一端固定在所述的平台上,和其中所述的平台超过所述压辊而移动施加张力于所述的基片上,并将所述的基片以所述的压辊上解脱下来。同时又带动所述的压辊旋转。
12.一种如权利要求11所述的方法,其特征在于其中所述的平台是由前进行程和回复行程构成往复运动,使所述平台只在所述的前进行程中驱动所述压辊转动和其中所述的分离步骤包括在所述平台的回复行程中驱动所述压辊按卷绕方向转动,逐步(1)将所述子模从所述层压结构上剥离下来,和(2)将所述子模卷回到所述压辊上去。
13.一种复制光成形表面结构的方法,其特征在于其中包括:
(1)将一较硬基片支承在平台上;
(2)将一可重复使用的较柔性子模的一端固定在压辊的外表面上,所述压辊的所述外表面与所述平台分开而在此二者间形成一夹缝,在所述子模的一个表面上具有所述的表面结构;
(3)将所述子模的至少一部分如此卷绕在所述压辊的外表面上,即所述子模的所述表面朝向所述压辊之外;
(4)将所述子模的另一端固定在离开所述压辊的所述的平台的下游处;
(5)在所述子模和所述基片之间涂布一层环氧树脂;
(6)将所述子模从所述压辊上解脱下来,并将所述子模,所述环氧层和所述基层在所述夹缝中加压,以便在所述环氧层上复制所述表面结构而形成一叠层结构,解脱和加压步骤包括按第一方向驱动所述平台以向所述子模施加张力,从而促使所述子模从所述压辊上解脱下来,同时又带动所述压辊按解脱方向在这一旋转速度下旋转即至少使所述压辊的所述表面的线速度实际上等于所述平台的线速度;
(7)固化所述的环氧树脂层;和
(8)从所述的基层上分离所述的子模以保存一个在其表面上具有所述表面结构的基片/环氧树脂层压结构。
14.一种如权利要求13所述的方法,其特征在于其中的分离步骤包括:按第二方向驱动平台超过所述压辊的同时驱动所述的压辊按卷绕的方向旋转以使所述的子模从所述基片上分离下来并卷回到压辊上去。
15.一种复制光成型表面结构的方法,其特征在于其中包括:
(1)将一较硬基片支承在平台上;
(2)将一可重复使用的较柔性子模的一端固定在压辊的外表面上,所述压辊的所述外表面与所述平台分开而在此二者之间形成一夹缝,在所述子模的一个表面上具有所述表面结构;
(3)将所述子模的至少一部分如此卷绕在所述压辊的外表面上,即所述子模的所述外表面朝向所述压辊之外;
(4)将所述子模的另一个固定在所述平台上;
(5)驱动所述平台在所述压辊之下按第一方向移动以施加张力于所述子模,从而(1)使所述子模从所述压辊上解脱下来并带动所述压辊按解脱方向在这一旋转速度下旋转即至少使所述压辊的所述表面的线速度实际上等于所述平台的线速度;和(2)在夹缝中加压所述子模和所述基片;
(6)在驱动步骤中,从位于所述平台上方的涂布器中将环氧树脂涂布在离夹缝上游处的基片上,致使在加压步骤之后,所述环氧树脂(1)被夹在所述基片和所述子模之间;和(2)在其表面上具有所述表面结构;
(7)在驱动步骤中,利用位于所述辊下游处,平台上方的紫外光源固化环氧树脂;和
(8)按第二方向驱动所述平面超过所述压辊的同时驱动所述的压辊按卷绕方向旋转以使所述子模从所述基片上分离下来并回卷到压辊上去,从而保存一个在其表面具有所述表面结构的基片/环氧层压结构。
16.一种用于在较硬基片上复制光成形表面结构的复制机,其特征在于所述复制机包括:
(1)一具有通常平坦的支承表面的平台,所述平台,所述平台至少可以沿通常平行于所述支承表面延展的方向移动;
(2)一压辊具有一外表面,该外表面与所述平台的所述支承面分开而在此两者之间形成一夹缝,所述的压辊支承在一个与所述压辊同轴方向延伸又与所述平台横向的支承轴上,在所述压辊的所述外表面上可以安置与这相贴合的子模,所述的子模的一个外表面上具有所述的表面结构,该表面朝向所述压辊之外,和
(3)一传动装置用以驱动所述平台和所述压辊,可以使所述平台沿所述夹缝移动时,所述压辊的旋转速度至少使所述压辊的所述外表面的线速度实际上等于所述平台的所述支承面的线速度,由此而将基片和子模在夹缝中加压。
17.一种如权利要求16所述的复制机,其特征在于其中的传动装置包括:(1)一电机用以驱动所述平台作直线移动和(2)一耦合装置是与所述平台和所述压辊相耦合用以将所述平台的移动运动转换成所述压辊的旋转运动。
18.一种如权利要求17所述的复制机,其特征在于其中所述的耦合装置包括:(1)一机构设在所述压辊上以允许子模的第一端装在所述的压辊上并允许子模至少部分卷绕在所述压辊的所述外表面上和(2)一机构设在所述平台上以允许子模的第二端固定在所述平台上。
19.一种如权利要求18所述的复制机,其特征在于其中所述电机通过前进行程和回复行程按往复式驱动所述平台,和其中所述的传动装置还包括回绕驱动装置,该装置在所述平台的所述回复行程中驱动所述压辊将子模回卷到所述压辊的所述外表面上。
20.一种如权利要求19所述的复制机,其特征在于其中所述的回绕驱动装置包括(1)一回转促动器,(2)一小齿轮是被所述回转促动器的传动而转动,和(3)一从动轮装在所述的支承轴上并和所述的小齿轮相啮合。
21.一种如权利要求16所述的复制机,其特征在于其中所述的支承轴是支承在邻近于所述平台相对两侧附近的第一和第二轴承上,每个所述辊承不进一步包括(1)一补偿弹簧用以使轴承向离开所述的平台方向偏置,和(2)一线性促动器用以向靠近所述的平台方向有选择地加力于所述的轴承上。
22.一种如权利要求16所述的复制机,其特征在于其中一环氧树脂涂布器,该涂布器位于所述压辊的上游处的平台上方并与所述平台分开,使适合于将环氧树脂涂布在基片上。
23.一种如权利要求22所述的复制机,其特征在于其中所述的涂布器包括(1)一支条横贯所述平台且可在升位和缩住之间移动,(2)一喷排装在所述支条上并具有一环氧入口和环氧出口,和(3)至少一个环气供管与所述的喷排上的所述环氧入口相连接。
24.一种如权利要求16所述的复制机,其特征在于还包括一制动器用以有选择地制止所述压辊的旋转。
25.一种如权利要求18所述的复制机,其特征在于还包括一环氧固化装置,该装置位于所述压辊的下游并与所述的平台分开。
26.一种如权利要求25所述的复制机,其特征在于其中所述的环氧固化装置包括一紫外光源。
27.一种用于在较硬基片上复制光成形表面结构的复制机,其特征在于所述复制机包括:
(1)一具有台面向上通常平坦的支承表面的平台,所述平台至少可以沿通常平行于所述支承面延展的方向移动;
(2)一压辊具有一外表面,该外表面与所述平台的所述支承面分开而在此两者之间形成一夹缝,所述的压辊支承在一个与所述压辊同轴方向延伸又与所述平台横向的支承轴上,在所述压辊的所述外表面上可以安置与之相贴合的子模;和
(3)一传动装置用以驱动所述平台和所述压辊,所述的驱动装置包括:
(A)一电机用以驱动所述平台沿所述的支承面作纵向移动;和
(B)一子模,该子模:(a)其第一端固定于所述的压辊上,(b)其第二端固定于所述平面上,和(c)至少可部分卷绕在所述压辊的所述外表面上,子模和所述平台和所述压辊如此耦合,即当所述平台通过所述夹缝移动时,所述压辊的旋转速度至少使所述压辊的所述外表面的线速度实际上等于所述平台的线速度,由此而将基片和子模在夹缝中加压。
28.一种如权利要求27所述的复制机,其特征在于其中所述的电机通过前进行程和回复行程按往复式驱动所述平台,和其中所述的传动装置还包括回绕驱动装置,该装置在所述平台的所述回复行程中所述压辊将子模回卷到所述压辊的所述外表面上。
29.一种用于在较硬基层上复制光成型表面结构的复制机,其特征在于,所述的复制机包括:
(1)一具有台面向上通常平坦的支承表面的平台,所述平台至少可以沿通常平行于所述支承面延展的方向移动;
(2)一压辊具有一外表面,该外表面与所述平台的所述支承面分开而在此两者之间形成一夹缝,所述压辊可绕一个与所述压辊同轴方向延伸又与所述平台横向的压辊驱动轴而旋转,在所述压辊的所述外表面上可安置与之相贴合的子模,使得(A)该子模的第一端固定于所述的压辊上,(B)所述的子模至少可部分卷绕在所述的外表面上,和(C)该子模的第二端于在所述压辊的下游处固定在所述的平台上,所述的子模的一个外表面上具有所述的表面结构,该表面朝向所述的压辊之外;
(3)一环氧树脂涂布器,该涂布器位于所述压辊的上游处的平台上方并与所述平台分开,使适合于将环氧树脂涂布在基层上;
(4)一电机用以往复式驱动所述平台沿所述支承面作纵向移动,致使所述平台按第一方向通过夹缝而移动,所述压辊的旋转速度至少使所述压辊的所述外表面的线速度实际上等于所述平台的线速度,由此而将基片和子模在夹缝中加压;
(5)一旋转促动器用于当所述的电机以与所述的第一方向相反的第二方向驱动所述平台时,驱动所述压辊将所述子模卷回到所述压辊的所述外表面上。
(6)一紫外光源设置在所述压辊的下游处的所述平台上方与所述平台分开,该光源适用于固化环氧树脂。
CNB998118303A 1998-08-24 1999-08-24 刚性基片上复制光成形表面结构的方法和设备 Expired - Fee Related CN1165418C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/138,798 1998-08-24
US09/138,798 US6110401A (en) 1998-08-24 1998-08-24 Method and apparatus for replicating light shaping surface structures on a rigid substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1322167A true CN1322167A (zh) 2001-11-14
CN1165418C CN1165418C (zh) 2004-09-08

Family

ID=22483707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB998118303A Expired - Fee Related CN1165418C (zh) 1998-08-24 1999-08-24 刚性基片上复制光成形表面结构的方法和设备

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6110401A (zh)
EP (1) EP1123208A1 (zh)
JP (1) JP4437615B2 (zh)
KR (1) KR100583602B1 (zh)
CN (1) CN1165418C (zh)
CA (1) CA2341425C (zh)
TW (1) TW483830B (zh)
WO (1) WO2000010806A1 (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1970599B (zh) * 2006-12-13 2010-05-19 中国科学院光电技术研究所 Su-8环氧树脂的分离方法
CN101372140B (zh) * 2007-08-21 2011-07-27 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 滚压成型装置
CN104334333A (zh) * 2012-05-24 2015-02-04 旭硝子株式会社 光学构件的制造方法、光学构件、带有保护膜的光学构件以及光学面板的制造方法
CN104597705A (zh) * 2009-12-01 2015-05-06 鲁米尼特有限责任公司 用于显示二维和三维电影的投影银幕及其使用方法
CN110861389A (zh) * 2019-12-31 2020-03-06 艾德曼金属材料(江阴)有限公司 一种基于气缸控制的轻质材料自动压合装置

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NZ553139A (en) 1998-10-09 2008-06-30 Arborgen Llc Materials and methods for the modification of plant lignin content
JP2000176761A (ja) * 1998-12-10 2000-06-27 Fanuc Ltd 垂直軸直動機構
JP3321129B2 (ja) * 1999-11-17 2002-09-03 富士通株式会社 立体構造物転写方法及びその装置
WO2002006038A2 (en) * 2000-07-19 2002-01-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Method of manufacturing a replica as well as a replica obtained by carrying out a uv light-initiated cationic polymerization
US6623667B2 (en) 2001-02-28 2003-09-23 3M Innovative Properties Company Method for continuous fabrication of structured surface light guides
JP2002264209A (ja) * 2001-03-07 2002-09-18 Nippon Columbia Co Ltd 導光板製造装置
US20030162023A1 (en) * 2002-02-27 2003-08-28 Lear Corporation Panel having a dry polymer reinforced pet substrate
US20030160365A1 (en) * 2002-02-28 2003-08-28 Brown Bari W. Method of manufacturing a composite panel
US6716754B2 (en) * 2002-03-12 2004-04-06 Micron Technology, Inc. Methods of forming patterns and molds for semiconductor constructions
US6897089B1 (en) 2002-05-17 2005-05-24 Micron Technology, Inc. Method and system for fabricating semiconductor components using wafer level contact printing
US6997046B2 (en) * 2003-08-01 2006-02-14 General Electric Company Method and apparatus for fixtured wax and trace
JP2008507368A (ja) * 2004-07-22 2008-03-13 デュスカ サイエンティフィック カンパニー 肺疾患を診断、モニタリングおよび治療するための方法
US20060045144A1 (en) * 2004-09-01 2006-03-02 Nlight Photonics Corporation Diode laser array beam homogenizer
CA2567936C (en) 2006-11-14 2016-01-05 Atomic Energy Of Canada Limited Device and method for surface replication
US7991257B1 (en) 2007-05-16 2011-08-02 Fusion Optix, Inc. Method of manufacturing an optical composite
CN102648426B (zh) * 2009-11-05 2015-07-15 鲁米尼特有限责任公司 为封装的高亮度led芯片提供微结构的方法
KR101144599B1 (ko) * 2009-12-10 2012-05-11 (주)에스티에스 자외선 경화 몰딩장치
JP5586995B2 (ja) * 2010-03-11 2014-09-10 東芝機械株式会社 転写装置及び転写方法
JP5593190B2 (ja) * 2010-10-08 2014-09-17 東芝機械株式会社 モールド剥離装置
JP6007074B2 (ja) * 2012-11-14 2016-10-12 東芝機械株式会社 モールド剥離装置およびモールド剥離方法
CN103587217B (zh) * 2013-11-12 2016-01-20 苏州博众精工科技有限公司 一种将载具上物料表面贴完膜后进行压实的机构
EP3365337A1 (en) * 2015-10-22 2018-08-29 Selvita S.A. Pyridone derivatives and their use as kinase inhibitors
JP6397553B1 (ja) * 2017-10-25 2018-09-26 東芝機械株式会社 転写装置
GB2576921B (en) * 2018-09-06 2021-10-27 Stensborg As Method of, and apparatus for, production of surface relief structures
GB2576922B (en) * 2018-09-06 2021-10-27 Stensborg As An optical engine for an imprinter

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2694226A (en) * 1947-11-22 1954-11-16 Eastman Kodak Co Device for making projection screens
JP2823016B2 (ja) * 1986-12-25 1998-11-11 ソニー株式会社 透過型スクリーンの製造方法
US5183599A (en) * 1990-01-19 1993-02-02 Smuckler Jack H Rapid curing, electrically conductive adhesive
US5312569A (en) * 1991-10-30 1994-05-17 Poly-Optical Products, Inc. Method for marring fiber optic substrates
US5312570A (en) * 1992-02-21 1994-05-17 Poly-Optical Products, Inc. System and method for preparing fiber optic ribbons
KR100230245B1 (ko) * 1995-01-24 1999-11-15 윤종용 다층 광 기록 매체의 제조방법 및 그 장치

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1970599B (zh) * 2006-12-13 2010-05-19 中国科学院光电技术研究所 Su-8环氧树脂的分离方法
CN101372140B (zh) * 2007-08-21 2011-07-27 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 滚压成型装置
CN104597705A (zh) * 2009-12-01 2015-05-06 鲁米尼特有限责任公司 用于显示二维和三维电影的投影银幕及其使用方法
CN104334333A (zh) * 2012-05-24 2015-02-04 旭硝子株式会社 光学构件的制造方法、光学构件、带有保护膜的光学构件以及光学面板的制造方法
CN104334333B (zh) * 2012-05-24 2017-03-01 旭硝子株式会社 光学构件的制造方法、光学构件、带有保护膜的光学构件以及光学面板的制造方法
CN110861389A (zh) * 2019-12-31 2020-03-06 艾德曼金属材料(江阴)有限公司 一种基于气缸控制的轻质材料自动压合装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN1165418C (zh) 2004-09-08
KR20010072824A (ko) 2001-07-31
JP2002523259A (ja) 2002-07-30
JP4437615B2 (ja) 2010-03-24
TW483830B (en) 2002-04-21
WO2000010806A1 (en) 2000-03-02
KR100583602B1 (ko) 2006-05-26
CA2341425C (en) 2008-06-03
US6110401A (en) 2000-08-29
EP1123208A1 (en) 2001-08-16
CA2341425A1 (en) 2000-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1165418C (zh) 刚性基片上复制光成形表面结构的方法和设备
DE112018000010T5 (de) Verbund-Nanoimprint-Lithograph und Verfahren zu dessen Betrieb
WO2005030472A1 (de) Werkzeug zum erzeugen einer mikrostrukturierten oberfläche
DE2614525A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von photopolymeren druckplatten
EP2353050B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Volumen-Transmissions- und Reflexionshologrammen
DE102010014305A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen Kontaktkopien von Reflexions-Volumenhologrammen
CN1145613A (zh) 玻璃板加工设备
US4219524A (en) Method and apparatus for producing sheet molding compound
DE2634138B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung filmbeschichteter Grundplatten
DE102008028949A1 (de) Oberflächenbehandlungsvorrichtung für bedruckte Blätter
CN1190368A (zh) 薄片层压机
JPH0784265B2 (ja) 成形機における板の順次導入装置
CA1125976A (en) Method and apparatus for producing sheet molding compound
DE19809502A1 (de) Vorrichtung zur Herstellung einer Kontaktkopie eines Hologramms
CN1184449A (zh) 在一中央处理鼓上加工物料带的装置和方法
CN216373316U (zh) 薄膜加工用的压平整装置
DE3014840A1 (de) Belichtungseinrichtung
CN214774632U (zh) 一种薄膜复合机张紧控制设备
EP1993816A1 (de) Verfahren zur herstellung von defektfreien lichtlenkelementen grosser breite, vorrichtung zur herstellung und diffraktives lichtlenkelement
DE102012218681A1 (de) Vorrichtung zur Herstellung eines Polsterungsprodukts aus Papier
JPH02122856A (ja) 鏡面仕上げ塗装鋼板の製造装置
CN219856357U (zh) 双层面料复合机构
JPH0244737B2 (ja) Insatsushinoburotsukinguboshisochioyobihoho
CN2086912U (zh) 全息图像模压机
DE19812401C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Abziehen von Folien

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: ASAHI KASEI CORPORATION

Free format text: FORMER OWNER: PHYSICAL OPTICAL CO., LTD.

Effective date: 20091218

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20091218

Address after: Osaka Japan

Patentee after: Asahi Kasei Kogyo K. K.

Address before: American California

Patentee before: Physical Optics Corp.

ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: LUMENITE LIMITED

Free format text: FORMER OWNER: ASAHI KASEI KOGYO K.K.

Effective date: 20130402

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20130402

Address after: American California

Patentee after: Luminit LLC

Address before: Osaka Japan

Patentee before: Asahi Kasei Kogyo K. K.

C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20040908

Termination date: 20130824