CN101341385A - 具有可偏转隔板的压力传感器 - Google Patents

具有可偏转隔板的压力传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN101341385A
CN101341385A CNA2006800483176A CN200680048317A CN101341385A CN 101341385 A CN101341385 A CN 101341385A CN A2006800483176 A CNA2006800483176 A CN A2006800483176A CN 200680048317 A CN200680048317 A CN 200680048317A CN 101341385 A CN101341385 A CN 101341385A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure
dividing plate
sensor body
electrode
cavity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006800483176A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101341385B (zh
Inventor
马克·斯库马切尔
安德鲁·克罗辛斯基
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rosemount Inc
Original Assignee
Rosemount Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rosemount Inc filed Critical Rosemount Inc
Publication of CN101341385A publication Critical patent/CN101341385A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101341385B publication Critical patent/CN101341385B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

用于感应过程流体压力的压力传感器(5G)，包括其中形成有空腔(149)的传感器体(140)。可偏转隔板(150)位于空腔(149)中，响应于施加至空腔的压力而偏转。隔板上的电极(162)与压力传感器体(140)一起形成可变电容器。电容响应于所施加的压力而变化。

Description

具有可偏转隔板的压力传感器
技术领域
本发明涉及压力传感器。更具体地，本发明涉及一种使用可偏转隔板来测量压力的压力传感器。
背景技术
过程监控和控制系统中使用变送器(transmitter)来测量各种工业过程的过程变量。一种变送器测量过程中的过程流体的压力。用于这样的变送器的压力传感器使用多种技术。一种众所周知的技术是使用可偏转金属隔板。金属隔板形成电容器的电容板之一，相对于该隔板测量电容。当隔板由于所施加的压力而偏转时，测量的电容随之改变。在这样的配置中，压力测量中存在多个导致不精确的来源。
解决这些不精确的一种技术在美国专利No.6,295,875中提到，题为“PROCESS PRESSURE MEASUREMENT DEVICES WITHIMPROVED ERROR COMPENSATION”，于2001年10月2日授予Frick等人，其全文结合在此作为参考。该发明描述了一种差压传感器，其包括用于减少测量不精确的附加电极。
发明内容
一种用于感应过程流体的压力的压力传感器，包括具有空腔的传感器体，以及通过空腔进入传感器体的压力连接。空腔中的可偏转隔板响应于通过压力连接施加于空腔的压力而偏转。隔板上的电极与压力传感器体一起形成可变电容器，并提供响应于所施加的压力而变化的电容。
附图说明
图1示出了具有根据本发明构造的过程变送器的过程测量系统。
图2是图1的变送器的示意图。
图3A是根据本发明的压力传感器的侧截面视图。
图3B是图3A所示的压力传感器的隔板的正视图。
图3C是示出了图3A的隔板的一半和图3A的传感器体的一半的透视图。
图4是位于过程变送器中的压力传感器的简化截面视图。
具体实施方式
本发明提供了一种压力传感器，其中，可偏转隔板承载电容板，以提供电容，所述电容响应于所施加的压力而变化。如以下所讨论的，这样的配置提供了多个优点，涉及制造、减少误差以及改进性能。
图1总体上示出了过程测量系统32的环境。图1示出了包含受压力的流体的过程管道(piping)30，过程管道30与用于测量过程压力的过程测量系统32相连接。过程测量系统32包括与管道30相连的推进(impulse)管道34。推进管道34与过程压力变送器36连接。如孔板(orifice plate)、文氏管、流量喷嘴之类的主要元件33在过程管道30中的、推进管道34的管道之间的位置处接触过程流体。当流体通过主要元件33时，主要元件33引起流体中的压力变化。
变送器36是过程测量设备，其通过推进管道34接收过程压力。变送器36感应过程差压并输出标准化的传输信号，该标准化的传输信号是过程压力的函数。
过程环路38提供从控制室40至变送器36的功率信号以及双向通信，可以根据多种过程通信协议构造过程环路38。在所示示例中，过程环路38是双线环路。双线环路用于在正常操作期间以4-20mA信号传输至变送器36的所有功率、以及去往和来自变送器36的所有通信。计算机42或其他信息处理系统通过调制解调器44或其他网络接口，用于同变送器36进行通信。远程电压电源46为变送器36供电。本发明不局限于实现环路38的环境。可以使用其他通信技术，包括其他如无线之类的通信介质、不同的无线技术、以及不同的通信协议和独立设备中的通信技术。
图2是压力变送器36的简化框图。压力变送器36包括传感器模块52和电子器件(electronics)板72，两者通过数据总线66相连接。传感器模块电子器件60与用于接收所施加的差压54的压力传感器56连接。数据连接58将传感器56连接到模数转换器62。可选的温度传感器63也同传感器模块存储器64一起示出。如以下所讨论的，温度传感器63可以与压力传感器56集成在一起。电子器件板72包括微型计算机系统74、电子器件存储器模块76、数模信号转换器78和数字通信块80。
一种用于测量差压的技术在授予Frick等人的美国专利No.6,295,875中提到。然而，本发明不局限于这样的配置。
图3A是根据本发明的压力传感器56的侧截面视图。压力传感器56包括压力传感器体140，压力传感器体140由半体142和144形成，凹陷区域146和148分别形成在半体142和144中，凹陷区域146和148之间形成了空腔149。可偏转隔板150安装在空腔149内，空腔149与推进管道94连接。隔板150由两个半隔板152和154形成。半隔板152和154上分别承载中心电容器板或电极162和164。类似地，半隔板152承载外电容器板或电极166，而半隔板154承载外电容器板或电极172。电容器板162、164、166、168、170和172与传感器体140分别形成6个电容器。接触突起180从中心隔板150开始延伸，接触突起180上承载电接触182。电接触182与6个电容器板或电极162至172的每一个相连接。
图3B是更详细地示出了包括电容器板162和166的设置的可偏转隔板150的正视图。图3C是示出了半隔板154和半传感器体144的侧透视图。图3C也示出了将电容器板或电极170和164分别与突起180上的接触182电连接的电连接192和196。图3A和3B也示出了环形槽口(notch)200，环形槽口200可以在隔板150中形成，以增大隔板150对于给定压力的偏转量。
在操作期间，差压通过推进管道94施加在隔板154的任一侧。这引起空腔149内的隔板150的偏转。随着隔板150的偏转，电容器板162、164、166、168、170、172相对于由半传感器体142和144形成的空腔149的侧面的距离改变。可以相对于传感器体140测量每个电容器板162、164、166、168、170、172之间的电容，并将电容与所施加的差压相关。隔板154的偏转量是所施加的压力的函数，也是隔板154中使用的材料和隔板154的尺寸的函数。图3A和3B也示出了环形槽口200，环形槽口200可以在隔板150中形成，以增大隔板150对于给定压力的偏转量。
在一个优选实施例中，隔板150由如硅、石英、蓝宝石或尖晶石之类的绝缘晶体材料形成。电极可包括金属，并可以沉积或移植(implant)在隔板150上。传感器体140由金属之类的传导性材料形成。这样的配置允许隔板150被组装并随后安装入半体142和144中。在另一配置中，半体140是非传导性材料，包括相对于电容器板162、164、166、168、170、172的电容器的传导性材料。相反，一些现有技术的配置中，在传感器体内形成的空腔壁上承载电容器板。这要求使用如玻璃之类的绝缘材料填充传感器体。在这样的配置中，使用传导性隔板。
在一种可选配置中，在空腔146的内壁上或在隔板150上设置部件(feature)177。配置该部件177，以便在发生过压从而隔板150被压在空腔146的一个内壁上时，部件177将力分散。
可以使用任何合适的技术组装本发明的压力传感器56。例如，两个半隔板152和154可以熔合在一起形成完整的隔板150。可以依所需构造如隔板形状或铰接点之类的附加部件。在一些实施例中，温度传感器210被制造在隔板150中，用于测量压力传感器56的温度。该温度可以用于补偿在压力测量中与温度相关的误差。温度信号也可以用于确定其他关于过程流体的信息，例如用于流速计算。
在一个实施例中，完整的隔板150被焊接在两个金属传感器半体142和144之间，突起180通过传感器体140从空腔149延伸至体140外部。突起180与两个传感器半体142和144相遇的区域可以使用例如铜焊之类的技术进行密封。这样的配置提供了具有电极的固态传感器，所述电极可以安装在固态材料上，而不是如用于一些现有技术配置的玻璃上。这样减小了滞后现象并提供了改进的稳定性。进一步，在隔板150的高和低压侧的电容器电极保持紧密接近，这样也可以提供温度极限上的改进性能。可以使用标准固态制造技术制造中心隔板150，这样允许了简化制造、降低成本和更大的容限控制。如铰接点、空腔形状、电极、电极导线和温度传感器之类的传感器部件被蚀刻、沉积或形成在固态中心隔板结构中，而不是在现有技术设计所使用的玻璃/金属压力传感器半单元上。这样简化了设计，降低了制造成本并提供了更大的容限控制，从而带来了性能的改进。
返回参照图3A，示出了可选的内部空腔220，位于隔板150之内，在半隔板152和154之间。电容板或电极222和224被放置在内部空腔220的侧壁上。配置内部空腔220，使得电容板222和224之间的间隔根据所施加的线压力(line pressure)而改变。这样的可选配置允许通过推进管道94施加于隔板150的差压同线压力一起被测量。在这样的配置中，突起180上设置电接触，电接触与电容器板或电极222和224连接。
图4是示出了压力传感器56的传感器模块52的一个实施例的简化截面视图。压力传感器56通过隔离隔板90与过程流体相连接，隔离隔板90将过程流体和空腔92隔离。空腔92通过推进管道94与压力传感器模块56连接。一种基本上不可压缩的填充流体填充空腔92和推进管道94。当来自过程流体的压力施加于隔板90时，压力通过推进管道94中的填充流体转移到压力传感器56。
对于本发明的传感器，如铰接点、空腔形状、电极、电极导线和温度传感器之类的部件可以被蚀刻、沉积或形成在固态结构中，而不是在一些设计所使用的玻璃/金属半单元中。这样降低了制造成本并提供了更大的容限控制，从而带来了性能的改进。进一步，压力传感器的外部由可以容易地抑制压力过度的金属体形成。可以使用如激光焊接或铜焊之类的任何合适的技术来形成和安装这样的结构。用于基于变化的电容确定所施加的压力的测量电路可以安装在突起180的紧密接近处。这样减少了由电连接到电容器板的寄生电容所引起的误差。在一些配置中，突起180上直接承载电路。在这样的配置中，测量电路可以安装到突起180，或直接制造在突起180上。
虽然本发明参照优选实施例进行描述，但是，本领域技术人员应认识到，对形式和细节所做出的改变不背离本发明的精神和范围。压力测量可以使用以上讨论的压力传感器，使用任何合适的技术来进行。一种示例技术的描述见美国专利申请序列号11/140,681，Line PressureMeasurement Using Differential Pressure Sensor，申请日2005年5月27日，结合在此作为参考。图中所示的其中形成有4个不同的电容器的具体配置可以用于补偿误差，如在申请序号11/140,681中所讨论的。在一个实施例中，使用任意数量的电容器，包括一个电容器、两个电容器等。本发明不局限于任何具体数量的电容器或电容器板的配置。虽然上述描述讨论了油填充流体，也可以使用其他填充流体，包括空气或气体填充。隔板可以被配置为依所需而偏转。在一种配置中，隔板的偏转可以小于一埃。中心隔板的结构可以依具体实现方式所需而具有任意形状和/或部件。例如，隔板可以具有在特定点提升弯曲的铰接部件、以及顶高(ceiling)部件等等。这样允许了针对例如差压传感器之类的具体环境中的传感器性能对隔板进行优化。这些部件和形状可以使用任何合适的方法形成，包括加性技术，其中将附加结构直接附加至基本结构(sub straight)，或者减性技术，其中将材料从基本结构中直接移除，以便形成所需的形状或部件。

Claims (27)

1.一种用于感应过程流体的压力的压力传感器，包括：
传感器体，其中形成有空腔；
通过过所述空腔延伸进入所述传感器体的压力连接；
所述空腔中的可偏转隔板，被配置为响应于通过所述压力连接施加至所述空腔的压力而偏转；
所述隔板上的电极，被配置为与压力传感器体一起形成可变电容器，所述可变电容器具有响应于所施加的压力而变化的电容；以及
至所述电极的电连接，所述电连接延伸至压力传感器体的外部。
2.如权利要求1所述的装置，其中，所述可偏转隔板包括刚性材料。
3.如权利要求1所述的装置，其中，所述可偏转隔板包括晶体材料。
4.如权利要求1所述的装置，其中，所述可偏转隔板包括从由硅、石英、蓝宝石和尖晶石组成的材料组中选择的材料。
5.如权利要求1所述的装置，其中，所述传感器体包括传导性材料。
6.如权利要求1所述的装置，其中，所述传感器体包括金属。
7.如权利要求1所述的装置，其中，所述传感器体由两个半传感器体形成。
8.如权利要求1所述的装置，其中，所述隔板由两个半隔板形成。
9.如权利要求1所述的装置，包括：所述隔板上的第二电极，被配置为与压力传感器体一起形成第二可变电容器。
10.如权利要求9所述的装置，其中，所述电极和所述第二电极分别在所述隔板的两个相反侧。
11.如权利要求1所述的装置，其中，在所述隔板的一侧放置有两个电极，并且在所述隔板的相反侧放置有两个电极。
12.如权利要求1所述的装置，其中，所述隔板包括内部隔板空腔，所述内部隔板空腔被配置为响应于施加至所述传感器体的空腔的线压力而发生形变。
13.如权利要求12所述的装置，其中，所述内部隔板空腔包括电极，所述电极被配置为形成基于所施加的线压力而改变的可变电容。
14.如权利要求1所述的装置，其中，所述传感器体的空腔接收差压，所述隔板的偏转是基于所述差压的。
15.如权利要求1所述的装置，包括：温度传感器，被配置为测量所述传感器体或所述隔板的温度。
16.如权利要求1所述的装置，包括：从所述隔板突出的突起，所述突起承载从所述隔板至压力传感器体外部的电连接。
17.一种用于感应过程流体的压力的方法，包括：
在可偏转隔板上设置电极；
将所述可偏转隔板放置在传感器体中；
通过所述传感器体对所述可偏转隔板施加压力，以引起偏转；
测量所述可偏转隔板上的所述电极与所述传感器体之间的电容的变化；以及
基于所测量的电容的变化，确定压力。
18.如权利要求17所述的方法，其中，所述可偏转隔板包括刚性材料。
19.如权利要求17所述的方法，其中，所述可偏转隔板包括晶体材料。
20.如权利要求17所述的方法，其中，所述可偏转隔板包括从由硅、石英、蓝宝石和尖晶石组成的材料组中选择的材料。
21.如权利要求17所述的方法，其中，所述传感器体包括传导性材料。
22.如权利要求17所述的方法，其中，所述传感器体由两个半传感器体形成。
23.如权利要求17所述的方法，其中，所述隔板由两个半隔板形成。
24.如权利要求17所述的方法，包括：在所述隔板上设置第二电极，所述第二电极被配置为与压力传感器体一起形成第二可变电容器。
25.如权利要求17所述的方法，包括：在所述隔板中形成隔板内部空腔，所述隔板内部空腔被配置为响应于施加至所述传感器体的空腔的线压力而发生形变。
26.如权利要求25所述的方法，包括：在所述隔板内部空腔中设置电极，所述电极被配置为形成基于所施加的线压力而改变的可变电容。
27.如权利要求17所述的方法，包括：设置温度传感器，所述温度传感器被配置为测量所述传感器体或所述隔板的温度。
CN2006800483176A 2005-12-20 2006-12-07 具有可偏转隔板的压力传感器 Active CN101341385B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/312,062 US7415886B2 (en) 2005-12-20 2005-12-20 Pressure sensor with deflectable diaphragm
US11/312,062 2005-12-20
PCT/US2006/046742 WO2007075290A1 (en) 2005-12-20 2006-12-07 Pressure sensor with deflectable diaphragm

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101341385A true CN101341385A (zh) 2009-01-07
CN101341385B CN101341385B (zh) 2011-11-23

Family

ID=37847241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006800483176A Active CN101341385B (zh) 2005-12-20 2006-12-07 具有可偏转隔板的压力传感器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7415886B2 (zh)
EP (1) EP1974195B1 (zh)
JP (1) JP5547894B2 (zh)
CN (1) CN101341385B (zh)
WO (1) WO2007075290A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107101751A (zh) * 2017-02-28 2017-08-29 宝力马（苏州）传感技术有限公司 一种新型电容式压力传感器及其制备方法
CN108240831A (zh) * 2016-12-23 2018-07-03 罗斯蒙特公司 用于一次性容器的传感器接口
CN108593187A (zh) * 2018-05-23 2018-09-28 金陵科技学院 陶瓷电容式压力传感器及提高压力检测精度的方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005017853A1 (de) * 2005-04-18 2006-10-19 Siemens Ag Drucksensorvorrichtung
US8429978B2 (en) * 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor
US9316553B2 (en) * 2014-03-26 2016-04-19 Rosemount Inc. Span line pressure effect compensation for diaphragm pressure sensor
US9562819B2 (en) * 2015-06-30 2017-02-07 Rosemount Inc Polymeric remote seal system for single-use containers
US10584309B2 (en) 2017-02-06 2020-03-10 Rosemount Inc. Pressure transducer for single-use containers
US11046575B2 (en) * 2017-10-31 2021-06-29 Encite Llc Broad range micro pressure sensor
JP2021517969A (ja) 2018-05-17 2021-07-29 ローズマウント インコーポレイテッド 測定素子およびこれを具備する測定機器
US11371902B2 (en) 2019-12-27 2022-06-28 Rosemount Inc. Process venting feature for use in sensor applications with a process fluid barrier

Family Cites Families (100)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2533339A (en) * 1946-06-22 1950-12-12 Jabez Burns & Sons Inc Flammable vapor protection
US3012432A (en) * 1957-09-23 1961-12-12 Richard H Moore Leak tester
GB1023042A (en) * 1962-05-07 1966-03-16 Wayne Kerr Lab Ltd Improvements in or relating to pressure responsive apparatus
US3232712A (en) * 1962-08-16 1966-02-01 Continental Lab Inc Gas detector and analyzer
US3374112A (en) * 1964-03-05 1968-03-19 Yeda Res & Dev Method and apparatus for controlled deposition of a thin conductive layer
US3249833A (en) * 1964-11-16 1966-05-03 Robert E Vosteen Capacitor transducer
US3557621A (en) * 1969-07-07 1971-01-26 C G S Scient Corp Inc Variable capacitance detecting devices
GB1354025A (en) * 1970-05-25 1974-06-05 Medicor Muevek Capacitive pressure transducer
US3924219A (en) * 1971-12-22 1975-12-02 Minnesota Mining & Mfg Gas detection device
US3808480A (en) * 1973-04-16 1974-04-30 Bunker Ramo Capacitive pressure transducer
US4008619A (en) * 1975-11-17 1977-02-22 Mks Instruments, Inc. Vacuum monitoring
US4177496A (en) * 1976-03-12 1979-12-04 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4158217A (en) * 1976-12-02 1979-06-12 Kaylico Corporation Capacitive pressure transducer with improved electrode
US4120206A (en) 1977-01-17 1978-10-17 Rosemount Inc. Differential pressure sensor capsule with low acceleration sensitivity
US4168518A (en) * 1977-05-10 1979-09-18 Lee Shih Y Capacitor transducer
US4172387A (en) * 1978-06-05 1979-10-30 The Foxboro Company Pressure responsive apparatus
US4227419A (en) * 1979-09-04 1980-10-14 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4244226A (en) * 1979-10-04 1981-01-13 Honeywell Inc. Distance measuring apparatus and a differential pressure transmitter utilizing the same
US4434451A (en) * 1979-10-29 1984-02-28 Delatorre Leroy C Pressure sensors
US4322775A (en) * 1979-10-29 1982-03-30 Delatorre Leroy C Capacitive pressure sensor
US4287553A (en) * 1980-06-06 1981-09-01 The Bendix Corporation Capacitive pressure transducer
US4336567A (en) * 1980-06-30 1982-06-22 The Bendix Corporation Differential pressure transducer
US4370890A (en) * 1980-10-06 1983-02-01 Rosemount Inc. Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm
US4358814A (en) * 1980-10-27 1982-11-09 Setra Systems, Inc. Capacitive pressure sensor
US4422335A (en) * 1981-03-25 1983-12-27 The Bendix Corporation Pressure transducer
US4458537A (en) * 1981-05-11 1984-07-10 Combustion Engineering, Inc. High accuracy differential pressure capacitive transducer
US4389895A (en) * 1981-07-27 1983-06-28 Rosemount Inc. Capacitance pressure sensor
US4466290A (en) * 1981-11-27 1984-08-21 Rosemount Inc. Apparatus for conveying fluid pressures to a differential pressure transducer
US4455874A (en) * 1981-12-28 1984-06-26 Paroscientific, Inc. Digital pressure transducer
US4422125A (en) * 1982-05-21 1983-12-20 The Bendix Corporation Pressure transducer with an invariable reference capacitor
DE3238430A1 (de) * 1982-10-16 1984-04-19 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Differenzdrucksensor
JPS59127148U (ja) * 1983-02-14 1984-08-27 株式会社島津製作所 静電容量式圧力・差圧伝送器
US4558184A (en) * 1983-02-24 1985-12-10 At&T Bell Laboratories Integrated capacitive transducer
DE3340834A1 (de) 1983-11-11 1985-05-23 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Schaltungsanordnung zur konstanthaltung der temperaturabhaengigen empfindlichkeit eines differenzdruckmessgeraetes
US4490773A (en) * 1983-12-19 1984-12-25 United Technologies Corporation Capacitive pressure transducer
US4542436A (en) * 1984-04-10 1985-09-17 Johnson Service Company Linearized capacitive pressure transducer
US4562742A (en) * 1984-08-07 1986-01-07 Bell Microcomponents, Inc. Capacitive pressure transducer
US4578735A (en) * 1984-10-12 1986-03-25 Knecht Thomas A Pressure sensing cell using brittle diaphragm
US4586108A (en) 1984-10-12 1986-04-29 Rosemount Inc. Circuit for capacitive sensor made of brittle material
US4670733A (en) * 1985-07-01 1987-06-02 Bell Microsensors, Inc. Differential pressure transducer
IL82960A0 (en) * 1986-06-30 1987-12-20 Rosemount Inc Differential pressure sensor
US4860232A (en) * 1987-04-22 1989-08-22 Massachusetts Institute Of Technology Digital technique for precise measurement of variable capacitance
FR2614986B1 (fr) * 1987-05-07 1989-08-18 Otic Fischer & Porter Structure de cellule capacitive pour la mesure des pressions differentielles
US4785669A (en) * 1987-05-18 1988-11-22 Mks Instruments, Inc. Absolute capacitance manometers
JP2514067Y2 (ja) * 1987-06-29 1996-10-16 京セラ株式会社 セラミック製トランスデュ−サ
US4875369A (en) * 1987-09-08 1989-10-24 Panex Corporation Pressure sensor system
US4878012A (en) * 1988-06-10 1989-10-31 Rosemount Inc. Charge balanced feedback transmitter
US4977480A (en) * 1988-09-14 1990-12-11 Fuji Koki Mfg. Co., Ltd. Variable-capacitance type sensor and variable-capacitance type sensor system using the same
US4926674A (en) * 1988-11-03 1990-05-22 Innovex Inc. Self-zeroing pressure signal generator
US4951174A (en) * 1988-12-30 1990-08-21 United Technologies Corporation Capacitive pressure sensor with third encircling plate
US5194819A (en) * 1990-08-10 1993-03-16 Setra Systems, Inc. Linearized capacitance sensor system
US5094109A (en) * 1990-12-06 1992-03-10 Rosemount Inc. Pressure transmitter with stress isolation depression
US5168419A (en) * 1991-07-16 1992-12-01 Panex Corporation Capacitor and pressure transducer
DE4124662A1 (de) 1991-07-25 1993-01-28 Fibronix Sensoren Gmbh Relativdrucksensor
US5230250A (en) * 1991-09-03 1993-07-27 Delatorre Leroy C Capacitor and pressure transducer
JP3182807B2 (ja) * 1991-09-20 2001-07-03 株式会社日立製作所 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム
US5233875A (en) * 1992-05-04 1993-08-10 Kavlico Corporation Stable capacitive pressure transducer system
US5329818A (en) * 1992-05-28 1994-07-19 Rosemount Inc. Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition
US5492016A (en) * 1992-06-15 1996-02-20 Industrial Sensors, Inc. Capacitive melt pressure measurement with center-mounted electrode post
SG41962A1 (en) 1993-09-24 1997-08-15 Rosemount Inc Pressure transmitter isolation diaphragm
DE4333753A1 (de) 1993-10-04 1994-05-11 Bosch Gmbh Robert Kapazitiver Differenzdrucksensor
US5542300A (en) * 1994-01-24 1996-08-06 Setra Systems, Inc. Low cost, center-mounted capacitive pressure sensor
US5642301A (en) * 1994-01-25 1997-06-24 Rosemount Inc. Transmitter with improved compensation
AU4110596A (en) * 1994-11-30 1996-06-19 Rosemount Inc. Pressure transmitter with fill fluid loss detection
US6484585B1 (en) * 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US5637802A (en) * 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
US5705978A (en) * 1995-09-29 1998-01-06 Rosemount Inc. Process control transmitter
US5992240A (en) * 1995-11-21 1999-11-30 Fuji Electric Co., Ltd. Pressure detecting apparatus for measuring pressure based on detected capacitance
US5757608A (en) * 1996-01-25 1998-05-26 Alliedsignal Inc. Compensated pressure transducer
US6654697B1 (en) * 1996-03-28 2003-11-25 Rosemount Inc. Flow measurement with diagnostics
US5668322A (en) 1996-06-13 1997-09-16 Rosemount Inc. Apparatus for coupling a transmitter to process fluid having a sensor extension selectively positionable at a plurality of angles
DE19633630A1 (de) * 1996-08-21 1998-02-26 Endress Hauser Gmbh Co Auswerteeinheit eines Differenzdrucksensors
US5753820A (en) * 1996-10-25 1998-05-19 Arthur D. Little, Inc. Fluid pressure sensing unit incorporating diaphragm deflection sensing array
US20040015069A1 (en) * 1996-12-27 2004-01-22 Brown David Lloyd System for locating inflamed plaque in a vessel
FR2762389B1 (fr) * 1997-04-17 1999-05-21 Commissariat Energie Atomique Microsysteme a membrane souple pour capteur de pression et procede de realisation
US5911162A (en) * 1997-06-20 1999-06-08 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure transducer with improved electrode support
US5974893A (en) * 1997-07-24 1999-11-02 Texas Instruments Incorporated Combined pressure responsive transducer and temperature sensor apparatus
EP1071934B1 (de) 1998-04-09 2002-02-13 Plöchinger, Heinz Kapazitive druck- oder kraftsensorstruktur und verfahren zur herstellung derselben
JP3567089B2 (ja) * 1998-10-12 2004-09-15 株式会社日立製作所 静電容量式圧力センサ
US6295875B1 (en) * 1999-05-14 2001-10-02 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
US6892582B1 (en) * 1999-08-20 2005-05-17 Hitachi, Ltd. Semiconductor pressure sensor and pressure sensing device
US6701274B1 (en) * 1999-08-27 2004-03-02 Rosemount Inc. Prediction of error magnitude in a pressure transmitter
US6520020B1 (en) * 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
EP1254357B1 (en) 2000-02-11 2006-12-06 Rosemount Inc. Optical pressure sensor
US6662662B1 (en) 2000-05-04 2003-12-16 Rosemount, Inc. Pressure transmitter with improved isolator system
DE10052053A1 (de) * 2000-10-19 2002-04-25 Endress Hauser Gmbh Co Druckmeßzelle
DE10117142A1 (de) * 2001-04-05 2002-10-10 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Kapazitiver Differenz-Drucksensor
US6516672B2 (en) * 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
US6828801B1 (en) * 2001-10-26 2004-12-07 Welch Allyn, Inc. Capacitive sensor
US6675655B2 (en) 2002-03-21 2004-01-13 Rosemount Inc. Pressure transmitter with process coupling
US6647794B1 (en) * 2002-05-06 2003-11-18 Rosemount Inc. Absolute pressure sensor
CA2513094C (en) * 2002-11-12 2013-08-06 Mark R. Fernald An apparatus having an array of clamp on piezoelectric film sensors for measuring parameters of a process flow within a pipe
EP1631797A2 (en) * 2003-06-05 2006-03-08 CiDra Corporation Apparatus for measuring velocity and flow rate of a fluid having a non-negligible axial mach number using an array of sensors
WO2005010522A2 (en) * 2003-07-18 2005-02-03 Rosemount Inc. Process diagnostics
US7523667B2 (en) * 2003-12-23 2009-04-28 Rosemount Inc. Diagnostics of impulse piping in an industrial process
US6945115B1 (en) * 2004-03-04 2005-09-20 General Mems Corporation Micromachined capacitive RF pressure sensor
US7577543B2 (en) * 2005-03-11 2009-08-18 Honeywell International Inc. Plugged impulse line detection
US7401522B2 (en) 2005-05-26 2008-07-22 Rosemount Inc. Pressure sensor using compressible sensor body
US7334484B2 (en) 2005-05-27 2008-02-26 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor
JP5222457B2 (ja) * 2005-09-26 2013-06-26 株式会社日立製作所 センサおよびセンサモジュール

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108240831A (zh) * 2016-12-23 2018-07-03 罗斯蒙特公司 用于一次性容器的传感器接口
CN108240831B (zh) * 2016-12-23 2021-05-07 罗斯蒙特公司 用于一次性容器的传感器接口
CN107101751A (zh) * 2017-02-28 2017-08-29 宝力马（苏州）传感技术有限公司 一种新型电容式压力传感器及其制备方法
CN108593187A (zh) * 2018-05-23 2018-09-28 金陵科技学院 陶瓷电容式压力传感器及提高压力检测精度的方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1974195B1 (en) 2018-11-07
EP1974195A1 (en) 2008-10-01
US7415886B2 (en) 2008-08-26
WO2007075290A1 (en) 2007-07-05
CN101341385B (zh) 2011-11-23
JP5547894B2 (ja) 2014-07-16
JP2009520206A (ja) 2009-05-21
US20070151349A1 (en) 2007-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101341385B (zh) 具有可偏转隔板的压力传感器
CN101184978B (zh) 使用差压传感器的管路压力测量
CN202182796U (zh) 压力传感器组件以及包括压力传感器组件的过程变送器
CN101180526B (zh) 使用可压缩的传感器体的压力传感器
EP1413865A2 (en) Process pressure measurement devices with improved error compensation
EP2132545B1 (en) Nano-particle modified fill fluid for pressure transmitters
CN204188328U (zh) 用于感测过程流体的差压的差压传感器
EP2593766A1 (en) Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors
CN100406867C (zh) 具有板涂层、微粒过滤器、独立的低成本电容压力变送器
CA1107982A (en) Pressure responsive apparatus
US11041773B2 (en) Sensor body cell of a pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant