CN101304839A - 在朝向工件的x方向和横向地沿着工件的z方向上变速独立运动的加工微结构的刀具 - Google Patents

在朝向工件的x方向和横向地沿着工件的z方向上变速独立运动的加工微结构的刀具 Download PDF

Info

Publication number
CN101304839A
CN101304839A CNA2006800421080A CN200680042108A CN101304839A CN 101304839 A CN101304839 A CN 101304839A CN A2006800421080 A CNA2006800421080 A CN A2006800421080A CN 200680042108 A CN200680042108 A CN 200680042108A CN 101304839 A CN101304839 A CN 101304839A
Authority
CN
China
Prior art keywords
actuator
workpiece
cutter head
knife rest
motion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006800421080A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101304839B (zh
Inventor
艾伦·B·坎贝尔
戴尔·L·埃内斯
丹尼尔·S·沃茨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
3M Innovative Properties Co
Original Assignee
3M Innovative Properties Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 3M Innovative Properties Co filed Critical 3M Innovative Properties Co
Publication of CN101304839A publication Critical patent/CN101304839A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101304839B publication Critical patent/CN101304839B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/18—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material with cutting bits or tips or cutting inserts rigidly mounted, e.g. by brazing
    • B23B27/20—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material with cutting bits or tips or cutting inserts rigidly mounted, e.g. by brazing with diamond bits or cutting inserts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • B23Q15/007—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work while the tool acts upon the workpiece
    • B23Q15/013—Control or regulation of feed movement
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B29/00—Holders for non-rotary cutting tools; Boring bars or boring heads; Accessories for tool holders
    • B23B29/04—Tool holders for a single cutting tool
    • B23B29/12—Special arrangements on tool holders
    • B23B29/125—Vibratory toolholders
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • B23Q15/007—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work while the tool acts upon the workpiece
    • B23Q15/14—Control or regulation of the orientation of the tool with respect to the work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q16/00—Equipment for precise positioning of tool or work into particular locations not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2260/00—Details of constructional elements
    • B23B2260/108—Piezoelectric elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q2230/00—Special operations in a machine tool
    • B23Q2230/004—Using a cutting tool reciprocating at high speeds, e.g. "fast tool"
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41344—Piezo, electrostrictive linear drive
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00—Turning
    • Y10T82/10—Process of turning
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00—Turning
    • Y10T82/16—Severing or cut-off
    • Y10T82/16426—Infeed means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00—Turning
    • Y10T82/16—Severing or cut-off
    • Y10T82/16426—Infeed means
    • Y10T82/16442—Infeed means with means to circumrotate tool[s] about work
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00—Turning
    • Y10T82/25—Lathe
    • Y10T82/2512—Lathe having facing tool fed transverse to work
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00—Turning
    • Y10T82/25—Lathe
    • Y10T82/2583—Tool and work rest

Abstract

一种具有刀架和致动器的刀具组件，所述刀架能够沿待切削工件横向运动，所述致动器带有刀头。所述致动器对所述刀头在朝向所述工件的X方向以及横向地沿着所述工件的Z方向上的运动提供独立和可变的控制，以便有选择地切削所述工件，从而在所述工件中制造微结构。

Description

在朝向工件的X方向和横向地沿着工件的Z方向上变速独立运动的加工微结构的刀具
相关专利申请的参考
本专利申请与以下专利申请有关：Alan Campbell、Dale Ehnes和Daniel Wertz提交的、名称为“Cutting Tool Having VariableMovement at Two Simultaneously Speeds in an X-Direction Into a Work Piece for Making Microstructures”(在朝向工件的X方向以两个并存的独立的速度作变速运动的加工微结构的刀具)的美国专利申请；Dale Ehnes、Alan Campbell和Daniel Wertz提交的、名称为“Cutting Tool Having Variable Movement in a Z-DirectionLaterally Along a Work Piece for Making Microstructures”(在横向地沿着工件的Z方向上做变速运动的加工微结构的刀具)的美国专利申请；以及Dale Ehnes、Alan Campbell和Daniel Wertz提交的、名称为“Cutting Tool Having Variable Rotation About a Y-DirectionTransversely Across a Work Piece for Making Microstructures”(围绕横过工件的Y方向变速旋转的加工微结构的刀具)的美国专利申请，上述申请均于2005年11月15日提交。
技术领域
本发明涉及用于制造微复制结构的微复制工具的金刚石加工。
背景技术
加工技术可用于制造诸如微复制工具之类的各种各样的工件。微复制工具通常用于挤出工艺、注塑成型工艺、压花工艺、浇注工艺等，从而形成微复制结构。微复制型结构可能包括光学膜、研磨膜、粘合剂膜、具有自配合外形的机械紧固件、或具有尺寸相对较小(例如小于约1000微米的尺寸)的微复制特征的任何模制部件或挤出部件。
也可以采用其它各种方法制成所述微结构。例如，可通过浇铸和固化工艺将母模工具的结构从母模工具转移到诸如聚合材料带材或织物之类的其它介质上以形成生产工具；然后使用这一生产工具制造微复制结构。可使用诸如电铸之类的其它方法复制该母模工具。制造导光薄膜的另一备选方法是直接切削或加工透明材料以形成适当的结构。
其它技术包括化学蚀刻、喷砂处理、或其它随机表面改性技术。然而，这些技术通常不能形成获得合适光漫射特性所需的轮廓清晰的、精确的微结构和特征宽度，而使用本发明方法的刀具可以获得这种合适的光漫射特性。具体地讲，由于化学蚀刻、喷丸处理和其它随机表面改性技术固有的不精确性和不可重复性，所以这些方法不能生产高精度的重复结构。
发明内容
第一刀具组件包括刀架和致动器，该致动器被构造为连接到刀架上，并且与控制器进行电通信。连接到致动器上的刀头被安装为相对于待切削的工件运动。该致动器对刀头在朝向工件的X方向以及横向地沿着工件的Z方向上的运动提供独立和可变的控制，以便有选择地切削工件。
第二刀具组件包括刀架和致动器，所述刀架能够沿待切削的工件横向运动，所述致动器被构造为连接到刀架上并且与控制器电通信，所述致动器包括压电堆。连接到压电堆上的刀头被安装为相对于待切削的工件运动。该致动器对刀头在朝向工件的X方向以及横向地沿着工件的Z方向上的运动提供独立和可变的控制，以便有选择地切削工件，从而在工件中形成微结构。
附图说明
附图被并入本说明书并且构成其一部分，并且与具体实施方式一起阐明本发明的优点和原理。在附图中：
图1为在工件中制成微结构的刀具系统的示意图；
图2为示出用于刀具的坐标系的示意图；
图3为用于刀具的示例性PZT堆的示意图；
图4A为刀头座的透视图；
图4B为用于保持刀头的刀头座的前视图；
图4C为刀头座的侧视图；
图4D为刀头座的俯视图；
图5A为刀头的透视图；
图5B为刀头的前视图；
图5C为刀头的仰视图；
图5D为刀头的侧视图；
图6A为用于刀具中的X-Z致动器的俯视剖视图；
图6B为示出PZT堆在X-Z致动器内的位置的侧面剖视图；
图6C为X-Z致动器的前视图；
图6D为X-Z致动器的后视图；
图6E为X-Z致动器的俯视图；
图6F和6G为X-Z致动器的侧视图；
图6H为X-Z致动器的透视图；
图7A为用于安装X-Z致动器的两个PZT堆的桨状物的透视图；
图7B为用于安装X-Z致动器的两个PZT堆的桨状物的俯视图；
图7C为用于安装X-Z致动器的两个PZT堆的桨状物的前视图；
图7D为用于安装X-Z致动器的两个PZT堆的桨状物的侧视图；
图7E为示出两个PZT堆安装在X-Z致动器的桨状物上的透视图；和
图8为概念性示出可使用包括X-Z致动器的刀具系统制成的微结构的示意图。
具体实施方式
刀具系统
在已公开的PCT专利申请WO 00/48037中描述了常规金刚石车削技术。在这些方法中使用的用于制成光学薄膜或其它薄膜的装置可包括快速伺服刀架。如WO 00/48037中所公开的，快速伺服刀架(FTS)为被称为PZT堆的固态压电(PZT)装置，PZT堆快速调整连接到所述PZT堆上的刀具的位置。如下面详细描述的，FTS使刀具可以在坐标系内的多个方向上做高精确度的高速运动。
图1为在工件中制造微结构的刀具系统10的示意图；微结构可包括位于制品表面上的、凹入制品表面的或从制品表面凸起的任何类型、形状以及尺寸的结构。例如，使用本说明书描述的致动器和系统制造的微结构可具有1000微米节距、100微米节距、1微米节距、或甚至约200纳米的亚光学波长(nm)节距。提供这些尺寸仅为示例性目的，使用本说明书描述的致动器和系统制成的微结构可以具有使用该系统可加工的范围内的任何尺寸。
利用计算机12控制系统10。计算机12包括例如下列元件：存储一个或多个应用程序16的存储器14；提供非易失性信息存储的第二存储器18；接收信息或命令的输入装置20；运行存储在存储器16或第二存储器18中、或来自另一个来源的应用程序的处理器22；输出视频信息的显示装置24；以及以用于音频信息的扬声器或用于信息硬拷贝的打印机之类的其它形式输出信息的输出装置26。
利用刀头44对工件54执行切削加工。在工件54通过诸如计算机12控制的电动机之类的驱动器和编码器56转动的同时，致动器38控制刀头44的运动。在此实例中，示出的工件54为诸如硬铜辊之类的辊形式的；然而，工件也可以是平面形式的和利用其它材料加工的。例如，作为选择，工件可由铝、镍、钢或塑料(例如，丙烯酸树脂)制成。例如，使用的具体材料可以取决于所需的具体应用，例如使用已加工的工件制成各种薄膜。致动器38和下文所述的致动器可由例如不锈钢或其它材料制成。
致动器38可拆卸地连接到刀架36上，刀架又被安装在轨道32上。刀架36和致动器38被构造成在轨道32上可沿箭头40和42所示的X方向和Z方向运动。计算机12经由一个或多个放大器30与刀架36和致动器38电连接。当用作控制器时，计算机12控制刀架36在轨道32上的运动并通过致动器38控制刀头44的运动，以便加工工件54。如果致动器包括多个PZT堆，那么它可以使用分开的放大器独立控制每个PZT堆，所述PZT堆用于独立地控制连接在堆上的刀头的运动。如下面详细说明的，计算机12可利用函数发生器28向致动器38提供波形，以便在工件54中加工各种微结构。
通过不同部件的协调运动完成工件54的加工。具体地讲，在计算机12的控制下，该系统可以通过刀架36的运动协调并控制致动器38的运动，同时协调并控制工件在C方向的运动以及刀头44在X方向、Y方向和Z方向中一个或多个方向的运动，这些坐标将在下面说明。所述系统通常使刀架36在Z方向做匀速运动，但也可以使刀架36做变速运动。通常刀架36和刀头44的运动均与工件54在C方向的运动(如线条53表示的旋转运动)同步。可以利用例如在计算机12的软件、硬件或其组合中执行的数字控制技术或数字控制器(NC)控制所有那些运动。
工件54加工完之后可用于制成在多种用途中使用的具有相应微结构的薄膜。这些薄膜的实例包括光学薄膜、摩擦控制薄膜以及微型紧固件或其它机械微结构化部件。通常使用涂层工艺制成所述薄膜，在涂层工艺中，将粘稠状态的材料涂布在工件上，使其至少部分固化，然后移除。固化材料构成的薄膜将具有与工件中的结构基本上相反的结构。例如，工件中的凹进部产生所得薄膜中的凸起部。
通过管线48和50利用冷却液46控制刀架36和致动器38的温度。温度控制单元52可以使冷却液在流经刀架36和致动器38循环的同时保持基本恒定的温度。温度控制单元52可以是提供流体温度控制的任何装置。冷却液可以是油产品，例如低粘度油。温度控制单元52和冷却液贮箱46可包括使流体流过刀架36和致动器38循环的泵，并且通常还包括使流体散热的冷却系统以使流体基本上保持恒温。使流体循环并提供流体温度控制的冷却和泵系统在本领域是已知的。在某些实施例中，为了使工件中要加工的材料的表面温度保持基本恒定，也可以将冷却液施加于工件54。
图2为示出用于诸如系统10之类的刀具的坐标系的示意图。该坐标系示出刀头62相对于工件64的运动。刀头62可以与刀头44相对应，并且通常被连接到刀头座60上，所述刀头座连接到致动器上。在该示例性实施例中，坐标系包括X方向66、Y方向68和Z方向70。X方向66指沿基本上垂直于工件64的方向的运动。Y方向68指沿横过工件64的方向的运动，例如沿基本上平行于工件64的旋转平面的方向的运动。Z方向70指在横向地沿着工件64的方向上的运动，例如在基本上垂直于工件64的旋转平面的方向上的运动。也如图1所示，工件的旋转方向被称为C方向。如果工件不是辊形式，而是平面形式的，那么Y方向和Z方向就指在沿基本上垂直于X方向的方向横过工件的互相垂直的方向上的运动。
系统10可用于高精度的高速加工。这一类型的加工必须考虑诸如部件的协调速度和工件材料之类的多种参数。例如，通常必须与工件材料的热稳定性和特性一起考虑给定体积待加工金属的比能。在下列参考文献中描述了有关加工的切削参数：Machining Data Handbook，Library ofCongress Catalog Card No.66-60051，Second Edition(1972)；Edward Trent and Paul Wright，Metal Cutting，Fourth Edition，Butterworth-Heinemann，ISBN 0-7506-7069-X(2000)；Zhang Jin-Hua，Theory and Technique of Precision Cutting，Pergamon Press，ISBN 0-08-035891-8(1991)；以及M.K.Krueger等人，NewTechnology in Metalworking Fluids and Grinding Wheels AchievesTenfold Improvement in Grinding Performance，Coolant/Lubricantsfor Metal Cutting and Grinding Conference，Chicago，Illinois，U.S.A.，June 7，2000。
PZT堆、刀头座和刀头
图3为用于刀具的示例性PZT堆72的示意图。PZT堆用于使与其相连的刀头运动和根据PZT效应运行，这在本领域是已知的。根据PZT效应，施加到某类材料的电场将使其沿一个轴线伸展，并沿另一轴线收缩。PZT堆通常包括包封在壳体84内并且安装在基板86上的多个材料74、76和78。在这一示例性实施例中，材料是具有PZT效应的陶瓷材料。仅出于示例性目的而示出三个盘状物74、76和78，可以根据例如具体实施例的需要使用任何数目的盘状物或其它材料、以及任何类别的形状的材料。柱88粘附在盘状物上，并从壳体84伸出。例如，可以利用任何PZT材料制造所述盘状物，诸如混合的、压制的和烧结的钛酸钡、锆酸铅或钛酸铅材料以及以所列材料为基体的材料。其中一种PZT材料可得自KineticCeramics，Inc.，26240 Industrial Blvd.，Hayward，CA94545，U.S.A。例如，也可以利用磁致伸缩材料制造所述盘状物。
如线条80和82所示的盘状物74、76和78的电连接为这些盘状物提供电场，以使柱88运动。由于PZT效应以及根据施加的电场类型，可以使柱88进行精确和微小的运动，例如几微米以内的运动。另外，包括柱88的PZT堆72的端部可紧靠一个或多个贝氏垫圈安装，所述垫圈用于为PZT堆预加负荷。贝氏垫圈具有一定的柔韧性，以使柱88及与其连接的刀头可以运动。位于下述致动器中的每个PZT堆也可以装有用于预加负荷的贝氏垫圈，或者作为另外一种选择，装有安装在每个PZT堆上的用于为PZT堆预加负荷的任何装置。
图4A-4D为示例性刀头座90的视图，如下文所述，所述刀头座将被安装在PZT堆的柱88上，以接受致动器的控制。图4A为刀头座90的透视图。图4B为刀头座90的前视图。图4C为刀头座90的侧视图。图4D为刀头座90的俯视图。
如图4A-4D所示，刀头座90包括平坦的后表面92、楔形的前表面94和具有倾斜或楔形侧面的凸出表面98。孔96用于将刀头座90安装在PZT堆的柱上。楔形表面98用于安装加工工件的刀头。在这一示例性实施例中，刀头座90包括平坦表面，从而在安装到PZT堆上时，通过提供更大的接触表面积而增强其安装稳定性；并且该刀头座包括楔形的前表面，从而减轻其质量。利用粘合剂、硬钎焊、软钎焊、诸如螺栓之类的紧固件，或用其它方法将刀头座90安装在PZT堆的柱88上。
例如根据具体实施例的要求，也可使用其它的刀头座构造。术语“刀头座”旨在包括用于保持加工工件的刀头的任何类型的结构。可以采用例如下列一种或多种材料制造刀头座90：烧结的碳化物、氮化硅、碳化硅、钢或钛。优选将刚性和轻质材料用于刀头座90。
图5A-5D为示例性刀头100的视图，通过使用诸如粘合剂、硬钎焊、软钎焊或其它方式将所述刀头固定到刀头座90的表面98上。图5A为刀头100的透视图。图5B为刀头100的前视图。图5C为刀头100的仰视图。图5D为刀头100的侧视图。如图5A-5D所示，刀头100包括侧面104、楔形或倾斜的前表面106和用于将刀头固定到刀头座90的表面98上的底面102。在致动器控制下，利用刀头100的前部105加工工件。可以利用例如金刚石块作为刀头90。
X-Z致动器
图6A-6H为示例性X-Z致动器110的视图。术语“X-Z致动器”指使刀头大致在X方向和Z方向两个方向上运动以加工工件的任何类型的致动器或其它装置。图6A为X-Z致动器110的俯视剖视图。图6B为示出PZT堆在X-Z致动器110内的位置的侧面剖视图。图6C为X-Z致动器110的前视图。图6D为X-Z致动器110的后视图。图6E为X-Z致动器110的俯视图。图6F和6G为X-Z致动器110的侧视图。图6H为X-Z致动器110的透视图。为了清楚起见，在图6C-6H中移除了X-Z致动器110的一些细节。
如图6A-6H所示，X-Z致动器110包括主体112，所述主体能够保持X方向的PZT堆118和Z方向的PZT堆116。PZT堆118和116连接到具有刀头的刀头座136上，用于使刀头分别在如箭头138和140所示的X方向和Z方向运动。PZT堆118和116可以是如图3所示的示例性PZT堆72。刀头座136和位于刀头座136上的刀头可以是如图4A-4D所示的刀头座和如图5A-5D所示的刀头。主体112还包括两个孔114和115，所述孔用于例如利用螺栓将主体安装到刀架36上，从而在计算机12控制下加工工件54。
PZT堆118和116牢固地安装在主体112中，以获得精确控制刀头的运动所需的稳定性。通过诸如导轨120和122之类的导轨将PZT堆118固定在主体112中，通过诸如导轨124和126之类的导轨将PZT堆116固定在主体112中。优选可以通过沿导轨滑动PZT堆118和116的方法从主体112取出PZT堆，并可以利用螺栓或其它紧固件将PZT堆在主体112中固定在位。PZT堆118和116分别包括用于从计算机12接收信号的电连接130和134。PZT堆118和116的端盖分别包括口128和132，这些口用于从贮存器46接收诸如油之类的冷却液，使冷却液围绕PZT堆循环并将冷却液送回贮存器46，从而保持对冷却液的温度控制。主体112可包括引导冷却液流经PZT堆118和116周围的合适的通道，并且可以利用温度控制单元52内的泵或其它装置循环冷却液。
图6B为示出PZT堆118在主体112中的位置的侧面剖视图，图中未示出PZT堆118的端盖。主体112的每个孔内均可包括用于PZT堆的多根导轨，以将PZT堆牢固地保持在位。例如，为了在将PZT堆118安装在主体112中时将PZT堆牢固地保持在位，导轨120、122、142和144环绕在PZT堆118周围。连接到PZT堆118上的端盖可容纳螺栓或其它紧固件，以将PZT堆固定到导轨120、122、142和144中的一个或多个上，并且端盖还可将PZT堆118密封在主体112中，以便使冷却液围绕PZT堆118循环。可采用类似的方式安装PZT堆116。PZT堆116和118都可以包括一个或多个贝氏垫圈，所述垫圈位于PZT堆和刀头座136之间，用于对PZT堆预加负荷。
图7A-7D示出了用于将致动器116和118固定到刀头座136上的桨状物150。图7A为桨状物150的透视图。图7B为桨状物150的俯视图。图7C为桨状物150的前视图。图7D为桨状物150的侧视图。图7E为示出两个PZT堆安装在桨状物150上的透视图。如图7A-7D所示，桨状物150包括环形部分156和152，其中，环形部分156的一个表面固定在用于Z方向控制的PZT堆116上；环形部分152的一个表面固定在用于X方向控制的PZT堆118上。在这一实施例中，环形部分152和156分别包括孔154和158。孔154可用于通过例如紧固件将桨状物150固定到PZT堆118和刀头座136上。优选地由钛制成桨状物150，作为另外一种选择，也可以由其它材料制成桨状物150。例如，作为另外一种选择，可由铝制成桨状物150。选择用于制造桨状物150的材料的考虑因素包括例如材料的强度与重量比。如图7E所示，可通过使用粘合剂、硬钎焊、软钎焊或其它方式将致动器116和118固定到桨状物150上。
图8为概念性示出可使用具有X-Z致动器的刀具系统制成的微结构的示意图。如图8所示，制品160包括顶面162和底面164。顶面162包括如线条166所示的微结构，并且可以用如下方法制成那些微结构，即：使用上述致动器加工工件，然后使用该工件采用涂层技术制成薄膜或制品。
虽然已结合示例性实施例描述本发明，但应当理解，对本领域的技术人员来说，许多修改形式是显而易见的，本专利申请旨在涵盖其任何修改或变化。例如，在不脱离本发明范围的前提下，刀架、致动器和刀头可以使用各种类型的材料和构造。本发明应当仅受限于权利要求书及其等同物。

Claims (21)

1.一种刀具组件，包括：
刀架；
致动器，其被构造为连接到所述刀架上并与控制器电通信；和刀头，其连接到所述致动器上并被安装为相对于待切削工件运动，其中所述致动器对所述刀头在朝向所述工件的X方向以及横向地沿着所述工件的Z方向上的运动提供独立和可变控制，以便有选择地切削所述工件。
2.根据权利要求1所述的刀具组件，其中所述致动器包括与所述刀头相连并且与所述控制器电连接的用于控制所述刀头的运动的一对压电堆。
3.根据权利要求2所述的刀具组件，还包括用于将所述一对压电堆连接到所述刀头上的桨状物。
4.根据权利要求3所述的刀具组件，其中所述桨状物由钛材料构成。
5.根据权利要求1所述的刀具组件，其中所述致动器包括传输流体的口，所述流体流经所述致动器以冷却所述致动器。
6.根据权利要求1所述的刀具组件，其中所述致动器包括第一放大器和第二放大器，所述第一放大器用于控制所述刀头在所述X方向的运动，并且所述第二放大器用于控制所述刀头在所述Z方向的运动。
7.根据权利要求2所述的刀具组件，还包括连接到所述压电堆的用于为所述压电堆预加负荷的垫圈。
8.根据权利要求1所述的刀具组件，其中所述刀架被构造为使所述致动器在沿所述工件的Z方向上以基本恒定的速度运动。
9.根据权利要求1所述的刀具组件，其中所述致动器被构造为可拆卸地连接到所述刀架的柱上。
10.一种切削工件的方法，包括：
提供刀架；
提供致动器，所述致动器构造为连接至所述刀架上并与控制器电通信；
将刀头安放在所述致动器中，使所述刀头相对于待切削工件运动；和
构造所述致动器，使致动器对所述刀头在朝向工件的X方向以及横向地沿着所述工件的Z方向上的运动提供独立和可变的控制，以便有选择地切削所述工件。
11.根据权利要求10所述的方法，其中所述构造致动器的步骤包括利用一对压电堆控制所述刀头的运动。
12.根据权利要求11所述的方法，还包括利用桨状物将所述一对压电堆连接到所述刀头上。
13.根据权利要求10所述的方法，还包括用流体冷却所述致动器。
14.根据权利要求10所述的方法，其中所述构造致动器的步骤包括：利用第一放大器控制所述刀头在所述X方向的运动，利用第二放大器控制所述刀头在所述Z方向的运动。
15.根据权利要求11所述的方法，还包括利用垫圈为所述压电堆预加负荷。
16.根据权利要求10所述的方法，其中所述提供刀架的步骤包括使所述致动器在沿所述工件的Z方向上以基本恒定的速度运动。
17.根据权利要求10所述的方法，还包括将所述致动器可拆卸地连接到所述刀架的柱上。
18.一种刀具组件，包括：
刀架，其能够沿待切削工件横向运动；
致动器，其被构造为连接至所述刀架上并与控制器电通信，所述致动器包括压电堆；和
刀头，其连接到所述致动器中的所述压电堆上并被安装为相对于待切削工件运动，其中，所述致动器对所述刀头在朝向所述工件的X方向以及横向地沿着所述工件的Z方向上的运动提供独立和可变的控制，以便有选择地切削所述工件，从而在所述工件中制造微结构。
19.根据权利要求18所述的刀具组件，其中所述致动器包括传输流体的口，所述流体流经所述致动器以冷却所述致动器。
20.根据权利要求18所述的刀具组件，其中所述致动器被构造为可拆卸地连接到所述刀架的柱上。
21.一种制造微结构化制品的方法，包括：
制作加工的工件，包括：
提供刀架；
提供致动器，所述致动器被构造为连接至所述刀架上并与控制器电通信；
将刀头安放在所述致动器中，以使所述刀头相对于所述待切削工件运动；和
构造所述致动器，使其对所述刀头在朝向所述工件的X方向以及横向地沿着所述工件的Z方向上的运动提供独立和可变的控制，以便有选择地切削所述工件，从而制造所述加工的工件；
将材料施加在所述加工的工件上，使所述材料基本上与所述加工的工件的表面一致；和
从所述加工的工件移除所述材料。
CN2006800421080A 2005-11-15 2006-10-30 在朝向工件的x方向和横向地沿着工件的z方向上变速独立运动的加工微结构的刀具 Expired - Fee Related CN101304839B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/274,723 2005-11-15
US11/274,723 US7293487B2 (en) 2005-11-15 2005-11-15 Cutting tool having variable and independent movement in an x-direction and a z-direction into and laterally along a work piece for making microstructures
PCT/US2006/042171 WO2007058758A1 (en) 2005-11-15 2006-10-30 Cutting tool having variable and independent movement in an x-direction and a z-direction into and laterally along a work piece for making microstructures

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101304839A true CN101304839A (zh) 2008-11-12
CN101304839B CN101304839B (zh) 2012-11-28

Family

ID=38039398

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006800421080A Expired - Fee Related CN101304839B (zh) 2005-11-15 2006-10-30 在朝向工件的x方向和横向地沿着工件的z方向上变速独立运动的加工微结构的刀具

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7293487B2 (zh)
EP (1) EP1948392A4 (zh)
JP (1) JP2009515720A (zh)
KR (1) KR101312194B1 (zh)
CN (1) CN101304839B (zh)
TW (1) TWI363683B (zh)
WO (1) WO2007058758A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109530537A (zh) * 2018-11-20 2019-03-29 中北大学 磁力微坑加工装置

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7677146B2 (en) * 2006-05-10 2010-03-16 3M Innovative Properties Company Cutting tool using one or more machined tool tips in a continuous or interrupted cut fast tool servo
DE102006026524A1 (de) * 2006-06-06 2007-12-13 Satisloh Ag Maschine zur Bearbeitung von optischen Werkstücken, insbesondere von Kunststoff-Brillengläsern
US7628100B2 (en) * 2007-01-05 2009-12-08 3M Innovative Properties Company Cutting tool using one or more machined tool tips with diffractive features in a continuous or interrupted cut fast tool servo
JP5635403B2 (ja) 2007-09-21 2014-12-03 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 光学フィルム
US7669508B2 (en) * 2007-10-29 2010-03-02 3M Innovative Properties Company Cutting tool using one or more machined tool tips with diffractive features
US20090147361A1 (en) * 2007-12-07 2009-06-11 3M Innovative Properties Company Microreplicated films having diffractive features on macro-scale features
US9810817B2 (en) 2008-04-02 2017-11-07 3M Innovative Properties Company Light directing film and method for making the same
US20100128351A1 (en) * 2008-11-21 2010-05-27 3M Innovative Properties Company Curved sided cone structures for controlling gain and viewing angle in an optical film
US20100129617A1 (en) * 2008-11-21 2010-05-27 Corrigan Thomas R Laser ablation tooling via sparse patterned masks
US20100186570A1 (en) * 2009-01-29 2010-07-29 3M Innovative Properties Company Method for making an optical film having a variable prismatic structured surface
US20100188751A1 (en) * 2009-01-29 2010-07-29 3M Innovative Properties Company Optical films with internally conformable layers and method of making the films
KR101520994B1 (ko) * 2009-02-26 2015-05-15 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 광학 시트, 면 광원 장치, 투과형 표시 장치 및 발광 장치
US20110070398A1 (en) * 2009-09-18 2011-03-24 3M Innovative Properties Company Laser ablation tooling via distributed patterned masks
JP2014193514A (ja) * 2013-03-29 2014-10-09 Nishijima Corp 導光板加工装置
JP6470085B2 (ja) * 2015-03-26 2019-02-13 シチズン時計株式会社 工作機械及びこの工作機械の制御装置
US20160307429A1 (en) * 2015-04-14 2016-10-20 Hill-Rom Services, Inc. Monitoring of patient supports
CN106976118B (zh) * 2017-05-11 2018-11-13 绍兴柯桥实在纺织有限公司 一种餐饮业用水果切片装置
DE102019127628A1 (de) * 2019-10-14 2021-04-15 Optotech Optikmaschinen Gmbh Werkzeugantriebseinheit, Drehvorrichtung und Drehverfahren

Family Cites Families (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63306854A (ja) 1987-06-03 1988-12-14 Hitachi Ltd 工作機械装置のバイト制御方式
JPH01281848A (ja) 1988-05-09 1989-11-13 Kobe Steel Ltd 精密切削装置
JPH0735813B2 (ja) * 1989-08-30 1995-04-19 豊田工機株式会社 静圧軸受
US5291812A (en) * 1992-05-22 1994-03-08 General Motors Corporation Turning apparatus with improved chip handling
US5467675A (en) * 1993-11-15 1995-11-21 North Carolina State University Apparatus and method for forming a workpiece surface into a non-rotationally symmetric shape
US5497675A (en) * 1994-06-06 1996-03-12 Chrysler Corporation Energy absorber for a steering column
JPH09275689A (ja) 1996-04-01 1997-10-21 Seiko Seiki Co Ltd 超精密位置決め装置
JP3690431B2 (ja) 1996-04-19 2005-08-31 株式会社前川製作所 ホタテ貝の内臓分離吸引装置
GB2314452A (en) 1996-06-17 1997-12-24 Rank Taylor Hobson Ltd Electromechanical actuator
US6040653A (en) * 1996-10-17 2000-03-21 Kinetic Ceramics, Inc. Piezoelectric positioner
JPH10118811A (ja) 1996-10-18 1998-05-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加工装置
US20020137890A1 (en) * 1997-03-31 2002-09-26 Genentech, Inc. Secreted and transmembrane polypeptides and nucleic acids encoding the same
US6237452B1 (en) * 1997-12-29 2001-05-29 Massachusetts Institute Of Technology Precision high speed turning machine
DE69939647D1 (de) * 1998-02-18 2008-11-13 Minnesota Mining & Mfg Optischer film
US6170367B1 (en) * 1998-09-09 2001-01-09 John R. Keller Single-point flexure toric contact lens forming machine and method
SE515157C2 (sv) 1998-10-22 2001-06-18 Ingvar Claesson Metod och anordning för styrning av svarvoperation
US6322236B1 (en) * 1999-02-09 2001-11-27 3M Innovative Properties Company Optical film with defect-reducing surface and method for making same
EP1163081A1 (en) 1999-02-25 2001-12-19 Micro Optics Design Corporation Apparatus and method for generating ultimate surfaces on ophthalmic lenses
US6356391B1 (en) * 1999-10-08 2002-03-12 3M Innovative Properties Company Optical film with variable angle prisms
US6845212B2 (en) * 1999-10-08 2005-01-18 3M Innovative Properties Company Optical element having programmed optical structures
JP4398044B2 (ja) * 2000-02-03 2010-01-13 東芝機械株式会社 工作機械の数値制御装置および制御方法
US6581286B2 (en) * 2000-04-05 2003-06-24 3M Innovative Properties Company Method of making tool to produce optical film
CA2313830A1 (en) 2000-07-13 2002-01-13 Micro Optics Design Corporation Single point diamond turning lathe with vibration cancelling feature
AU2001276905A1 (en) * 2000-07-14 2002-01-30 Metabolix, Inc. Polyurethanes obtained from hydroxyalkanoates and isocyanates
JP4158956B2 (ja) * 2000-07-28 2008-10-01 キッコーマン株式会社 ルシフェリンを再生する能力を有するタンパク質をコードする遺伝子、組み換え体ｄｎａ及びルシフェリンを再生する能力を有するタンパク質の製造法
AU2002211873A1 (en) 2000-11-01 2002-05-15 Dac International, Inc. Method and system for producing progressive addition spectacle lenses
JP3806603B2 (ja) * 2001-02-23 2006-08-09 Ｔｏｗａ株式会社 楕円振動装置及び楕円振動装置の制御方法
JP4138270B2 (ja) 2001-05-15 2008-08-27 本田技研工業株式会社 エンジンの燃料供給装置
US20030035231A1 (en) * 2001-08-03 2003-02-20 Epstein Kenneth A. Optical film having microreplicated structures; and methods
US20030108710A1 (en) * 2001-12-07 2003-06-12 General Electric Company Articles bearing patterned microstructures and method of making
AU2003215876A1 (en) 2002-04-15 2003-10-27 Eduard Gots Method and apparatus for vibrating cutting tool
US6862141B2 (en) * 2002-05-20 2005-03-01 General Electric Company Optical substrate and method of making
US7275468B2 (en) * 2002-05-29 2007-10-02 Massachusetts Institute Of Technology Rotary fast tool servo system and methods
US6945099B1 (en) * 2002-07-02 2005-09-20 Veeco Instruments Inc. Torsional resonance mode probe-based instrument and method
US20040109683A1 (en) * 2002-08-21 2004-06-10 Meriton Networks Inc. Non-disruptive lightpath routing changes in WDM networks
US20040045419A1 (en) * 2002-09-10 2004-03-11 Bryan William J. Multi-diamond cutting tool assembly for creating microreplication tools
JP2004098230A (ja) 2002-09-10 2004-04-02 Canon Inc 加工装置、加工方法および変位検出ユニット
US6811274B2 (en) * 2002-12-04 2004-11-02 General Electric Company Polarization sensitive optical substrate
US7125131B2 (en) * 2002-12-06 2006-10-24 General Electric Company Brightness enhancement film with improved view angle
US6909482B2 (en) * 2002-12-11 2005-06-21 General Electric Company Display substrate with reflective color filters
US6814113B1 (en) * 2002-12-18 2004-11-09 Ronald G. Daniels Manufacturing method for producing three dimensional inlaid turned and re-sawn wood products
US6952627B2 (en) * 2002-12-18 2005-10-04 General Electric Company Method and apparatus for fabricating light management substrates
US6844950B2 (en) * 2003-01-07 2005-01-18 General Electric Company Microstructure-bearing articles of high refractive index
JP4013252B2 (ja) * 2003-03-27 2007-11-28 株式会社ジェイテクト ヘール加工方法及び加工装置
KR100514991B1 (ko) 2003-05-10 2005-09-15 고등기술연구원연구조합 압전액츄에이터를 이용한 진동절삭장치
JP2005014169A (ja) 2003-06-27 2005-01-20 Canon Inc フィードバック制御装置および加工装置
EP1493530A1 (de) * 2003-07-04 2005-01-05 HESS, Peter Werkzeugkopf mit piezoelektrischen Aktuatoren
KR100491304B1 (ko) * 2003-09-18 2005-05-24 미래산업 주식회사 번인 테스터용 소팅 핸들러
WO2005043266A2 (en) 2003-10-31 2005-05-12 Massachusetts Institute Of Technology Variable reluctance fast positioning system and methods
US8170367B2 (en) 2008-01-28 2012-05-01 Vistaprint Technologies Limited Representing flat designs to be printed on curves of a 3-dimensional product

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109530537A (zh) * 2018-11-20 2019-03-29 中北大学 磁力微坑加工装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20070107568A1 (en) 2007-05-17
US20080016993A1 (en) 2008-01-24
TW200726611A (en) 2007-07-16
US7293487B2 (en) 2007-11-13
WO2007058758A1 (en) 2007-05-24
JP2009515720A (ja) 2009-04-16
KR20080072900A (ko) 2008-08-07
KR101312194B1 (ko) 2013-09-27
CN101304839B (zh) 2012-11-28
EP1948392A4 (en) 2010-11-17
EP1948392A1 (en) 2008-07-30
TWI363683B (en) 2012-05-11
US7395741B2 (en) 2008-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101304839B (zh) 在朝向工件的x方向和横向地沿着工件的z方向上变速独立运动的加工微结构的刀具
CN101304841B (zh) 一种刀具组件
CN101304838B (zh) 用于加工工件的致动器及包括该致动器的装置
CN101304840B (zh) 加工微结构的刀具以及切削工件的方法
CN101346210B (zh) 使用断续切削快速刀具伺服装置的刀具
CN101432096A (zh) 连续或断续切削型快速刀具伺服装置中的使用一个或多个机加工刀头的刀具

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20121128

Termination date: 20211030