CN100426452C - 用于材料控制系统接口的方法和设备 - Google Patents

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Abstract

提供了一种管理小批次在电子设备制造设施中的处理工具之间移动的方法和设备。在一些实施例中，确定多个将处理的优先批次并且在处理工具的衬底装载站保留相等数目的载体存储位置。通过处理并且从衬底装载站提升占据的非优先批次和/或移动未处理的占据的非优先批次来使多个保留的载体存储位置可用。然后把优先批次转送到保留的载体存储位置。还提供了其他实施例。

Description

用于材料控制系统接口的方法和设备
本申请要求了于2004年2月28日申请的序号为60/548,588的美国临时专利申请的优先权。将上述专利申请的内容在此全部引入，以供参考。
相关申请的交叉引用
本申请涉及以下共同转让、一并待决的美国专利申请，将这些专利申请全部引入于此，以供参考，这些申请是：
于2005年2月25日申请的序号为No.11/067302，题目为“METHODS ANDAPPARATUS FOR ENHANCED OPERATION OF SUBSTRATE CARRIERHANDLERS”的美国专利申请(代理人编号为9140)；
于2005年2月25日申请的序号为No.11/067460，题目为“METHODS ANDAPPARATUS FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE CARRIER WITHINAN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING FACILITY”的美国专利申请(代理人编号为9142)；
于2005年2月25日申请的序号为No.11/067303，题目为“METHODS ANDAPPARATUS FOR ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMMONTTORING AND CONTROL”的美国专利申请(代理人编号为9144)；
于2003年8月28日申请的序号为10/650,310，题目为“SYSTEM FORTRANSPORTING SUBSTRATE CARRIERS”的美国专利申请(代理人编号为6900)；
于2004年1月26日申请的序号为10/764,982，题目为“METHODS ANDAPPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATE CARRIERS”的美国专利申请(代理人编号为7163)；
于2003年8月28日申请的序号为10/650,480，题目为“SUBSTRATECARRIER HANDLER THAT UNLOADS SUBSTRATE CARRIERSDIRECTLY FROM A MOVING CONVEYOR”的美国专利申请(代理人编号为7676)；以及
于2004年11月12日申请的序号为10/987,955，题目为“BREAK-AWAYPOSITIONING CONVEYOR MOUNT FOR ACCOMMODATINGCONVEYOR BELT BENDS”的美国专利申请(代理人编号为8611)。
技术领域
本发明总体上涉及电子设备制造系统，更具体来讲，涉及在运送系统之间转送衬底载体，以及制造设施中的处理工具。
背景技术
电子设备的制造通常涉及对于诸如硅衬底、玻璃板等的衬底执行一系列的工序(这种衬底也可以称为晶片，其可以是有图案的或者是没有图案的)。这些步骤可以包括抛光、沉积、蚀刻、光刻、热处理等等。通常，在单个处理系统或者“工具”中可以执行多个不同的处理步骤，其中所述“工具”包括多个处理室。然而，通常会发生这样的情况，也就是：在制造设施中的其它处理位置要求执行其它处理，并且因此必须把衬底在所述制造设施内从一个处理位置运送到另一个位置。根据特制造的电子设备的类型，在制造设施内的许多不同处理位置处要求执行较多的处理步骤。
在衬底载体内把衬底从一个处理位置运送到另一处理位置是常规做法，其中所述衬底载体诸如是封闭箱、盒、容器等等。采用自动的衬底载体运送设备把衬底载体从制造设施内的一个位置移到另一个位置、或者将衬底载体运送到衬底载体运送设备或从该设备运送出去也是常规做法，所述自动衬底载体运送设备诸如是自动导向车、空中运送系统、衬底载体操作机器人等等。
对于单个的衬底来说，从原始衬底的形成或者接收到从完成的衬底中切下半导体器件的全部制造过程可能需要数周或者数月的时间。由此，在典型的制造设施中，在任何给定的时间都存在大量的“未完工”(WIP)的衬底。作为WIP出现于制造设施中的衬底代表流动资金的非常大的投资，这势必增加了每个衬底的制造成本。因此，在考虑到制造设施的给定衬底吞吐量的情况下来减少WIP的数量是合乎需要的。为此，应该减少处理每个衬底的总体消耗时间。
发明内容
依照本发明的第一方面，提供了这样一种方法，其中确定了将处理的多个优先批次，在处理工具的衬底装载站上保留相等数目的载体存储位置，使保留的多个载体存储位置可用，并且把优先批次转送到保留的载体存储位置。
依照本发明的第二方面，提供了这样一种设备，其中衬底装载站包括控制器和存储器，所述存储器包括将由所述控制器执行的指令，所述衬底装载站适于确定将处理的多个优先批次，在处理工具的衬底装载站上保留相等数目的载体存储位置，使保留的多个载体存储位置可用，并且把优先批次转送到保留的载体存储位置。
依照本发明的第三方面，提供了这样一种系统，所述系统包括具有第一处理工具和多个载体存储位置的第一衬底装载站，具有第二处理工具和多个载体存储位置的第二衬底装载站，用于在第一和第二装载站之间移动载体的运送系统，以及制造执行系统。所述制造执行系统被操作以确定待处理的多个优先批次，在第一和第二衬底装载站的每个上保留多个载体存储位置，其中载体存储位置的数目基于优先批次的数目，在第一和第二衬底装载站的每个上使多个保留的载体存储位置可用，并且把优先批次转送至在第一衬底装载站上保留的载体存储位置。
根据以下对示例性实施例、所附权利要求书以及附图的详细说明，本发明的其他特征以及方面将变得更加显而易见。
附图说明
图1是描述依照本发明一些实施例的电子设备制造设施的控制系统的例子的框图。
图2是描述依照本发明一些实施例的电子设备制造设施的例子的示意图。
图3是描述依照本发明一些实施例的载体处理器的例子的前视图。
图4是描述用于在依照本发明一些实施例的运送系统中管理优先批次的示例性过程的流程图。
图5是描述依照本发明一些实施例的电子设备制造设施的示例性操作的示意图。
具体实施方式
本发明提供了用于加快处理识别为优先批次的衬底批次的方法和设备。本发明的特征尤其有益于单个或者小批量衬底载体的使用。如此处所使用的那样，术语“小批量”衬底载体或者“小批量”载体指的是比常规的“大批量”载体少容纳衬底的载体，所述大批量载体通常可以容纳十三或者二十五个衬底。举例来说，小批量载体可以适合于容纳五个或者更少的衬底。在一些实施例中，也可以采用其他小批量载体(例如，容纳一个、两个、三个、四个或五个以上衬底、但是小于大批量载体所容纳的衬底的小批量载体)。一般说来，每个小批量载体可以容纳的衬底太少，以致人们在电子设备或者其他制造设施内的人工运送载体是不可行的。
服务于处理工具的衬底装载站(station)可以包括内部载体存储位置，该位置贴近处理工具的端口。在操作过程中，可能希望在内部载体存储位置中容纳的载体中、或者在准备要直接从运送系统转送到端口的载体中处理下一批衬底。在接近最大容量操作的系统中，可以限制衬底装载站中内部载体存储位置的可用性。本发明提供了这样的方法和设备，其中内部载体存储位置可以被保留给包含优先批次的载体。通过将非优先批次转送至备用存储位置、或者通过处理非优先批次并且将已处理的非优先批次移到下一处理工具的衬底装载站中的非保留存储位置，可以把包含非优先批次的载体从保留的位置上去除。当保留的内部存储位置变为可用时，包含优先衬底批次的载体可以被转送到保留的内部存储位置中。
电子设备制造或者制造设施(Fab)可以使用空中运送系统(OHT系统)，其包括多个载体支撑或者“支架”，它们与连续移动传送系统耦合，所述移动传送系统适合于在设施周围转送一个或多个衬底载体。更具体地说，所述移动传送系统可以包括传送器以及与其耦合的多个传动电机，所述传动电机用于移动所述传送器。
此外，这种设施可以包括工具或者合成工具，适合于在电子设备制造期间处理衬底。每个处理工具可以被耦合至各自的衬底装载站，所述衬底装载站包括载体处理器(handler)，其适合于在所述工具和移动传送系统之间转送衬底载体。更具体地说，每个处理工具可以被耦合至各自的载体处理器，用于在处理工具的负载端口和载体支撑之间转送衬底载体，其中所述载体支撑与连续移动传送系统的带耦合。以这样的方式，可以在设施周围转送衬底载体。
另外，运送系统可以包括控制系统，用于与移动传送系统和多个载体处理器通信，并且控制它们的操作，以便可以把衬底载体移到需要它们的地方。转向图1，控制系统100可以包括主机或者材料控制系统(MCS)102，其与装载站软件(LSS)104a-f进行双向通信，其中所述装载站软件在位于衬底装载站中和/或在衬底装载站控制下的多个载体处理器的每一个的每个控制器上执行。所述主机可以包括制造执行系统(MES)，用于指导MCS的操作。所述MCS 102还可以与运送系统控制器(TSC)106双向通信，所述TSC 106用于保持运送系统的操作，所述运送系统包括传动电机和传送器(conveyor)。在一些实施例中，每个LSS 104a-f节点都可以与TSC 106通信，以便直接交换涉及运送系统状态的信息。以下根据图2更详细地描述这些部件和它们的操作。
转向图2，提供了描述示例性Fab 201的物理结构的示例性实施例的示意图，所述Fab 201特别适用于小批量衬底载体，诸如容纳单个衬底或者比二十五个衬底少得多的衬底载体。所述Fab 201包括高速运送系统，所述高速运送系统具有使其特别适用于小批量载体的多个特征，包括：高速、少量维护保养、连续移动传送系统；载体装载/卸载功能，该功能不需要停止或者减慢传送器；传送器，能够物理上同时支撑多个载体；柔性传运带，可以易于定制为所希望的运送路径；以及控制软件，用于有效地管理处理工具之间的运送和转送。这些特征将稍后描述。
先前结合的于2003年8月28日申请的序号为10/650,310、名称为“SystemFor Transporting Substrate Carriers”(代理人编号为6900)的美国专利申请公开了一种衬底载体运送系统或者类似的运载系统，其包括用于衬底载体的传送器，意在使所述传送器在其服务的Fab的操作期间连续不断地运转。所述连续移动传送器意在便于在所述Fab内传送衬底，以便减少在Fab中每个衬底的总体“暂停”时间。
为了以这样的方式操作Fab，可以提供这样的方法和设备来从传送器中卸载衬底载体，以及将衬底载体装载到传送器上，同时传送器保持运行。先前结合的于2003年8月28日申请的序号为10/650,480、题目为“Substrate CarrierHandler That Unloads Substrate Carriers Directly From a MovingConveyor”(代理人编号为7676)的美国专利申请公开了这样一种位于衬底装载站或者“装载站”的衬底载体处理器，用于执行这种相对于移动传送器的装载/卸载操作。
转向图3，装备有载体处理器302的衬底装载站300可以包括控制器304、水平导向体(guide)306以及末端执行器308，所述水平导向体306沿框307或者轨道纵向移动，所述末端执行器308沿水平导向体306水平地移动。还可以采用其他结构(例如，可以在二维以上空间移动的机器人)来移动末端执行器308，以便执行转送。载体处理器302/衬底装载站300还可以包括内部存储位置310，或者架子/吊架，用于临时存放衬底载体312。另外，用于将衬底装载到处理工具(未示出)中的端口314可以被载体处理器302访问，或者作为容纳载体处理器302的衬底装载站300的一部分。
所述控制器304可以使用字段可编程门阵列(FPGA)或者其他类似装置来实现。在一些实施例中，可以使用分立部件来实现所述控制器304。所述控制器304可以用于控制和/或监控衬底装载站300、各种电气和机械部件的一个或多个以及此处所述的衬底装载站300的系统的操作。所述控制器304可以用于执行如上所述的装载站软件。在一些实施例中，所述控制器304可以是任何适当的计算机或者计算机系统，或者可以包括多个计算机或者计算机系统。
在一些实施例中，所述控制器304可以是或者可以包括任何部件或装置，这些部件或装置通常由计算机或者计算机系统使用，或者与计算机或者计算机系统相关使用。虽然图3中没有明确示出，但是所述控制器304可以包括一个或多个中央处理单元、只读存储器(ROM)设备和/或随机存取存储器(RAM)设备。所述控制器304还可以包括输入设备，诸如键盘和/或鼠标或者其他指示装置，并且包括输出设备，诸如打印机或者可以获得数据和/或信息的其他设备，和/或显示设备，诸如用于向用户或者操作者显示信息的监视器。所述控制器304还可以包括发送器和/或接收器，诸如LAN适配器或者通信端口，用于便于与其他系统部件和/或在网络环境中通信，用于存储任何适当的数据和/或信息的一个或多个数据库，用于执行本发明方法的一个或多个程序或者指令集，和/或包括任何外围设备的任何其他计算机部件或者系统。
依照本发明的一些实施例，可以把程序指令(例如控制器软件)从另一介质读入控制器304的存储器，诸如从ROM设备读入RAM设备，或者从LAN适配器读入RAM设备。程序中的指令序列的执行可以令控制器304执行一个或多个此处所述的处理步骤。在可替代的实施例中，可以使用硬线连接的电路或者集成电路来代替软件指令或者与软件指令共同来实现本发明的处理过程。由此，本发明的实施例不局限于硬件、固件和/或软件的任何特定组合。所述存储器可以存储用于控制器的软件，所述控制器可以用于执行所述软件程序，并且由此依照本发明来操作，尤其依照以下详细说明的方法来操作。本发明的部分可以作为程序来具体实现，所述程序可以使用面向对象的语言来开发，所述面向对象的语言允许利用模块化对象来对复杂系统建模，以便创建表示现实世界、物理对象以及它们的相关性的抽象内容。然而，本领域普通技术人员将理解的是，此处所述的本发明可以依照许多不同的方式使用大范围的程序设计技术以及通用硬件子系统或者专用控制器来实现。
可以将程序依照压缩的、未编译的和/或加密的格式来存储。所述程序还可以包括通常十分有用的程序部件，诸如操作系统、数据库管理系统和设备驱动器，用于允许控制器与计算机外围设备和其他设备/部件连接。合适的通用程序部件已经为本领域技术人员所知，故而此处不必详细说明。
如上所述，所述控制器304可以生成、接收和/或存储数据库，所述数据库包括与载体位置、命令队列、实际和/或估计命令执行时间和/或内部存储位置相关的数据。正如本领域技术人员将理解的那样，此处所呈现的示意图以及结构和关系的附加描述仅仅是示例性的。除所提供的例证说明所建议的内容外，可以采用任意数目的其他装置。
操作中，为了将衬底载体312从运送系统316卸载，其中所述运送系统316包括用于转送衬底载体312的移动传送器，所述移动传送器(也称为“衬底载体传送器”316)并且经过载体处理器302，末端执行器308以基本上与衬底载体312被衬底载体传送器316运送时的速率相匹配的速率水平地移动(例如，通过基本上沿水平方向匹配衬底载体速度)。另外，当衬底载体312正被运送时，末端执行器308可以保持在相邻衬底载体312的位置上。末端执行器308由此可以基本上匹配衬底载体312的位置，同时基本上匹配衬底载体312的速率。同样，传送器位置和/或速率基本上可以匹配。
当末端执行器308基本上与衬底载体的速率(和/或位置)匹配时，末端执行器308被提升，以便末端执行器308接触衬底载体312并且将衬底载体312与衬底载体传送器316脱离。通过在装载期间基本上匹配末端执行器308和传送器速率(和/或位置)，衬底载体312同样可以被装载到移动衬底载体传送器316上。依照至少一个实施例，末端执行器308和衬底载体传送器316之间的这种衬底载体移交基本上以零速率和/或末端执行器308和衬底载体传送器316之间的加速度差值来执行。
先前结合的于2004年1月26日申请的序号为10/764,982、题目为“Methodsand Apparatus for Transporting Substrate Carriers”(代理人编号为7163)的美国专利申请描述了这样一种传送系统，其可以被用于上述的衬底载体运送系统316和/或载体处理器302，用来在电子设备制造设施的一个或多个处理工具之间运送衬底载体。所述传送系统可以包括条带(或者“带”)，其用于在至少一部分电子设备制造设施中形成闭合回路，并且在其中运送衬底载体。在一个或更多实施例中，所述条带或者带可以由不锈钢、聚碳酸酯、复合材料(例如碳石墨、玻璃纤维等等)、钢来形成，或者由加强的聚氨基甲酸酯、环氧薄片、塑料或者聚合物材料来形成，所述聚合物材料包括不锈钢、织物(例如，碳纤维、玻璃纤维、可以从Dupont得到的Kevlar
Figure C20051006971700121
、聚乙烯、钢丝网等等)或者其它刚性材料等等。通过定向所述条带以便条带的厚部分存在于垂直面内，而条带的薄部分存在于水平面内，所述条带就会在水平面上是柔性的而在垂直面上是刚性的。这种结构允许传送器被经济地构造和实现。例如，所述条带需要很少的材料来构造，容易制造，因为其垂直的刚度/强度，所以可以在没有辅助支撑结构(储如用于常规的、水平定向的带式传送系统的卷轴或者其他类似机制)的情况下、支撑很多衬底载体的重量。此外，因为所述条带因其横向柔性可以被弯曲、扭曲或者成型为许多结构，故而所述传送系统具有很高的可定制性。
翻回到图2，示例性的Fab 201包括条带或者带203，其在Fab 201内形成简单的回路205。所述条带203例如可以包括在先前结合的序号为10/764,982的美国专利申请中描述的条带之一。所述条带203在处理工具209之间运送衬底载体(未示出)，并且包括直线部分211和曲线部分213以便形成(闭合)回路205。也可以使用其他数目的处理工具209和/或回路结构。
每个处理工具209可以包括位于处理工具209的衬底装载站或者“装载站”215的衬底载体处理器，当所述条带203经过装载站215时，所述装载站用于从传送系统207的移动条带203上卸载衬底载体，或者用于将衬底载体装载到移动条带203上(如先前结合的序号为10/650,480的美国专利申请中所描述的那样)。例如，当正在由条带203运送衬底载体时，装载站215的末端执行器308(图3)可以以基本上与衬底载体的速率相匹配的速率水平地移动，并且当正在运送并升高所述衬底载体时，所述装载站215的末端执行器308被保持在相邻所述衬底载体的位置上，以便所述末端执行器接触所述衬底载体，并且使衬底载体从传送系统207脱离。通过在装载期间基本上匹配末端执行器308(图3)和条带的速率(和/或位置)，衬底载体同样可以被装载到移动条带203上。
每个装载站215可以包括一个或多个端口(例如，装载端口)或者类似位置，其中可以放置衬底或者衬底载体，以便转送到处理工具209(例如，一个或多个停靠部，不过还可以采用其他转送位置，所述其他转送位置不采用停靠/不停靠移动)或者从处理工具209转送。还可以在每个装载站215提供各种衬底载体存储位置或者架子，用于在处理工具209处缓存衬底载体。
所述传送系统207可以包括运送系统控制器(TSC)217，用于控制条带203的操作。例如，所述TSC 217可以控制/监控条带203的速度和/或状态，分配条带203的载体支撑，所述载体支撑用于支撑/传送衬底载体，监控这种载体支撑的状态，向每个装载站215提供这种信息等等。同样，每个装载站215可以包括LSS219，用于控制载体处理器的操作(例如，将衬底载体装载到传送系统207或从中卸载，运送衬底载体至装载站215的装载端口或者存储位置和/或装载站215服务的处理工具209，或者从中卸载等)。MCS 221与运送系统控制器217和每个衬底装载站215的装载站软件219通信，用于进行相同的工作。TSC 217、每个LSS 219和/或MCS 221可以包括调度器(未示出)来控制由TSC 217、LSS219和/或MCS 221执行的操作的进度。
过程描述
包括硬件和软件部件的上述系统对执行本发明的方法十分有用。然而，应该理解的是，不是所有上述描述的部件都为执行本发明方法所必需的。实际上，在一些实施例中，不要求上面描述的系统来实施本发明的方法。如上所述的系统是这样一种系统的例子，所述系统往往被用于实施本发明的方法，并且特别适用于转送小批量衬底载体，诸如容纳单个衬底或者比二十五个衬底少得多的衬底载体。
在常规的FAB操作中，一批被移到储料器(stocker)，其服务于架间(bay)。当处理工具装载端口变为可用时，通知制造执行系统“移入请求”(move inrequest，MIR)消息(例如，来自于工具控制器、例如表明工具装载端口可用的消息)。然后，所述MES选择用于在工具中处理的下一批次。将该批移到工具中，在所述工具中开始处理。一旦完成了该批的处理，就通知所述MES“移出请求”(move out request，MOR)消息(例如，表明在所述工具内已经处理了衬底载体的内容的消息)。所述MES确定该批的下一处理步骤是什么，并且在服务于所述架间的储料器中存储该批次，尤其是对下一处理工具。
在为单个衬底和/或小批量处理提供的Fab中，可以依照本发明采用对如上所述的常规操作的修改来改善Fab的吞吐量。例如，在一些实施例中，当完成对小批量(或者单个衬底)的处理时，所述MES可以确定下一处理工具，其中所述小批量载体将被送到该下一处理工具，这与常规的大批量操作相反，在常规的大批量操作中，所述载体往往被发送到缓存储料器以便等待下一处理工具的请求。这是因为在本发明的实施例中，所述MES意识到衬底装载站具备内部存储位置并且能够为相关联的处理工具分配批次。
在另一例子中，缓存储料器可以由MCS和/或衬底装载站用作备用存储位置。所述MCS可以包括备用存储位置列表。在一些实施例中，所述备用存储位置列表可以由操作者来构造。在可替换并附加的实施例中，可以基于位置的有效存储能力和/或与衬底装载站的近似性、使用作为程序实现的算法从所述列表中选择优选的存储位置，以便将所请求的载体移动到备用存储位置。在一些实施例中，存储在备用存储位置的载体可以由MCS自动地移至衬底装载站，由此当内部存储位置可用时，可以将所请求的载体移到备用存储位置。这种载体可以基于各个载体的优先级按顺序移动，所述优先级用于反映所述衬底装载站多久可以使用所述载体。
参照图4，描述了这样的流程图，其表示可以使用如上所述系统执行的本发明一些特定的示例性实施例。应该理解的是，图4流程图中的特定部件配置以及此处讨论的各种方法的示例性步骤的数目和顺序不意味着是固定的顺序、序列、数量和/或步骤的执行时间；本发明的实施例可以依照任何顺序、序列和/或可执行时间来实施。
在随后的文本中，将详细地讨论方法步骤。应注意的是，不是所有这些步骤都被要求执行本发明的方法，以下还讨论了附加的和/或替代的步骤。还应该注意的是，在流程图中描述的通用步骤只是表示本发明一些实施例的特征，它们可以被依照多个不同的方式重新排序、组合和/或细分，从而本发明的方法包括更多或更少的实际步骤。例如，在一些实施例中，可以添加许多附加的步骤以便更新并维护如下所述的数据库，但是正如所表明的那样，不必在本发明的所有实施例中使用这种数据库。换言之，本发明的方法可以包含任意数目的步骤，这些步骤可被实施以便实现此处所述的多个不同的发明过程。
如上所述，所述MCS 221负责通过向各种设备发送命令来递送并且在架间中存储载体，所述设备包括衬底装载站/载体处理器和传送部(可以执行传送带到传送带的转送的设备，此处未示出)。在一些实施例中，可以依照称为SEMI E88-1103标准“Specification for AMHS Storage SEM(Stocker SEM)”的行业标准来实现载体处理器的某些方面，所述标准特别详细说明了用于控制相应设备的标准化命令和协议。同样，可以依照SEMI E82-0703标准“Specification forInterbay/Intrabay AMHS SEM(IBSEM)”来实现负责控制传送器操作的运送系统控制器(TSC)117。可以依照SEMI E84-0703标准“Specification forEnhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface”来实现与工具端口的交互，并且载体的处理可以依照SEMI E87-0703标准“Specification for CarrierManagement(CMS)”来实现。这四个标准是由CA，San Jose的半导体设备和材料国际(SEMI)工业联盟小组(www.semi.org)公布的，并且将其内容包含于此，以供参考。
转向图4，提供了描述用于管理运送系统中优先批次的示例性过程400的流程图。所述过程400从步骤402开始。在步骤404，确定待处理的优先批次的数目。在一些实施例中，操作者可以对MES规定优先批次的数目，以便接收加速的处理。所述MES可以向MCS表明包含优先批次的规定数目的载体将会尽快被处理，并且在非优先批次之前被递送到衬底装载站。在一些实施例中，优先批次可以被分别地加快(例如，单个载体可以包含优先批次)并且可以不要求步骤404。
在步骤406，所述MCS可以激活优先批次处理方式，并且指导与将要处理优先批次的处理工具相关联的每个衬底装载站，以便在各个衬底装载站内保留合适数目的内部载体存储位置。所述MCS由此可以包括逻辑(例如，作为程序实现的算法)来识别并且选择衬底装载站中的特定内部存储位置，所述衬底装载站例如正存储具有可以被迅速处理的衬底(例如，相对于其他载体的衬底)和/或许久不会被处理的衬底(例如，相对于其他载体的衬底)的载体。在一些实施例中，单个的衬底装载站可以选择存储位置以便用于存储优先批次。
在附加的或者替代的实施例中，被保留的内部载体存储位置的数目可以取决于优先批次的数目和/或预期将同时出现于衬底装载站的优先批次的数目。换言之，保留的位置的数目可以等于或者小于移动至系统的优先批次的数目。例如，如果存在十五个优先批次，可能只需要保留十个载体存储位置，因为例如当十个优先批次载体已经移入衬底装载站的存储位置时，五个优先批次也许早已被处理并且从所述衬底装载站上去除。在一些实施例中，保留的位置的数目可以大于优先批次的数目。例如，可以在批次相互之间分配不同级别的优先级，并且一些衬底装载站可以为较高优先批次保留固定数目的存储位置。在一些实施例中，衬底装载站中的处理工具的一个或多个端口可以被保留以供优先批次使用。
在步骤408，所述MCS和/或每个相关的衬底装载站可以使相应数目的已保留内部载体存储位置可供优先批次使用。在一些实施例中，占据已保留位置的非优先批次可以被转送到备用存储位置，例如位于其他衬底装载站或者与运送系统相关联的储料器。可选择地或者附加地，占据已保留位置的非优先批次可以由衬底装载站服务的工具来处理，然后被转送到服务于下一处理工具的下一衬底装载站中的非保留存储位置中。防止继续达到衬底装载站的包含非优先批次的载体存储在保留存储位置中。非优先批次要么被存储在任意可用的非保留存储位置，要么被转送到其他衬底装载站或者缓存储料器中的备用存储位置。
为了便于使保留的位置可用用于处理和使非优先批次提前和/或将非优先批次置于备用存储位置，可以根据常规的调度算法来修改MES的批次选择调度。所述MES可以存储与每个衬底装载站的总体容量和目前存储在每个衬底装载站的载体数目有关的信息。根据此信息，所述MES可以确定哪些批次需要移动或者在特定的工具上处理，所述特定的工具要求内部存储位置将成为可用的。在一些实施例中，优先批次可以被临时存储在备用存储位置中，以便等待山保留位置可用，然后当去除非优先批次时被自动地移到保留的位置。
在步骤410，包含优先批次的载体可以被转送到衬底装载站内已保留的内部载体存储位置，所述衬底装载站服务于这种载体的目的处理工具。在一些实施例中，一旦每个保留的存储位置都变为可用，所述优先批次就可以被转送到保留存储位置中。在此刻，如果非保留的内部存储位置变为可用，那么可以只把任意最新到达的非优先批次转送到衬底装载站中。在步骤412，完成过程400。
虽然在图4中没有示出，但是在一些实施例中，一旦对处理工具中最后的优先批次开始处理，那么保留存储位置可以成为可用，以便存储非优先批次，所述非优先批次可以是来自于备用存储位置或者是最新达到的。在替代的和/或附加的实施例中，当处理每个批次然后移到下一衬底装载站之后、处于衬底装载站的优先批次的数目逐渐减少时，保留存储位置的数目可以逐渐地减少。
与图4相比，图5描述了在没有使用优先批次的情况下操作时，本发明的实施例的操作。更具体地说，描述了运送系统500的操作，所述运送系统500包括MES 502和三个衬底装载站504、506、508，所述衬底装载站服务于相关联的处理工具PT1、PT2、PT3，它们均处于繁重的生产能力条件之下。当在处理工具上完成一批的处理时，所述MES 502确定该批的下一最佳处理工具。在所述例子中，选择了处理工具PT3。实心的方格表示等待处理的批次，空的方格表示空的存储位置，而条纹的方格表示处于(或原本处于)备用存储位置的批次。在图5中描述的时刻以前，所述MES 502已经向MCS 510发送转送命令来将处理工具PT1处理的批次移动到处理工具PT3。然而，所述MCS 510可以已经确定了处理工具PT3中的内部存储位置不可用，故而将该批存储在处理工具PT2中的备用存储位置。因为处理工具PT2是处理工具PT3的备用存储列表中的第一装置，并且那时具有存储容量，所以选择了处理工具PT2。
在图5中描述的特定时刻示出了已经变为处理工具PT3中可用的存储空间512，和为处理工具PT3指定的、在MCS 510指导下自动在运送系统500上移动到处理工具PT3中的可用存储位置512中的批次514(先前存储在处理工具PT2中的另一个位置中)。在此例子中，因为所有批次具有相同的优先级，所以没有冲突，并且当发布所述批次的“移入请求”时，所需要的批次将处于处理工具PT3中。
上述描述只公开了本发明的特定实施例；上述公开的方法和设备的修改都落入本发明的范围，所述修改对于本领域中普通技术人员来说是显而易见的。例如，应该理解的是，本发明还可以用于任何类型的衬底，诸如硅衬底、玻璃板、掩模、分划板等等，可以是有图案的，也可以是没有图案的；和/或用于运送和/或处理这种衬底的设备。
据此，虽然已经结合特定的实施例公开了本发明，但是应该理解的是，其他实施例也可以落入本发明的精神和范围，本发明的范围由所附权利要求限定。

Claims (21)

1.一种方法，包括：
确定将处理的多个优先批次；
在处理工具的衬底装载站处保留多个载体存储位置，其中载体存储位置的数目基于优先批次的数目；
使保留的多个载体存储位置可用；并且
将优先批次转送至保留的载体存储位置。
2.如权利要求1所述的方法，其中确定将处理的多个优先批次包括接收表示将处理的优先批次的数目的信号。
3.如权利要求1所述的方法，其中在处理工具的衬底装载站处保留多个载体存储位置包括识别足够的载体存储位置以便足以存储多个将处理的优先批次。
4.如权利要求1所述的方法，其中使多个保留的载体存储位置可用包括在占据保留的载体存储位置的载体中处理非优先批次的衬底。
5.如权利要求4所述的方法，还包括把包含已处理批次并且占据已保留载体存储位置的载体移动至与下一处理工具相关联的载体存储位置。
6.如权利要求1所述的方法，其中使多个保留的载体存储位置可用包括将占据已保留载体存储位置的载体移动到备用载体存储位置，并且防止达到衬底装载站、只包含非优先批次的载体占据保留的载体存储位置。
7.如权利要求1所述的方法，其中将优先批次转送至保留存储位置包括：当所述保留存储位置变为可用时，只转送优先批次至保留的存储位置。
8.一种设备，包括：
衬底装载站，包括控制器；以及
存储器，包括将由控制器执行的指令，并且所述指令用于：
确定将处理的多个优先批次；
在处理工具的衬底装载站处保留多个载体存储位置，其中载体存储位置的数目基于优先批次的数目；
使多个保留的载体存储位置可用；并且
将优先批次转送至保留的载体存储位置。
9.如权利要求8所述的设备，其中用于确定将处理的多个优先批次的指令还用于接收表示将处理的优先批次的数目的信号。
10.如权利要求8所述的设备，其中用于在处理工具的衬底装载站保留多个载体存储位置的指令还用于识别足够的载体存储位置以便足以存储多个将处理的优先批次。
11.如权利要求8所述的设备，其中用于使多个保留的载体存储位置可用的指令还用于在占据保留的载体存储位置的载体中处理衬底。
12.如权利要求11所述的设备，还包括用于把包含已处理批次并且占据保留载体存储位置的载体移动至与下一处理工具相关联的载体存储位置的指令。
13.如权利要求8所述的设备，其中用于使多个保留的载体存储位置可用的指令还用于将占据保留的载体存储位置的载体移动至备用载体存储位置。
14.如权利要求8所述的设备，其中用于将优先批次转送至保留存储位置的指令还用于当所述保留存储位置变为可用时，将优先批次转送至保留存储位置。
15.一种系统，包括：
第一衬底装载站，具有第一处理工具以及多个载体存储位置；
第二衬底装载站，具有第二处理工具以及多个载体存储位置；
运送系统，用于在第一和第二装载站之间移动载体；以及
制造执行系统，被配置成：
确定多个将处理的优先批次，
在第一和第二衬底装载站的每个上保留多个载体存储位置，其中载体存储位置的数目基于优先批次的数目，
使在第一和第二衬底装载站的每个上保留的多个载体存储位置可用，并且
将优先批次转送至在第一衬底装载站保留的载体存储位置。
16.如权利要求15所述的系统，其中所述制造执行系统还被配置成接收表示将处理的优先批次的数目的信号，从而确定将处理的优先批次的数目。
17.如权利要求15所述的系统，其中所述制造执行系统还被配置成在第一和第二衬底装载站的每个上识别足够的载体存储位置来存储多个将在每个处理工具处理的优先批次，以便在第一和第二衬底装载站的每个上保留多个载体存储位置。
18.如权利要求15所述的系统，其中所述制造执行系统还被配置成使第一和第二处理工具处理非优先批次的衬底，所述衬底位于占据保留的载体存储位置的载体中，以便使第一和第二衬底装载站的每个中的多个保留的载体存储位置可用。
19.如权利要求18所述的系统，还包括将包含在第一处理工具处理的非优先批次的衬底并且占据在第一衬底装载站中保留的载体存储位置的载体，移动到没有保留的第二衬底装载站中的载体存储位置。
20.如权利要求15所述的系统，其中所述制造执行系统还被配置成令包含非优先批次并且占据保留的载体存储位置的载体移到备用载体存储位置，以便使第一和第二衬底装载站的每个中保留的多个载体存储位置可用。
21.如权利要求15所述的系统，其中所述制造执行系统还被配置成当所述保留的存储位置变为可用时、令优先批次被转送到保留的存储位置。
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