CN100374911C - 基板传送系统 - Google Patents

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Abstract

一种用于制造液晶显示(LCD)装置的基板传送系统，该系统包括：具有条形码的一基板柜；用来储存基板柜的一基板柜储存架；具有条形码读取器的一自动引导运载车，所述自动引导运载车能传送基板；用来确定自动引导运载车移动路径的一移动路径单元；多个工序工作台，制造LCD装置过程中在所述工序工作台上对基板执行工序，其中所述工序工作台各自包括装载和卸载基板柜的一搁板和检测已执行过工序的基板柜的一传感器；以及用来控制基板柜储存架、自动引导运载车和工序工作台的一主机。自动引导运载车和基板柜储存架中至少一个具有条形码读取器。

Description

基板传送系统
技术领域
本发明涉及用于液晶显示(LCD)装置的基板传送系统，更具体地说，涉及一种具有自动引导运载车(auto guided vehicle)的系统，所述自动引导运载车设有条形码读取器且用来传送其中载有基板的基板柜(cassette)。
背景技术
通常，LCD装置包括用密封剂粘合在一起的TFT阵列基板和滤色片基板，且在二者之间填充有液晶。液晶显示板通常由玻璃基板形成。目前已能够生产出大尺寸的液晶显示板，然而，传送这些大尺寸的液晶显示板却存在一定困难，因此，需要一种用于传送大尺寸基板的基板传送系统。
在现有技术中，基板是由其中载有一个或多个基板的基板柜来传送的。该基板柜由自动引导运载车传送到相应步骤的工作台上。传送系统包括：一基板柜储存架(stocker)，用于储存基板柜；一机械手(robot arm)，用于将基板柜从基板柜储存架中取出；一自动引导运载车，用于传送基板柜；一轨道，所述自动引导运载车在其上移动；多个工作台；以及一例如主机的主计算机，用于控制自动引导系统。
下面将参照图1来解释按照现有技术的基板柜传送系统。
首先，基板经过各种工序，并将经过相同工序的基板装载到相同的基板柜中且储存在基板柜储存架内。即，例如，将经过了制造作为开关装置的薄膜晶体管工艺中形成栅极线工序的基板装载到要在后续工序中被保存或储存的相同基板柜中。
为了用装载于基板柜储存架中的基板执行预定的工序，将基板柜从基板柜储存架装载到自动引导运载车上。通过由主机向基板柜储存架发出一命令来执行该工序。因此，基板柜储存架设置有一个用来接收主机数据的接收器。将载于自动引导运载车上的基板柜传送到将要执行相应工序的工序工作台上。沿着预定的路径移动自动引导运载车，从而使自动引导运载车到达相应的工作台上。相应的工作台可以是LCD装置的制造设备，该设备包括一个执行例如基板柜清洁、溅射、形成光阻层等各种工序的腔室。
每个工作台都包括一用于将所传送的基板柜保存到使用的搁板(shelf)。自动引导运载车到达相应的工作台上，并用自动引导运载车的机械手将载有基板的基板柜卸载到相应工作台的搁板上。而且，在搁板任意一点(即工作台的一侧)处形成的条形码读取器读取附在基板柜一侧的条形码来识别基板柜，然后将数据传送给主机。因此，由主机确定相应自动引导运载车基板柜的工序。
如果条形码读取器将读取的信息传送给主机，则由主机确定对相应的基板柜将要执行的工序并命令进行或停止相应工作台上的工序。将在相应工作台上经过一特定工序的基板再次装载到基板柜中。然后，主机命令闲置的自动引导运载车来装载基板柜并为储存而传送到基板柜储存架上，在所述基板柜中装载有已执行过工序的基板。
然而，在基板传送系统中，必须在每个工作台上都分别设置条形码读取器，由此提高了成本。也就是说，条形码读取器是引起成本增加的昂贵装置。
发明内容
因此，本发明涉及一种基板传送系统，该设备和方法基本上避免了因现有技术的局限和缺点带来的一个或者多个问题。
本发明的目的在于提供一种具有条形码读取器的基板传送系统，所述条形码读取器读取自动引导运载车或基板柜储存架上基板柜的条形码，该系统具有成本低和操作稳定的优点。
以下要说明本发明的附加特征和优点，有些内容可以从说明书中看出，或者是通过对本发明的实施来学习。采用说明书及其权利要求书和附图中具体描述的结构就能实现并达到本发明的目的和其他优点。
为了实现这些和其他目的，根据本发明的目的，如这里具体和概括描述的那样，一种用于制造液晶显示(LCD)装置的基板传送系统包括：具有条形码的一基板柜；用来储存基板柜的一基板柜储存架；具有条形码读取器的一自动引导运载车，所述自动引导运载车能传送基板；用来确定自动引导运载车移动路径的一移动路径单元；多个工序工作台，制造LCD装置过程中在所述工序工作台上对基板执行工序，其中所述工序工作台各自包括装载和卸载基板柜的一搁板和检测已执行过工序的基板柜的一传感器；以及用来控制基板柜储存架、自动引导运载车和工序工作台的一主机。
根据本发明一方面，一种制造液晶显示(LCD)装置的方法，包括如下步骤：提供具有条形码的一基板柜；提供用来储存基板柜的一基板柜储存架；提供具有条形码读取器的一自动引导运载车，所述自动引导运载车能传送基板柜；使用移动路径单元确定自动引导运载车移动路径；提供多个工序工作台，制造LCD装置过程中在所述工序工作台上对基板执行工序，检测已执行过工序的基板柜放置到搁板上并且向主机发送信息，在该搁板上装载有基板柜，在该基板柜上装载有已执行过工序的基板；通过主机控制基板柜储存架、自动引导运载车和工序工作台；分别在滤色片基板和薄膜晶体管基板上执行多个工序，所述滤色片基板和所述薄膜晶体管基板是用所述基板传送系统来传送的；和将滤色片基板和薄膜晶体管基板粘接在一起且在两基板之间设置有液晶材料。
按照本发明另一方面，一种用于制造液晶显示(LCD)装置的基板传送系统包括：具有条形码的一基板柜；用来储存基板柜的一基板柜储存架，所述基板柜储存架具有一条形码读取器；能够传送基板柜的一自动引导运载车；沿自动引导运载车的移动路径设置的一轨道；多个工序工作台，制造LCD装置过程中在所述工序工作台上对基板执行工序；以及用来控制基板柜储存架、自动引导运载车和工序工作台的一主机。
按照本发明另一方面，一种制造液晶显示(LCD)装置过程中传送基板的方法包括如下步骤：将具有条形码的基板柜从基板柜储存架卸载到具有条形码读取器的自动引导运载车上；用条形码读取器读取附在基板柜上的条形码；分析来自条形码读取器的信息；将自动引导运载车引到要执行工序的工作台上；在该工作台上装载基板柜；通过传感器检测其上已经完成工序的基板柜并将信息传送给主机；通过位置检测传感器检测自动引导运载车的位置；将自动引导运载车引到设置有已执行过工序的基板柜的工作台上，并将已执行过工序的基板柜装载到自动引导运载车中；以及将基板柜传送给基板柜储存架。
按照本发明另一方面，一种制造液晶显示(LCD)装置过程中传送基板的方法包括如下步骤：用设置在基板柜储存架中的条形码读取器读取附在基板柜上的条形码；将基板柜从具有条形码读取器的基板柜储存架装载到自动引导运载车；将自动引导运载车引到要执行工序的工作台上；在该工作台上卸载基板柜；检测其上已经完成工序的基板柜并将信息传送给主机；将自动引导运载车引到设置有已执行过工序的基板柜的工作台上，并将该基板柜装载到自动引导运载车中；以及将基板柜传送给基板柜储存架。
应理解的是，前面总的描述和以下的详细描述是示例性和解释性的，意欲用它们对所要求保护的本发明作进一步的解释。
附图说明
所包括用来对本发明作进一步理解并且包括在内构成本发明说明书一部分的附图，示出了本发明的各个实施例，并且连同说明书文字部分一起用来解释本发明的原理。在附图中：
图1是表示按照现有技术的基板传送系统的示意图；
图2是表示按照本发明的基板传送系统的框图；以及
图3是表示按照本发明另一实施例的基板传送系统的框图。
具体实施方式
以下要具体描述本发明的最佳实施例，在附图中表示了这些例子。
本发明旨在使用多个基板柜，按照各个工序划分的多个基板装载并储存到一个基板柜储存架中。在基板柜储存架中还可以设置一机械手和一接收器，所述机械手用来将基板柜装载到基板柜储存架中，或者从基板柜储存架卸载基板柜，而所述接收器用来接收来自主机的数据。
自动引导运载车包括：自动引导运载车上部形成的一个基板柜装载单元，在其上可放置一个基板柜；设置在自动引导运载车的下部并用来移动自动引导运载车的一脚轮(caster)；用来驱动脚轮的一脚轮驱动单元；用来通过有线/无线通信将数据传送到主机或从主机接收数据的一数据传送/接收单元；用来读取附在基板柜上的条形码的一条形码读取器；以及用来将基板柜装载到相应工作台的搁板上或者从相应工作台的搁板上卸载基板柜的一机械手。例如，在确定自动引导运载车移动路径的轨道的预定位置处设置一位置检测传感器，所述位置检测传感器用来检测自动引导运载车的位置并将信息传送给主机，所述位置检测传感器通常安装在各自工作台的前面，从而在工作台的前面停止自动引导运载车。在工作台上安装一搁板和一基板柜检测传感器，所述搁板用来从自动引导运载车装载/卸载基板柜，所述基板柜检测传感器用来检测已执行过工序的基板柜。
在传送基板柜的自动引导运载车中安装用来读取附在基板柜预定位置上的条形码读取器。条形码读取器可以安装在设置于自动引导运载车一侧的机械手上。这里，在各个工作台的搁板上不必安装条形码读取器。
下面将参照图2解释按照本发明的系统操作过程。
首先，将包含经过相同工序的基板的基板柜从基板柜储存架装载到自动引导运载车中。当然，应当认识到，在某些情况下，这些基板可以没有要求经过相同的工序。基板柜储存架通过从主机接收命令，将载有将要执行工序的基板的基板柜装载到自动引导运载车中。由安装在基板柜储存架一侧的机械手执行基板柜的装载。自动引导运载车通过移动路径到达相应的工作台上，所述移动路径例如是引导自动引导运载车的轨道。
在对应于相应工作台的轨道的预定位置处设置用来检测自动引导运载车位置的位置检测传感器，从而在精确的位置处停止自动引导运载车并将自动引导运载车的位置信息传送给主机。已经到达相应工作台的自动引导运载车，用条形码读取器读取已装载的基板柜的条形码并将数据传送给主机，所述条形码读取器安装在位于自动引导运载车一侧的机械手上。主机分析信息，确定装载到自动引导运载车中的基板是否完成了预定的工序，以及将命令传送给自动引导运载车。
如果确定基板在相应的工作台上已经完成了预定的工序，则设置在自动引导运载车一侧的机械手就将基板柜装载到相应工作台的搁板上。主机分析从条形码(即基板的唯一识别标记)接收到的信息，由此确定目前工序的进程状态和基板上将要执行的工序。在相应工作台上执行工序的同时自动引导运载车可以在相应工作台前等待，或者可以移动到另一个工作台，以提高工序的效率。
将相应工作台上已执行过工序的基板再次装载到备用的基板柜中，并且相应工作台的基板柜检测传感器将在基板柜中完成基板工序的信息传送给主机。主机分析所传送的数据并将闲置的自动引导运载车命令到相应的工作台上。安装在自动引导运载车上的机械手将执行过工序的基板装载到被命令的自动引导运载车中。当基板柜装载到自动引导运载车时，条形码读取器同时读取附在基板柜上的条形码，并将信息传送给主机。主机分析从条形码读取器接收到的信息并将基板柜的工序信息存储起来。
然后，自动引导运载车将装载的基板柜传送到基板柜储存架中，从而将其储存起来。这里，主机、基板柜储存架、自动引导运载车和各自工作台之间的联络是由有线或无线通信完成的，例如局域网LAN。
如上所述，由于条形码读取器安装在自动引导运载车的机械手上，以检测基板柜，因此，与分别在每个相应工作台的搁板上都设置一个条形码读取器的现有技术相比，能够极大地减少所需的条形码读取器的数量。
在本发明的另一实施例中，在基板柜储存架上安装条形码读取器。具体地说，条形码读取器在基板柜储存架的一侧形成，并安装在机械手的一侧，所述的机械手将基板柜装载到基板自动引导运载车中。图3用来解释本发明这一实施例的示例性操作过程。
通过在基板柜储存架一侧形成的机械手，将其中具有基板的基板柜装载到自动引导运载车中。通过接收器由主机向基板柜储存架发出装载命令，所述接收器用来接受来自安装在基板柜储存架上的主机的命令。可以通过有线或无线通信进行命令的传输。
条形码是用来识别基板柜的识别标记，将所述条形码附在已装载的基板柜上的预定位置。设置在基板柜储存架预定位置上的条形码读取器读取条形码，并将信息传送给主机。条形码读取器可以设置在将基板柜装载到自动引导运载车中的机械手上。
主机分析从设置在基板柜储存架上的条形码读取器接收到的传输信息，并命令自动引导运载车将基板柜传送到要对基板执行工序的工作台上。通过基板柜储存架的机械手，将基板工作台装载到自动引导运载车中，并将自动引导运载车移动到相应的工作台上。
将用来检测自动引导运载车位置的位置检测传感器附在相应工作台上轨道的一侧上。用位置检测传感器将自动引导运载车准确地定位到相应工作台的前面。然后，自动引导运载车在相应工作台的搁板上卸载已装载的基板柜。通过安装在自动引导运载车上的机械手将基板柜卸载。
将基板柜传送到相应工作台的同时，自动引导运载车恰好传送基板柜。基于由附在基板柜储存架上的条形码读取器所读取的信息，由主机确定是否将装载到基板柜中的基板传送到下一个工序。
在相应工作台上对在相应工作台的搁板上卸载的基板执行工序。在相应工作台上执行工序的同时，自动引导运载车能够在预定的位置处等待，或者移动到另一个工作台上，以提高工序的效率。
将相应工作台上已执行工序的基板再次装载到在基板柜中，并在搁板上等待自动引导运载车。将用来检测已执行工序的基板柜的传感器附接到基板柜位于的搁板上，所述基板柜中装载有已执行工序的基板，从而检测到已执行工序的基板柜并将数据信息传输给主机。主机分析数据信息，将闲置的自动引导运载车发送到已执行工序的基板柜所在的工作台上，并将基板柜装载到自动引导运载车中，自动引导运载车移动并将基板柜储存到基板柜储存架。
如上所述，在本发明中，附在基板柜的条形码读取器是设置在自动引导运载车上或基板柜储存架上，而不是设置在现有技术中的每一个相应工作台的各个搁板上。根据这一点，能够极大地减少条形码读取器的数目，由此在有效实现基板柜传送的同时降低了成本。也不必在工作台上设置条形码读取器，从而提高了面积的效率。
显然，本领域的技术人员无需脱离本发明的原理和范围还能对本发明的基板传送系统作出各种各样的修改和变更。因此，本发明的意在覆盖权利要求书及其等效物范围内的修改和变更。

Claims (8)

1.一种用于制造液晶显示(LCD)装置的基板传送系统，包括：
具有条形码的一基板柜；
用来储存基板柜的一基板柜储存架；
具有条形码读取器的一自动引导运载车，所述自动引导运载车能传送基板柜；
用来确定自动引导运载车移动路径的一移动路径单元；
多个工序工作台，制造LCD装置过程中在所述工序工作台上对基板执行工序，其中所述工序工作台各自包括装载和卸载基板柜的一搁板和检测已执行过工序的基板柜的一传感器；以及
用来控制基板柜储存架、自动引导运载车和工序工作台的一主机。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，基板柜储存架和自动引导运载车包括装载和卸载基板柜的一机械手。
3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，机械手具有一条形码读取器。
4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，移动驱动单元包括检测自动引导运载车位置的一位置检测传感器。
5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，移动驱动单元包括一轨道。
6.一种制造液晶显示(LCD)装置的方法，包括如下步骤：
提供具有条形码的一基板柜；
提供用来储存基板柜的一基板柜储存架；
提供具有条形码读取器的一自动引导运载车，所述自动引导运载车能传送基板柜；
使用移动路径单元确定自动引导运载车移动路径；
提供多个工序工作台，制造LCD装置过程中在所述工序工作台上对基板执行工序，
检测已执行过工序的基板柜放置到搁板上并且向主机发送信息，在该搁板上装载有基板柜，在该基板柜上装载有已执行过工序的基板；
通过主机控制基板柜储存架、自动引导运载车和工序工作台；
分别在滤色片基板和薄膜晶体管基板上执行多个工序，所述滤色片基板和所述薄膜晶体管基板是用所述基板传送系统来传送的；和
将滤色片基板和薄膜晶体管基板粘接在一起且在两基板之间设置有液晶材料。
7.一种制造液晶显示(LCD)装置过程中传送基板的方法，包括如下步骤：
将具有条形码的基板柜从基板柜储存架卸载到具有条形码读取器的自动引导运载车上；
用条形码读取器读取附在基板柜上的条形码；
分析来自条形码读取器的信息；
将自动引导运载车引到要执行工序的工作台上；
在工作台上装载基板柜；
通过传感器检测其上已经完成工序的基板柜，并将信息传送给主机；
通过位置检测传感器检测自动引导运载车的位置；
将自动引导运载车引到设置已执行过工序的基板柜的工作台上，并将已执行过工序的基板柜装载到自动引导运载车中；以及
将基板柜传送到基板柜储存架。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括将基板柜装载到工作台上之前，用条形码读取器读取附在基板柜上的条形码的步骤。
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