CA2286441C - Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces - Google Patents
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Abstract
L'invention est relative à un substrat transparent, notamment en verre, muni d'un empilement de couches minces comportant au moins une couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge, notamment bas-émissive, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique. Selon l'invention, le revêtement à base de matériau diélectrique au- dessus de la couche métallique comporte la séquence de couches déposées dans l'ordre suivant : a) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n i-2 d'au plus 2.2 ; b) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n i-1 inférieur- d'au moins 0,3 à celui de la ou les dernière(s) couche(s) n i ; c) dernière(s) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n i sensiblement égal à n i-2.
Description
SUBSTRAT TRANSPARENT MUNI
D'UN EMPILEMENT DE COUCHES MINCES
La présente invention concerne un substrat transparent, notamment en verre, muni d'un empilement de couches minces comportant au moins une couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge notamment bas-émissive, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique.
L'application principale visée par l'invention est l'utilisation d'un tel substrat pour la fabrication de vitrages d'isolation thermique et/ou de protection solaire.
Ceux-ci sont destinés à équiper aussi bien les bâtiments que les véhicules et ce, en particulier dans le but de diminuer l'effort de climatisation et/ou réduire une surchauffe excessive entraînée par l'importance toujours croissante des surfaces vitrées dans les pièces et habitacles.
Un type d'empilement de couches minces bien connu pour conférer à un substrat transparent des propriétés thermiques, notamment de bas-émissivité, adaptée pour l'application requise précitée, consiste en une couche métallique, notamment en argent, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique du type oxyde ou nitrure métallique. Cet empilement est, de manière usuelle, fabriqué à partir d'une succession de dépôts effectués selon une technique utilisant le vide comme par exemple la pulvérisation cathodique, le cas échéant assistée par un champ magnétique.
Il peut être également prévu dans cet empilement une surcouche
D'UN EMPILEMENT DE COUCHES MINCES
La présente invention concerne un substrat transparent, notamment en verre, muni d'un empilement de couches minces comportant au moins une couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge notamment bas-émissive, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique.
L'application principale visée par l'invention est l'utilisation d'un tel substrat pour la fabrication de vitrages d'isolation thermique et/ou de protection solaire.
Ceux-ci sont destinés à équiper aussi bien les bâtiments que les véhicules et ce, en particulier dans le but de diminuer l'effort de climatisation et/ou réduire une surchauffe excessive entraînée par l'importance toujours croissante des surfaces vitrées dans les pièces et habitacles.
Un type d'empilement de couches minces bien connu pour conférer à un substrat transparent des propriétés thermiques, notamment de bas-émissivité, adaptée pour l'application requise précitée, consiste en une couche métallique, notamment en argent, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique du type oxyde ou nitrure métallique. Cet empilement est, de manière usuelle, fabriqué à partir d'une succession de dépôts effectués selon une technique utilisant le vide comme par exemple la pulvérisation cathodique, le cas échéant assistée par un champ magnétique.
Il peut être également prévu dans cet empilement une surcouche
2 métallique ayant un rôle de couche de protection afin d'éviter la dégradation de l'argent.
Dans ce type d'empilement, la couche d'argent détermine essentiellement les performances thermiques, anti-solaires et/ou de bas-émissivité du vitrage final, tandis que les couches de matériau diélectrique agissent avant tout sur l'aspect optique du vitrage obtenu de manière interférentielle. En outre, elles ont un rôle de protection de la couche d'argent contre les agressions chimiques et/ou mécaniques.
Jusqu'à ce jour, les améliorations apportées aux vitrages munis d'empilements du type précité ont permis d'augmenter leur champ d'application, tout en leur permettant de conserver un niveau de performances thermiques et optiques satisfaisant. Cependant, sur ce dernier point, l'aspect colorimétrique pourrait être encore amélioré, en particulier avec l'obtention d'une couleur en réflexion plus neutre.
Le but de l'invention est alors de proposer un substrat muni d'un empilement de couches minces du type précité, présentant un aspect colorimétrique amélioré, notamment avec une couleur en réflexion plus neutre.
Pour ce faire, l'invention a pour objet un subsLrat transparent, notamment en verre, muni d'un empilement de couches m inces comportant au moins une couche métallique à propriétés de réflc.xion dans l'infrarouge, notamment bas-émissive, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique au-dessus de la couche métallique. Selon l'invention, le revêtement à base de matériau diélectrique comporte la séquence de couches déposées dans Fordre suivant :
a) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n;_ ,2 d'au plus 2-2 b) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction ni_1 inférieur d'au moins 0,3 à celui de la ou les dernière(s) couche(s) ni ;
c) dernière(s) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n;
sensiblement égal à ni_2.
On précise que, dans le cadre de l'invention il fauc comprendre par dernière(s) couche(s) de l'empilement la ou les couche(s) de l'empilement la ou les plus éloignée(s) du substrat, qui comprend celle
Dans ce type d'empilement, la couche d'argent détermine essentiellement les performances thermiques, anti-solaires et/ou de bas-émissivité du vitrage final, tandis que les couches de matériau diélectrique agissent avant tout sur l'aspect optique du vitrage obtenu de manière interférentielle. En outre, elles ont un rôle de protection de la couche d'argent contre les agressions chimiques et/ou mécaniques.
Jusqu'à ce jour, les améliorations apportées aux vitrages munis d'empilements du type précité ont permis d'augmenter leur champ d'application, tout en leur permettant de conserver un niveau de performances thermiques et optiques satisfaisant. Cependant, sur ce dernier point, l'aspect colorimétrique pourrait être encore amélioré, en particulier avec l'obtention d'une couleur en réflexion plus neutre.
Le but de l'invention est alors de proposer un substrat muni d'un empilement de couches minces du type précité, présentant un aspect colorimétrique amélioré, notamment avec une couleur en réflexion plus neutre.
Pour ce faire, l'invention a pour objet un subsLrat transparent, notamment en verre, muni d'un empilement de couches m inces comportant au moins une couche métallique à propriétés de réflc.xion dans l'infrarouge, notamment bas-émissive, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique au-dessus de la couche métallique. Selon l'invention, le revêtement à base de matériau diélectrique comporte la séquence de couches déposées dans Fordre suivant :
a) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n;_ ,2 d'au plus 2-2 b) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction ni_1 inférieur d'au moins 0,3 à celui de la ou les dernière(s) couche(s) ni ;
c) dernière(s) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n;
sensiblement égal à ni_2.
On précise que, dans le cadre de l'invention il fauc comprendre par dernière(s) couche(s) de l'empilement la ou les couche(s) de l'empilement la ou les plus éloignée(s) du substrat, qui comprend celle
3 directement en contact avec le milieu ambiant, tel que l'air.
La solution selon l'invention procure un résultat avantageux, mais aussi très inattendu.
En effet, jusqu'à présent, pour avoir un effet anti-reflets notable pour le type d'empilement visé par l'invention, on cherchait nécessairement à obtenir un revêtement supérieur à base de matéi-iaux diélectriques dans lequel la couche directement en contact avec la couche métallique de protection était une couche à base d'un matériau à haut indice de réfraction, matériau qui présentait l'avantage d'anti-refléter la couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge. Ce revêtement supérieur était, de préférence terminé par un gradient d'indice avec une dernière couche en contact avec le milieu ambiant tel que l'air, d'indice de réfraction le plus proche de ce dernier, de l'ordre de 1,7.
Cela se justifiait par le fait que la réflexion à l'interface entre la dernière couche de l'empilement et l'air est d'autant plus faible qi.ie la différence d'indice entre le matériau et l'air est faible.
De manière surprenante, il s'est avéré que pour le tvpe d'empilement visé par l'invention, l'effet anti-reflets recherché était atteint malgré la présence d'une dernière couche à haut indice de réfraction en contact avec le milieu ambiant tel que l'air, en utilisant la séquence conforine à
l'invention.
Et, par voie de conséquence, les substrats munis de l'empile.ment conforme à l'invention présentent une couleur en réflexion neutre, niéme dans les configurations où la couche fonctionnelle métallique, tellc que l'argent a une épaisseur géométrique importante.
Les vitrages obtenus en incorporant de tels substrîits sont donc à la fois très esthétiques et très performants d'un point de vuc thermique.
Les avantages qui découlent de la séquence de l'empileinent conforme à l'invention, sont nombreux par rapport aux séquences ;elon l'état de l'art, selon lesquelles un gradient d'indice est nécessaire pour obtenir une couleur en réflexion satisfaisante.
En effet, du fait que conformément à l'invention, l;i dernière co~i_iche a un indice de réfraction élevé, il est possible de choisir aisémeiit un
La solution selon l'invention procure un résultat avantageux, mais aussi très inattendu.
En effet, jusqu'à présent, pour avoir un effet anti-reflets notable pour le type d'empilement visé par l'invention, on cherchait nécessairement à obtenir un revêtement supérieur à base de matéi-iaux diélectriques dans lequel la couche directement en contact avec la couche métallique de protection était une couche à base d'un matériau à haut indice de réfraction, matériau qui présentait l'avantage d'anti-refléter la couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge. Ce revêtement supérieur était, de préférence terminé par un gradient d'indice avec une dernière couche en contact avec le milieu ambiant tel que l'air, d'indice de réfraction le plus proche de ce dernier, de l'ordre de 1,7.
Cela se justifiait par le fait que la réflexion à l'interface entre la dernière couche de l'empilement et l'air est d'autant plus faible qi.ie la différence d'indice entre le matériau et l'air est faible.
De manière surprenante, il s'est avéré que pour le tvpe d'empilement visé par l'invention, l'effet anti-reflets recherché était atteint malgré la présence d'une dernière couche à haut indice de réfraction en contact avec le milieu ambiant tel que l'air, en utilisant la séquence conforine à
l'invention.
Et, par voie de conséquence, les substrats munis de l'empile.ment conforme à l'invention présentent une couleur en réflexion neutre, niéme dans les configurations où la couche fonctionnelle métallique, tellc que l'argent a une épaisseur géométrique importante.
Les vitrages obtenus en incorporant de tels substrîits sont donc à la fois très esthétiques et très performants d'un point de vuc thermique.
Les avantages qui découlent de la séquence de l'empileinent conforme à l'invention, sont nombreux par rapport aux séquences ;elon l'état de l'art, selon lesquelles un gradient d'indice est nécessaire pour obtenir une couleur en réflexion satisfaisante.
En effet, du fait que conformément à l'invention, l;i dernière co~i_iche a un indice de réfraction élevé, il est possible de choisir aisémeiit un
4 matériau constitutif de celle-ci qui améliore considérablei-nent la durabilité
mécanique de l'empilement tel qu'un matériau à base de SnZnOX, ou qui lui confère un caractère trempable sans modification de ses propriétés, tel qu'un matériau à base de Si3N4.
La couche métallique fonctionnelle est avantageusement en ai- ent.
Son épaisseur peut étre choisie entre 7 et 20 nanomètres, notamment entre 9 et 15 nanomètres, quand on désire obtenir des vitrages à basse émissivité et haute transmission lumineuse (notamment une TL d'au moins 70 à 80%), particulièrement pour ceux destinés à équiper des bâtiments dans des pays froids. Quand on désire des vitrages à fonction anti-solaire, réfléchissants, destinés plutôt à équiper des bâtiments dans des pays chauds, la couche d'argent peut étre plus épaisse, par exemple comprise entre 20 et 25 nm (ce qui a évidemment pour conséquence d'avoir des vitrages à transmission lumineuse nettement plus faible, par exemple inférieure à 60%).
De manière préférée, il peut étre prévu que l'empilement selon l'invention, comporte une couche métallique de lwotection placée immédiatement au-dessus et au contact de la couche à propriétés de réflexion dans l'infrarouge.
La couche de protection prévue est avantageusement à base d'un métal unique choisi parmi le niobium Nb, le titane Ti, le chrome Cr, ou le nickel Ni ou un alliage à partir d'au moins deux de ces métaux, notamment d'un alliage de nickel et de chrome (Ni/Cr) et a une épaisseur géométrique inférieure ou égale à 2 nanomètres. Selon cette variante, le métal ou l'alliage constitutif de la couche peut être dopé au palladiutn Pci.
Elle joue son rôle de couche sacrificielle ~~ dans le but de protéger lLl couche fonctionnelle en cas de dépôt de la couche suivante par pulvérisation réactive.
Le revêtement à base de matériau diélectrique, situé en dessolis de la couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge est de préférence une superposition d'au moins deux couches, otamment cteux couches en oxyde métallique ou une couche en nitrure comme A1N, 3i,3N_i et une couche en oxyde métallique comme ZnO, SnO-2, Ti02. Il yit de préférence un contact direct entre ce revêtement en diélectrique ( t la couche métallique à propriétés dans l'infrarouge. Ce revétement comporte avantageusement une couche de mouillage à base d'oxyde de zinc ZnO, éventuellement dopé à l'aluminium ZnO:Al, au contact de ladite couche à
propriétés de réflexion dans l'infrarouge, ce revêtement comporte alors
mécanique de l'empilement tel qu'un matériau à base de SnZnOX, ou qui lui confère un caractère trempable sans modification de ses propriétés, tel qu'un matériau à base de Si3N4.
La couche métallique fonctionnelle est avantageusement en ai- ent.
Son épaisseur peut étre choisie entre 7 et 20 nanomètres, notamment entre 9 et 15 nanomètres, quand on désire obtenir des vitrages à basse émissivité et haute transmission lumineuse (notamment une TL d'au moins 70 à 80%), particulièrement pour ceux destinés à équiper des bâtiments dans des pays froids. Quand on désire des vitrages à fonction anti-solaire, réfléchissants, destinés plutôt à équiper des bâtiments dans des pays chauds, la couche d'argent peut étre plus épaisse, par exemple comprise entre 20 et 25 nm (ce qui a évidemment pour conséquence d'avoir des vitrages à transmission lumineuse nettement plus faible, par exemple inférieure à 60%).
De manière préférée, il peut étre prévu que l'empilement selon l'invention, comporte une couche métallique de lwotection placée immédiatement au-dessus et au contact de la couche à propriétés de réflexion dans l'infrarouge.
La couche de protection prévue est avantageusement à base d'un métal unique choisi parmi le niobium Nb, le titane Ti, le chrome Cr, ou le nickel Ni ou un alliage à partir d'au moins deux de ces métaux, notamment d'un alliage de nickel et de chrome (Ni/Cr) et a une épaisseur géométrique inférieure ou égale à 2 nanomètres. Selon cette variante, le métal ou l'alliage constitutif de la couche peut être dopé au palladiutn Pci.
Elle joue son rôle de couche sacrificielle ~~ dans le but de protéger lLl couche fonctionnelle en cas de dépôt de la couche suivante par pulvérisation réactive.
Le revêtement à base de matériau diélectrique, situé en dessolis de la couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge est de préférence une superposition d'au moins deux couches, otamment cteux couches en oxyde métallique ou une couche en nitrure comme A1N, 3i,3N_i et une couche en oxyde métallique comme ZnO, SnO-2, Ti02. Il yit de préférence un contact direct entre ce revêtement en diélectrique ( t la couche métallique à propriétés dans l'infrarouge. Ce revétement comporte avantageusement une couche de mouillage à base d'oxyde de zinc ZnO, éventuellement dopé à l'aluminium ZnO:Al, au contact de ladite couche à
propriétés de réflexion dans l'infrarouge, ce revêtement comporte alors
5 avantageusement deux couches, dont cette couche de mouillage.
L'épaisseur géométrique de la couche de mouillage c st de préféi-ence comprise entre 5 et 40 nanomètres, notamment entre 1I~ et 30 nanomètres. Avec de telles épaisseurs, elle peut contribuer, outre sa fonction de mouillage, à ajuster l'aspect optique de l'empilement en association avec le premier revêtement en matériau diél<-ctrique situé au-dessus de la couche fonctionnelle. Avantageusemeni, la couche de mouillage peut être à base d'oxyde de zinc partiellement cristallisé.
Une telle couche permet de ne pas pénaliser l'empilement d'un point de vue optique en cas de traitement thermique subi par le substrat porteur du type bombage ou trempe.
Selon une caractéristique très avantageuse de l'in~-ention, la ou les dernière(s) couche(s) de l'empilement peut (peuvent) érre en outrc une couche d'oxyde métallique choisie parmi l'un des matc:,riaux suivants :
oxyde d'étain Sn02, oxyde de zinc, oxyde mixte d'étain et de zinc SnZnO,.
Elle peut être également une couche de nitrure métalliquc, éventuelleinent barrière à la diffusion de l'oxygène choisie parmi des maté i-iaut suivants : nitrure de silicium Si3N4, éventuellement dopé à l'aluminium Si3N4:AI, nitrure d'aluminium A1N.
Elle peut étre enfin une couche de carbure, éventtie:llement barrière à la diffusion de l'oxygène, choisie parmi l'un des matériaux suiviints SiC, TiC, CrC, TaC.
Comme mentionné ci-dessus, une telle couche permet d'améliorer la durabilité de l'empilement et/ou de conférer à celui-ci un cariictère trempable .
Cette dernière couche a de préférence une épaisseur géomét i=ique comprise entre 5 et 20 nanomètres. Avantaaeusement, la couche placée immédiatement en dessous et au contact d'une des dernières couches de l'empilement présente un indice de réfraction ni_ 1 inférieu re à 1,75.
Cette couche est de préférence à base d'oxyde de silicium Sic >, ou
L'épaisseur géométrique de la couche de mouillage c st de préféi-ence comprise entre 5 et 40 nanomètres, notamment entre 1I~ et 30 nanomètres. Avec de telles épaisseurs, elle peut contribuer, outre sa fonction de mouillage, à ajuster l'aspect optique de l'empilement en association avec le premier revêtement en matériau diél<-ctrique situé au-dessus de la couche fonctionnelle. Avantageusemeni, la couche de mouillage peut être à base d'oxyde de zinc partiellement cristallisé.
Une telle couche permet de ne pas pénaliser l'empilement d'un point de vue optique en cas de traitement thermique subi par le substrat porteur du type bombage ou trempe.
Selon une caractéristique très avantageuse de l'in~-ention, la ou les dernière(s) couche(s) de l'empilement peut (peuvent) érre en outrc une couche d'oxyde métallique choisie parmi l'un des matc:,riaux suivants :
oxyde d'étain Sn02, oxyde de zinc, oxyde mixte d'étain et de zinc SnZnO,.
Elle peut être également une couche de nitrure métalliquc, éventuelleinent barrière à la diffusion de l'oxygène choisie parmi des maté i-iaut suivants : nitrure de silicium Si3N4, éventuellement dopé à l'aluminium Si3N4:AI, nitrure d'aluminium A1N.
Elle peut étre enfin une couche de carbure, éventtie:llement barrière à la diffusion de l'oxygène, choisie parmi l'un des matériaux suiviints SiC, TiC, CrC, TaC.
Comme mentionné ci-dessus, une telle couche permet d'améliorer la durabilité de l'empilement et/ou de conférer à celui-ci un cariictère trempable .
Cette dernière couche a de préférence une épaisseur géomét i=ique comprise entre 5 et 20 nanomètres. Avantaaeusement, la couche placée immédiatement en dessous et au contact d'une des dernières couches de l'empilement présente un indice de réfraction ni_ 1 inférieu re à 1,75.
Cette couche est de préférence à base d'oxyde de silicium Sic >, ou
6 d'oxyde d'aluminium A1203 ou d'un mélange de ces deux oxvdes A1203: S102.
Selon une caractéristique supplémentaire de l'invention, la couche sous-jacente à la couche placée immédiatement en dessous et au coiitact d'une des dernières couches présente un indice de réfraction n;_2 proche de celui de la dernière couche de l'empilement, de préCérence de l'ordre de 2.
A titre d'illustration préférée, l'empilement de cotiches répondant aux critères de l'invention est du type :
Verre/Sn02 ou Si3N4:A1 ou A1N/ZnO ou ZnO:AI/Ag/Ti ou NiCr/ZnO ou Sn02/Si02 ou A1203 ou Si02:A1203/Sn(_)2 ou ZnO otl SnZnOX ou A1N ou Si3N4:Al ou (A1N/Si3N:+:Al) ou (Si3N-4:Al/A1N) oti (Sn02/ SnZnO,;) Le substrat conforme à l'invention est également remarquable cn ce qu'il présente une émissivité s d'au plus 0,05.
L'invention qui vient d'être décrite est susceptiblc de nombrcuses applications. Elle a trait notamment à un vitrage multipie bas-émissif ou anti-solaire, notamment au double vitrage, comport ant le substrat précédemment défini, l'empilement de couches étant en f,ices 2 et/ou 3, ct le cas échéant en face 5.
Elle concerne également un double vitrage bas-émissif ou anti-solaire comportant au moins un substrat précédemment ciéfini remarquable par le fait qu'il présente une transmission lLtmineuse Ti. d'au moins 72%.
Un tel double vitrage comportant deux feuilles de verrc = e s t également remarquable en ce qu'il présente un coefficie;it K infériecir oLt égal à 1,4W/K.m2 lorsque les deux feuilles de verre sont séparées pai- tine lame d'air ou inférieur ou égal à 1,1W/K.m2 lorsque les feuilles de verre sont séparées par une lame d'argon.
D'autres détails et caractéristiques avantageuses ressortirova ci-après à la lecture de la description détaillée des exemples suivants- non limitatifs faite en référence aux figures 1 et 2.
L'exemple 1 est un exemple comparatif.
L'exemple 2 est réalisé conformément à l'invention.
Selon une caractéristique supplémentaire de l'invention, la couche sous-jacente à la couche placée immédiatement en dessous et au coiitact d'une des dernières couches présente un indice de réfraction n;_2 proche de celui de la dernière couche de l'empilement, de préCérence de l'ordre de 2.
A titre d'illustration préférée, l'empilement de cotiches répondant aux critères de l'invention est du type :
Verre/Sn02 ou Si3N4:A1 ou A1N/ZnO ou ZnO:AI/Ag/Ti ou NiCr/ZnO ou Sn02/Si02 ou A1203 ou Si02:A1203/Sn(_)2 ou ZnO otl SnZnOX ou A1N ou Si3N4:Al ou (A1N/Si3N:+:Al) ou (Si3N-4:Al/A1N) oti (Sn02/ SnZnO,;) Le substrat conforme à l'invention est également remarquable cn ce qu'il présente une émissivité s d'au plus 0,05.
L'invention qui vient d'être décrite est susceptiblc de nombrcuses applications. Elle a trait notamment à un vitrage multipie bas-émissif ou anti-solaire, notamment au double vitrage, comport ant le substrat précédemment défini, l'empilement de couches étant en f,ices 2 et/ou 3, ct le cas échéant en face 5.
Elle concerne également un double vitrage bas-émissif ou anti-solaire comportant au moins un substrat précédemment ciéfini remarquable par le fait qu'il présente une transmission lLtmineuse Ti. d'au moins 72%.
Un tel double vitrage comportant deux feuilles de verrc = e s t également remarquable en ce qu'il présente un coefficie;it K infériecir oLt égal à 1,4W/K.m2 lorsque les deux feuilles de verre sont séparées pai- tine lame d'air ou inférieur ou égal à 1,1W/K.m2 lorsque les feuilles de verre sont séparées par une lame d'argon.
D'autres détails et caractéristiques avantageuses ressortirova ci-après à la lecture de la description détaillée des exemples suivants- non limitatifs faite en référence aux figures 1 et 2.
L'exemple 1 est un exemple comparatif.
L'exemple 2 est réalisé conformément à l'invention.
7 Dans ces deux exemples, les dépôts successifs des couches minces ont été réalisés à l'aide d'une technique de pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique. Bien évidemment, dans le cadre de l'invention, ils peuvent être réalisés par toute autre technique perme.ttant une bonne maîtrise des épaisseurs de couches obtenues.
Les substrats sur lesquels ont été déposés les empilemenes de couches minces sont des substrats en verre silico-sodo-calcique clair du type de ceux commercialisés par la société SAINT-GOBAIN VITRAGE sous la dénomination PLANILUX.
EXEMPLE 1 - (COMPARATIF) Sur la figure 1, on voit que le substrat 1. est surmonté, conformément à ce qui a été décrit dans la demande de brevet EP-O 818 250, d'une couche barrière 2 à la diffusion de l'oxygène (--t des ions Na+, à
base de Sn02, d'une couche 3 de mouillage à base d'oxvde de zinc ZnO, puis d'une couche 4 en argent, d'une couche 5 de protection en titane Ti, d'une couche 6 à base d'oxyde de zinc ZnO et enfin, d'une couche 7 barrière à l'oxygène à base de Si3N4. On précise que par souci de clarté, les différentes proportions entre les épaisseurs des matéri~iux n'ont piis été
respectées.
L'empilement est donc du type Verre/ SnO2 / ZnO / Ag/ Ti / ZnO / Si3N4 Le tableau 1 ci-dessous indique l'épaisseur en nanomi-,tres, correspondant à chaque couche de l'empilement, surmoiitant le substrat de 4 mm d'épaisseur :
Sn02 (2) 17 ZnO (3) 12 Ag (4) 12 Ti (5) 1,2 ZnO (6) 27 Si3N4 (7) 20 Pour réaliser cet empilement, les conditions de dépôt pour chLicunc des couches préconisées ont été les suivantes :
Les substrats sur lesquels ont été déposés les empilemenes de couches minces sont des substrats en verre silico-sodo-calcique clair du type de ceux commercialisés par la société SAINT-GOBAIN VITRAGE sous la dénomination PLANILUX.
EXEMPLE 1 - (COMPARATIF) Sur la figure 1, on voit que le substrat 1. est surmonté, conformément à ce qui a été décrit dans la demande de brevet EP-O 818 250, d'une couche barrière 2 à la diffusion de l'oxygène (--t des ions Na+, à
base de Sn02, d'une couche 3 de mouillage à base d'oxvde de zinc ZnO, puis d'une couche 4 en argent, d'une couche 5 de protection en titane Ti, d'une couche 6 à base d'oxyde de zinc ZnO et enfin, d'une couche 7 barrière à l'oxygène à base de Si3N4. On précise que par souci de clarté, les différentes proportions entre les épaisseurs des matéri~iux n'ont piis été
respectées.
L'empilement est donc du type Verre/ SnO2 / ZnO / Ag/ Ti / ZnO / Si3N4 Le tableau 1 ci-dessous indique l'épaisseur en nanomi-,tres, correspondant à chaque couche de l'empilement, surmoiitant le substrat de 4 mm d'épaisseur :
Sn02 (2) 17 ZnO (3) 12 Ag (4) 12 Ti (5) 1,2 ZnO (6) 27 Si3N4 (7) 20 Pour réaliser cet empilement, les conditions de dépôt pour chLicunc des couches préconisées ont été les suivantes :
8 ~ La couche 2 à base de Sn02 a été déposée à l'aide d'une cible d'c tain, sous une pression de 1,5 x 10-3 mbar, dans une atmosphcre argon/O,, -- Les couches 3 et 6 à base d'oxyde de zinc ZnO ont été déposées à l'aide d'une cible en zinc, sous une pression de 8 x 10-3 rnbar, dans une atmosphère d'argon/oxygène, ^ La couche 4 en argent a été déposée à l'aide d'une cible en argent, sous une pression de 8 x 10-3 mbar, dans une atmosphère d'argon, -~- La couche 5 en Ti a été déposée à l'aide d'une cible en titane, sous une pression de 8 x 10-3 mbar, dans une atmosphère d'argon.
-^ La couche 7 en Si3N4 a été déposée à l'aide d'une cible en silicium dopé
à 8% d'aluminium, sous une pression de 8 x 10-3 inbar, dans une atmosphère d'argon/azote.
Les puissances et vitesses de défilement du substrat ont été ajustées de manière connue en soi pour obtenir les épaisseurs désirées ci-dessus.
Le tableau 2 ci-dessous indique respectivement la valeu r de transmission lumineuse TL en pourcentage, la valeur de réflczion lumineuse RL également en pourcentage, les valeurs dc a*G et b* ~ , eiz réflexion dans le système de colorimétrie (L, a*, b*), san~; unité, ainsi que la valeur d'émissivité E, sans unité. Toutes les mesures sont faites ei-i référence à l'illuminant D65.
EXEMPLE 1 - (substrat 1 monolithique) TL 83,1 RL 9,34 a* 2,5 b* - 12,9 E 0,032 Le substrat 1 précédemment défini est ensuite inonté en df)uble vitrage avec un autre substrat de verre clair nu d'épaisseur géomét i-ique égale à 4 mm avec une lame intercalaire d'argon de 15 mm d'épaisseur, l'empilement de couches minces étant en face 3.
Le tableau 3 ci-dessous reprend les mêmes caractéristiques T[õ Ri,, a* 1z , b* , s ainsi que la valeur du coefficient K en W/K.m2 du double
-^ La couche 7 en Si3N4 a été déposée à l'aide d'une cible en silicium dopé
à 8% d'aluminium, sous une pression de 8 x 10-3 inbar, dans une atmosphère d'argon/azote.
Les puissances et vitesses de défilement du substrat ont été ajustées de manière connue en soi pour obtenir les épaisseurs désirées ci-dessus.
Le tableau 2 ci-dessous indique respectivement la valeu r de transmission lumineuse TL en pourcentage, la valeur de réflczion lumineuse RL également en pourcentage, les valeurs dc a*G et b* ~ , eiz réflexion dans le système de colorimétrie (L, a*, b*), san~; unité, ainsi que la valeur d'émissivité E, sans unité. Toutes les mesures sont faites ei-i référence à l'illuminant D65.
EXEMPLE 1 - (substrat 1 monolithique) TL 83,1 RL 9,34 a* 2,5 b* - 12,9 E 0,032 Le substrat 1 précédemment défini est ensuite inonté en df)uble vitrage avec un autre substrat de verre clair nu d'épaisseur géomét i-ique égale à 4 mm avec une lame intercalaire d'argon de 15 mm d'épaisseur, l'empilement de couches minces étant en face 3.
Le tableau 3 ci-dessous reprend les mêmes caractéristiques T[õ Ri,, a* 1z , b* , s ainsi que la valeur du coefficient K en W/K.m2 du double
9 vitrage.
EXEMPLE 1 - (double vitrage) TL 75,6 RL 15,6 a* 0,5 b*OO - 7,7 E 0,032 K 1,09 EXEMPLE 2 - (SELON L'INVENTION) L'empilement de couches minces représenté sui- la figure 2 est identique à celui de l'exemple 1 comparatif, à ceci près qt.t'une couche 8 à
base de Si02 d'indice de réfraction égal à 1,45 est déposée entre la couche 6 à base d'oxyde de zinc ZnO et la dernière couche de l'empilement 7 à
base de nitrure de silicium Si3N4.
L'empilement a donc la séquence suivante :
Verre/Sn02/ZnO/Ag/Ti/ZnO/Si02/Si3N 1 La couche 8 à base de Si02 conforme à l'inventioi-, a une épai,seur de 17 nm. Les autres couches ont les mémes épaisseurs que ~~elles relatives à l'exemple 1 comparatif, sauf celle de l'épaissetir de la surcc>tiche Si3N4 qui est égale ici à 12 nm.
Cette couche 8 à base de Si02 a été déposée I-)ar pulvérisation réactive assistée par plasma dans une atmosphère d'argon/oxygène <~ une pression d'environ 1,5 x 10-3 mbar.
Le tableau 4 ci-dessous indique respectivement lcs valeurs T., RIõ
a*:1z', b* et s du substrat 1 monolithique relatif à cet exeinple.
EXEMPLE 2 - (monolithique) TL 82,8 Ri, 9,3 a* 3,0 b*(a - 6,0 9 0,032 Ce substrat 1 est ensuite monté au double vitrage avec un autre substrat de verre clair de même épaisseur, égale à 4 mm avec une lame intercalaire d'argon de 15 mm, l'empilement suivant l'irlvention étarit en face 3 de ce double vitrage.
5 Le tableau 5 ci-dessous reprend les mêmes caractéristiques T[., RIõ
a* , b*(k, s ainsi que la valeur du coefficient K en W/K.m2 du double vitrage.
EXEMPLE 2 - (double vitrage) Tr_, 75,3 RL 15,7 a* 0,9 b* - 3,3 s 0,032 K 1,09
EXEMPLE 1 - (double vitrage) TL 75,6 RL 15,6 a* 0,5 b*OO - 7,7 E 0,032 K 1,09 EXEMPLE 2 - (SELON L'INVENTION) L'empilement de couches minces représenté sui- la figure 2 est identique à celui de l'exemple 1 comparatif, à ceci près qt.t'une couche 8 à
base de Si02 d'indice de réfraction égal à 1,45 est déposée entre la couche 6 à base d'oxyde de zinc ZnO et la dernière couche de l'empilement 7 à
base de nitrure de silicium Si3N4.
L'empilement a donc la séquence suivante :
Verre/Sn02/ZnO/Ag/Ti/ZnO/Si02/Si3N 1 La couche 8 à base de Si02 conforme à l'inventioi-, a une épai,seur de 17 nm. Les autres couches ont les mémes épaisseurs que ~~elles relatives à l'exemple 1 comparatif, sauf celle de l'épaissetir de la surcc>tiche Si3N4 qui est égale ici à 12 nm.
Cette couche 8 à base de Si02 a été déposée I-)ar pulvérisation réactive assistée par plasma dans une atmosphère d'argon/oxygène <~ une pression d'environ 1,5 x 10-3 mbar.
Le tableau 4 ci-dessous indique respectivement lcs valeurs T., RIõ
a*:1z', b* et s du substrat 1 monolithique relatif à cet exeinple.
EXEMPLE 2 - (monolithique) TL 82,8 Ri, 9,3 a* 3,0 b*(a - 6,0 9 0,032 Ce substrat 1 est ensuite monté au double vitrage avec un autre substrat de verre clair de même épaisseur, égale à 4 mm avec une lame intercalaire d'argon de 15 mm, l'empilement suivant l'irlvention étarit en face 3 de ce double vitrage.
5 Le tableau 5 ci-dessous reprend les mêmes caractéristiques T[., RIõ
a* , b*(k, s ainsi que la valeur du coefficient K en W/K.m2 du double vitrage.
EXEMPLE 2 - (double vitrage) Tr_, 75,3 RL 15,7 a* 0,9 b* - 3,3 s 0,032 K 1,09
10 En comparant les différents tableaux relati i's aux va (eurs spectrophotométriques et aux performances thermiques i-espectivement de l'exemple comparatif selon l'état de l'art et l'exemple selon l'invention, on peut constater aisément que :
~- l'empilement conforme à l'invention confère au sui)strat verrici- un meilleur aspect colorimétrique, avec une couleur en réflexion plus nrutre, ce qui est corroboré par des valeurs de a* et b* très faibles, ~ cette amélioration sur le plan optique ne s'est pas faite :iu détrimen t des performances thermiques.
En outre, les tests de durabilité mécanique ()nt prouvé que l'empilement selon l'invention présentait une plus grande durabilité.
Enfin, l'empilement selon l'invention est apte à subir des traitements thermiques du type bombage et/ou trempe sans se dégriicler.
~- l'empilement conforme à l'invention confère au sui)strat verrici- un meilleur aspect colorimétrique, avec une couleur en réflexion plus nrutre, ce qui est corroboré par des valeurs de a* et b* très faibles, ~ cette amélioration sur le plan optique ne s'est pas faite :iu détrimen t des performances thermiques.
En outre, les tests de durabilité mécanique ()nt prouvé que l'empilement selon l'invention présentait une plus grande durabilité.
Enfin, l'empilement selon l'invention est apte à subir des traitements thermiques du type bombage et/ou trempe sans se dégriicler.
Claims (20)
1. Substrat transparent, notamment en verre, muni d'un empilement de couches minces comportant au moins une couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge, notamment bas-émissive, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique, caractérisé en ce que le revêtement à base de matériau diélectrique au-dessus de la couche métallique comporte la séquence de couches déposées dans l'ordre suivant :
a) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n i-2 d'au plus 2,2 ;
b) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n i-1 inférieur d'au moins 0,3 à
celui de la ou les dernière(s) couche(s) n i;
c) dernière(s) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction ni essentiellement égal à n i-2.
a) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n i-2 d'au plus 2,2 ;
b) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction n i-1 inférieur d'au moins 0,3 à
celui de la ou les dernière(s) couche(s) n i;
c) dernière(s) couche(s) à matériau(x) d'indice de réfraction ni essentiellement égal à n i-2.
2. Substrat selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche métallique à
propriétés de réflexion dans l'infrarouge est à base d'argent Ag.
propriétés de réflexion dans l'infrarouge est à base d'argent Ag.
3. Substrat selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la couche métallique a propriétés de réflexion dans l'infrarouge est directement en contact avec le revêtement à base de matériau diélectrique sous-jacent.
4. Substrat selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge a une épaisseur géométrique comprise entre 7 et 20 nanomètres, notamment entre 9 et 15 nanomètres de manière à lui conférer des propriétés de bas-érnissivité ou comprise entre 20 et 25 nanomètres de manière à lui conférer des propriétés anti-solaires.
5. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte une couche métallique de protection placée immédiatement au-dessus et au contact de la couche à propriétés de réflexion dans l'infrarouge.
6. Substrat selon la revendication 5, caractérisé en ce que ladite couche métallique de protection est à base d'un métal unique choisi parmi le niobium Nb, le titane Ti, le chrome Cr ou le nickel Ni ou d'un alliage d'au moins deux de ces métaux, notamment d'un alliage de niobium et de chrome (Nb/Cr) ou de nickel et de chrome (Ni/Cr) et en ce qu'elle a une épaisseur géométrique de préférence inférieure ou égale à 2 nanomètres.
7. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le revêtement à base de matériau diélectrique situé en dessous de la couche métallique à
propriétés de réflexion dans l'infrarouge est une superposition d'au moins deux couches, notamment deux couches en oxyde métallique ou une couche en nitrure comme A1N, Si3N4 et une couche en oxyde métallique comme ZnO, SnO2, TiO2 avec de préférence un contact direct entre ce revêtement en diélectrique et la couche métallique à
propriétés dans l'infrarouge.
propriétés de réflexion dans l'infrarouge est une superposition d'au moins deux couches, notamment deux couches en oxyde métallique ou une couche en nitrure comme A1N, Si3N4 et une couche en oxyde métallique comme ZnO, SnO2, TiO2 avec de préférence un contact direct entre ce revêtement en diélectrique et la couche métallique à
propriétés dans l'infrarouge.
8. Substrat selon la revendication 7, caractérise en ce que le revêtement à
base de matériau diélectrique, situé en dessous de la couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge, comporte une couche de mouillage à base d'oxyde de zinc ZnO, éventuellement dopé à l'aluminium ZnO:Al, au contact de ladite couche à propriétés de réflexion dans l'infrarouge, le revêtement comprenant de préférence deux couches dont cette couche de mouillage.
base de matériau diélectrique, situé en dessous de la couche métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge, comporte une couche de mouillage à base d'oxyde de zinc ZnO, éventuellement dopé à l'aluminium ZnO:Al, au contact de ladite couche à propriétés de réflexion dans l'infrarouge, le revêtement comprenant de préférence deux couches dont cette couche de mouillage.
9. Substrat selon la revendication 8, caractérisé en ce que ladite couche de mouillage a une épaisseur géométrique comprise entre 5 et 40 manomètres, notamment entre 15 et 30 nanomètres.
10. Substrat selon l'une des revendications 8 ou 9, caractérisé en ce que la couche de mouillage est à base d'oxyde de zinc au moins en partie cristallisé.
11. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que la dernière couche de l'empilement est une couche choisie parmi l'un des matériaux suivants :
nitrure de silicium Si3N4, éventuellement dopé à l'aluminium Si3N4:Al, nitrure d'aluminium A1N, oxyde d'étain SnO2, oxyde mixte d'étain et de zinc SnZnO x, carbures tels que SiC, TiC, CrC, TaC.
nitrure de silicium Si3N4, éventuellement dopé à l'aluminium Si3N4:Al, nitrure d'aluminium A1N, oxyde d'étain SnO2, oxyde mixte d'étain et de zinc SnZnO x, carbures tels que SiC, TiC, CrC, TaC.
12. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que la dernière couche de l'empilement a une épaisseur géométrique comprise entre 5 et 20 nanomètres.
13. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que la couche placée immédiatement en dessous et au contact dudit élément (c) de la revendication 1, présente un indice de réfraction n i-1 inférieur à 1,75.
14. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que la couche placée immédiatement en dessous et au contact dudit élément (c) de la revendication 1, est à base d'oxyde de silicium SiO2 ou d'oxyde d'aluminium A12O3 ou d'un mélange de ces deux oxydes A12O3:SiO2.
15. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que la couche sous-jacente à la couche placée immédiatement en dessous et au contact dudit élément (c) de la revendication 1, présente un indice de réfraction n i-2 proche de celui ni de la dernière couche de l'empilement, de préférence de l'ordre de 2.
16. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisé en ce que l'empilement est le suivant :
Verre/SnO2 ou Si3N4:Al ou AlN/ZnO ou ZnO:Al/Ag/Ti ou NiCr/ZnO ou SnO2/SiO2 ou Al2O3 ou SiO2:Al2O3/SnO2 ou ZnO ou SnZnOx ou AlN ou Si3N4:Al ou (AlN/ Si3N4:Al) ou (Si3N4:Al/AlN) ou (SnO2/ SnZnO x)
Verre/SnO2 ou Si3N4:Al ou AlN/ZnO ou ZnO:Al/Ag/Ti ou NiCr/ZnO ou SnO2/SiO2 ou Al2O3 ou SiO2:Al2O3/SnO2 ou ZnO ou SnZnOx ou AlN ou Si3N4:Al ou (AlN/ Si3N4:Al) ou (Si3N4:Al/AlN) ou (SnO2/ SnZnO x)
17. Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 16, caractérisé en ce qu'il présente une émissivité .epsilon. d'au plus 0,05.
18. Vitrage multiple bas-émissif ou anti-solaire, notamment double vitrage, comportant le substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 17, l'empilement de couches minces étant en faces 2 et/ou 3.
19. Double vitrage bas-émissif comportant au moins un substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 17, caractérisé en ce qu'il présente une transmission lumineuse T L, d'au moins 72%.
20. Double vitrage selon la revendication 19 comportant deux feuilles de verre, caractérisé en ce qu'il présente un coefficient K inférieur ou égal à
1,4W/K.m.2 lorsque les deux feuilles de verre sont séparées par une lame d'air, ou inférieur ou égal à 1,1W/K.m.2 lorsque les deux feuilles de verre sont séparées par une lame d'argon.
1,4W/K.m.2 lorsque les deux feuilles de verre sont séparées par une lame d'air, ou inférieur ou égal à 1,1W/K.m.2 lorsque les deux feuilles de verre sont séparées par une lame d'argon.
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| FR9813249A FR2784984B1 (fr) | 1998-10-22 | 1998-10-22 | Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces |
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| US6936347B2 (en) * | 2001-10-17 | 2005-08-30 | Guardian Industries Corp. | Coated article with high visible transmission and low emissivity |
| US7232615B2 (en) | 2001-10-22 | 2007-06-19 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coating stack comprising a layer of barrier coating |
| US6830817B2 (en) * | 2001-12-21 | 2004-12-14 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
| US7063893B2 (en) * | 2002-04-29 | 2006-06-20 | Cardinal Cg Company | Low-emissivity coating having low solar reflectance |
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| US7005190B2 (en) * | 2002-12-20 | 2006-02-28 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with reduced color shift at high viewing angles |
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| US6967060B2 (en) | 2003-05-09 | 2005-11-22 | Guardian Industries Corp. | Coated article with niobium zirconium inclusive layer(s) and method of making same |
| US6974630B1 (en) | 2003-05-20 | 2005-12-13 | Guardian Industries Corp. | Coated article with niobium chromium inclusive barrier layer(s) and method of making same |
| FR2856627B1 (fr) * | 2003-06-26 | 2006-08-11 | Saint Gobain | Substrat transparent muni d'un revetement avec proprietes de resistance mecanique |
| US7087309B2 (en) * | 2003-08-22 | 2006-08-08 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article with tin oxide, silicon nitride and/or zinc oxide under IR reflecting layer and corresponding method |
| US7223479B2 (en) * | 2003-09-29 | 2007-05-29 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with dual layer undercoat |
| CA2550446A1 (fr) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Afg Industries, Inc. | Couche protectrice pour revetements optiques presentant une resistance accrue a la corrosion et au rayage |
| US7217460B2 (en) * | 2004-03-11 | 2007-05-15 | Guardian Industries Corp. | Coated article with low-E coating including tin oxide interlayer |
| TR200707748T1 (tr) * | 2005-05-11 | 2008-04-21 | Agc Flat Glass Europe Sa | Güneşi engelleyici yığın |
| CA2608172C (fr) * | 2005-05-12 | 2014-01-14 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Revetement a faible emissivite presentant un faible coefficient d'apport par rayonnement solaire, des proprietes chimiques et mecaniques ameliorees et procede de fabrication associe |
| GB0600425D0 (en) * | 2006-01-11 | 2006-02-15 | Pilkington Plc | Heat treatable coated glass pane |
| FR2898123B1 (fr) * | 2006-03-06 | 2008-12-05 | Saint Gobain | Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques |
| FR2898122B1 (fr) * | 2006-03-06 | 2008-12-05 | Saint Gobain | Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques |
| DE102006014796B4 (de) * | 2006-03-29 | 2009-04-09 | Saint-Gobain Glass Deutschland Gmbh | Thermisch hoch belastbares Low-E-Schichtsystem für transparente Substrate |
| FR2911130B1 (fr) | 2007-01-05 | 2009-11-27 | Saint Gobain | Procede de depot de couche mince et produit obtenu |
| US7901781B2 (en) * | 2007-11-23 | 2011-03-08 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties and method of making the same |
| DE202008018513U1 (de) | 2008-01-04 | 2014-10-31 | Saint-Gobain Glass France | Dispositif |
| US8731699B2 (en) * | 2009-09-29 | 2014-05-20 | Hp3 Software, Inc. | Dynamic, lean insulated glass unit assembly line scheduler |
| FR2963343B1 (fr) * | 2010-07-28 | 2012-07-27 | Saint Gobain | Vitrage pourvu d'un revetement contre la condensation |
| CN102441679A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 陈维钏 | 透明隔热结构 |
| DE102011105718B4 (de) * | 2011-06-23 | 2014-03-06 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Teiltransparentes Schichtsystem mit hoher IR-Reflexion, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Architekturglaslement |
| KR101381531B1 (ko) | 2011-08-18 | 2014-04-07 | (주)엘지하우시스 | 열처리가 가능한 저방사 유리 및 이의 제조방법 |
| US9052456B2 (en) | 2013-03-12 | 2015-06-09 | Intermolecular, Inc. | Low-E glazing performance by seed structure optimization |
| WO2013109582A1 (fr) | 2012-01-17 | 2013-07-25 | Cardinal Cg Company | Revêtements à faible facteur de transmission solaire |
| US9545024B2 (en) | 2012-05-29 | 2017-01-10 | Apple Inc. | Diamond cutting tools |
| US9703011B2 (en) | 2013-05-07 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with a gradient layer |
| US9359261B2 (en) | 2013-05-07 | 2016-06-07 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
| US9366784B2 (en) | 2013-05-07 | 2016-06-14 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
| US9684097B2 (en) | 2013-05-07 | 2017-06-20 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with retained optical properties |
| US9110230B2 (en) | 2013-05-07 | 2015-08-18 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with retained optical properties |
| US10160688B2 (en) | 2013-09-13 | 2018-12-25 | Corning Incorporated | Fracture-resistant layered-substrates and articles including the same |
| US9335444B2 (en) | 2014-05-12 | 2016-05-10 | Corning Incorporated | Durable and scratch-resistant anti-reflective articles |
| US11267973B2 (en) | 2014-05-12 | 2022-03-08 | Corning Incorporated | Durable anti-reflective articles |
| US9790593B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-10-17 | Corning Incorporated | Scratch-resistant materials and articles including the same |
| WO2016044162A2 (fr) | 2014-09-15 | 2016-03-24 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Film optique comportant une couche d'absorption infrarouge |
| CN107076893A (zh) | 2014-11-21 | 2017-08-18 | 美国圣戈班性能塑料公司 | 红外控制光学膜 |
| KR102591067B1 (ko) | 2015-09-14 | 2023-10-18 | 코닝 인코포레이티드 | 높은 광 투과율 및 내-스크래치성 반사-방지 제품 |
| KR20190047735A (ko) * | 2016-10-03 | 2019-05-08 | 생-고뱅 퍼포먼스 플라스틱스 코포레이션 | 태양광 조절 윈도우 필름 |
| US10253560B2 (en) | 2017-03-03 | 2019-04-09 | Guardian Glass, LLC | Coated article with IR reflecting layer(s) and overcoat for improving solar gain and visible transmission |
| US10196735B2 (en) | 2017-03-03 | 2019-02-05 | Guardian Glass, LLC | Coated article having low-E coating with IR reflecting layer(s) and doped titanium oxide dielectric layer(s) and method of making same |
| US10287673B2 (en) | 2017-03-07 | 2019-05-14 | Guardian Glass, LLC | Coated article having low-E coating with IR reflecting layer(S) and yttrium inclusive high index nitrided dielectric layer |
| US10266937B2 (en) | 2017-03-09 | 2019-04-23 | Guardian Glass, LLC | Coated article having low-E coating with IR reflecting layer(s) and hafnium inclusive high index nitrided dielectric layer |
| US10138159B2 (en) | 2017-03-09 | 2018-11-27 | Guardian Glass, LLC | Coated article having low-E coating with IR reflecting layer(s) and high index nitrided dielectric film having multiple layers |
| US10138158B2 (en) | 2017-03-10 | 2018-11-27 | Guardian Glass, LLC | Coated article having low-E coating with IR reflecting layer(s) and high index nitrided dielectric layers |
| US11472373B2 (en) | 2017-04-17 | 2022-10-18 | 3E Nano Inc. | Energy control coatings, structures, devices, and methods of fabrication thereof |
| CN114085038A (zh) | 2018-08-17 | 2022-02-25 | 康宁股份有限公司 | 具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品 |
| CN109704597A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-05-03 | 福建工程学院 | 一种耐磨损、减反射、透明隔热玻璃及其制备方法 |
| CN113480193A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-10-08 | 重庆东玲光学元件有限公司 | 一种用于光学玻璃表面的复合膜层及其制备方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4859532A (en) * | 1986-11-27 | 1989-08-22 | Asahi Glass Company Ltd. | Transparent laminated product |
| GB8900166D0 (en) * | 1989-01-05 | 1989-03-01 | Glaverbel | Glass coating |
| DE4135701C2 (de) * | 1991-10-30 | 1995-09-28 | Leybold Ag | Scheibe mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung |
| GB9417112D0 (en) * | 1994-08-24 | 1994-10-12 | Glaverbel | Coated substrate and process for its formation |
| FR2728559B1 (fr) * | 1994-12-23 | 1997-01-31 | Saint Gobain Vitrage | Substrats en verre revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire |
| DE19520843A1 (de) * | 1995-06-08 | 1996-12-12 | Leybold Ag | Scheibe aus durchscheinendem Werkstoff sowie Verfahren zu ihrer Herstellung |
| DE19604699C1 (de) * | 1996-02-09 | 1997-11-20 | Ver Glaswerke Gmbh | Wärmedämmendes Schichtsystem für transparente Substrate |
| FR2757151B1 (fr) * | 1996-12-12 | 1999-01-08 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage comprenant un substrat muni d'un empilement de couches minces pour la protection solaire et/ou l'isolation thermique |
-
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